RU2105265C1 - Method of determination of geometric parameters of part and device for its implementation - Google Patents

Method of determination of geometric parameters of part and device for its implementation Download PDF

Info

Publication number
RU2105265C1
RU2105265C1 RU94013395A RU94013395A RU2105265C1 RU 2105265 C1 RU2105265 C1 RU 2105265C1 RU 94013395 A RU94013395 A RU 94013395A RU 94013395 A RU94013395 A RU 94013395A RU 2105265 C1 RU2105265 C1 RU 2105265C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
light
plane
image
geometric parameters
parameters
Prior art date
Application number
RU94013395A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU94013395A (en
Inventor
В.Д. Вермель
В.П. Кулеш
С.Д. Фонов
М.М. Шапиро
Ю.Н. Игнатов
В.А. Сухнев
С.А. Королев
Б.Ф. Антипов
А.А. Конышев
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "АЭРОКОН"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "АЭРОКОН" filed Critical Закрытое акционерное общество "АЭРОКОН"
Priority to RU94013395A priority Critical patent/RU2105265C1/en
Publication of RU94013395A publication Critical patent/RU94013395A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2105265C1 publication Critical patent/RU2105265C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: measurement technology, optical measurement aids. SUBSTANCE: at least two light planes 2 and 2 illuminating examined part 1 in specified section are formed, geometric parameters of image of traces 3.3 of mentioned planes on various sections of surface 7 of part are observed , recorded and used to determine geometric parameters of these sections of surface. Collimated light beam is formed and used to illuminate part 1 in direction perpendicular to specified section, geometric parameters of shadow image of part are observed and recorded. Geometric parameters of relative positions of sections of surface of part are found by results of their analysis. Device for implementation of method has computer ensuring control and processing of results. EFFECT: increased authenticity and efficiency of method and device. 7 cl, 7 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам определения геометрических параметров объектов и оптическим устройствам для осуществления этих способов. Изобретение может быть использовано в машиностроении для бесконтактного контроля правильности изготовления деталей со сложной геометрией поверхности. The invention relates to measuring equipment, and in particular to methods for determining the geometric parameters of objects and optical devices for implementing these methods. The invention can be used in mechanical engineering for contactless control of the correctness of the manufacture of parts with complex surface geometry.

Известны оптические способы и устройства для бесконтактного контроля формы деталей, основанных на принципах стереозрения, лазерной дальнометрии, с использованием структурированного подсвета [1]. Known optical methods and devices for contactless control of the shape of parts based on the principles of stereo vision, laser ranging, using structured illumination [1].

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ определения формы детали, прототипа использующий структурированный подсвет исследуемой детали, при котором формируют световую плоскость, освещающую под заданным углом участок поверхности исследуемой детали в заданном сечении и, регистрируя изображение следа световой плоскости на поверхности детали с двух направлений, симметричных относительно световой плоскости, определяют геометрические параметры участка поверхности детали путем анализа этого изображения [2]. The closest technical solution to the invention is a method for determining the shape of a part, prototype using structured illumination of the investigated part, in which a light plane is formed illuminating at a given angle a surface section of the investigated part in a given section and registering the image of the light plane trace on the surface of the part from two directions, symmetrical with respect to the light plane, determine the geometric parameters of the surface area of the part by analyzing this image [2].

Известно также устройство для осуществления этого способа, содержащее щелевой проектор и два телевизионных регистратора изображения, расположенных симметрично относительно луча щелевого проектора под заданным углом [2]. A device for implementing this method is also known, comprising a slit projector and two television image recorders arranged symmetrically with respect to the beam of the slit projector at a given angle [2].

Основным недостатком этого способа и такого устройства является то, что при таких измерениях не представляется возможным по видеоинформации, получаемой с участка поверхности исследуемой детали непосредственно, контролировать геометрические параметры сечения детали сложной формы и измерять координаты его точек. The main disadvantage of this method and such a device is that with such measurements it is not possible to directly control the geometric parameters of the section of the part of complex shape and measure the coordinates of its points from the video information obtained from the surface area of the investigated part.

Технической задачей изобретения является создание такого способа определения геометрических параметров детали, который обеспечивал бы получение информации в цифровом виде по сечению поверхности исследуемой детали, позволяющей контролировать геометрические параметры этого сечения (отклонение от эталона) и определять координаты точек сечения: а также создать такое устройство для осуществления этого способа, которое обеспечивало бы указанные требования. An object of the invention is the creation of such a method for determining the geometric parameters of a part, which would provide digital information on the cross-section of the surface of the investigated part, allowing you to control the geometric parameters of this section (deviation from the standard) and determine the coordinates of the points of the section: and also create such a device for this method, which would provide these requirements.

Сущность способа заключается в том, что в известном способе определения геометрических параметров детали, при котором формируют световую плоскость, освещают ею под заданным углом участок поверхности детали в заданном сечении, наблюдают изображение следа световой плоскости на поверхности детали под углом к световой плоскости, регистрируют геометрические параметры этого изображения, по которым определяют с учетом углов освещения и наблюдения геометрические параметры участка поверхности детали, согласно изобретению, одновременно формируют по меньшей мере еще одну дополнительную световую плоскость, освещают ею другой участок поверхности детали в том же сечении, наблюдают изображение следа световой плоскости и поверхности детали под углом к дополнительной световой плоскости и регистрируют геометрические параметры этого изображения, по которым определяют геометрические параметры второго участка поверхности детали, кроме того, формируют коллимированный пучок лучей света, освещают им деталь на по меньшей мере двух из упомянутых участках поверхности одновременно в направлении, перпендикулярном заданному сечению, наблюдают теневое изображение детали, регистрируют геометрические параметры его контура, выделяют на этом контуре и на упомянутых изображениях следов световых плоскостей координаты идентичных точек поверхности, по взаимным соотношениям координат этих точек на разных изображениях определяют геометрические параметры взаимного расположения упомянутых участков поверхности детали. The essence of the method lies in the fact that in the known method for determining the geometrical parameters of a part, in which a light plane is formed, it illuminates at a given angle a part of the surface of a part in a given section, an image of a trace of the light plane on the surface of the part is observed at an angle to the light plane, geometric parameters are recorded of this image, which determine, taking into account the angles of illumination and observation, the geometric parameters of the surface area of the part, according to the invention, simultaneously at least one additional additional light plane is illuminated, it illuminates another part of the surface of the part in the same section, an image of the trace of the light plane and surface of the part is observed at an angle to the additional light plane, and the geometric parameters of this image are recorded, which determine the geometric parameters of the second surface parts, in addition, form a collimated beam of light rays, illuminate the part on at least two of these surface areas simultaneously in n a direction perpendicular to a given section, a shadow image of the part is observed, the geometric parameters of its contour are recorded, the coordinates of identical surface points are identified on this contour and on the mentioned images of light plane traces, the geometric parameters of the relative position of the said surface sections are determined by the mutual relations of the coordinates of these points on different images the details.

