RU2255306C2 - Интерферометр - Google Patents
Интерферометр Download PDFInfo
- Publication number
- RU2255306C2 RU2255306C2 RU2002107179/28A RU2002107179A RU2255306C2 RU 2255306 C2 RU2255306 C2 RU 2255306C2 RU 2002107179/28 A RU2002107179/28 A RU 2002107179/28A RU 2002107179 A RU2002107179 A RU 2002107179A RU 2255306 C2 RU2255306 C2 RU 2255306C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- interferometer
- mirrors
- interference field
- photodetector
- beam splitter
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Интерферометр содержит светоделитель и два зеркала. Также содержит фотоприемник, чувствительный к пространственному распределению интерференционного поля, образованного встречными световыми потоками, и расположенный между зеркалами на равноудаленном расстоянии. Технический результат - прямое измерение пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков. 2 ил.
Description
Изобретение относится к голографии, спектроскопии Фурье, интерферометрии, оптоэлектронике и предназначено для электронного измерения пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Известен интерферометр Майкельсона, содержащий светоделитель и два зеркала. М.Борн, Э.Вольф. Основы оптики. М.: Наука. Главная редакция физико-математической литературы, 1973, с.278-280.
Однако в этом интерферометре не возможны прямые измерения пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Известен интерферометр Хун-Цингера содержащий светоделитель и два зеркала. Ю.В.Коломийцов. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976, с.268-270.
Это устройство является прототипом изобретения.
Однако в этом интерферометре не возможны прямые измерения пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Техническим результатом изобретения является прямое измерение пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Техническим результат достигается тем, что в интерферометре, содержащем, светоделитель и два зеркала, новым является то, что он содержит фотоприемник, чувствительный к пространственному распределению интерференционного поля, расположенный на пути встречных световых пучков между зеркалами.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлена схема интерферометра: 1 - светоделитель; 2, 3 - зеркала; 4 - фотоприемник, чувствительный к распределению интерференционного поля. На фиг.2 представлен пример выполнения интерферометра: 1 - светоделитель; 2, 3 - зеркала; 4 - фотоприемник, чувствительный к распределению интерференционного поля, 5 - лазерный или точечный источник света, 6 - коллиматор.
Интерферометр работает следующим образом.
Световой поток S0 делится светоделителем 1 на два пучка, направленных под прямым углом друг к другу. Отразившись от зеркал 2, 3, световые потоки S1 и S2 направляются навстречу друг к другу и проходят через фотоприемник 4 параллельно нормали плоскости интерференционно-чувствительного элемента. Световые потоки в интерферометре двигаются навстречу друг другу по периметру прямоугольного треугольника. Фотоприемник 4 расположен на равноудаленном оптическом расстоянии от зеркал 2, 3 и светоделителя.
Пример выполнения интерферометра.
Оптическая схема, на которой демонстрируется работа интерферометра, представлена на фиг.2. Выходной пучок лазерного или точечного источника 5 преобразуется коллиматором 6 в параллельный пучок S0, который делится светоделителем 1 на два пучка S1 и S2, направленных под прямым углом друг к другу. Отразившись от зеркал 2, 3, световые потоки S1 и S2 направляются навстречу друг к другу и проходят через фотоприемник 4 параллельно нормали плоскости интерференционно-чувствительного элемента. Световые потоки в интерферометре двигаются навстречу друг другу, образуя прямоугольный треугольник. Фотоприемник 4, чувствительный к распределению интерференционного поля, располагается на равноудаленном оптическом расстоянии от зеркал 2, 3 и светоделителя. Фотоприемник 4 регистрирует распределение интерференционного поля в месте своего расположения. Положение фотоприемника в пространстве может быть фиксировано, а может равномерно меняться путем перемещения параллельно ходу световых пучков с помощью позиционера. В качестве фотоприемника может использоваться двух- или трехмерный матричный, квадратурный, точечный или другой интерференционно-чувствительный фотоприемник - Заявки на изобретения: №2001131679/20(033830), №2002102016, №2002103558.
Интерферометр может быть использован для измерения линейных перемещений, электронной записи и считывания голографических изображений, других физических величин, связанных со сдвигом интерференционных полос, например, в качестве Фурье-спектрометра.
Claims (1)
- Интерферометр, содержащий светоделитель и два зеркала, отличающийся тем, что содержит фотоприемник, чувствительный к пространственному распределению интерференционного поля, образованного встречными световыми потоками, и расположенный между зеркалами на равноудаленном расстоянии.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2002107179/28A RU2255306C2 (ru) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | Интерферометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2002107179/28A RU2255306C2 (ru) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | Интерферометр |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2002107179A RU2002107179A (ru) | 2003-11-27 |
RU2255306C2 true RU2255306C2 (ru) | 2005-06-27 |
Family
ID=35836900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2002107179/28A RU2255306C2 (ru) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | Интерферометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2255306C2 (ru) |
-
2002
- 2002-03-20 RU RU2002107179/28A patent/RU2255306C2/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3568297B2 (ja) | 回折光学素子を用いて表面形状を測定する方法および装置 | |
US20160282103A1 (en) | Heterodyne spectrally controlled interferometry | |
US20180306575A1 (en) | Radius-of-curvature measurement by spectrally-controlled interferometry | |
US5995224A (en) | Full-field geometrically-desensitized interferometer employing diffractive and conventional optics | |
CN103115583B (zh) | 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置 | |
KR20130089191A (ko) | 위치 측정 장치와 복수의 위치 측정 장치를 구비하는 시스템 | |
Wu et al. | A novel design for fiber optic interferometric fringe projection phase-shifting 3-D profilometry | |
US20180149468A1 (en) | True heterodyne spectrally controlled interferometry | |
Maack et al. | Three-coordinate measurement of an object surface with a combined two-wavelength and two-source phase-shifting speckle interferometer | |
RU2255306C2 (ru) | Интерферометр | |
JP2873962B1 (ja) | 白色光のヘテロダイン干渉法 | |
JP3714853B2 (ja) | 位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法 | |
Rana et al. | Automated collimation testing in Lau interferometry using phase shifting technique | |
Bhattacharya | Measurement of parallelism of the surfaces of a transparent sample | |
Bhaduri et al. | Digital speckle pattern interferometry (DSPI) with increased sensitivity: Use of spatial phase shifting | |
JP2006284303A (ja) | 傾斜測定干渉計装置 | |
Millerd | A fringe career | |
Patorski | Moiré methods in interferometry | |
JP2805045B2 (ja) | 空間位置決め方法 | |
JP3634327B2 (ja) | 光波長分散空間干渉断層画像化装置 | |
RU2085843C1 (ru) | Оптический профилометр | |
JP2011021991A (ja) | 分光立体形状測定装置及び分光立体形状測定方法 | |
JPH10142078A (ja) | 非接触温度測定装置 | |
SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |