RU2104130C1 - Способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов - Google Patents
Способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2104130C1 RU2104130C1 RU96115414/02A RU96115414A RU2104130C1 RU 2104130 C1 RU2104130 C1 RU 2104130C1 RU 96115414/02 A RU96115414/02 A RU 96115414/02A RU 96115414 A RU96115414 A RU 96115414A RU 2104130 C1 RU2104130 C1 RU 2104130C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- temperature
- solder
- target
- elements
- composite target
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
Для соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов подготавливают контактные поверхности и соединяют их пайкой. Пайку проводят аморфным припоем. Паяемые элементы нагревают до температуры 0,4 - 0,6 температуры ликвидуса припоя. Производят первую изотермическую выдержку в течение 20 - 30 мин. Нагревают паяемые элементы до температуры 1,1 - 1,2 температуры ликвидуса припоя, производят вторую изотермическую выдержку в течение 5,0 - 2,0 мин и охлаждают. От температуры 1,1 - 1,2 до температуры 0,6 - 0,8 температуры ликвидуса припоя композиционную модель охлаждают со скоростью 50 - 100 град/мин. От температуры 0,6 - 0,8 температуры ликвидуса припоя композиционную модель охлаждают со скоростью 5,0 - 10 груд/мин. Пайку ведут порошком сплава системы медь-никель-фосфор фракции 20 - 100 мкм из ленты толщиной 30 - 50 мкм. В результате получают высокую прочность сцепления, повышается надежность мишени при эксплуатации. 3 з.п. ф-лы.
Description
Изобретение относится к пайке и может быть использовано, в частности, для изготовления композиционной мишени из тугоплавких и труднодеформируемых материалов, используемой для вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.
Известен способ соединения элементов композиционной мишени, при котором подготавливают контактные поверхности элементов композиционной модели и соединяют их склеиванием (Патент US N 2608323). Клеевой способ соединения частей мишени не обеспечивает необходимых механической прочности сцепления и электропроводности, так как клей после затвердевания непластичен и на границе раздела слоев соединяемых элементов возникают значительные механические напряжения.
Известен способ соединения элементов композиционной мишени, при котором подготавливают контактные поверхности элементов композиционной модели и соединяют их электродуговой сваркой (Заявка PST N 91/18128).
Известен способ соединения элементов композиционной мишени, при котором подготавливают контактные поверхности элементов композиционной мишени (патент США 5143590).
Способы сварки не обеспечивают требуемого теплоотвода от массивного элемента мишени (ее основания), так как при сварке образование соединения между элементами мишени происходит лишь по их кромкам и присадочному материалу.
Наиболее близким к изобретению является известный способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов, при котором подготавливают контактные поверхности элементов композиционной модели и соединяют их пайкой (Патент DD N 239808). Данным способом не обеспечивается надежность сцепления между соединяемыми элементами мишени, что ведет к снижению надежности самой мишени при ее эксплуатации.
Задача, решаемая изобретением, заключается в повышении надежности мишени при ее эксплуатации. Технический результат, обеспечиваемый при этом, состоит в повышении прочности сцепления.
Поставленная задача решается тем, что в способе соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов, при котором подготавливают контактные поверхности элементов композиционной модели и соединяют их пайкой, во всех случаях использования пайку проводят аморфным припоем, причем паяемые элементы нагревают до температуры 0,4 - 0,6 температуры ликвидуса припоя, производят первую изотермическую выдержку в течение 20 - 30 мин, нагревают паяемые элементы до температуры 1,1 - 1,2 температуры ликвидуса припоя, производят вторую изотермическую выдержку в течение 5,0 - 20 мин и охлаждают.
В некоторых случаях от температуры 1,1 - 1,2 до температуры 0,6 - 0,8 температуры ликвидуса припоя композиционную модель охлаждают со скоростью 50 - 100 град/мин, а от температуры 0,6 - 0,8 температуры ликвидуса припоя со скоростью 5,0 - 10 град/мин, при этом возможно ведение пайки порошком сплава системы медь-никель-фосфор фракции 20 - 100 мкм из ленты толщиной 30 - 50 мкм.