Это позволяет получать полную информацию о геометрии поверхности сечения исследуемой детали и определять координаты взаимного расположения точек сечения, не наблюдаемых с одного направления. This allows you to obtain complete information about the geometry of the cross-sectional surface of the investigated part and determine the coordinates of the relative positions of the cross-section points not observed from one direction.

В тех случаях, когда на теневом изображении не представляется возможным выделить необходимые идентичные точки с точками на изображениях следов световых плоскостей, например, из-за затенения и выступающими участками поверхности, предложено в область пересечения по меньшей мере двух из упомянутых световых плоскостей и коллимированного пучка лучей света поместить дополнительный объект, одновременно с регистрацией геометрических параметров следов световых плоскостей и контура теневого изображения детали регистрировать геометрические параметры изображений следов световых плоскостей и контура теневого изображения дополнительного объекта, выделять на этом контуре и на упомянутых изображениях следов световых плоскостей координаты идентичных точек поверхности дополнительного объекта, и по взаимным соотношениям координат этих точек на разных изображениях определять геометрические параметры взаимного расположения упомянутых участков поверхности детали. In cases where it is not possible to identify necessary identical points with points on the images of traces of light planes in a shadow image, for example, due to shading and protruding surface areas, it is proposed that at least two of the mentioned light planes and a collimated beam of rays intersect light place an additional object, simultaneously with the registration of the geometric parameters of the traces of light planes and the contour of the shadow image of the detail register geometric parameters of images of traces of light planes and a contour of a shadow image of an additional object; on this contour and on the mentioned images of traces of light planes, select the coordinates of identical points on the surface of the additional object, and determine the geometric parameters of the relative positions of the said parts of the surface of the part from the mutual relations of the coordinates of these points on different images.

Это обеспечивает геометрическую привязку точек разных контролируемых участков поверхности детали со сложным рельефом в тех случаях, когда форма детали не позволяет выделить на полученном контуре теневого изображения точки, идентичные точкам на изображении следов световых плоскостей на поверхности детали. Кроме того, дополнительный объект, если его характерные геометрические параметры известны, может служить средством оперативного метрологического контроля процесса измерений. This provides a geo-referenced point of different controlled parts of the surface of the part with complex relief in those cases where the shape of the part does not allow to identify points on the resulting shadow image contour that are identical to the points in the image of traces of light planes on the surface of the part. In addition, an additional object, if its characteristic geometric parameters are known, can serve as a means of operational metrological control of the measurement process.

Целесообразно сканировать деталь световыми плоскостями по заданным сечениям детали, регистрировать координаты сканирования, в каждом сечении определять геометрические параметры участков поверхности детали, выделять координаты идентичных точек и по взаимным соотношениям координат этих точек в различных заданных сечениях определять геометрические параметры взаимного расположения участков поверхности в разных сечениях. It is advisable to scan the part with light planes for the given sections of the part, register the coordinates of the scan, in each section determine the geometric parameters of the parts of the surface of the part, select the coordinates of identical points and determine the geometric parameters of the relative position of the surface sections in different sections from the mutual ratios of the coordinates of these points in different given sections.

Это позволяет получать полную информацию о форме поверхности исследуемой детали и определять координаты точек поверхности детали. This allows you to obtain complete information about the surface shape of the investigated part and determine the coordinates of the points of the surface of the part.

Указанная задача изобретения решается также тем, что в устройство для осуществления предложенного способа, включающее щелевой проектор, объектив и устройство регистрации параметров изображения, согласно изобретению, дополнительно введены по меньшей мере, один дополнительный щелевой проектор, расположенный в одной плоскости с исходным щелевым проектором, по меньшей мере один дополнительный объектив, расположенный своей осью под заданным углом к плоскости расположения щелевых проекторов, и по меньшей мере одно дополнительное устройство регистрации параметров изображения, расположенное в плоскости изображения дополнительного объектива, кроме того, дополнительно введены установленные последовательно на оси, перпендикулярной плоскости расположения щелевых проекторов, источник света, коллиматор пучка лучей света, преобразующая оптическая система, еще одно устройство регистрации параметров изображения, а также запоминающее устройство, соединенное с упомянутыми устройствами регистрации параметров изображения, и вычислительное устройство, соединенное с запоминающим устройством. The specified objective of the invention is also solved by the fact that in the device for implementing the proposed method, including a slit projector, a lens and a device for recording image parameters, according to the invention, at least one additional slit projector located in one plane with the original slit projector at least one additional lens located with its axis at a predetermined angle to the plane of location of the slit projectors, and at least one additional device in the registration of image parameters, located in the image plane of the additional lens, in addition, additionally installed sequentially on the axis perpendicular to the plane of location of the slit projectors, a light source, a beam of light beams collimator, a converting optical system, another device for recording image parameters, as well as a storage device a device connected to said image parameter recording devices, and a computing device connected to storing them device.

Такое устройство позволяет получать информацию о геометрии поверхности сечения исследуемой детали в цифровом виде. Such a device allows to obtain information about the geometry of the cross-sectional surface of the investigated part in digital form.

Устройство может дополнительно содержать устройство сканирования плоскости заданного сечения по поверхности детали, устройство регистрации координат сканирования и устройство управления, соединенное с устройством сканирования и устройством регистрации координат сканирования, при этом вычислительное устройство подключается к устройству регистрации координат сканирования и устройству управления. The device may further comprise a device for scanning a plane of a given section over the surface of the part, a device for recording scanning coordinates and a control device connected to a scanning device and a device for recording scanning coordinates, while the computing device is connected to a device for recording scanning coordinates and a control device.

Такое устройство позволяет оперативно контролировать различные сечения исследуемой детали и получать полную информацию о геометрии детали в целом. Such a device allows you to quickly control various sections of the investigated part and obtain complete information about the geometry of the part as a whole.

Целесообразно, чтобы устройство сканирования плоскости заданного сечения по поверхности детали было выполнено в виде захвата детали, имеющего ось вращения и привод, а устройство регистрации координат сканирования выполнено в виде датчика угла поворота, механически связанного с упомянутым захватом детали, при этом ось вращения установления в заданном сечении параллельно оси щелевых проекторов, так, чтобы их щели были ориентированы параллельно радиусу. It is advisable that the device for scanning a plane of a given section over the surface of the part was made in the form of a capture of a part having a rotation axis and a drive, and the device for recording scanning coordinates is made in the form of a rotation angle sensor mechanically associated with the said capture of a part, while the axis of rotation of the set section parallel to the axis of the slit projectors, so that their slots are oriented parallel to the radius.

Такое устройство позволяет обеспечить оптимальную траекторию сканирования для осесимметричных деталей. Such a device allows for an optimal scanning path for axisymmetric parts.

Целесообразно, чтобы щелевой проектор включал проекционный объектив, щель и импульсную лампу трубчатого типа с отражателем, синхронизированную с устройством регистрации параметров изображения. It is advisable that the slit projector includes a projection lens, a slit, and a tube-type flash lamp with a reflector synchronized with the image parameter recording device.

Такое устройство проектора позволяет наилучшим образом использовать энергию излучения в момент регистрации параметров изображения. Such a projector device allows the best use of radiation energy at the time of recording image parameters.

Щелевой проектор может быть выполнен в виде лазера и установленной на его выходе оптической системы, включающей цилиндрические линзы. The slit projector can be made in the form of a laser and an optical system installed at its output, including cylindrical lenses.

Это позволяет получить оптимальную толщину световой плоскости и максимально использовать энергию источника света. This allows you to get the optimal thickness of the light plane and maximize the use of the energy of the light source.

На фиг. 1 дано схематичное изображение положения световых пучков и плоскостей регистрации относительно исследуемой детали, согласно заявляемому способу; на фиг. 2 - способ определения геометрических параметров детали с использованием дополнительного объекта; на фиг. 3 - схема одного из возможных вариантов предлагаемого устройства; на фиг. 4 - схема одного из вариантов предлагаемого устройства с использованием сканирования плоскости сечения по поверхности детали; на фиг. 5 - схема одного из примеров конкретного выполнения предлагаемого устройства, содержащего устройство сканирования в виде захвата исследуемой детали; на фиг. 6 - схема возможного устройства щелевого проектора; на фиг. 7 - схема одного из возможных вариантов щелевого проектора, выполненного в виде лазера и системы цилиндрических линз. In FIG. 1 is a schematic representation of the position of light beams and registration planes relative to the investigated part, according to the claimed method; in FIG. 2 - a method for determining the geometric parameters of a part using an additional object; in FIG. 3 is a diagram of one of the possible options for the proposed device; in FIG. 4 is a diagram of one of the variants of the proposed device using a scan of the section plane along the surface of the part; in FIG. 5 is a diagram of one example of a specific implementation of the proposed device containing a scanning device in the form of a capture of the investigated part; in FIG. 6 is a diagram of a possible device for a slit projector; in FIG. 7 is a diagram of one of the possible options for a slit projector made in the form of a laser and a system of cylindrical lenses.

Возможный вариант способа определения геометрических параметров детали осуществляется следующим образом. Участок поверхности исследуемой детали 1 (фиг. 1) в заданном сечении освещается световой плоскостью 2, которая образует световой след 3 на поверхности детали. Такие световые плоскости 2' могут освещать деталь с нескольких направлений в плоскости заданного сечения, образуя световые следы 3' на разных участках поверхности. Изображения следов световых плоскостей 3 и 3' формируются в некоторых плоскостях регистрации 4 и 4', нормали к которым расположены под заданным углом α к указанным световым плоскостям. В плоскостях регистрации 4 и 4' геометрические параметры изображения следов световых плоскостей регистрируются одним из известных способов, например, кино- , фоторегистрации или телевизионной видеозаписи. По геометрическим параметрам зарегистрированного изображения 4 или 4' с учетом угла α можно определить геометрию рассматриваемого участка поверхности детали. Кроме того, исследуемая деталь освещается коллимированным пучком лучей 5, который должен быть перпендикулярен заданному сечению и проходить через участки поверхности, освещаемые световыми плоскостями 2 и 2'. Тогда на теневом изображении детали в плоскости 6 можно выделить точки, идентичные точкам на изображениях следов световых плоскостей на плоскостях 4 или 4'. Например, на фиг. 1 такими точками соответственно являются точки 7 и 7', а также 8 и 8', 9 и 9'. По взаимным соотношениям координат этих точек на изображении 6 и координат соответствующих точек световых следов можно определять геометрические параметры взаимного расположения всех точек различных участков поверхности детали в заданном сечении. A possible variant of the method for determining the geometric parameters of the part is as follows. The surface area of the investigated part 1 (Fig. 1) in a given section is illuminated by a light plane 2, which forms a light trail 3 on the surface of the part. Such light planes 2 'can illuminate the part from several directions in the plane of a given section, forming light traces 3' in different parts of the surface. Images of traces of light planes 3 and 3 'are formed in some registration planes 4 and 4', the normals of which are located at a given angle α to the indicated light planes. In the registration planes 4 and 4 ', the geometric image parameters of traces of light planes are recorded by one of the known methods, for example, film, photo registration or television video recording. From the geometric parameters of the recorded image 4 or 4 ', taking into account the angle α, it is possible to determine the geometry of the considered part of the surface of the part. In addition, the test piece is illuminated by a collimated beam of rays 5, which should be perpendicular to a given cross section and pass through surface areas illuminated by light planes 2 and 2 '. Then, on the shadow image of the part in plane 6, points can be distinguished that are identical to the points in the images of traces of light planes on planes 4 or 4 '. For example, in FIG. 1 such points are respectively points 7 and 7 ', as well as 8 and 8', 9 and 9 '. By the mutual relations of the coordinates of these points in image 6 and the coordinates of the corresponding points of light trails, it is possible to determine the geometric parameters of the mutual arrangement of all points of different parts of the surface of the part in a given section.

Технический эффект изобретения состоит в следующем. В способе определения геометрических параметров детали, выбранном в качестве прототипа, контролируется геометрия только одного участка поверхности детали, освещаемого световой плоскостью, но не определяются параметры ее толщины. Предложенный способ позволяет определять геометрию любого участка поверхности контролируемой детали в заданном сечении, а также определять координаты взаимного расположения этих участков, например, толщину детали в любом месте ее сечения. Таким образом, способ позволяет получать более полную информацию о геометрических параметрах сечения исследуемой детали. The technical effect of the invention is as follows. In the method for determining the geometric parameters of the part selected as a prototype, the geometry of only one part of the surface of the part illuminated by the light plane is controlled, but the parameters of its thickness are not determined. The proposed method allows to determine the geometry of any part of the surface of the controlled part in a given section, as well as to determine the coordinates of the relative positions of these sections, for example, the thickness of the part at any place in its section. Thus, the method allows to obtain more complete information about the geometric parameters of the cross section of the investigated part.

