RU2795069C2 - Systems and methods for monitoring and/or control of wobbling processing using integrated coherent imaging (ici) - Google Patents

Systems and methods for monitoring and/or control of wobbling processing using integrated coherent imaging (ici) Download PDF

Info

Publication number
RU2795069C2
RU2795069C2 RU2021100314A RU2021100314A RU2795069C2 RU 2795069 C2 RU2795069 C2 RU 2795069C2 RU 2021100314 A RU2021100314 A RU 2021100314A RU 2021100314 A RU2021100314 A RU 2021100314A RU 2795069 C2 RU2795069 C2 RU 2795069C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
processing
wobble
ici
imaging
scanning
Prior art date
Application number
RU2021100314A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2021100314A (en
Inventor
Кристофер М. ГАЛБРАЙТ
Джордан А. КАНКО
Пол Дж.Л. УЭБСТЕР
Original Assignee
Айпиджи Фотоникс Корпорэйшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Айпиджи Фотоникс Корпорэйшн filed Critical Айпиджи Фотоникс Корпорэйшн
Publication of RU2021100314A publication Critical patent/RU2021100314A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2795069C2 publication Critical patent/RU2795069C2/en

Links

Images

Abstract

FIELD: laser material processing system.
SUBSTANCE: laser material processing system and a method for controlling a laser welding process. Invention can be used for material processing, where a laser or other energy beam is wobbled or oscillated during processing, including additive manufacturing, marking and material removal. At least one processing beam during the welding process moves according to the wobble pattern on the workpiece area to be processed. An integrated coherent imaging (ICI) system moves the imaging beam at least partially independent of the processing beam to one or more measurement points on the wobble pattern and obtains ICI measurements (e.g., depth measurements) at those points. The ICI measurement result(s) can be used, for example, to evaluate the keyhole and/or molten pool characteristics during the welding process.
EFFECT: improving the stability of the welding process of various materials and improving the quality of welding by reducing spatter and porosity and controlling the geometry of the weld.
41 cl, 15 dwg, 2 tbl

Description

Ссылка на родственные заявкиLink to related applications

[0001] Согласно настоящей заявке испрашивается приоритет предварительной заявки на патент США №62/853368, поданной 28 мая 2019 г. и озаглавленной «Systems and Methods for Monitoring and/or Controlling Wobble-Welding Using Inline Coherent Imaging (ICI)», а также испрашивается приоритет предварительной заявки на патент США №62/700606, поданной 19 июля 2018 г. и озаглавленной «Wobble-Welding of Copper and Aluminum Allows with Inline Coherent Imaging», обе из которых полностью включены в настоящий документ посредством ссылки.[0001] This application claims priority to U.S. Provisional Application No. 62/853368, filed May 28, 2019, entitled "Systems and Methods for Monitoring and/or Controlling Wobble-Welding Using Inline Coherent Imaging (ICI)", and priority is claimed to U.S. Provisional Application No. 62/700606, filed July 19, 2018, entitled "Wobble-Welding of Copper and Aluminum Allows with Inline Coherent Imaging", both of which are incorporated herein by reference in their entirety.

Область техники, к которой относится настоящее изобретениеThe field of technology to which the present invention relates

[0002] Настоящее изобретение относится к контролю и/или управлению обработкой материала и, более конкретно, к системам и способам для использования встроенной когерентной визуализации (ICI) для контроля и/или управления обработкой материала, где обрабатывающий луч перемещается по схеме вобуляции, например, сварка с вобуляцией. [0002] The present invention relates to the control and/or control of material processing, and more specifically, to systems and methods for using integrated coherent imaging (ICI) to control and/or control material processing, where the processing beam moves in a wobble pattern, for example, wobbling welding.

Предпосылки к созданию настоящего изобретенияBackground to the creation of the present invention

[0003] Лазерная сварка сплавов цветных металлов для промышленного применения расширяется, но при этом сопряжена с некоторыми проблемами. Низкое поглощение длин волн промышленного лазера ближнего ИК-диапазона, например, алюминиевыми и медными сплавами, препятствует начальному образованию замочной скважины, которая может быть необходима для эффективного ввода энергии в деталь. После создания замочной скважины низкая вязкость расплава (например, по сравнению с железными сплавами) может привести к снижению стабильности процесса и более высокой вероятности появления дефектов.[0003] Laser welding of non-ferrous alloys for industrial applications is expanding, but comes with some challenges. The low absorption of industrial NIR laser wavelengths, for example by aluminum and copper alloys, prevents the initial keyhole formation that may be necessary to efficiently introduce energy into the part. Once the keyhole is created, the low viscosity of the melt (eg compared to iron alloys) can lead to reduced process stability and a higher possibility of defects.

[0004] Для сложных материалов, таких как алюминий, медь и другие сплавы цветных металлов, объединение источников волоконного лазера высокой яркости (например, одномодового/низкомодового) с динамическим отклонением луча (или вобуляцией луча) может быть эффективным подходом для точного управления распределением мощности лазера на поверхности материала, поддерживая высокий уровень интенсивности излучения в месте взаимодействия света и вещества. Один из методов «сварки с вобуляцией» для перемещения луча быстрее и точнее предусматривает использование подвижных зеркал для обеспечения схем вобуляции с лучом, например, как подробнее раскрыто в публикации заявки на патент США №2016/0368089, которая находится в совместном владении с этой заявкой и полностью включена в настоящий документ посредством ссылки. Такие процессы сварки с вобуляцией могут улучшить стабильность процесса, особенно при сварке меди и алюминия, а также могут обеспечить уменьшение разбрызгивания и пористости и дополнительную степень контроля над геометрией готового сварного шва. Таким образом, были продемонстрированы стабильные, воспроизводимые и контролируемые результаты с потенциалом для широкого промышленного применения. [0004] For complex materials such as aluminum, copper, and other non-ferrous alloys, combining high-brightness fiber laser sources (e.g., single-mode/low-mode) with dynamic beam deflection (or beam wobble) can be an effective approach to fine-tune laser power distribution. on the surface of the material, maintaining a high level of radiation intensity at the point of interaction between light and matter. One method of "wobble welding" to move the beam faster and more accurately involves the use of movable mirrors to provide beam wobble patterns, for example, as detailed in U.S. Patent Application Publication No. 2016/0368089, which is co-owned with this application and incorporated herein by reference in its entirety. Such wobble welding processes can improve process stability, especially when welding copper and aluminum, and can also provide reduced spatter and porosity and an additional degree of control over the geometry of the finished weld. Thus, stable, reproducible and controllable results have been demonstrated with the potential for wide industrial applications.

[0005] Более подробное исследование динамических свойств замочной скважины и ванны расплава, дающее эти промышленно благоприятные конечные результаты, будет иметь ценность для дальнейшего использования методов сварки с вобуляцией. Однако дополнительные степени свободы, обеспечиваемые сваркой с вобуляцией, могут еще больше усложнить и без того сложную задачу записи динамических свойств замочной скважины с использованием контроля процесса с помощью датчиков на основе фотодиодов или высокоскоростных камер.[0005] A more detailed study of the dynamic properties of the keyhole and the molten pool, yielding these industrially favorable end results, will be of value for the further use of wobbling welding techniques. However, the additional degrees of freedom provided by wobble welding can further complicate the already difficult task of capturing keyhole dynamic properties using process control with photodiode sensors or high-speed cameras.

Краткое раскрытие настоящего изобретенияBrief summary of the present invention

[0006] Согласно одному аспекту лазерная система обработки материала содержит источник луча для модификации материала для генерирования обрабатывающего луча и обрабатывающую головку, соединенную с источником луча для модификации материала и содержащую по меньшей мере один исполнительный элемент для сканирования обрабатывающего луча, предназначенный для направления и перемещения обрабатывающего луча согласно схеме вобуляции по меньшей мере по одной оси на обрабатываемом участке детали. Система встроенной когерентной визуализации (ICI) оптически соединена с обрабатывающей головкой и содержит по меньшей мере один исполнительный элемент для сканирования визуализирующего луча, предназначенный для размещения визуализирующего луча по меньшей мере частично независимо от обрабатывающего луча. Управляющая система управляет по меньшей мере источником луча для модификации материала, исполнительным элементом для сканирования обрабатывающего луча и исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча. Управляющая система запрограммирована так, чтобы обеспечивать сканирование обрабатывающей головкой обрабатывающего луча по схеме вобуляции и обеспечивать перемещение визуализирующего луча исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча к множеству точек измерения на обрабатываемом участке в соответствии со схемой вобуляции.[0006] In one aspect, a material modification laser system comprises a material modification beam source for generating a processing beam and a processing head coupled to the material modification beam source and comprising at least one processing beam scanning actuator for guiding and moving the processing beam. beam according to the wobble pattern along at least one axis on the machined area of the part. The integrated coherent imaging (ICI) system is optically coupled to the processing head and includes at least one imaging beam scanning actuator for positioning the imaging beam at least partially independent of the processing beam. The control system controls at least a beam source for material modification, an actuator for scanning the processing beam, and an actuator for scanning the imaging beam. The control system is programmed to cause the processing head to scan the processing beam in a wobble pattern and to move the imaging beam by the imaging beam scanning actuator to a plurality of measurement points in the area to be treated in accordance with the wobble pattern.