Совокупность существенных признаков, необходимая во всех случаях использования изобретения обеспечивает образование начального диффузионного слоя между аморфным припоем и соединяемыми поверхностями до 1,0 - 1,5 мкм, что и обеспечивает прочность сцепления, поскольку аморфизаторы, входящие в состав аморфного припоя, такие как фосфор, кремний, бор и редкоземельные элементы, после первой изотермической выдержки выделяются в виде самостоятельных равновесных фаз, имеющих повышенную степень диффузии, что приводит к диффузионному отводу припоя в паяемые элементы мишени и переходу компонентов мишени в припой.
Нагрев ниже температуры ликвидус припоя и первая изотермическая выдержка обеспечивают количество равновесной фазы и толщину образующихся начальных слоев 0,2 - 0,8 мкм. Нагрев выше температуры ликвидус припоя и вторая изотермическая выдержка увеличивают толщину диффузионного слоя до 1,0 - 1,5 мкм. Скорость и время охлаждения от температуры выше до температуры ниже температуры ликвидуса припоя сохраняют толщину диффузионного слоя полученную металлическую структуру паянного шва. Дальнейшее охлаждение в предложенных условиях его проведения снимает напряжения в паяемой мишени.
Пример осуществления способа. Соединяемыми элементами композиционной мишени являются основание из стали Х18Н10Т и распыляемая часть их хрома ХР-2. Припоем служит аморфный порошок системы медь-никель-фосфор.
Поверхности основания и распыляемой части перед пайкой очищают от окалины, окисной пленки и жировых отложений механическим путем или травлением. Соединяемые элементы обрабатывают на токарном станке таким образом, чтобы на плоскости основания мишени оставался конусообразный выступ, а на распыляемой части - конусообразной углубление для фиксации при пайке.
На подготовленную поверхность основания мишени наносят слой порошка аморфного припоя дисперсностью 50 - 100 мкм. Затем сверху на него устанавливают распыляемую часть мишени. Собранную таким образом мишень помещают металлический стакан с двойными стенками, полость между которыми заполняют жидким азотом. Стакан устанавливают на стол камеры вакуумной печи, которую откачивают до давления не выше 5•10 мм рт.ст.
Нагрев ведут со скоростью 80oC/мин. По достижении 470oC производят первую изотермическую выдержку в течение 20 - 30 мин далее нагрев ведется до температуры 1080oC со второй изотермической выдержкой в течение 5,0 - 20 мин. Далее нагрев прекращают и ведут охлаждение до 658oC со скоростью 50 - 100oC/мин, после чего скорость охлаждения поддерживают равной 5,0 - 10oC/мин.
Claims (4)
1. Способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов, при котором подготавливают контактные поверхности элементов композиционной мишени и соединяют их пайкой, отличающийся тем, что пайку выполняют аморфным припоем, при этом сначала паяемые элементы нагревают до температуры 0,4 0,6 температуры ликвидуса припоя и производят первую изотермическую выдержку в течение 20 30 мин, затем нагревают паяемые элементы до температуры 1,1 1,2 температуры ликвидуса припоя и производят вторую изотермическую выдержку в течение 5 20 мин, после чего мишень охлаждают.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что композиционную мишень охлаждают со скоростью 50 100 град./мин в интервале температур от 1,1 1,2 до 0,6 - 0,8 температуры ликвидуса припоя.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что композиционную мишень охлаждают со скоростью 5 10 град./мин в интервале температур от 0,6 0,8 температуры ликвидуса до температуры окружающей среды.
4. Способ по любому из пп. 1 3, отличающийся тем, что в качестве припоя используют ленту толщиной 30 50 мкм из порошка сплава системы медь никель фосфор фракции 20 100 мкм.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96115414/02A RU2104130C1 (ru) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | Способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов |
PCT/RU1997/000245 WO1998005462A1 (fr) | 1996-08-01 | 1997-08-01 | Procede permettant de relier les elements d'une cible complexe se composant de materiaux refractaires et difficilement deformables |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96115414/02A RU2104130C1 (ru) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | Способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2104130C1 true RU2104130C1 (ru) | 1998-02-10 |
RU96115414A RU96115414A (ru) | 1998-05-20 |
Family
ID=20183839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU96115414/02A RU2104130C1 (ru) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | Способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2104130C1 (ru) |
WO (1) | WO1998005462A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2486995C2 (ru) * | 2011-10-03 | 2013-07-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Способ получения композиционного катода |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6978452B2 (en) | 2003-04-02 | 2005-12-20 | Beach Unlimited Llc | Upgrading digital media servers |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU495171A1 (ru) * | 1972-10-17 | 1975-12-15 | Всесоюзный научно-исследовательский и проектный институт тугоплавких металлов и твердых сплавов | Способ пайки твердого сплава со сталью |
SU747661A1 (ru) * | 1976-04-17 | 1980-07-15 | Предприятие П/Я В-8469 | Способ соединени материалов |
SU923781A1 (ru) * | 1980-03-18 | 1982-04-30 | Baranov Evgenij | Способ пайки телескопических соединений 1 |
SU1230767A1 (ru) * | 1984-12-29 | 1986-05-15 | Предприятие П/Я М-5481 | Способ пайки деталей |
DD239808B1 (de) * | 1985-07-31 | 1989-04-19 | Ardenne Forschungsinst | Verfahren zum aufbonden von targets fuer plasmatronquellen |
US5009765A (en) * | 1990-05-17 | 1991-04-23 | Tosoh Smd, Inc. | Sputter target design |
-
1996
- 1996-08-01 RU RU96115414/02A patent/RU2104130C1/ru not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-08-01 WO PCT/RU1997/000245 patent/WO1998005462A1/ru unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2486995C2 (ru) * | 2011-10-03 | 2013-07-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Способ получения композиционного катода |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1998005462A1 (fr) | 1998-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100274488B1 (ko) | 스퍼터링용 타겟과 지지판의 조립체의 접합 방법 및 그렇게 접합된 조립체 | |
JPH0360582B2 (ru) | ||
US3046651A (en) | Soldering technique | |
US10390440B1 (en) | Solderless inter-component joints | |
KR100348437B1 (ko) | 스퍼터링타겟어셈블리의제조방법및새로운타겟어셈블리 | |
US3432913A (en) | Method of joining a semi-conductor to a base | |
RU2104130C1 (ru) | Способ соединения элементов композиционной мишени из тугоплавкого и труднодеформируемого материалов | |
CN116352244B (zh) | 一种利用瞬态液相扩散焊预置金锡焊片的制备方法 | |
JPH0586662B2 (ru) | ||
JPH0867978A (ja) | スパッタリング用ターゲットのはんだ付け方法 | |
JP2748870B2 (ja) | 基板接続方法 | |
US4863090A (en) | Room temperature attachment method employing a mercury-gold amalgam | |
US5855313A (en) | Two-step brazing process for joining materials with different coefficients of thermal expansion | |
CN112756779A (zh) | 一种钨铜合金和薄板可伐合金的焊接方法 | |
JPH08218166A (ja) | スパッタリング用ターゲットの接合方法 | |
JPH0780045B2 (ja) | ヒートシンクの製造方法 | |
JPH02159047A (ja) | フラックスレス接合方法 | |
CN114163145B (zh) | 带金属电极的石英基底的封接方法及其专用夹具 | |
JP2503778B2 (ja) | 半導体装置用基板 | |
JPH02177463A (ja) | セラミック―金属複合基板の製造方法 | |
WO1998003297A1 (en) | Two-step brazing process for joining materials with different coefficients of thermal expansion | |
JPH0878474A (ja) | 基板の接続構造及びその接続方法 | |
JPH0142914B2 (ru) | ||
RU2105645C1 (ru) | Способ пайки изделий | |
JPH069907B2 (ja) | 黒鉛と金属からなる複合材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20040802 |