В ряде случаев на детали сложной формы выступающие участки поверхности не позволяет получить теневое изображение, на котором можно было бы выделить точки присутствующие одновременно и на обоих изображениях следов световых плоскостей. Тогда целесообразно в область пересечения всех световых плоскостей, освещающих исследуемую деталь, и коллимированного пучка лучей света поместить дополнительный объект 10, на котором можно выделить идентичные точки (фиг. 2). Тогда, регистрируя одновременно геометрические параметры изображений следов световых плоскостей и теневого изображения детали и дополнительного объекта, возможно по взаимным соотношениям координат точек на различных изображениях дополнительного объекта установить параметры взаимного расположения различных участков исследуемой детали. In some cases, protruding surface sections on parts of complex shape do not allow obtaining a shadow image, on which points could be distinguished that are present simultaneously on both images of traces of light planes. Then it is advisable to place an additional object 10, on which identical points can be distinguished (Fig. 2), in the intersection of all the light planes illuminating the part under study and the collimated beam of light rays. Then, registering at the same time the geometric parameters of the images of traces of light planes and the shadow image of the part and the additional object, it is possible to establish the relative positions of the various sections of the investigated part from the mutual relations of the coordinates of the points on different images of the additional object.

Если к тому же геометрические параметры дополнительного объекта известны, то, определяя координаты точек изображений следов световых плоскостей на поверхности дополнительного объекта и, сопоставляя их с известными параметрами, можно производить оперативный метрологический контроль процесса измерения. If, in addition, the geometric parameters of the additional object are known, then by determining the coordinates of the image points of traces of light planes on the surface of the additional object and comparing them with the known parameters, it is possible to perform operational metrological control of the measurement process.

Таким образом, расширяется диапазон возможных конфигураций исследуемых деталей и повышается метрологический уровень измерений. Thus, the range of possible configurations of the investigated parts is expanded and the metrological level of measurements is increased.

Если исследуемую деталь сканировать световыми плоскостями по заданным сечениям и регистрировать координаты сканирования, можно определять геометрические параметры всей детали. If the part under investigation is scanned with light planes at given sections and the scan coordinates are recorded, the geometric parameters of the entire part can be determined.

Технический эффект изобретения состоит в следующем. Информации, получаемой при контроле детали в одном сечении не всегда достаточно для того, чтобы полностью определить ее форму. Кроме того, возможен случай, когда неправильная установка детали относительно световых плоскостей может привести к тому, что деталь будет контролировать в другом сечении, нежели требуется. Сканирование детали световыми плоскостями по различным сечениям позволяет получать информацию о форме поверхности детали в целом и установить координаты точек на всей поверхности детали. Это дает не только более полную информацию об исследуемой детали, но и позволяет снизить погрешность от возможной неправильной установки детали, что также повышает метрологический уровень измерений. The technical effect of the invention is as follows. The information obtained during the inspection of a part in one section is not always sufficient to fully determine its shape. In addition, there may be a case where improper installation of the part relative to the light planes can lead to the fact that the part will be controlled in a different section than required. Scanning a part by light planes at various sections allows you to obtain information about the shape of the surface of the part as a whole and establish the coordinates of points on the entire surface of the part. This gives not only more complete information about the part under study, but also allows to reduce the error from the possible incorrect installation of the part, which also increases the metrological level of measurements.

На фиг. 3 изображена схема возможного варианта конкретного выполнения предложенного устройства. На схеме показаны: контролируемая деталь 1, световые плоскости 2, следы световых плоскостей на поверхности детали 3, щелевые проекторы 11, объективы 12, устройства регистрации параметров изображения 13, коллиматор 14, устройство регистрации параметров изображения 15, преобразующая оптическая система 16, запоминающее устройство 17 и вычислительное устройство 18. In FIG. 3 shows a diagram of a possible embodiment of a particular embodiment of the proposed device. The diagram shows: a controlled part 1, light planes 2, traces of light planes on the surface of a part 3, slotted projectors 11, lenses 12, image parameter recording devices 13, a collimator 14, image parameter recording devices 15, a converting optical system 16, a storage device 17 and computing device 18.

Устройство работает следующим образом. Исследуемая деталь 1 освещается с различных сторон в плоскости заданного сечения световыми плоскостями 2, создаваемыми щелевыми проекторами 11. Изображения следов 3 световых плоскостей на поверхности детали формируются посредством объективов 12, оси которых расположены под заданными углами α к плоскости расположения щелевых проекторов, в плоскостях анализа устройств 13 регистрации параметров изображения (в качестве таких устройств могут быть использованы, например, телевизионные камеры или матричные фотоприемники). Кроме того, исследуемая деталь освещается коллимированным пучком света при помощи коллиматора 14, ось которого перпендикулярна плоскости расположения щелевых проекторов. Теневое изображение детали формируется в плоскости анализа еще одного устройства регистрации параметров изображения 15 при помощи преобразующей оптической системы 16, расположенной соосно коллиматору 14. Электрические сигналы с устройств регистрации параметров изображения 13, 15, несущие информацию о геометрических параметрах изображений следов световых плоскостей на различных участках поверхности детали 1 в плоскости заданного сечения и ее теневого изображения, поступают в запоминающее устройство 17, подключенное к вычислительному устройству 18, которое производит обработку информации. Устройствами для регистрации изображений 13, 15 могут служить кино- и фотокамеры, а также телевизионные видеокамеры или матричные фотоприемники, соединенные либо с видеозаписывающей аппаратурой 17, либо с электронной системой 17 непосредственной оцифровки видеоизображений, связанной с вычислительным устройством 18. Первичная обработка информации заключается в установлении связи между изображениями следов световых плоскостей на различных участках поверхности детали в плоскости заданного сечения (определение координат точек изображения), а вторичная обработка обеспечивает определение геометрических параметров детали в заданном сечении. Вычисляются также отклонения измеренных параметров от номинальных, хранящихся в виде цифровой математической модели сечения детали в памяти вычислительного устройства. The device operates as follows. The investigated part 1 is illuminated from different sides in the plane of the given section by the light planes 2 created by the slit projectors 11. Images of traces of 3 light planes on the surface of the part are formed by lenses 12, the axes of which are located at given angles α to the plane of the location of the slit projectors, in the device analysis planes 13 registration of image parameters (for example, television cameras or photodetector arrays can be used as such devices). In addition, the test piece is illuminated by a collimated beam of light using a collimator 14, the axis of which is perpendicular to the plane of location of the slit projectors. A shadow image of the part is formed in the analysis plane of another image parameter recording device 15 using a converting optical system 16 located coaxially to the collimator 14. Electrical signals from image parameter recording devices 13, 15, carrying information about the geometric image parameters of traces of light planes on different parts of the surface details 1 in the plane of a given section and its shadow image are fed to a storage device 17 connected to a computing device oystvu 18 which processes the information. The devices for recording images 13, 15 can serve as film and photo cameras, as well as television video cameras or photodetector arrays connected either to video recording equipment 17 or to an electronic system 17 for directly digitizing video images associated with computing device 18. The primary processing of information is to establish the relationship between the images of traces of light planes on different parts of the surface of the part in the plane of a given section (determination of the coordinates of the image points) , and secondary processing provides the determination of the geometric parameters of the part in a given section. Deviations of the measured parameters from the nominal, stored in the form of a digital mathematical model of the section of the part in the memory of the computing device, are also calculated.

Технический эффект изобретения состоит в том, что предложенное устройство по сравнению с устройством-прототипом обладает расширенными возможностями: возможностью определения геометрических параметров не только отдельно взятого участка поверхности исследуемой детали, но и получения информации в цифровом виде по всем сечениям и поверхности детали, а также измерения параметров толщины детали в сечениях. The technical effect of the invention lies in the fact that the proposed device in comparison with the prototype device has advanced capabilities: the ability to determine the geometric parameters of not only a single surface area of the investigated part, but also to obtain information in digital form over all sections and surface of the part, as well as measurements parameters of the thickness of the part in sections.

На фиг. 4 изображена схема другого примера конкретного выполнения предложенного устройства. На схеме показаны: контролируемая деталь 1, световые плоскости 2, следы световых плоскостей на поверхности детали 3, щелевые проекторы 11, объективы 12, устройства регистрации параметров изображения 13, коллиматор 14, устройство регистрации параметров изображения 15, преобразующая оптическая система 16, запоминающее устройство 17, вычислительное устройство 18, устройство сканирования 19 плоскости заданного сечения по поверхности детали устройство регистрации 20 координат сканирования и устройство управления 21. In FIG. 4 shows a diagram of another example of a specific implementation of the proposed device. The diagram shows: a controlled part 1, light planes 2, traces of light planes on the surface of a part 3, slotted projectors 11, lenses 12, image parameter recording devices 13, a collimator 14, image parameter recording devices 15, a converting optical system 16, a storage device 17 , a computing device 18, a scanning device 19 of a plane of a given section on the surface of the part, a scanning coordinate recording device 20 and a control device 21.

Устройство в таком варианте работает следующим образом. Исследуемая деталь 1 освещается с различных сторон в плоскости заданного сечения световыми плоскостями 2, создаваемыми щелевыми проекторами 11. Следы 3 световых плоскостей на поверхности детали изображаются посредством объективов 12, оси которых расположены под заданными углами α к плоскости расположения щелевых проекторов, в плоскости анализа устройств 13 регистрации параметров изображения. Кроме того, исследуемая деталь освещается коллимированным пучком света при помощи коллиматора 14, ось которого перпендикулярна плоскости расположения щелевых проекторов. Теневое изображение детали формируется в плоскости анализа еще одного устройства регистрации параметров изображения 15 при помощи преобразующей оптической системы 16, расположенной соосно коллиматору 14. Электрические сигналы с устройств регистрации параметров изображения 13, 15 несущие информацию о геометрических параметрах изображений следов световых плоскостей на различных участках поверхности детали 1 в плоскости заданного сечения и ее теневого изображения, поступают в запоминающее устройство 17, подключенное к вычислительному устройству 18. Устройство 19 сканирования плоскости заданного сечения по поверхности детали осуществляет перемещение детали относительно плоскости расположения щелевых проекторов 11, если размеры детали невелики, либо, если деталь крупногабаритная, перемещаются щелевые проекторы относительно неподвижной детали на заданный шаг сканирования. Информация о взаимном перемещении детали и плоскости расположения щелевых проекторов поступает с устройства регистрации координат сканирования 20 в вычислительное устройство. Вычислительное устройство производит обработку информации, поступающей с устройства 17, определяя геометрические параметры детали в заданном сечении и с устройства 20, связывая воедино результаты измерения в различных сечениях детали и выдает информацию, необходимую для работы управляющего устройства 21, осуществляющего управление устройством сканирования плоскости заданного сечения. The device in this embodiment works as follows. The investigated part 1 is illuminated from different sides in the plane of the given section by the light planes 2 created by the slit projectors 11. Traces of 3 light planes on the surface of the part are represented by lenses 12, the axes of which are located at given angles α to the plane of the location of the slit projectors, in the plane of analysis of devices 13 registration of image parameters. In addition, the test piece is illuminated by a collimated beam of light using a collimator 14, the axis of which is perpendicular to the plane of location of the slit projectors. A shadow image of the part is formed in the analysis plane of another device for recording image parameters 15 using a converting optical system 16 located coaxially to the collimator 14. Electrical signals from image parameter recording devices 13, 15 that carry information about the geometric image parameters of traces of light planes on different parts of the surface of the part 1 in the plane of a given section and its shadow image, enter the storage device 17 connected to the computing device Property 18. The device 19 for scanning a plane of a given section along the surface of the part moves the part relative to the plane of location of the slit projectors 11 if the dimensions of the part are small, or if the part is large, the slit projectors are moved relative to the stationary part by a specified scanning step. Information about the mutual movement of the part and the location plane of the slit projectors comes from the device for recording the coordinates of scanning 20 to the computing device. The computing device processes the information received from the device 17, determining the geometrical parameters of the part in a given section and from the device 20, linking together the measurement results in different sections of the part and provides information necessary for the operation of the control device 21, which controls the scanning device of the plane of a given section.

Вычислительное устройство по результатам измерений может представлять информацию о форме поверхности детали в виде топологии поверхности, а также вычислять отклонения измеренных параметров от номинальных, хранящих в виде цифровой математической модели детали в памяти вычислительного устройства. According to the measurement results, the computing device can present information about the shape of the part’s surface in the form of a surface topology, as well as calculate the deviations of the measured parameters from the nominal, stored in the form of a digital mathematical model of the part in the memory of the computing device.

Технический эффект изобретения заключается в том, что предложенное устройство позволяет получать информацию о форме поверхности детали в целом и определять координаты точек поверхности. The technical effect of the invention lies in the fact that the proposed device allows to obtain information about the surface shape of the part as a whole and to determine the coordinates of surface points.

Дополнительный технический эффект состоит в том, что устройство, позволяя контролировать форму поверхности детали во множестве различных сечений, имеет существенно меньшую погрешность, возникающую от возможной неправильной установки исследуемой детали, чем устройство, осуществляющее контроль только в одном сечении. An additional technical effect is that the device, allowing you to control the shape of the surface of the part in many different sections, has a significantly smaller error arising from the possible incorrect installation of the investigated part than the device that controls only one section.

На фиг. 5 представлена еще одна схема конкретного выполнения предложенного устройства. На схеме показаны: контролируемая деталь 1, световые плоскости 2, следы световых плоскостей на поверхности детали 3, щелевые проекторы 11, объективы 12, устройства регистрации параметров изображения 13, коллиматор 14, устройство регистрации параметров изображения 15, преобразующая оптическая система 16, запоминающее устройство 17, вычислительное устройство 18, устройство управления 21, захват детали 22, содержащий ось вращения 23, привод 24, выполняющий функцию устройства сканирования плоскости заданного сечения по поверхности детали, датчик угла поворота 25. In FIG. 5 shows another diagram of a specific implementation of the proposed device. The diagram shows: a controlled part 1, light planes 2, traces of light planes on the surface of a part 3, slotted projectors 11, lenses 12, image parameter recording devices 13, a collimator 14, image parameter recording devices 15, a converting optical system 16, a storage device 17 , computing device 18, control device 21, gripping a part 22, comprising a rotation axis 23, a drive 24, which performs the function of a device for scanning a plane of a given section along the surface of a part, an angle sensor Orochi 25.