[0007] Согласно другому аспекту предлагается способ контроля процесса сварки с вобуляцией. Способ предусматривает: направление обрабатывающего луча и по меньшей мере одного визуализирующего луча из системы встроенной когерентной визуализации (ICI) к свариваемому участку детали; перемещение обрабатывающего луча по схеме вобуляции на свариваемом участке детали; перемещение по меньшей мере одного визуализирующего луча по меньшей мере частично независимо от обрабатывающего луча к множеству точек измерения на свариваемом участке; и получение результатов измерения ICI от множества точек измерения при перемещении обрабатывающего луча по схеме вобуляции.[0007] According to another aspect, a method for controlling a wobble welding process is provided. The method includes: directing a processing beam and at least one imaging beam from the integrated coherent imaging (ICI) system to the welded area of the part; moving the processing beam according to the wobble pattern on the welded part of the part; moving at least one imaging beam at least partially independent of the processing beam to a plurality of measurement points in the area to be welded; and obtaining ICI measurement results from the plurality of measurement points while moving the processing beam through the wobble pattern.

Краткое описание фигурBrief description of the figures

[0008] Эти и другие признаки и преимущества будут лучше поняты при рассмотрении следующего подробного описания вместе с графическими материалами, на которых изображено следующее.[0008] These and other features and benefits will be better understood by considering the following detailed description, together with the drawings depicting the following.

[0009] На фиг. 1 показана принципиальная схема системы лазерной сварки, которая обеспечивает схемы сварки с вобуляцией и контролируется с использованием встроенной когерентной визуализации (ICI), в соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения.[0009] FIG. 1 is a schematic diagram of a laser welding system that provides wobbling welding patterns and is monitored using integrated coherent imaging (ICI), in accordance with embodiments of the present invention.

[0010] На фиг. 1A показано схематическое изображение сфокусированного лазерного луча с относительно небольшим диапазоном перемещения, обеспечиваемым двумя зеркалами в целях вобуляции, в соответствии с одним вариантом осуществления настоящего изобретения.[0010] FIG. 1A is a schematic representation of a focused laser beam with a relatively small range of motion provided by two wobble mirrors, in accordance with one embodiment of the present invention.

[0011] На фиг. 2A-2D показаны схематические изображения, изображающие различные схемы вобуляции вместе с иллюстративными сварными швами, образованными с помощью этих схем вобуляции, в соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения.[0011] FIG. 2A-2D are schematic views depicting various wobble patterns along with exemplary welds formed with these wobble patterns, in accordance with embodiments of the present invention.

[0012] На фиг. 3A показана микрофотография стандартного сварного шва в соответствии с одним вариантом осуществления настоящего изобретения.[0012] FIG. 3A is a photomicrograph of a standard weld in accordance with one embodiment of the present invention.

[0013] На фиг. 3B показана микрофотография сварного шва, образованного с использованием схемы вобуляции.[0013] FIG. 3B shows a micrograph of a weld formed using a wobble pattern.

[0014] На фиг. 4 и 5 показаны виды в перспективе головки для лазерной сварки с коллимирующим модулем, модулем вобуляции и основным модулем, собранными вместе и излучающими сфокусированный луч, в соответствии с одним вариантом осуществления настоящего изобретения.[0014] FIG. 4 and 5 are perspective views of a laser welding head with a collimating module, a wobble module, and a main module assembled together and emitting a focused beam, in accordance with one embodiment of the present invention.

[0015] На фиг. 6 показана принципиальная схема системы ICI, которая может использоваться для контроля сварки с вобуляцией, в соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения.[0015] FIG. 6 is a schematic diagram of an ICI system that can be used to control wobble welding, in accordance with embodiments of the present invention.

