RU2086376C1 - Method of laser machining of surface of materials - Google Patents

Method of laser machining of surface of materials Download PDF

Info

Publication number
RU2086376C1
RU2086376C1 RU93057115A RU93057115A RU2086376C1 RU 2086376 C1 RU2086376 C1 RU 2086376C1 RU 93057115 A RU93057115 A RU 93057115A RU 93057115 A RU93057115 A RU 93057115A RU 2086376 C1 RU2086376 C1 RU 2086376C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
over
coordinates
area
laser
focused
Prior art date
Application number
RU93057115A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU93057115A (en
Inventor
Вадим Павлович Вейко
Евгений Борисович Яковлев
Александр Тадеушевич Шакола
Алексей Константинович Кромин
Владимир Анатольевич Чуйко
Павел Алексеевич Фомичев
Original Assignee
Вадим Павлович Вейко
Евгений Борисович Яковлев
Александр Тадеушевич Шакола
Алексей Константинович Кромин
Владимир Анатольевич Чуйко
Павел Алексеевич Фомичев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Вадим Павлович Вейко, Евгений Борисович Яковлев, Александр Тадеушевич Шакола, Алексей Константинович Кромин, Владимир Анатольевич Чуйко, Павел Алексеевич Фомичев filed Critical Вадим Павлович Вейко
Priority to RU93057115A priority Critical patent/RU2086376C1/en
Publication of RU93057115A publication Critical patent/RU93057115A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2086376C1 publication Critical patent/RU2086376C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: laser machining of various materials (metals, wood, bones, leather, plastics) and articles made from them by industry, modification of surface structures of optical materials. SUBSTANCE: area of machined surface is divided into surface elements with linear dimensions
Figure 00000003
, where d is diameter of laser radiation beam focussed machined surface. Focused laser radiation beam is moved over these surface element with area
Figure 00000004
over coordinates X and Y with rates determined from relationships vx= mP/Δqiyb vy= nP/Δqiya where vx, vy are rates of movement of focused beam over surface element over coordinates X and Y correspondingly; a, b are linear dimensions of machined surface over coordinates X and Y correspondingly; n, m are numbers of surface elements over coordinates x and Y correspondingly; P is power of laser radiation in focal spot on machined surface; Δqiy is energy absorbed by surface elements specified by distribution of energy g(x, y) over area of machined surface. EFFECT: provision for possibility of formation of relief pattern of specified configuration or image with preset contrast / specified distribution of change of surface properties under action of laser radiation on surface of machined material or article/.

Description

Изобретение относится к лазерной технике и может быть использовано для различных материалов (металл, дерево, кость, кожа, пластмасса) и изделий из них в промышленности, а также для модификации структуры поверхности оптических материалов. The invention relates to laser technology and can be used for various materials (metal, wood, bone, leather, plastic) and products from them in industry, as well as for modifying the surface structure of optical materials.

Известен способ лазерной обработки поверхности материалов и устройство для его реализации заключающийся в синхронном перемещении по двум координатам со скоростями V1 и V2 совмещенных, сфокусированных и уравненных в размерах в плоскости обработки пучков технологического лазера ИК диапазона спектра и лазера видимого диапазона спектра и в сканировании зоны обработки в плоскости оптически сопряженной с плоскостью обработки относительно неподвижного отверстия размером l, причем l≅0,1d, где d размер зоны обработки, перемещением сфокусированного пучка видимого диапазона спектра со скоростью V3, причем V3 < V1, V2 [А.с. N 1635017, кл. B 23 K 26/04, БИ N 10 1990 г.A known method of laser surface treatment of materials and a device for its implementation consists in synchronous movement in two coordinates with speeds V 1 and V 2 combined, focused and equalized in size in the processing plane of the beams of a technological laser of the infrared spectrum and a laser of the visible spectrum and scanning the zone processing in the plane optically conjugated with the processing plane relative to a fixed hole of size l, with l≅0,1d, where d is the size of the processing zone beam of the visible range of the spectrum with a speed of V 3 , with V 3 <V 1 , V 2 [A.S. N 1635017, CL B 23 K 26/04, BI N 10 1990

