RU2360237C1 - Solid-state gas sensor (versions) - Google Patents

Solid-state gas sensor (versions) Download PDF

Info

Publication number
RU2360237C1
RU2360237C1 RU2007139194/28A RU2007139194A RU2360237C1 RU 2360237 C1 RU2360237 C1 RU 2360237C1 RU 2007139194/28 A RU2007139194/28 A RU 2007139194/28A RU 2007139194 A RU2007139194 A RU 2007139194A RU 2360237 C1 RU2360237 C1 RU 2360237C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
gas
gas sensor
metal
solid
Prior art date
Application number
RU2007139194/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2007139194A (en
Inventor
Александр Васильевич Ефименко (RU)
Александр Васильевич Ефименко
Татьяна Леонидовна Семенова (RU)
Татьяна Леонидовна Семенова
Анатолий Назарьевич Салюк (RU)
Анатолий Назарьевич Салюк
Original Assignee
Институт химии Дальневосточного отделения Российской академии наук (статус государственного учреждения) (Институт химии ДВО РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт химии Дальневосточного отделения Российской академии наук (статус государственного учреждения) (Институт химии ДВО РАН) filed Critical Институт химии Дальневосточного отделения Российской академии наук (статус государственного учреждения) (Институт химии ДВО РАН)
Priority to RU2007139194/28A priority Critical patent/RU2360237C1/en
Publication of RU2007139194A publication Critical patent/RU2007139194A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2360237C1 publication Critical patent/RU2360237C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: proposed gas sensor, according to the first version, contains a substrate made from valve metals, in form of a thin wire serving as a reference electrode. The substrate is covered with a metal-oxide gas-sensitive layer with deposition of an electroconductive gas-premeable contact as the measuring electrode and serving as a microheater at the same time, the power leads of which are attached to the opposite butt ends of the thin wire. Leads from the measuring electrode and substrate - thin wire are connected to a recording device. In the second version of the sensor the substrate is a metal strip deposited on an insulator. Metal-oxide gas-sensitive layers on the substrate are made using anodic oxidation method. The substrate-microheater in both versions of the solid-state gas sensor is an electrical resistance stabilising thermometre, connected to an external power supply.
EFFECT: increased reliability and stability of parametres, and simple design and technology.
6 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к устройствам для контроля параметров газовых сред, а именно к чувствительным элементам газоанализаторов, и может быть использовано для обнаружения и определения концентраций таких горючих и токсичных газов, как Н2, СО, СnН2n+2, Н2S, SO2, паров С2Н5ОН и других, в горнодобывающей, нефтеперерабатывающей, химической промышленностях, экологии и других отраслях деятельности.The invention relates to devices for monitoring the parameters of gaseous media, in particular to sensitive elements of gas analyzers, and can be used to detect and determine the concentrations of such combustible and toxic gases as H 2 , CO, C n H 2n + 2 , H 2 S, SO 2 , vapor С 2 Н 5 ОН and others, in mining, oil refining, chemical industries, ecology and other industries.

Известны твердотельные газовые сенсоры, регистрируемым параметром которых являются изменения электродвижущей силы (ЭДС).Solid-state gas sensors are known, the recorded parameter of which are changes in electromotive force (EMF).

Так, известен сенсор, предназначенный для обнаружения и определения концентраций горючих и токсичных газов, содержащий подложку, покрытую металлоксидным газочувствительным слоем, пленочный микронагреватель и электроды. Подложка выполнена из металла, выбранного из группы, включающей вентильные металлы и их сплавы, и покрыта оксидными слоями соответствующего металла с обеих сторон. На одной из сторон оксидированной подложки выполнены электропроводящие газопроницаемый контакт в качестве измерительного электрода и газонепроницаемый контакт в качестве электрода сравнения, а на другой стороне подложки размещен пленочный микронагреватель. При этом сенсор снабжен выводами от измерительного электрода и электрода сравнения для подсоединения к регистрирующему прибору и выводами питания микронагревателя (пат. РФ №2102735, опубл. 20.01.1998).Thus, a sensor is known for detecting and determining the concentrations of combustible and toxic gases, containing a substrate coated with a metal oxide gas-sensitive layer, a film micro-heater, and electrodes. The substrate is made of a metal selected from the group consisting of valve metals and their alloys, and is coated with oxide layers of the corresponding metal on both sides. An electrically conductive gas-permeable contact as a measuring electrode and a gas-tight contact as a reference electrode are made on one side of the oxidized substrate, and a film microheater is placed on the other side of the substrate. In this case, the sensor is equipped with leads from the measuring electrode and the reference electrode for connecting to the recording device and power leads of the microheater (US Pat. RF No. 2102735, publ. 01.20.1998).

