RU2089997C1 - Способ настройки монолитного пьезоэлектрического фильтра - Google Patents
Способ настройки монолитного пьезоэлектрического фильтра Download PDFInfo
- Publication number
- RU2089997C1 RU2089997C1 RU94001163A RU94001163A RU2089997C1 RU 2089997 C1 RU2089997 C1 RU 2089997C1 RU 94001163 A RU94001163 A RU 94001163A RU 94001163 A RU94001163 A RU 94001163A RU 2089997 C1 RU2089997 C1 RU 2089997C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- point
- resonators
- ion
- etching
- resonator
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 235000008216 herbs Nutrition 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
- H03H2003/0414—Resonance frequency
- H03H2003/0421—Modification of the thickness of an element
- H03H2003/0428—Modification of the thickness of an element of an electrode
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Предлагается способ настройки монолитных пьезоэлектрических фильтров, имеющих сплошной электрод с одной стороны кристаллической пластины и два раздельных электрода на ее противоположной стороне для образования двух точечных резонаторов. Способ включает последовательное снятие слоя материала электродов ионным способом для выравнивания частот точечных резонаторов и настройки средней частоты фильтра. Отличие предлагаемого способа от существующих заключается в том, что между электродами двух точечных резонаторов над кристаллической пластиной устанавливают вертикальную заслонку, с двух сторон которой симметричные под углом 40 ±15o в фокусе максимальной скорости травления помещают два ионных источника и проводят процесс выравнивания частот точечных резонаторов путем травления точечного резонатора с меньшей частотой с помощью одного ионного источника, расположенного с той же стороны относительно заслонки, что и резонатор, а затем производят настройку средней частоты фильтра ионным травлением обоих точечных резонаторов одновременно двумя ионными источниками. 1 ил.
Description
Изобретение относится к области пьезоэлектроники, а именно к производству пьезоэлектрических фильтров.
Известен способ настройки пьезоэлектрических монолитных фильтров, имеющих сплошной электрод с одной стороны кристаллического элемента и два раздельных электрода на его противоположной стороне для образования двух резонаторов, заключающийся в последовательном осаждении электродного материала сначала на половину, а затем на всю поверхность сплошного электрода (Патент США N4343827, H 01 P II/00; H 03 H 3/02, заявл. 08.06.81 г.).
Недостатком указанного способа является необходимость применения точных масок и совмещения окон в них с конфигурацией электрода или его части. Дефекты монтажа не обеспечивают необходимой точности, а для высококачественных фильтров с шириной электродов 0,1-0,5 мм и зазором между ними до 0,05-0,15 мм этот способ оказывается трудно применимым в производстве.
Другим недостатком этого способа является подстройка частоты с помощью осаждения дополнительного материала на поверхность электрода, что приводит и неоднородности электродной пленки и ухудшению долговременной стабильности частоты.
Наиболее близким к заявляемому способу является способ настройки монолитных фильтров с помощью снятия слоя металла электродов посредством ионного травления от одного кольцевого ионного источника, расположенного нормально к плоскости пьезоэлемента, через горизонтальную маску с окнами, соответствующими нанесенным электродам [1] В соответствии с указанным способом выравнивания частоты точечных резонаторов производят снятием материала электрода точечного резонатора с меньшей частотой до необходимой величины посредством ионного травления от кольцевого источника ионов, расположенного нормально к плоскости пьезоэлемента, через окно в горизонтальной маске, закрывающей стальную поверхность фильтра, но открывающей поверхность электрода.
Настройку средней частоты полосы фильтра производят ионным травлением одновременно поверхности двух электродом через соответствующее окно в горизонтальной маске.
Недостатками такого способа настройки являются сложность совмещения окон маски с электродами пьезоэлемента, особенно на высоких частотах с минимальными размерами электродов и межэлектродных расстояний, и необходимость приближения маски к поверхности кристаллического элемента для компенсации растравливания близко лежащих поверхностей электрода при отклонении потока ионов от нормали по отношению к поверхности пьезоэлемента. Для миниатюрных фильтров это часто бывает невозможно сделать из-за конструктивных особенностей монолитных фильтров, а также из-за габаритных размеров ионных источников.
Кроме того, недостатком описанного способа является его невысокая производительность, связанная с использование одного ионного источника.
Целью изобретения является устранения недостатков, связанных с использованием маскирования электродов при настройке, а также повышение производительности процесса настройки.
Поставленная цель достигается тем, что в известном способе настройки монолитного фильтра, имеющего сплошной электрод с одой стороны кристаллической пластины и два разделенных электрода на ее противоположной стороне для образования двух точечных резонаторов, включающем последовательное снятие слоя материала электродов ионным травлением для выравнивания частот точечных резонаторов и настройки средней частоты фильтра, между электродами устанавливают вертикальную заслонку, с двух сторон от которой симметрично под углом 40±15o в фокусе максимальной скорости травления помещают два ионных источника и проводят процесс заравнивания частот точечных резонаторов путем травления точечного резонатора с меньшей частотой с помощью одного ионного источника, расположенного с той же стороны относительно заслонки, что и резонатор, а затем производят настройку средней частоты фильтра ионным травлением обоих точечных резонаторов одновременно двумя ионными источниками.