Такое устройство работает следующим образом. Исследуемая деталь 1 освещается с различных сторон в плоскости заданного сечения световыми плоскостями 2, создаваемыми щелевыми проекторами 11. Следы 3 световых плоскостей на поверхности детали изображаются посредством объективов 12, оси которых расположены под заданными углами α к плоскости расположения щелевых проекторов, в плоскости анализа устройства 13 регистрации параметров изображения. Кроме того, исследуемая деталь освещается коллимированным пучком света при помощи коллиматора 14, ось которого перпендикулярна плоскости расположения щелевых проекторов. Теневое изображение детали формируется в плоскости анализа еще одного устройства регистрации параметров изображения 15 при помощи преобразующей оптической системы 16, расположенной соосно коллиматору 14. Электрические сигналы с устройства регистрации параметров изображения 13, 15, несущие информацию о геометрических параметрах изображений следов световых плоскостей на различных участках поверхности детали 1 в плоскости заданного сечения и ее теневого изображения, поступают в запоминающее устройство 18. Устройство сканирования плоскости заданного сечения по поверхности детали, выполненное в виде захвата детали 22, имеющего ось вращения 23 и привод 24, осуществляет поворот детали относительно плоскости расположения щелевых проекторов 11 на заданный угол, причем ось вращения детали установлена в заданном сечении параллельно оси щелевых проекторов, а их щели ориентированы параллельно радиусу детали. Информация о положении детали относительно плоскости расположения щелевых проекторов поступает с датчика угла поворота 25, механически связанного с захватом детали и осуществляющего функцию устройства регистрации координат сканирования, в вычислительное устройство 18. Вычислительное устройство производит обработку информации, поступающей с устройства 17, определяет геометрические параметры детали в заданном сечении и с датчика 25, связывая воедино результаты измерения в различных сечениях детали и выдает информацию, необходимую для работы управляющего устройства 21, осуществляющего управление работой привода 24. Вычислительное устройство по результатам измерений может представлять информацию о форме поверхности детали в виде топологии поверхности, а также вычислять отклонения измеренных параметров от номинальных хранящихся в виде цифровой математической модели детали в памяти вычислительного устройства. Such a device operates as follows. The investigated part 1 is illuminated from different sides in the plane of the given section by the light planes 2 created by the slit projectors 11. Traces of 3 light planes on the surface of the part are represented by lenses 12, the axes of which are located at given angles α to the plane of the location of the slit projectors, in the plane of analysis of the device 13 registration of image parameters. In addition, the test piece is illuminated by a collimated beam of light using a collimator 14, the axis of which is perpendicular to the plane of location of the slit projectors. A shadow image of the part is formed in the analysis plane of another device for recording image parameters 15 using a converting optical system 16 located coaxially to the collimator 14. Electrical signals from the device for recording image parameters 13, 15, carrying information about the geometric image parameters of traces of light planes on different parts of the surface details 1 in the plane of a given section and its shadow image are received in the storage device 18. The plane scanning device a given section on the surface of the part, made in the form of a capture part 22 having an axis of rotation 23 and a drive 24, rotates the part relative to the plane of location of the slit projectors 11 by a predetermined angle, and the axis of rotation of the part is set in a given section parallel to the axis of the slit projectors, and their slots oriented parallel to the radius of the part. Information about the position of the part relative to the plane of location of the slit projectors comes from the angle sensor 25, mechanically associated with the capture of the part and acting as a device for recording the coordinates of scanning, to the computing device 18. The computing device processes the information received from the device 17, determines the geometric parameters of the part in a given section and from the sensor 25, linking together the measurement results in various sections of the part and provides information necessary for p bots control device 21 performing drive control of the work 24. The computing device of the measurements can provide information on the shape of the surface parts in the form of surface topology, and calculate the deviation of the measured from the nominal parameters stored as digital mathematical model of a part in memory of the computing device.

Технический эффект изобретения заключается в следующем. При контроле геометрических параметров осесимметричных деталей чаще всего следует знать геометрию их поверхности в различных диаметральных сечениях. Наиболее рациональное сканирование плоскости заданного сечения по поверхности исследуемой детали в этом случае - вращение детали относительно оси, являющейся осью ее симметрии и лежащей в плоскости заданного сечения. Предложенное устройство обеспечивает указанное требование. The technical effect of the invention is as follows. When controlling the geometric parameters of axisymmetric parts, most often you should know the geometry of their surface in various diametric sections. The most rational scan of the plane of a given section along the surface of the investigated part in this case is the rotation of the part relative to the axis, which is the axis of its symmetry and lying in the plane of the given section. The proposed device provides the specified requirement.

На фиг. 6 изображена схема возможного устройства щелевого проектора. На схеме показаны: световая плоскость 2, след световой плоскости на поверхности детали 3, лампы трубчатого типа 26, щель 27, отражатель 28 и проекционный объектив 29. In FIG. 6 shows a diagram of a possible device for a slit projector. The diagram shows: the light plane 2, the trace of the light plane on the surface of the part 3, a tube-type lamp 26, a slit 27, a reflector 28, and a projection lens 29.

Устройство работает следующим образом. Свет от лампы трубчатого типа 26 освещает узкую щель 27. Для наилучшего использования света лампы позади нее расположен зеркальный отражатель 28. Проекционный объектив 29 изображает щель 27 в виде следа 3 световой плоскости 2 на поверхности детали. Лампа 26 может быть как непрерывного действия, так и импульсная, синхронизированная с устройством регистрации параметров изображения. The device operates as follows. The light from the tube type lamp 26 illuminates the narrow slit 27. For the best use of the lamp light, a mirror reflector 28 is located behind it. The projection lens 29 shows the slit 27 as a trace 3 of the light plane 2 on the surface of the part. Lamp 26 can be either continuous or pulsed, synchronized with a device for recording image parameters.

Технический эффект изобретения заключается в том, что использование лампы трубчатого типа позволяет освещать щель большой протяженности с минимальными потерями энергии, кроме того, если эта лампа импульсная, то синхронизация ее с устройством регистрации изображения позволяет получать максимальный поток излучения в момент регистрации параметров изображения. The technical effect of the invention lies in the fact that the use of a tube-type lamp makes it possible to illuminate a long slit with minimal energy loss, in addition, if this lamp is pulsed, synchronizing it with an image recording device allows to obtain the maximum radiation flux at the time of recording image parameters.