К причинам, препятствующим достижению требуемого технического результата, относятся отсутствие ограничений на скорость перемещения сфокусированного пучка лазерного излучения по обрабатываемой поверхности и, следовательно, отсутствие ограничений на длительность воздействия на конкретный участок обрабатываемой поверхности, приводящего к конкретному изменению свойств обрабатываемой поверхности в соответствии с заданным распределением изменения свойств по всей площади обрабатываемой поверхности, что не позволит сформировать на обрабатываемой поверхности рельефный рисунок заданной конфигурации или изображение с заданным контрастом. The reasons that impede the achievement of the required technical result include the absence of restrictions on the speed of movement of the focused laser beam along the surface to be treated and, therefore, the absence of restrictions on the duration of exposure to a specific section of the surface to be treated, leading to a specific change in the properties of the surface to be treated in accordance with a given distribution of changes properties over the entire surface of the treated surface, which will not allow to form on the surface to be worked is a relief pattern of a given configuration or an image with a given contrast.

Известен способ сверления отверстий и устройство для его реализации заключающийся в том, что площадь отверстий разбивают на ряд концентрических окружностей, размеры двух ближайших из которых отличаются на величину шага, не превышающего диаметр сфокусированного на поверхность пучка лазерного излучения, а сфокусированный пучок последовательно перемещают по концентрическим окружностям с постоянной линейной скоростью на каждой из них, начиная либо от центра, либо от внешнего радиуса отверстия [А.с. N 1750900 А1, кл. B 23 K 26/00, 30.07.92 г]
Данный способ по своей технической сущности наиболее близок к заявляемому и поэтому выбран авторами за прототип.
There is a known method of drilling holes and a device for its implementation consisting in the fact that the area of the holes is divided into a series of concentric circles, the sizes of the two closest of which differ by the step size not exceeding the diameter of the laser radiation focused on the surface of the beam, and the focused beam is successively moved along concentric circles with a constant linear speed on each of them, starting either from the center or from the outer radius of the hole [A.S. N 1750900 A1, CL B 23 K 26/00, 07/30/92 g]
This method in its technical essence is closest to the claimed one and is therefore selected by the authors for the prototype.

К причинам препятствующим достижению технического результата при использовании способа-прототипа относятся, также как и способе-аналоге, отсутствия ограничений на скорость перемещения сфокусированного пучка лазерного излучения по обрабатываемой поверхности. The reasons that impede the achievement of the technical result when using the prototype method include, as well as the analogue method, the absence of restrictions on the speed of movement of the focused laser beam along the treated surface.

Сущность изобретения заключается в следующем. Для формирования на поверхности обрабатываемого материала или изделия рельефного рисунка заданной конфигурации или изображения с заданным контрастом (например, с различной степенью почернения или посветления), т.е. заданного распределения изменения свойств поверхности под действием лазерного излучения необходимо создать способ, позволяющий осуществлять конкретное изменение свойств поверхности конкретным участком обрабатываемой поверхности. The invention consists in the following. For forming on the surface of the processed material or product a relief pattern of a given configuration or image with a given contrast (for example, with varying degrees of blackening or lightening), i.e. Given the distribution of changes in surface properties under the action of laser radiation, it is necessary to create a method that allows for a specific change in the surface properties of a particular area of the processed surface.

Заданное распределение изменения свойств поверхности под действием лазерного излучения, т.е. определенное конкретное изменение свойств для каждого конкретного участка площади обрабатываемой поверхности при одинаковой мощности лазерного излучения в зоне воздействия, равной диаметру фокального пятна, и изотропности свойств поверхности обрабатываемого материала, может быть достигнуто изменением длительности воздействия Δτ на данный конкретный участок или, что тоже самое изменением скорости перемещения пучка лазерного излучения по участкам обрабатываемой поверхности. The given distribution of changes in surface properties under the action of laser radiation, i.e. a specific change in the properties for each particular area of the treated surface with the same laser radiation power in the exposure zone equal to the diameter of the focal spot and isotropy of the surface properties of the processed material can be achieved by changing the duration of exposure Δτ on this particular area or, which is the same by changing the speed moving the laser beam over the areas of the treated surface.