Способ точной настройки монолитных пьезоэлектрических фильтров по предлагаемому техническому решению реализуется следующим образом. На монолитный пьезоэлектрический фильтр, имеющий сплошной электрод 1 с нижней стороны кристаллической пластины 2 и два раздельных электрода 3, 4 на противоположной стороне пластины для образования двух акустически связанных резонатора, смонтированных на плате 5 корпуса 6, устанавливают вертикальную разделительную заслонку 7 над зазором между электродами/Фиг.1/. Симметрично по отношению к ним размещают два источника ионов 8 и 9, которые располагают в фокусе максимальной скорости травления под углом 40±15o к плоскости разделительной заслонки. Производят выравнивание резонансных частот точечных резонаторов путем снятия слоя материала электродов ионным травлением с поверхности электрода точечного резонатора, имеющего меньшую частоту, от источника ионов, расположенного с той же стороны относительно заслонки, что и обрабатываемый резонатор. Настройку средней частоты полосы фильтра проводят путем снятия материала ионным травлением с поверхности двух точечных электродов одновременно двумя источниками ионов.
Реализация предложенного технического решения позволяет производить монолитные пьезоэлектрические фильтры, например, с кристаллическим элементом, имеющим обратную меза-структуру в диапазоне 30-150 МГц на основной гармонике. Предлагаемый способ позволяет использовать безмасечную технологию настройки, что крайне важно для миниатюрных фильтров с микронными размерами электродов. Способ реализован в одноместном варианте. В настоящее время разрабатывается и реализуется многоместное подколпачное устройство для настройки фильтров для разработки высокопроизводительной установки по предлагаемому способу.
Claims (1)
- Способ настройки монолитного пьезоэлектрического фильтра, имеющего сплошной электрод с одной стороны кристаллической пластины и два разделенных электрода на ее противоположной стороне для образования двух точечных резонаторов, включающий последовательное снятие слоя материала электродов ионным травлением для выравнивания частот точечных резонаторов и настройки средней частоты фильтра, отличающийся тем, что между электродами двух точечных резонаторов над кристаллической пластиной устанавливают заслонку перпендикулярно плоскости кристаллического элемента, с двух сторон от которой симметрично под углом 40 ± 15o на расстоянии фокуса ионного источника от электрода точечного резонатора помещают два ионных источника и проводят процесс выравнивания частот точечных резонаторов путем травления точечного резонатора с меньшей частотой с помощью одного ионного источника, расположенного с той же стороны относительно заслонки, что и резонатор, а затем производят настройку средней частоты фильтра ионным травлением обоих точечных резонаторов одновременно двумя ионными источниками.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU94001163A RU2089997C1 (ru) | 1994-01-05 | 1994-01-05 | Способ настройки монолитного пьезоэлектрического фильтра |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU94001163A RU2089997C1 (ru) | 1994-01-05 | 1994-01-05 | Способ настройки монолитного пьезоэлектрического фильтра |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU94001163A RU94001163A (ru) | 1995-10-27 |
| RU2089997C1 true RU2089997C1 (ru) | 1997-09-10 |
Family
ID=20151456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU94001163A RU2089997C1 (ru) | 1994-01-05 | 1994-01-05 | Способ настройки монолитного пьезоэлектрического фильтра |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2089997C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2724792C1 (ru) * | 2018-12-24 | 2020-06-25 | Открытое акционерное общество "Межгосударственная Корпорация Развития" | Способ и устройство для настройки высокочастотных пьезоэлементов, в том числе с малыми размерами электродов (варианты) |
-
1994
- 1994-01-05 RU RU94001163A patent/RU2089997C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Электронная техника, 198, сер. 5, вып. 4 (73), с. 75 - 7. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2724792C1 (ru) * | 2018-12-24 | 2020-06-25 | Открытое акционерное общество "Межгосударственная Корпорация Развития" | Способ и устройство для настройки высокочастотных пьезоэлементов, в том числе с малыми размерами электродов (варианты) |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1150878A (en) | Piezoelectric Resonators and Method of Tuning the same | |
| US7320164B2 (en) | Method of manufacturing an electronic component | |
| RU2089997C1 (ru) | Способ настройки монолитного пьезоэлектрического фильтра | |
| JPS6016010A (ja) | 圧電薄膜複合振動子 | |
| EP3454470B1 (en) | Method of manufacture of a surface acoustic wave device and surface acoustic wave device | |
| US4627379A (en) | Shutter apparatus for fine-tuning a coupled-dual resonator crystal | |
| JP4577041B2 (ja) | 圧電振動子の周波数調整方法 | |
| RU94001163A (ru) | Способ настройки монолитных пьезоэлектрических фильтров | |
| JP2533633Y2 (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| JPH0236608A (ja) | 弾性表面波素子の周波数調整方法 | |
| EP3501104B1 (en) | Tunable narrow bandpass mems technology filter using an arch beam microresonator | |
| JPH02301210A (ja) | 表面波デバイスの周波数調整法 | |
| RU2007023C1 (ru) | Полосковый пьезоэлемент толщинно-сдвиговых колебаний и способ его изготовления | |
| JPH07176970A (ja) | モノリシック水晶フィルタの回路定数の調整方法及びその調整装置 | |
| RU2099858C1 (ru) | Высокочастотный пьезоэлемент | |
| KR100568284B1 (ko) | Ｆｂａｒ 소자의 주파수 튜닝 방법 및 이를 포함한 제조방법 | |
| JPS63120508A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| JPH0637567A (ja) | 厚み系水晶振動子の電極形成方法 | |
| JPH0342036Y2 (ru) | ||
| JPH05102787A (ja) | 多重モード圧電フイルタ素子の電極構造と通過帯域幅調整方法 | |
| SU1653004A1 (ru) | Устройство коррекции дл магнитной записи | |
| JPH07273581A (ja) | 圧電振動子の周波数調整用マスク及び周波数調整方法 | |
| JPH0422902A (ja) | ファブリ・ペローエタロンの製法方法 | |
| JPS5852366B2 (ja) | ハバスベリアツデンシンドウシ | |
| JP3227925B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ |