RU2255306C2 - Интерферометр - Google Patents

Интерферометр Download PDF

Info

Publication number
RU2255306C2
RU2255306C2 RU2002107179/28A RU2002107179A RU2255306C2 RU 2255306 C2 RU2255306 C2 RU 2255306C2 RU 2002107179/28 A RU2002107179/28 A RU 2002107179/28A RU 2002107179 A RU2002107179 A RU 2002107179A RU 2255306 C2 RU2255306 C2 RU 2255306C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
interferometer
mirrors
interference field
photodetector
beam splitter
Prior art date
Application number
RU2002107179/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2002107179A (ru
Inventor
А.А. Иваненко (RU)
А.А. Иваненко
А.М. Сысоев (RU)
А.М. Сысоев
Н.П. Шестаков (RU)
Н.П. Шестаков
Original Assignee
Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН filed Critical Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН
Priority to RU2002107179/28A priority Critical patent/RU2255306C2/ru
Publication of RU2002107179A publication Critical patent/RU2002107179A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2255306C2 publication Critical patent/RU2255306C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Интерферометр содержит светоделитель и два зеркала. Также содержит фотоприемник, чувствительный к пространственному распределению интерференционного поля, образованного встречными световыми потоками, и расположенный между зеркалами на равноудаленном расстоянии. Технический результат - прямое измерение пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков. 2 ил.

Description

Изобретение относится к голографии, спектроскопии Фурье, интерферометрии, оптоэлектронике и предназначено для электронного измерения пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Известен интерферометр Майкельсона, содержащий светоделитель и два зеркала. М.Борн, Э.Вольф. Основы оптики. М.: Наука. Главная редакция физико-математической литературы, 1973, с.278-280.
Однако в этом интерферометре не возможны прямые измерения пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Известен интерферометр Хун-Цингера содержащий светоделитель и два зеркала. Ю.В.Коломийцов. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976, с.268-270.
Это устройство является прототипом изобретения.
Однако в этом интерферометре не возможны прямые измерения пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Техническим результатом изобретения является прямое измерение пространственного распределения амплитуд и фаз интерференционного поля встречных световых потоков.
Техническим результат достигается тем, что в интерферометре, содержащем, светоделитель и два зеркала, новым является то, что он содержит фотоприемник, чувствительный к пространственному распределению интерференционного поля, расположенный на пути встречных световых пучков между зеркалами.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлена схема интерферометра: 1 - светоделитель; 2, 3 - зеркала; 4 - фотоприемник, чувствительный к распределению интерференционного поля. На фиг.2 представлен пример выполнения интерферометра: 1 - светоделитель; 2, 3 - зеркала; 4 - фотоприемник, чувствительный к распределению интерференционного поля, 5 - лазерный или точечный источник света, 6 - коллиматор.
Интерферометр работает следующим образом.
Световой поток S0 делится светоделителем 1 на два пучка, направленных под прямым углом друг к другу. Отразившись от зеркал 2, 3, световые потоки S1 и S2 направляются навстречу друг к другу и проходят через фотоприемник 4 параллельно нормали плоскости интерференционно-чувствительного элемента. Световые потоки в интерферометре двигаются навстречу друг другу по периметру прямоугольного треугольника. Фотоприемник 4 расположен на равноудаленном оптическом расстоянии от зеркал 2, 3 и светоделителя.
Пример выполнения интерферометра.
Оптическая схема, на которой демонстрируется работа интерферометра, представлена на фиг.2. Выходной пучок лазерного или точечного источника 5 преобразуется коллиматором 6 в параллельный пучок S0, который делится светоделителем 1 на два пучка S1 и S2, направленных под прямым углом друг к другу. Отразившись от зеркал 2, 3, световые потоки S1 и S2 направляются навстречу друг к другу и проходят через фотоприемник 4 параллельно нормали плоскости интерференционно-чувствительного элемента. Световые потоки в интерферометре двигаются навстречу друг другу, образуя прямоугольный треугольник. Фотоприемник 4, чувствительный к распределению интерференционного поля, располагается на равноудаленном оптическом расстоянии от зеркал 2, 3 и светоделителя. Фотоприемник 4 регистрирует распределение интерференционного поля в месте своего расположения. Положение фотоприемника в пространстве может быть фиксировано, а может равномерно меняться путем перемещения параллельно ходу световых пучков с помощью позиционера. В качестве фотоприемника может использоваться двух- или трехмерный матричный, квадратурный, точечный или другой интерференционно-чувствительный фотоприемник - Заявки на изобретения: №2001131679/20(033830), №2002102016, №2002103558.
Интерферометр может быть использован для измерения линейных перемещений, электронной записи и считывания голографических изображений, других физических величин, связанных со сдвигом интерференционных полос, например, в качестве Фурье-спектрометра.

Claims (1)

  1. Интерферометр, содержащий светоделитель и два зеркала, отличающийся тем, что содержит фотоприемник, чувствительный к пространственному распределению интерференционного поля, образованного встречными световыми потоками, и расположенный между зеркалами на равноудаленном расстоянии.
RU2002107179/28A 2002-03-20 2002-03-20 Интерферометр RU2255306C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002107179/28A RU2255306C2 (ru) 2002-03-20 2002-03-20 Интерферометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002107179/28A RU2255306C2 (ru) 2002-03-20 2002-03-20 Интерферометр

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002107179A RU2002107179A (ru) 2003-11-27
RU2255306C2 true RU2255306C2 (ru) 2005-06-27

Family

ID=35836900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002107179/28A RU2255306C2 (ru) 2002-03-20 2002-03-20 Интерферометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2255306C2 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3568297B2 (ja) 回折光学素子を用いて表面形状を測定する方法および装置
US20160282103A1 (en) Heterodyne spectrally controlled interferometry
US20180306575A1 (en) Radius-of-curvature measurement by spectrally-controlled interferometry
US5995224A (en) Full-field geometrically-desensitized interferometer employing diffractive and conventional optics
KR20130089191A (ko) 위치 측정 장치와 복수의 위치 측정 장치를 구비하는 시스템
CN103115583B (zh) 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置
Wu et al. A novel design for fiber optic interferometric fringe projection phase-shifting 3-D profilometry
US20180149468A1 (en) True heterodyne spectrally controlled interferometry
Maack et al. Three-coordinate measurement of an object surface with a combined two-wavelength and two-source phase-shifting speckle interferometer
RU2255306C2 (ru) Интерферометр
JP2873962B1 (ja) 白色光のヘテロダイン干渉法
JP3714853B2 (ja) 位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法
Rana et al. Automated collimation testing in Lau interferometry using phase shifting technique
US20210088321A1 (en) Interferometer with multiple wavelength sources of different coherence lengths
Bhattacharya Measurement of parallelism of the surfaces of a transparent sample
JP2006284303A (ja) 傾斜測定干渉計装置
US3419331A (en) Single and double beam interferometer means
Bhaduri et al. Digital speckle pattern interferometry (DSPI) with increased sensitivity: Use of spatial phase shifting
Millerd A fringe career
Patorski Moiré methods in interferometry
JP2805045B2 (ja) 空間位置決め方法
RU2085843C1 (ru) Оптический профилометр
JP2011021991A (ja) 分光立体形状測定装置及び分光立体形状測定方法
JP3634327B2 (ja) 光波長分散空間干渉断層画像化装置
SU1413415A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees