RU2345375C1 - Устройство для неразрушающего контроля качества соединений элементов конструкции изделий электронной техники - Google Patents
Устройство для неразрушающего контроля качества соединений элементов конструкции изделий электронной техники Download PDFInfo
- Publication number
- RU2345375C1 RU2345375C1 RU2007122404/28A RU2007122404A RU2345375C1 RU 2345375 C1 RU2345375 C1 RU 2345375C1 RU 2007122404/28 A RU2007122404/28 A RU 2007122404/28A RU 2007122404 A RU2007122404 A RU 2007122404A RU 2345375 C1 RU2345375 C1 RU 2345375C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- joined
- amplifier
- digital
- electronic
- technics
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для оценки технологии производства изделий электронной техники, например интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, и на входном контроле приборостроительных предприятий. Сущность: устройство состоит из станины, кронштейна, датчика малых перемещений, генератора тока, рычага с соотношением плеч l1/l2=n, усилителя, аналого-цифрового преобразователя, электронно-вычислительной машины, монитора, цифроаналогового преобразователя. Одно плечо рычага соединено с исследуемым изделием, а другое с датчиком малых перемещений. Выход датчика соединен с входом усилителя. Выход усилителя соединен с входом аналогово-цифрового преобразователя, выход которого соединен с электронно-вычислительной машиной. Электронно-вычислительная машина соединена с монитором и с входом цифроаналогового преобразователя, выход которого соединен с генератором импульсов. Технический результат: автоматизация процесса измерений и повышение чувствительности. 1 ил.
Description
Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для оценки технологии производства изделий электронной техники, например интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, и на входном контроле приборостроительных предприятий.
Известно множество диагностических методов контроля качества и надежности ППИ и устройств для их реализации (НЧ-шум, интегральные ВАХ, m-характеристики и др.). Например, в монографии [1] приведены блок-схемы для реализации таких диагностических способов, как контроль качества полупроводниковых изделий с использованием коронного разряда, диагностика полупроводниковых изделий по производным вольт-амперных характеристик, устройства для реализации метода критических напряжений и др. С помощью вышеперечисленных устройств возможен контроль качества полупроводниковых изделий, но не возможно определить качество соединений кристалл-корпус.
Наиболее близким является устройство, предлагаемое в [2]. Оно состоит из станины с расположенным на ней испытуемым изделием. К кронштейну, жестко связанному со станиной, прикреплен датчик малых перемещений, который своим щупом опирается на корпус исследуемого изделий. Датчик связан электрически с преобразователем и регистратором. Совокупность, состоящая из датчика, преобразователя и регистратора, образует измеритель малых перемещений. Генератор импульсов тока электрически связан с исследуемым изделием и регистратором.
Недостатком предлагаемого устройства является то, что применяется регистратор в виде самописца, и второй недостаток - применение высокочувствительного датчика малых перемещений.
Изобретение направлено на автоматизацию процесса измерений механических связей типа кристалл-корпус и повышение чувствительности измерений.
Это достигается тем, что для анализа измерений применяется электронно-вычислительная машина (ЭВМ) и механический рычаг для увеличения чувствительности измерения малых перемещений.
Сущность изобретения: предлагаемое устройство основано на использовании эффекта возникновения упругой деформации корпуса при резком нагреве одного из элементов конструкции, например кристалла полупроводникового изделия (транзистора или интегральной схемы), величина которой достигает порядка десятых долей микрона. По величине упругой деформации можно сделать вывод о качестве и надежности механической связи кристалл-корпус.
На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства.
Устройство состоит из станины 1 с расположенным на ней испытуемым изделием 2. К кронштейну 3, который жестко связан со статиной 1, прикреплен рычаг 4 с плечом 
где l1, l2 - плечи рычага,
F1, F2 - модули сил, действующих на 1 и 2 плечо соответственно.
n - коэффициент механического усиления.
Ко второму плечу рычага 4 прикреплен датчик малых перемещений 5. Датчик 5 электрически связан с усилителем 6 и посредством аналогово-цифрового преобразователя (АЦП) 7 с ЭВМ 8. ЭВМ 8 связана с монитором 9 и цифроаналоговым преобразователем (ЦАП) 10. При этом ЦАП 10 связан с генератором импульсов 11, который в свою очередь с испытуемым изделием 2, находящимся на станине 1.
Устройство работает следующим образом: с ЭВМ через ЦАП в соответствии с написанной программой подается команда на генератор импульсов 11. Генератор импульсов 11 обеспечивает подачу на изделие 2 импульса тока. При подаче импульса тока полупроводниковое изделие разогревается и по ее корпусу распространяется упругая волна сжатия в случае жесткой механической связи. Перемещения поверхности корпуса через рычаг с плечом усиления n воспринимаются датчиком 5, сигнал которого усиливается усилителем 6, оцифровывается АЦП 7 и поступает в ЭВМ 8, где величина перемещений характеризует качество соединений элементов конструкции контролируемого изделия. Информация при этом выводится на экран монитора.
Источники информации
1. Горлов М.И., Ануфриев Л.П., Бордюжа О.Л. Обеспечение и повышение надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем в процессе серийного производства, Минск, 1997, 390 с.
2. Авторское свидетельство №911382, кл. G01R 31/26, опубл. 09.03.82.
Claims (1)
- Устройство для неразрушающего контроля качества соединений элементов конструкции изделий электронной техники, состоящее из станины, испытуемого изделия, кронштейна, датчика малых перемещений и генератора тока, отличающееся тем, что дополнительно введены рычаг с соотношением плеч l1/l2=n, усилитель, аналогово-цифровой преобразователь, электронно-вычислительная машина, монитор, цифроаналоговый преобразователь, причем одно плечо рычага соединено с исследуемым изделием, а другое с датчиком малых перемещений, выход которого соединен с входом усилителя, а выход усилителя - с входом аналогово-цифрового преобразователя, выход которого соединен с электронно-вычислительной машиной, при этом электронно-вычислительная машина соединена с монитором и с входом цифроаналогового преобразователя, выход которого соединен с генератором импульсов, выход которого соединен с исследуемым изделием.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007122404/28A RU2345375C1 (ru) | 2007-06-14 | 2007-06-14 | Устройство для неразрушающего контроля качества соединений элементов конструкции изделий электронной техники |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007122404/28A RU2345375C1 (ru) | 2007-06-14 | 2007-06-14 | Устройство для неразрушающего контроля качества соединений элементов конструкции изделий электронной техники |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2345375C1 true RU2345375C1 (ru) | 2009-01-27 |
Family
ID=40544361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007122404/28A RU2345375C1 (ru) | 2007-06-14 | 2007-06-14 | Устройство для неразрушающего контроля качества соединений элементов конструкции изделий электронной техники |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2345375C1 (ru) |
-
2007
- 2007-06-14 RU RU2007122404/28A patent/RU2345375C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5166724B2 (ja) | 超音波検査システム及び方法 | |
| JP5224547B2 (ja) | 構造物の損傷の診断方法および装置 | |
| CN108169330A (zh) | 基于非线性超声谐波法的混凝土构件轴向应力无损检测的装置和方法 | |
| JP5081430B2 (ja) | 超音波検査用デジタル対数増幅器 | |
| Kim et al. | Absolute measurement and relative measurement of ultrasonic nonlinear parameters | |
| Greenwood et al. | Ultrasonic sensor to measure the density of a liquid or slurry during pipeline transport | |
| CN111337171A (zh) | 一种应用于临界折射纵波应力检测的声时差测量方法 | |
| JP2005526228A (ja) | 圧電センサの診断 | |
| CN101469978B (zh) | 超声测厚仪可调式波幅自动增益补偿方法及电路 | |
| CN112771360A (zh) | 信号处理 | |
| CN209745854U (zh) | 一种电热性能动态检测系统 | |
| RU2345375C1 (ru) | Устройство для неразрушающего контроля качества соединений элементов конструкции изделий электронной техники | |
| Kim et al. | A method to estimate the absolute ultrasonic nonlinearity parameter from relative measurements | |
| Dib et al. | In-situ fatigue monitoring procedure using nonlinear ultrasonic surface waves considering the nonlinear effects in the measurement system | |
| JPH0353137A (ja) | 応力測定法 | |
| JP6516063B2 (ja) | 測定装置および材料試験機 | |
| CN112557515B (zh) | 声发射传感器试验系统 | |
| Zhu et al. | The potential of ultrasonic non-destructive measurement of residual stresses by modal frequency spacing using leaky lamb waves | |
| Lan et al. | Surface-to-surface calibration of acoustic emission sensors | |
| Theobald et al. | Acoustic emission transducers—development of a facility for traceable out-of-plane displacement calibration | |
| Zhang et al. | A new nondestructive technique for measuring pressure in vessels by surface waves | |
| Gushchina et al. | Development of the experimental equipment for measuring the velocity of ultrasonic waves with high accuracy | |
| Surya et al. | Highly Sensitive? R/R Measurement System for Nano-electro-Mechanical Cantilever Based Bio-sensors | |
| JP2964315B2 (ja) | 粘弾性体の非線形弾性率の測定装置 | |
| Hong et al. | Installation and application of ultrasonic infrared thermography |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090615 |