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому газовому сенсору является твердотельный газовый сенсор, регистрируемым параметром которого также является изменение ЭДС, предназначенный для обнаружения Н2, СО, С2Н5ОН, CnH2n+2, H2S, SO2, паров С2Н5OH и других (пат. РФ №2100801, опубл. 27.12.1997). Сенсор содержит подложку, выполненную в виде фольги, пластины или проволоки из вентильного металла или его сплава, покрытую газочувствительными оксидными слоями соответствующего металла. На одной из сторон оксидированной подложки выполнен электропроводящий газопроницаемый контакт в качестве измерительного электрода, а на другой размещен пленочный микронагреватель, при этом сенсор снабжен выводами от измерительного электрода и от подложки (электрода сравнения) для подсоединения непосредственно к регистрирующему прибору (вольтметру) и выводами питания нагревателя. Металлоксидные газочувствительные слои нанесены на подложку методом анодного оксидирования (анодирования). С источника питания на микронагреватель подают электрический ток, в результате чего газочувствительный оксидный слой нагревается до рабочей температуры, значения которой устанавливаются в зависимости от качественного состава регистрирующего газа.The closest in technical essence to the proposed gas sensor is a solid-state gas sensor, the recorded parameter of which is also a change in the EMF, designed to detect H 2 , CO, C 2 H 5 OH, C n H 2n + 2 , H 2 S, SO 2 , vapor C 2 H 5 OH and others (US Pat. RF No. 2100801, publ. 12/27/1997). The sensor contains a substrate made in the form of a foil, plate or wire of a valve metal or its alloy, coated with gas-sensitive oxide layers of the corresponding metal. An electrically conductive gas-permeable contact is made as a measuring electrode on one side of the oxidized substrate, and a film microheater is placed on the other side, while the sensor is equipped with leads from the measuring electrode and from the substrate (reference electrode) for connecting directly to the recording device (voltmeter) and heater power leads . Metal oxide gas sensitive layers are deposited on a substrate by anodic oxidation (anodization). An electric current is supplied from the power source to the microheater, as a result of which the gas-sensitive oxide layer is heated to the operating temperature, the values of which are set depending on the quality of the recording gas.

Общим недостатком известных твердотельных газовых сенсоров является необходимость отдельного изготовления микронагревателя, что требует обеспечения прочного надежного контакта по всей поверхности микронагревателя при его соединении с оксидированной подложкой. Это усложняет технологию изготовления известных газовых сенсоров и может приводить к снижению их надежности и стабильности параметров его работы.A common disadvantage of the known solid-state gas sensors is the need for separate manufacture of a microheater, which requires reliable reliable contact over the entire surface of the microheater when it is connected to the oxidized substrate. This complicates the manufacturing technology of known gas sensors and can lead to a decrease in their reliability and stability of its operation parameters.

Задачей изобретения является разработка твердотельного газового сенсора, характеризующегося более высокой надежностью и стабильностью параметров его работы, а также упрощение конструкции сенсора и технологии его изготовления.The objective of the invention is to develop a solid-state gas sensor, characterized by higher reliability and stability of its parameters, as well as simplifying the design of the sensor and its manufacturing technology.

Поставленная задача решается предлагаемым газовым сенсором, выполненным в двух вариантах.The problem is solved by the proposed gas sensor, made in two versions.

Твердотельный газовый сенсор по первому варианту содержит выполненную из вентильных металлов подложку в виде тонкой проволоки, служащей электродом сравнения и покрытой металлоксидным газочувствительным слоем с нанесенным на него электропроводящим газопроницаемым контактом в качестве измерительного электрода, микронагреватель с выводами питания, выводы от измерительного электрода и подложки - тонкой проволоки для подсоединения к регистрирующему прибору, в котором в отличие от известного твердотельного газового сенсора подложка одновременно является микронагревателем, выводы питания которого прикреплены к противоположным торцевым концам подложки - тонкой проволоки, и служит стабилизирующим термометром электросопротивления, подсоединенным к внешнему источнику питания.The solid-state gas sensor according to the first embodiment contains a thin wire-shaped substrate made of valve metals, which serves as a reference electrode and is coated with a metal oxide gas-sensitive layer coated with an electrically conductive gas-permeable contact as a measuring electrode, a microheater with power leads, and conclusions from the measuring electrode and the substrate are thin wires for connecting to a recording device, in which, unlike the known solid-state gas sensor, the substrate is At the same time, it is a microheater, the power leads of which are attached to the opposite end ends of the substrate, a thin wire, and serves as a stabilizing resistance thermometer connected to an external power source.

Твердотельный газовый сенсор по второму варианту содержит выполненную из вентильных металлов подложку, служащую электродом сравнения и покрытую металлоксидным газочувствительным слоем с нанесенным на него электропроводящим газопроницаемым контактом в качестве измерительного электрода, микронагреватель с выводами питания, выводы от измерительного электрода и подложки для подсоединения к регистрирующему прибору, в котором в отличие от известного твердотельного газового сенсора подложка представляет собой нанесенную на изолятор металлическую полоску, одновременно является микронагревателем, выводы питания которого прикреплены к противоположным торцевым концам подложки - металлической полоски, и служит стабилизирующим термометром электросопротивления, подсоединенным к внешнему источнику питания.The solid-state gas sensor according to the second embodiment contains a substrate made of valve metals, which serves as a reference electrode and is coated with a metal oxide gas-sensitive layer coated with an electrically conductive gas-permeable contact as a measuring electrode, a micro heater with power leads, leads from the measuring electrode and substrate for connection to a recording device, in which, in contrast to the known solid-state gas sensor, the substrate is deposited on the insulator the metallic strip, while a microheater, which power supply terminals are attached to the opposite end face of the substrate - metallic strip, and a stabilizing electrical resistance thermometer, connected to an external power source.

В твердотельных газовых сенсорах по первому и второму вариантам подложка выполнена из металла, выбранного из группы вентильных, и покрыта газочувствительным оксидным слоем соответствующего металла. Оксиды указанных металлов относятся к нестехиометрическим, имеющим дефицит по кислороду, и в них наиболее эффективно проявляются механизмы, обеспечивающие принцип работы заявляемых сенсоров. Металлоксидный газочувствительный слой наносят методом анодного оксидирования, формирующим на подложке оксидную (анодную) пленку высокого качества, по своим параметрам отвечающую требованиям, предъявляемым к газочувствительным слоям твердотельных сенсоров.In solid-state gas sensors according to the first and second options, the substrate is made of metal selected from the group of valve and is covered with a gas-sensitive oxide layer of the corresponding metal. The oxides of these metals are non-stoichiometric, having an oxygen deficiency, and the mechanisms that ensure the principle of operation of the claimed sensors are most effectively manifested in them. The metal oxide gas-sensitive layer is applied by the method of anodic oxidation, forming a high-quality oxide (anode) film on the substrate, which in its parameters meets the requirements for gas-sensitive layers of solid-state sensors.

Это дает следующие преимущества: обеспечивается высокая степень однородности и воспроизводимости металлоксидных газочувствительных слоев и соответственно идентичность характеристик сенсоров; достигается высокая универсализация технологии изготовления сенсоров, обеспечивается прочное сцепление оксидного слоя с металлической подложкой.This gives the following advantages: a high degree of uniformity and reproducibility of metal oxide gas-sensitive layers and, accordingly, the identity of the characteristics of the sensors; high universalization of the technology for manufacturing sensors is achieved, and strong adhesion of the oxide layer to the metal substrate is ensured.

При этом в отличие от известного твердотельного газового сенсора использование сплавов вентильных металлов неэффективно, так как малые значения их температурных коэффициентов электросопротивления не позволяют (с помощью мостиковой электрической схемы питания нагревателя) с достаточной точностью стабилизировать температуру.In this case, unlike the known solid-state gas sensor, the use of valve metal alloys is inefficient, since the low values of their temperature coefficients of electrical resistance do not allow (using a bridged electric power supply circuit of the heater) to stabilize the temperature with sufficient accuracy.