На фиг. 7 изображена схема возможного варианта выполнения щелевого проектора. На схеме показаны: световая плоскость 2, след световой плоскости на поверхности детали 3, лазер 30, фокусирующая система 21 и цилиндрическая линза 32. In FIG. 7 shows a diagram of a possible embodiment of a slit projector. The diagram shows: the light plane 2, the trace of the light plane on the surface of the part 3, the laser 30, the focusing system 21 and the cylindrical lens 32.

Здесь узкий пучок параллельных лучей от лазера 30 проходит двухкомпонентную фокусирующую систему 31, фокусирующую излучение лазера на поверхности детали. Цилиндрическая линза 32, расположенная на выходе фокусирующей системы, "растягивает" свет в одном направлении, формируя световую плоскость 2, образующую световой след в виде тонкой линии 3 на поверхности детали. Here, a narrow beam of parallel beams from the laser 30 passes a two-component focusing system 31 focusing the laser radiation on the surface of the part. A cylindrical lens 32, located at the output of the focusing system, “stretches” the light in one direction, forming a light plane 2, forming a light trail in the form of a thin line 3 on the surface of the part.

Технический эффект изобретения состоит в следующем. Свет от обычных источников света (ламп накаливания, газоразрядных ламп и др.) распространяется в пространстве во всех направлениях, поэтому невозможно при их использовании сформировать направленную световую плоскость без потерь энергии. Формируя при помощи предложенного устройства световую плоскость из узкого направленного пучка лучей лазера добиваемся практически полного использования энергии излучения источника. The technical effect of the invention is as follows. Light from ordinary light sources (incandescent lamps, gas discharge lamps, etc.) propagates in space in all directions, therefore it is impossible to form a directional light plane without energy loss when using them. Forming using the proposed device the light plane from a narrow directional beam of laser beams, we achieve almost full use of the radiation energy of the source.

Дополнительный технический эффект изобретения заключается в том, что высокая монохроматичность используемого лазерного излучения позволяет производить эффективную спектральную фильтрацию при приеме излучения. An additional technical effect of the invention is that the high monochromaticity of the used laser radiation allows efficient spectral filtering when receiving radiation.

Claims (7)

1. Способ определения геометрических параметров детали, согласно которому формируют световую плоскость, освещают под заданным углом участок поверхности исследуемой детали в заданном сечении, получают при этом на нем след световой плоскости, наблюдают изображение следа под углом к световой плоскости, регистрируют геометрические параметры этого изображения, по которым определяют с учетом углов освещения и наблюдения геометрические параметры участка поверхности детали, отличающийся тем, что при формировании основной световой плоскости одновременно формируют по меньшей мере одну дополнительную световую плоскость, освещают ею другой участок поверхности детали в том же сечении, получают при этом на нем след световой плоскости, наблюдают изображение следа дополнительной световой плоскости под углом к дополнительной световой плоскости и регистрируют геометрические параметры этого изображения, по которым определяют геометрические параметры этого участка поверхности детали, формируют коллимированный пучок лучей света, одновременно освещают им по меньшей мере два упомянутых участка поверхности исследуемой детали в направлении, перпендикулярном заданному сечению, наблюдают теневое изображение исследуемой детали, регистрируют геометрические параметры его контура, выделяют на этом контуре и на упомянутых изображениях следов световых плоскостей координаты идентичных точек поверхности и по взаимным соотношениям координат этих точек на разных изображениях определяют геометрические параметры взаимного расположения упомянутых участков поверхности исследуемой детали. 1. A method for determining the geometric parameters of a part, according to which a light plane is formed, a surface section of the investigated part is illuminated at a given angle in a given section, a trace of the light plane is obtained on it, an image of the trace is observed at an angle to the light plane, geometric parameters of this image are recorded, which determine, taking into account the angles of illumination and observation, the geometric parameters of the surface area of the part, characterized in that when forming the main light plane at least one additional light plane is formed at the same time, it illuminates another part of the surface of the part in the same section, it receives a trace of the light plane on it, an image of the trace of the additional light plane is observed at an angle to the additional light plane, and geometric parameters of this image are recorded, which determine the geometric parameters of this part of the surface of the part, form a collimated beam of light rays, at the same time illuminate at least two of these of the surface of the investigated part in the direction perpendicular to the given section, a shadow image of the investigated part is observed, the geometric parameters of its contour are recorded, the coordinates of identical surface points are identified on this contour and on the mentioned images of traces of light planes and determined by the mutual relations of the coordinates of these points on different images geometrical parameters of the relative position of said surface sections of the investigated part. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в область пересечения по меньшей мере двух световых плоскостей и коллимированного пучка лучей света устанавливают дополнительный объект, одновременно с регистрацией геометрических параметров изображений следов световых плоскостей и контура теневого изображения детали регистрируют геометрические параметры изображений следов световых плоскостей и контура теневого изображения дополнительного объекта, выделяют на этом контуре и на упомянутых изображениях следов световых плоскостей координаты идентичных точек поверхности дополнительного объекта и по взаимным соотношениям координат этих точек на разных изображениях определяют геометрические параметры взаимного расположения упомянутых участков поверхности детали. 2. The method according to claim 1, characterized in that an additional object is installed in the intersection of at least two light planes and the collimated beam of light rays, while the geometric parameters of the images of light traces are recorded simultaneously with the registration of the geometric parameters of the images of the traces of light planes and the contour of the shadow image of the part planes and the contour of the shadow image of an additional object, the coordinates of id are distinguished on this contour and on the above images of traces of light planes ntichnyh additional object surface points and mutual relations of these coordinate points in the different images determined mutual position of the geometrical parameters of said portions workpiece surface. 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что исследуемую деталь освещают световыми плоскостями по дополнительным заданным сечениям, в каждом сечении определяют геометрические параметры участков поверхности детали и определяют координаты идентичных точек и по взаимным соотношениям координат этих точек в разных сечениях определяют геометрические параметры взаимного расположения участков поверхности в разных сечениях. 3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the test piece is illuminated with light planes at additional predetermined sections, in each section the geometric parameters of the parts of the surface of the part are determined and the coordinates of identical points are determined and the geometric relationships are determined from the mutual ratios of the coordinates of these points in different sections parameters of the mutual arrangement of surface areas in different sections. 4. Устройство для определения геометрических параметров детали, содержащее щелевой проектор с источником света, два объектива, оптическая ось каждого из которых расположена под углом к плоскости щелевого проектора, а также два устройства регистрации параметров изображения, каждое из которых расположено в плоскости изображения соответствующего объектива, отличающееся тем, что в него введен по меньшей мере один дополнительный щелевой проектор с источником света, расположенный в одной плоскости с исходным щелевым проектором, также введены установленные последовательно на оптической оси, расположенной перпендикулярно оптическим плоскостям щелевых проекторов, источник света, коллиматор пучка лучей света, преобразующая оптическая система и дополнительный регистратор параметров изображения, а также введены устройство управления и последовательно соединенные запоминающее устройство, вычислительное устройство, устройство регистрации координат сканирования, устройство сканирования плоскости заданного сечения по поверхности исследуемой детали, при этом входы запоминающего устройства соединены с выходами всех устройств регистрации параметров изображения, вход и выход устройства управления соединены соответственно с выходом вычислительного устройства и с входом устройства сканирования плоскости заданного сечения по поверхности детали, выходы которого механически связаны с исследуемой деталью и щелевыми проекторами. 4. A device for determining the geometric parameters of the part, containing a slit projector with a light source, two lenses, the optical axis of each of which is located at an angle to the plane of the slit projector, as well as two image parameter recording devices, each of which is located in the image plane of the corresponding lens, characterized in that at least one additional slit projector with a light source, located in the same plane with the original slit projector, is introduced into it, also introducing installed in series on an optical axis perpendicular to the optical planes of the slit projectors, a light source, a beam of light beams collimator, a converting optical system and an additional recorder of image parameters, as well as a control device and serially connected storage device, a computing device, a scanning coordinate recording device, a device for scanning a plane of a given section along the surface of the investigated part, while the inputs are memorized The input device is connected to the outputs of all image parameter recording devices, the input and output of the control device are connected respectively to the output of the computing device and to the input of the scanning device of a plane of a given section on the surface of the part, the outputs of which are mechanically connected with the part under study and gap projectors. 5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что устройство сканирования плоскости заданного сечения по поверхности детали выполнено в виде приспособления для крепления исследуемой детали, содержащего связанные между собой привод и вал, а устройство регистрации координат сканирования выполнено в виде датчика угла поворота, механически связанного с приспособлением для крепления исследуемой детали, ось вращения вала которого расположена параллельно оптическим осям щелевых проекторов. 5. The device according to claim 4, characterized in that the device for scanning a plane of a given section on the surface of the part is made in the form of a device for attaching the test part containing a drive and a shaft connected to each other, and the device for recording scan coordinates is made in the form of a rotation angle sensor, mechanically associated with the device for mounting the test piece, the axis of rotation of the shaft of which is parallel to the optical axes of slotted projectors. 6. Устройство по п.4 или 5, отличающееся тем, что источник света каждого щелевого проектора выполнено в виде лампы трубчатого типа с отражателем, при этом лампа синхронизирована с устройствами регистрации параметров изображения. 6. The device according to claim 4 or 5, characterized in that the light source of each slit projector is made in the form of a tube-type lamp with a reflector, the lamp being synchronized with the image parameter recording devices. 7. Устройство по п.4 или 5, отличающееся тем, что источник света каждого щелевого проектора выполнен в виде лазера, а установленная на его выходе оптическая система содержит цилиндрические линзы. 7. The device according to claim 4 or 5, characterized in that the light source of each slit projector is made in the form of a laser, and the optical system installed at its output contains cylindrical lenses.
RU94013395A 1994-04-18 1994-04-18 Method of determination of geometric parameters of part and device for its implementation RU2105265C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94013395A RU2105265C1 (en) 1994-04-18 1994-04-18 Method of determination of geometric parameters of part and device for its implementation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94013395A RU2105265C1 (en) 1994-04-18 1994-04-18 Method of determination of geometric parameters of part and device for its implementation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU94013395A RU94013395A (en) 1995-12-27
RU2105265C1 true RU2105265C1 (en) 1998-02-20