В случае, если оптические (коэффициент отражения и поглощения) и иные (теплопроводность, плотность, температуропроводность, и т.д.) свойства поверхности обрабатываемого материала анизотропны (например, неоднородны по плотности) следует стремиться к уменьшению длительности воздействия, т.е. к увеличению скорости перемещения и мощности излучения, при которой неоднородность свойств на результат воздействия сказывается в меньшей степени. If the optical (reflection and absorption coefficient) and other (thermal conductivity, density, thermal diffusivity, etc.) surface properties of the processed material are anisotropic (for example, nonuniform in density), one should strive to reduce the exposure duration, i.e. to increase the speed of movement and radiation power, at which the heterogeneity of the properties affects the result of the impact to a lesser extent.

Таким образом при обработке поверхности материала или изделия сфокусированным пучком лазерного излучения, который перемещают по элементарным участкам поверхности с площадью

Figure 00000005
где a, b линейные размеры обрабатываемой поверхности в координатах X и Y соответственно, n, m число элементарных участков на обрабатываемой поверхности по координатам X и Y соответственно, со скоростью пропорциональной поглощаемой поверхностью этих элементарных участков энергии Δqij приводящей к конкретному изменению свойств поверхности на каждом конкретном участке, может быть сформировано заданное распределение изменения свойств поверхности.Thus, when processing the surface of a material or product with a focused beam of laser radiation, which is moved along elementary surface sections with an area
Figure 00000005
where a, b are the linear dimensions of the treated surface in the X and Y coordinates, respectively, n, m are the number of elementary sections on the treated surface in the X and Y coordinates, respectively, with a speed proportional to the absorbed surface of these elementary sections of energy Δq ij leading to a specific change in the surface properties on each specific site, can be formed a predetermined distribution of changes in surface properties.

Указанный технический результат при осуществлении заявляемого способа достигается тем, что в способе лазерной обработки поверхности разбивают площадь обрабатываемой поверхности на элементарные площадки с линейными размерами

Figure 00000006
где d диаметр сфокусированного на поверхность обработки пучка лазерного излучения по этим площадкам с площадью
Figure 00000007
по координатам X и Y определяют из соотношений:
Figure 00000008

где Vx, Vy скорости перемещения сфокусированного пучка лазерного излучения по элементарным площадкам по координатам X и Y соответственно;
a, b линейные размеры обрабатываемой поверхности по координатам X и Y соответственно;
n, m число элементарных площадок по координатам X и Y соответственно;
P мощность лазерного излучения в фокальном пятне на обрабатываемой поверхности;
Δqij энергия, поглощенная элементарной площадкой, задаваемая распределением энергии q(x, y) по площади обрабатываемой поверхности.The specified technical result in the implementation of the proposed method is achieved by the fact that in the laser surface treatment method, the surface area to be treated is divided into elementary areas with linear dimensions
Figure 00000006
where d is the diameter of the laser beam focused on the processing surface along these areas with an area
Figure 00000007
the coordinates X and Y are determined from the relations:
Figure 00000008

where V x , V y the velocity of the focused laser beam along the elementary areas along the coordinates X and Y, respectively;
a, b linear dimensions of the machined surface in the coordinates X and Y, respectively;
n, m are the number of elementary sites along the coordinates X and Y, respectively;
P the power of the laser radiation in the focal spot on the treated surface;
Δq ij is the energy absorbed by the elementary area, defined by the distribution of energy q (x, y) over the area of the treated surface.

Для создания заданного распределения изменения свойств поверхности при лазерной обработке линейные размеры конкретного участка обрабатываемой поверхности элементарной площадки, на которые разбивают обрабатываемую поверхность при определении траектории и скорости движения сфокусированного на поверхность пучка лазерного излучения ограничиваются диаметром этого сфокусированного пучка, т.е.