Сущность изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 схематично изображен первый вариант предлагаемого твердотельного газового сенсора, на фиг.2 - второй вариант сенсора.The invention is illustrated by drawings, where figure 1 schematically shows a first embodiment of the proposed solid state gas sensor, figure 2 is a second version of the sensor.

Твердотельный газовый сенсор в каждом из вариантов выполнения содержит подложку 1, выполненную в первом варианте в виде проволоки, а во втором варианте в виде металлической полоски, например, из циркония, ниобия, покрытую металлоксидными газочувствительными слоями 2 соответствующего металла. На подложку 1, покрытую металлоксидным газочувствительным слоем 2, нанесен (термическим, вакуумным осаждением или химическим способом) электропроводящий газопроницаемый контакт 3, например, из платины, палладия, серебра, золота, являющийся измерительным электродом. Сенсор снабжен выводами питания микронагревателя (подложки) от внешнего источника питания 4, а также выводами от измерительного электрода 3 и от подложки 1 для регистрации ЭДС прибором 5 (фиг.1, 2).The solid state gas sensor in each embodiment contains a substrate 1 made in the first embodiment in the form of a wire, and in the second embodiment in the form of a metal strip, for example, of zirconium, niobium, coated with metal oxide gas sensitive layers 2 of the corresponding metal. An electrically conductive gas-permeable contact 3, for example, of platinum, palladium, silver, gold, which is a measuring electrode, is applied to a substrate 1 coated with a metal oxide gas-sensitive layer 2 (by thermal, vacuum deposition, or chemically). The sensor is equipped with power leads of a microheater (substrate) from an external power source 4, as well as leads from a measuring electrode 3 and from a substrate 1 for registering an EMF with a device 5 (Figs. 1, 2).

Изображенный на фиг.2 твердотельный газовый сенсор по второму варианту дополнительно включает изолятор 6, на который нанесена металлическая полоска - подложка 1.The solid-state gas sensor shown in FIG. 2 according to the second embodiment further includes an insulator 6 on which a metal strip is applied — a substrate 1.

Предлагаемый сенсор работает следующим образом. С источника питания 4 на подложку 1, являющуюся микронагревателем, подают электрический ток, в результате металлоксидный газочувствительный слой 2 нагревается до необходимой рабочей температуры в диапазоне 450-650 К, задаваемой величиной тока. Значения рабочих температур задаются с помощью мостиковой схемы установкой необходимой величины тока, используя зависимость электросопротивления вентильного металла от температуры. Чистые металлы имеют коэффициент электросопротивления α=4·10-3Ом·град-l. Значения рабочих температур устанавливаются в зависимости от состава регистрируемого газа. При этом на поверхности металлоксидного газочувствительного слоя 2 хемосорбируется ионизированный кислород (О-). Основной структурный элемент сенсора - металлическую подложку 1 (одновременно являющуюся и микронагревателем), покрытую металлоксидным газочувствительным слоем 2 с нанесенным на него в средней части измерительным электродом 3, можно рассматривать как электрохимическую ячейку, в которой при температуре 450-650 К между подложкой 1 (электрод сравнения) и измерительным электродом 3 возникает ЭДС.The proposed sensor operates as follows. An electric current is supplied from the power supply 4 to the substrate 1, which is a microheater, as a result, the metal oxide gas-sensitive layer 2 is heated to the required operating temperature in the range 450-650 K, specified by the current value. The values of operating temperatures are set using the bridge circuit by setting the required current value, using the dependence of the electrical resistance of the valve metal on temperature. Pure metals have a coefficient of electrical resistance α = 4 · 10 -3 Ohm · deg -l . The values of operating temperatures are set depending on the composition of the gas being recorded. Thus on the surface of the metal oxide gas sensitive layer 2 is chemisorbed ionized oxygen (O -). The main structural element of the sensor is a metal substrate 1 (which is also a microheater), coated with a metal oxide gas-sensitive layer 2 with a measuring electrode 3 deposited on it in the middle part, can be considered as an electrochemical cell in which, between 450 and 650 K, between the substrate 1 (electrode comparison) and measuring electrode 3 there is an EMF.

Принцип работы сенсора основан на изменении ЭДС упомянутой ячейки при появлении в атмосфере регистрируемого газа вследствие протекания на поверхности металлоксидного газочувствительного слоя 2 каталитической реакции окисления определяемого горючего газа с хемосорбированным ионизированным атомом кислорода. Реакция сопровождается инжекцией в пленку электронов, например: CO+O-→CO2+e-. Данное изменение ЭДС регистрируется прибором 5 (вольтметр).The principle of operation of the sensor is based on a change in the EMF of the cell when a detected gas appears in the atmosphere due to the catalytic oxidation of a detected combustible gas with a chemisorbed ionized oxygen atom on the surface of the metal oxide gas sensitive layer 2. The reaction is accompanied by injection of electrons into the film, for example: CO + O - → CO 2 + e - . This change in the EMF is recorded by device 5 (voltmeter).

В предлагаемых твердотельных газовых сенсорах, регистрируемым параметром которых, как и в известном, является изменение ЭДС сенсора, сама подложка (служащая электродом сравнения) является не только микронагревателем, но и стабилизирующим термометром электросопротивления. Это обеспечивает стабильность параметров его работы во времени, воспроизводимость и тождественность параметров в серии.In the proposed solid-state gas sensors, the registered parameter of which, as in the known one, is the change in the EMF of the sensor, the substrate itself (serving as a reference electrode) is not only a microheater, but also a stabilizing resistance thermometer. This ensures the stability of the parameters of its work in time, reproducibility and the identity of the parameters in the series.

Исключение необходимости отдельного изготовления микронагревателя и операции его присоединения приводит к повышению надежности заявляемых твердотельных газовых сенсоров за счет увеличения термостойкости и ударопрочности сенсоров, создает еще большие возможности для его миниатюризации, в том числе и за счет уменьшения размеров подложки, а также упрощает конструкцию твердотельных газовых сенсоров и технологию их изготовления. Кроме того, совмещение функций подложки и микронагревателя в одном элементе конструкции обеспечивает идеальную теплопередачу и соответственно высокое быстродействие сенсора.The elimination of the need for a separate manufacture of a microheater and the operation of its attachment leads to an increase in the reliability of the inventive solid-state gas sensors by increasing the heat resistance and shock resistance of the sensors, creates even greater opportunities for miniaturization, including by reducing the size of the substrate, and also simplifies the design of solid-state gas sensors and technology for their manufacture. In addition, the combination of the functions of the substrate and the microheater in one structural element provides ideal heat transfer and, accordingly, high sensor performance.

Таким образом, техническим результатом предлагаемого изобретения является повышение надежности твердотельного газового сенсора и стабильности параметров его работы, а также упрощение конструкции сенсора и технологии его изготовления.Thus, the technical result of the invention is to increase the reliability of the solid-state gas sensor and the stability of its parameters, as well as simplifying the design of the sensor and its manufacturing technology.

Claims (6)

1. Твердотельный газовый сенсор, содержащий выполненную из вентильных металлов подложку в виде тонкой проволоки, служащей электродом сравнения, покрытой металлоксидным газочувствительным слоем с нанесенным на него электропроводящим газопроницаемым контактом в качестве измерительного электрода, микронагреватель с выводами питания, выводы от измерительного электрода и подложки - тонкой проволоки для подсоединения к регистрирующему прибору, отличающийся тем, что подложка одновременно является микронагревателем, выводы питания которого прикреплены к противоположным торцевым концам подложки - тонкой проволоки, и служит стабилизирующим термометром электросопротивления, подсоединенным к внешнему источнику питания.1. A solid-state gas sensor containing a valve made of thin metal in the form of a thin wire serving as a reference electrode coated with a metal oxide gas-sensitive layer coated with an electrically conductive gas-permeable contact as a measuring electrode, a micro-heater with power leads, the conclusions from the measuring electrode and the substrate are thin wires for connecting to a recording device, characterized in that the substrate is simultaneously a microheater, the power leads of which attached to the opposite end ends of the substrate - a thin wire, and serves as a stabilizing resistance thermometer connected to an external power source. 2. Твердотельный газовый сенсор по п.1, отличающийся тем, что металлоксидные газочувствительные слои на подложке выполнены методом анодного оксидирования.2. The solid state gas sensor according to claim 1, characterized in that the metal oxide gas-sensitive layers on the substrate are made by the method of anodic oxidation. 3. Твердотельный газовый сенсор по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из циркония.3. The solid state gas sensor according to claim 1, characterized in that the substrate is made of zirconium. 4. Твердотельный газовый сенсор, содержащий выполненную из вентильных металлов подложку, служащую электродом сравнения, покрытую металлоксидным газочувствительным слоем с нанесенным на него электропроводящим газопроницаемым контактом в качестве измерительного электрода, микронагреватель с выводами питания, выводы от измерительного электрода и подложки для подсоединения к регистрирующему прибору, отличающийся тем, что подложка представляет собой нанесенную на изолятор металлическую полоску, одновременно является микронагревателем, выводы питания которого прикреплены к противоположным торцевым концам подложки - металлической полоски, и служит стабилизирующим термометром электросопротивления, подсоединенным к внешнему источнику питания.4. A solid-state gas sensor containing a valve metal substrate serving as a reference electrode, coated with a metal oxide gas sensitive layer with an electrically conductive gas-permeable contact deposited on it as a measuring electrode, a micro-heater with power leads, leads from the measuring electrode and substrate for connection to a recording device, characterized in that the substrate is a metal strip deposited on the insulator, at the same time is a microheater m, the power leads of which are attached to the opposite end ends of the substrate - a metal strip, and serves as a stabilizing resistance thermometer connected to an external power source. 5. Твердотельный газовый сенсор по п.4, отличающийся тем, что металлоксидные газочувствительные слои на подложке выполнены методом анодного оксидирования.5. The solid state gas sensor according to claim 4, characterized in that the metal oxide gas-sensitive layers on the substrate are made by the method of anodic oxidation. 6. Твердотельный газовый сенсор по п.4, отличающийся тем, что подложка выполнена из циркония. 6. The solid state gas sensor according to claim 4, characterized in that the substrate is made of zirconium.
RU2007139194/28A 2007-10-22 2007-10-22 Solid-state gas sensor (versions) RU2360237C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007139194/28A RU2360237C1 (en) 2007-10-22 2007-10-22 Solid-state gas sensor (versions)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007139194/28A RU2360237C1 (en) 2007-10-22 2007-10-22 Solid-state gas sensor (versions)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007139194A RU2007139194A (en) 2009-04-27
RU2360237C1 true RU2360237C1 (en) 2009-06-27

Family

ID=41018566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007139194/28A RU2360237C1 (en) 2007-10-22 2007-10-22 Solid-state gas sensor (versions)

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2360237C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107315033A (en) * 2016-04-26 2017-11-03 松下知识产权经营株式会社 Gas-detecting device and hydrogen detection method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107315033A (en) * 2016-04-26 2017-11-03 松下知识产权经营株式会社 Gas-detecting device and hydrogen detection method

Also Published As

Publication number Publication date
RU2007139194A (en) 2009-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3544437B2 (en) Gas sensor
JP3871497B2 (en) Gas sensor
JP3128114B2 (en) Nitrogen oxide detector
JPS6118854A (en) Oxygen concentration detecting element
JP2020024130A (en) Mems semiconductor type gas detection element
JP6425309B2 (en) CO sensor and method of manufacturing CO sensor
JP4743375B2 (en) Flammable gas concentration measurement method
JP3845741B2 (en) Nitrogen oxide detection method and sensor element for nitrogen oxide detection
RU2360237C1 (en) Solid-state gas sensor (versions)
JP3831320B2 (en) Limit current type oxygen sensor
US20170059510A1 (en) Method of recovering process for gas sensor
US20190317036A1 (en) Gas sensor
JP4465677B2 (en) Hydrogen gas detector
JP2016183883A (en) Gas sensor
JP2009276188A (en) Hydrogen gas sensor
RU2100801C1 (en) Solid gas sensor
JPH06288952A (en) Gas sensor
JP3696494B2 (en) Nitrogen oxide sensor
JP4750574B2 (en) Gas detection element
JP2000338081A (en) Gas sensor
JP2008083007A (en) Nitrogen oxide detecting element
JP5339754B2 (en) Oxygen gas concentration measurement method
JP2004132791A (en) Gas detection device
CN114324494A (en) Semiconductor film gas sensor
JPS61264250A (en) Nitrogen oxide detector

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20091023