Family

ID=20154782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU94013395A RU2105265C1 (en) 1994-04-18 1994-04-18 Method of determination of geometric parameters of part and device for its implementation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2105265C1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002066925A1 (en) * 2001-02-21 2002-08-29 A4 Vision S.A. Device for contactless inspection of linear dimensions of three-dimensional objects
WO2003027608A1 (en) * 2001-09-28 2003-04-03 Sergei Vasilievich Plotnikov System for process control of parameters of rotating workpieces
WO2003062746A1 (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Gennady Genrikhovich Levin Method for optical measurement of the shape of a three-dimensional object
CN113196006A (en) * 2018-12-21 2021-07-30 维美德自动化有限公司 Contactless thickness measurement
RU2772063C1 (en) * 2021-07-29 2022-05-16 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский горный университет» Device for monitoring geometric parameters of briquetted charge materials

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Катис Г.П. Обработка визуальной информации. - М.: Машиностроение, 1990, с. 320. 2. Заявка JP N 61-53643, кл. G 01 B 11/24. *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002066925A1 (en) * 2001-02-21 2002-08-29 A4 Vision S.A. Device for contactless inspection of linear dimensions of three-dimensional objects
WO2003027608A1 (en) * 2001-09-28 2003-04-03 Sergei Vasilievich Plotnikov System for process control of parameters of rotating workpieces
WO2003062746A1 (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Gennady Genrikhovich Levin Method for optical measurement of the shape of a three-dimensional object
CN113196006A (en) * 2018-12-21 2021-07-30 维美德自动化有限公司 Contactless thickness measurement
RU2772063C1 (en) * 2021-07-29 2022-05-16 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский горный университет» Device for monitoring geometric parameters of briquetted charge materials

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8975582B2 (en) Method and apparatus for reviewing defects
US3614232A (en) Pattern defect sensing using error free blocking spacial filter
JP2593938B2 (en) Apparatus for optically inspecting the inner wall of a pipe.
EP0070017B1 (en) Pattern detection system
US20040145753A1 (en) Method and apparatus for measuring the three-dimensional surface shape of an object using color informations of light reflected by the object
US6075591A (en) Optical method and apparatus for detecting low frequency defects
US6291817B1 (en) Moire apparatus having projection optical system and observation optical system which have optical axes parallel to each other
US8514385B2 (en) Device and method for inspecting an object
US20190234725A1 (en) Method for monitoring linear dimensions of three-dimensional objects
JP3729156B2 (en) Pattern defect detection method and apparatus
JP3105702B2 (en) Optical defect inspection equipment
RU2105265C1 (en) Method of determination of geometric parameters of part and device for its implementation
JPS6227604A (en) Pattern detector
CN112630983A (en) Laser system, laser-induced damage testing system and method
JPS62502421A (en) Equipment for orienting, inspecting and/or measuring two-dimensional objects
JP2828145B2 (en) Optical section microscope apparatus and method for aligning optical means thereof
JPH11304640A (en) Inspection apparatus for optical element
JPH01242905A (en) Method for measuring actual size of visual device
JP2001264031A (en) Shape-measuring method and device
Emigh Stereoscopic Reprojection and Radius of Curvature Measurements of Cloud‐Chamber Tracks
JPS62503049A (en) Methods and apparatus for orienting, inspecting and/or measuring two-dimensional objects
Kakinoki et al. Wide-Area, High Dynamic Range 3-D Imager
JPH0333220B2 (en)
JPS6281514A (en) Radius of curvature gauge
JP2003279314A (en) Projection device and irradiation device