Figure 00000009
Скорость перемещения по элементарным площадкам с площадью
Figure 00000010
при любой траектории движения (которую чаще всего выбирают из условия минимизации энергетических затрат при обработке) сфокусированного пучка определяются из условия поглощения конкретной элементарной площадкой энергии Δqij необходимой для конкретного изменения свойств поверхности в соответствии с заданным распределением энергии q(x, y) по площади обрабатываемой поверхности, создающим это заданное распределение изменения свойств, т.е.To create a given distribution of changes in surface properties during laser processing, the linear dimensions of a particular section of the processed surface of the elementary site into which the processed surface is divided when determining the trajectory and speed of the laser beam focused on the surface are limited by the diameter of this focused beam, i.e.
Figure 00000009
The speed of movement on elementary sites with an area
Figure 00000010
for any trajectory of movement (which is most often chosen from the condition of minimizing energy costs during processing), the focused beam is determined from the condition that the energy Δq ij necessary for a specific change in surface properties is absorbed by a particular elementary area in accordance with a given energy distribution q (x, y) over the area processed surface creating this predetermined distribution of changes in properties, i.e.

Figure 00000011

где
Figure 00000012
длительность воздействия сфокусированного пучка лазерного излучения на конкретную площадку при данной мощности P в фокальном пятне на обрабатываемой поверхности.
Figure 00000011

Where
Figure 00000012
the duration of the effect of a focused laser beam on a specific site at a given power P in the focal spot on the treated surface.

Мощность излучения в фокальном пятне на обрабатываемой поверхности определяется материалом изделия, однородностью его свойств. The radiation power in the focal spot on the treated surface is determined by the material of the product, the uniformity of its properties.

Ограничением по мощности является степень разрушения материала. Ограничением по скорости перемещения сфокусированного пучка лазерного излучения является инерционность конкретных исполнительных механизмов - сканаторов и, хотя в меньшей степени, быстродействие ЭВМ, управляющей движением пучка. The power limitation is the degree of destruction of the material. A limitation on the speed of movement of the focused laser beam is the inertia of specific actuators - scanners and, although to a lesser extent, the speed of the computer that controls the movement of the beam.

Например, при обработке дерева и фанеры используется мощность 10 Вт. При обработке стекла для предотвращения возникновения термических напряжений следует использовать кратковременное воздействие, т.е. высокие скорости перемещения пучка как при относительно малых мощностях, где рельефный рисунок формируется за счет сталкивания с поверхности обработки малых частичек стекла, так и при мощностях 50-60 Вт, где рельефный рисунок формируется за счет испарения стекла. Такой режим воздействия может сопровождаться побелением или потемнением зоны воздействия за счет кристаллизации или перераспределения примесей. For example, when processing wood and plywood, a power of 10 W is used. When processing glass, a short-term exposure, i.e. high speeds of beam movement both at relatively low powers, where the relief pattern is formed due to the collision of small glass particles with the processing surface, and at powers of 50-60 W, where the relief pattern is formed due to the evaporation of the glass. Such an exposure regime may be accompanied by whitening or darkening of the exposure zone due to crystallization or redistribution of impurities.

Обработка металлических поверхностей также может быть осуществлена в двух режимах режиме с относительно малой мощностью (до 10 ВТ), где рисунок на поверхности образуется за счет структурных превращений без разрушения материала и в энергоемком режиме испарения при мощности до 100 Вт. Processing of metal surfaces can also be carried out in two modes with a relatively low power (up to 10 W), where the pattern on the surface is formed due to structural transformations without material destruction and in the energy-intensive mode of evaporation at a power of up to 100 watts.

Образование рельефного рисунка на коже и пластмассе производится при относительно малых мощностях воздействия до 10 Вт. Ограничение по мощности, как и в случае с деревом, выбирается экспериментально. The formation of a relief pattern on the skin and plastic is carried out at relatively low power exposure up to 10 watts. The power limit, as in the case of a tree, is chosen experimentally.

Приведенный заявителем анализ уровня техники, включающий поиск по патентам и научно-техническим источникам информации, позволил установить, что заявителем не обнаружен способ, характеризующийся признаками, идентичными всем существенным признакам заявляемого способа, а по отношению к техническому результату выявлена совокупность отличительных существенных признаков. The analysis of the prior art cited by the applicant, including a search by patents and scientific and technical sources of information, made it possible to establish that the applicant has not found a method characterized by features identical to all the essential features of the proposed method, and a set of distinctive essential features has been identified with respect to the technical result.

Следовательно, заявляемый способ соответствует требованию новизны. Therefore, the claimed method meets the requirement of novelty.

Для проведения соответствия заявляемого способа требования изобретательского уровня был проведен дополнительный поиск известных решений для выявления признаков, создающих с отличительными из прототипа признаками заявляемого изобретения. To carry out the correspondence of the proposed method to the requirements of the inventive step, an additional search was carried out for known solutions to identify signs that create distinctive features of the prototype of the claimed invention.

Результат этого поиска показывает, что заявляемый способ не следует для специалиста явным образом из известного уровня техники. The result of this search shows that the inventive method does not follow for a specialist explicitly from the prior art.

На чертеже представлена схема устройства для осуществления предлагаемого способа (фиг. 1). Это устройство должно содержать следующие основные элементы:
I. источник излучения (1) с блоком питания (2) технологический лазер непрерывного действия, предназначенный для теплового воздействия на обрабатываемый материал в плоскости обработки (12). CO2 лазер ( λ10,6 мкм) или ИАГ лазер ( l1,06 мкм);
II. формирующую оптическую систему, содержащую затвор (3), сканаторы (4) с блоком питания и усиления (8) и фокусирующую систему (5);
III. управляющую систему ЭВМ типа IBM-PC/XI (9) для управления сканаторами (4) и затвором (3);
IV. систему визуализации излучения технологического лазера, состоящую из лазера видимого диапазона спектра, например, He-Ne лазер с l0,63 мкм (6), оптическую систему (7), поворотные зеркала (10) и (11) и формирующую линзу (5).
The drawing shows a diagram of a device for implementing the proposed method (Fig. 1). This device should contain the following basic elements:
I. A radiation source (1) with a power supply (2) a continuous technological laser designed for thermal exposure of the processed material in the processing plane (12). CO 2 laser (λ10.6 μm) or YAG laser (l1.06 μm);
II. forming an optical system comprising a shutter (3), scanners (4) with a power and amplification unit (8) and a focusing system (5);
III. IBM-PC / XI type computer control system (9) for controlling scanners (4) and shutter (3);
IV. a process laser radiation visualization system consisting of a visible spectrum laser, for example, a He-Ne laser with l0.63 μm (6), an optical system (7), rotary mirrors (10) and (11) and a forming lens (5).

Работает устройство следующим образом. Излучение технологического лазера (1) проходит через открытый электромеханический затвор (3), отражается от зеркал сканатора (4) и фокусируется объективом (5) в плоскости обработки (12). Сканирование сфокусированного лазерного пучка по заданной траектории с заданной скоростью в плоскости обработки осуществляется зеркалами сканатора (4), управляемыми управляющей системой (9). The device operates as follows. The radiation from the process laser (1) passes through an open electromechanical shutter (3), is reflected from the scanner mirrors (4) and is focused by the lens (5) in the processing plane (12). Scanning of a focused laser beam along a given path with a given speed in the processing plane is carried out by the scanner mirrors (4) controlled by the control system (9).

Для визуализации размеров зоны воздействия и определения ее пространственного расположения в плоскости обработки используется излучение He-Ne лазера (6), которое при помощи поворотных зеркал (10) и (11) совмещается с излучением технологического лазера. Оптическая система (7) совместно с фокусирующей системой (5) служит для изменения размеров сечения пучка видимого диапазона спектра в плоскости обработки. To visualize the size of the impact zone and determine its spatial location in the processing plane, He-Ne laser radiation (6) is used, which is combined with rotary mirrors (10) and (11) with the radiation from the technological laser. The optical system (7) together with the focusing system (5) serves to change the size of the beam cross section of the visible range of the spectrum in the processing plane.

В качестве примера, иллюстрирующего работу устройства и поясняющего суть способа, рассмотрим пример формирования рельефного рисунка сложной формы площадью 25 см2 на пластине из кварцевого стекла.As an example, illustrating the operation of the device and explaining the essence of the method, we consider an example of forming a relief pattern of complex shape with an area of 25 cm 2 on a quartz glass plate.

Разбиваем площадь поверхности рисунка на ряд элементарных площадок

Figure 00000013
с линейными размерами
Figure 00000014
где d диаметр сфокусированного в плоскость обработки пучка лазерного излучения, для данного конкретного устройства d приблизительно 100 мкм. Для каждой элементарной площадки ΔSij задаем глубину рельефа Hij, отсчитывая ее от поверхности пластины, т.е. Hmin=0 уровень поверхности.We break the surface area of the picture into a number of elementary areas
Figure 00000013
with linear dimensions
Figure 00000014
where d is the diameter of the laser beam focused onto the processing plane, for this particular device d is approximately 100 microns. For each elementary site ΔS ij, we set the relief depth H ij , counting it from the plate surface, i.e. H min = 0 surface level.

Диапазон глубины Hmin-Hmax рельефа рисунка для кварцевого стекла составляющей приблизительно 2 мм, можно достичь при определенных фиксированных значениях мощности излучения в фокальном пятне на обрабатываемой поверхности, например, P1, P2, P3, P4, P5 < 10 Вт.The depth range H min -H max of the relief pattern for quartz glass of approximately 2 mm can be achieved with certain fixed values of the radiation power in the focal spot on the treated surface, for example, P 1 , P 2 , P 3 , P 4 , P 5 <10 Tue

По зависимостям Η = f(Δτ) где Δτ длительность воздействия, построенным на основе экспериментальных данных для фиксированных значений мощности излучения P, определяются зависимости H=f(v) (фиг. 2). According to the dependences Η = f (Δτ) where Δτ is the exposure duration constructed on the basis of experimental data for fixed values of the radiation power P, the dependences H = f (v) are determined (Fig. 2).

При выборе мощности излучения P из ряда возможных значений предпочтение отдается варианту, обеспечивающему максимальную производительность обработки (использование высоких скоростей) и максимальное использование всего диапазона допустимых скоростей для данного сканатора. Для зависимостей, приведенных на фиг. 2 этим требованиям отвечает вариант с мощностью P3, описываемый кривой 3.When choosing the radiation power P from a number of possible values, preference is given to the option that provides maximum processing productivity (use of high speeds) and maximum use of the entire range of permissible speeds for this scanner. For the dependencies shown in FIG. 2, the option with power P 3 described by curve 3 meets these requirements.

Управление сканатором, обеспечивающим для каждой элементарной площадки DSij скорость Vij, т.е. глубину рельефа Hij, осуществляется управляющей системой.Scanner control providing for each elementary site DS ij speed V ij , i.e. the depth of the relief H ij is carried out by the control system.

Таким образом, вышеизложенные сведения подтверждают возможность осуществления способа в той совокупности, которая изложена в независимом пункте формулы. Thus, the above information confirms the possibility of implementing the method in the totality that is set forth in the independent claim.

Следовательно, заявленное изобретение соответствует требованию промышленная применимость. Therefore, the claimed invention meets the requirement of industrial applicability.

Claims (1)

Способ лазерной обработки поверхности материалов, заключающийся в том, что обрабатываемую поверхность разбивают по одной координате на элементарные площадки, линейный размер которых в направлении разбиения равен диаметру сфокусированного на поверхность обработки пучка лазерного излучения и перемещают этот пучок по полученным площадкам, отличающийся тем, что дополнительно осуществляют разбиение на элементарные площадки по второй координате с линейным размером разбиения, равным линейному размеру разбиения по первой координате, а скорости перемещения сфокусированного пучка лазерного излучения по элементарным площадкам с площадью
Figure 00000015
по координатам X и Y определяют из соотношений
Figure 00000016

Figure 00000017

где vx, vy скорости перемещения сфокусированного пучка лазерного излучения по координатам X и Y соответственно;
a, b линейные размеры обрабатываемой поверхности по координатам X и Y соответственно;
m, n число элементарных площадок по координатам X и Y соответственно;
P мощность лазерного излучения в фокальном пятне на обрабатываемой поверхности,
Δqij - энергия, поглощенная элементарной площадкой ΔSij, задаваемая распределением энергии q(X,Y) по площади обрабатываемой поверхности.
The method of laser surface treatment of materials, which consists in the fact that the processed surface is divided in one coordinate into elementary areas, the linear size of which in the direction of partition is equal to the diameter of the laser beam focused on the processing surface and move this beam over the resulting areas, characterized in that it is additionally carried out partition into elementary areas along the second coordinate with a linear partition size equal to the linear size of the partition along the first coordinate, and ck grow moving laser beam focused on an area element with an area
Figure 00000015
the coordinates X and Y are determined from the relations
Figure 00000016

Figure 00000017

where v x , v y the velocity of the focused laser beam along the coordinates X and Y, respectively;
a, b linear dimensions of the machined surface in the coordinates X and Y, respectively;
m, n is the number of elementary sites along the coordinates X and Y, respectively;
P the power of the laser radiation in the focal spot on the treated surface,
Δq ij is the energy absorbed by the elementary platform ΔS ij , defined by the distribution of energy q (X, Y) over the area of the treated surface.
RU93057115A 1993-12-22 1993-12-22 Method of laser machining of surface of materials RU2086376C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93057115A RU2086376C1 (en) 1993-12-22 1993-12-22 Method of laser machining of surface of materials

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93057115A RU2086376C1 (en) 1993-12-22 1993-12-22 Method of laser machining of surface of materials

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93057115A RU93057115A (en) 1996-07-20
RU2086376C1 true RU2086376C1 (en) 1997-08-10

Family

ID=20150629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93057115A RU2086376C1 (en) 1993-12-22 1993-12-22 Method of laser machining of surface of materials

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2086376C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2795069C2 (en) * 2018-07-19 2023-04-28 Айпиджи Фотоникс Корпорэйшн Systems and methods for monitoring and/or control of wobbling processing using integrated coherent imaging (ici)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР N 1635017, кл. B 23 K 26/04, 1990. 2. Авторское свидетельство СССР N 1750900, кл. B 23 K 26/00, 1992. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2795069C2 (en) * 2018-07-19 2023-04-28 Айпиджи Фотоникс Корпорэйшн Systems and methods for monitoring and/or control of wobbling processing using integrated coherent imaging (ici)
RU2801913C1 (en) * 2022-05-13 2023-08-18 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Удмуртский государственный аграрный университет" Method of laser surface processing of materials

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5637244A (en) Method and apparatus for creating an image by a pulsed laser beam inside a transparent material
US6333486B1 (en) Method and laser system for creation of laser-induced damages to produce high quality images
US5575936A (en) Process and apparatus for etching an image within a solid article
US6509548B1 (en) Method and laser system for production of high-resolution laser-induced damage images inside transparent materials by generating small etch points
US6734389B2 (en) Method and laser system controlling breakdown process development and space structure of laser radiation for production of high quality laser-induced damage images
US4131782A (en) Method of and apparatus for machining large numbers of holes of precisely controlled size by coherent radiation
US6399914B1 (en) Method and laser system for production of high quality laser-induced damage images by using material processing made before and during image creation
US8278590B2 (en) Apparatus for minimizing a heat affected zone during laser micro-machining
US6664501B1 (en) Method for creating laser-induced color images within three-dimensional transparent media
US5138490A (en) Arrangement for changing the geometrical form of a light beam
TW200630178A (en) High-speed, precision, laser-based method and system
EP3050664B1 (en) Laser machining system and method
JP2000071086A (en) Method and device for shape processing by laser light
EP0624421A2 (en) Method and apparatus for creating an image by a pulsed laser beam inside a transparent material
JPH0732183A (en) Co2 laser beam machine
RU2086376C1 (en) Method of laser machining of surface of materials
JPS5976687A (en) Laser cutting method
JP2001096995A (en) Method for laser beam machining of decorative article
WO2000032348A1 (en) Laser image formation in multiple transparent samples
US20050115939A1 (en) Method and apparatus for drilling a large number of precision holes with a laser
JPH03184687A (en) Laser beam machining apparatus
RU94020443A (en) Process of laser engraving and device for its realization
JPH01321088A (en) Piercing method by laser beam
RU2169671C2 (en) Method and equipment for production of image under article surface
JPH05309489A (en) Excimer laser beam machine