[0016] На фиг. 7 показана блок-схема способа контроля сварка с вобуляцией с использованием ICI в соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения.[0016] FIG. 7 is a flow diagram of a method for controlling wobble welding using ICI in accordance with embodiments of the present invention.

[0017] На фиг. 8 показано изображение одного примера контроля сварки с вобуляцией с использованием ICI за счет перемещения визуализирующего луча по схеме растрового сканирования по свариваемому участку и охвата схемы вобуляции обрабатывающего луча.[0017] FIG. 8 shows an illustration of one example of wobble welding inspection using ICI by moving the imaging beam in a raster scan pattern over the weld area and sweeping the treatment beam wobble pattern.

[0018] На фиг. 9 изображены карты усредненных глубин для сварных швов в нержавеющей стали с круговой схемой вобуляции и переменными диаметрами вобуляции, образованными за счет растрового сканирования визуализирующего луча, как показано на фиг. 8.[0018] FIG. 9 depicts average depth maps for welds in stainless steel with a circular wobble pattern and variable wobble diameters generated by imaging beam raster scanning as shown in FIG. 8.

[0019] На фиг. 10 показано изображение другого примера контроля сварки с вобуляцией с использованием ICI за счет перемещения визуализирующего луча к множеству фиксированных точек измерения вдоль схемы вобуляции обрабатывающего луча.[0019] FIG. 10 shows another example of wobble welding inspection using ICI by moving the imaging beam to a plurality of fixed measurement points along the processing beam wobble pattern.

[0020] На фиг. 11 показан график зависимости глубины провара от расстояния сварного шва, измеренного в фиксированных точках измерения, как показано на фиг. 10.[0020] FIG. 11 is a plot of penetration depth versus weld distance measured at fixed measurement points as shown in FIG. 10.

[0021] На фиг. 12 показана гистограмма средней глубины провара, измеренной в фиксированных точках измерения, как показано на фиг. 10.[0021] In FIG. 12 shows a bar graph of average penetration measured at fixed measurement points as shown in FIG. 10.

[0022] На фиг. 13 показано изображение другого примера контроля сварки с вобуляцией с использованием ICI за счет перемещения визуализирующего луча в направлении, противоположном направлению обрабатывающего луча вдоль схемы вобуляции.[0022] FIG. 13 shows another example of wobble welding inspection using ICI by moving the imaging beam in the opposite direction of the processing beam along the wobble pattern.

[0023] На фиг. 14 показан график зависимости глубины провара от расстояния вдоль сварного шва, измеренного при перемещении визуализирующего луча, как показано на фиг. 13.[0023] FIG. 14 is a plot of penetration depth versus distance along the weld measured while moving the imaging beam as shown in FIG. 13.

[0024] На фиг. 15 показаны графики зависимости средней глубины провара от угла поворота при разных скоростях сварки при перемещении визуализирующего луча, как показано на фиг. 13.[0024] In FIG. 15 shows plots of average penetration versus angle of rotation at various welding speeds as the imaging beam moves, as shown in FIG. 13.

Подробное раскрытие настоящего изобретенияDetailed disclosure of the present invention

[0025] В системах и способах в соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения используется встроенная когерентная визуализация (ICI) для контроля и/или управления обработкой материала, причем обрабатывающий луч перемещается по схеме вобуляции, например, в процессе сварки с вобуляцией. Хотя по меньшей мере один обрабатывающий луч перемещается согласно схеме вобуляции на обрабатываемом участке (например, свариваемом участке) детали, система ICI перемещает визуализирующий луч по меньшей мере частично независимо от обрабатывающего луча к одной или нескольким точкам измерения на схеме вобуляции и получает результаты измерения ICI (например, результаты измерения глубины) в этих точках. Результат (результаты) измерения ICI может использоваться, например, для оценки характеристики замочной скважины и/или ванны расплава во время процесса сварки. Хотя в настоящем изобретении описаны процессы сварки с вобуляцией, описанные в настоящем документе системы и способы могут также использоваться в других областях обработки материала, где осуществляется вобуляция или колебание лазерного или другого энергетического луча во время обработки, включая, без ограничения, аддитивное производство, маркировку и удаление материала. [0025] Systems and methods in accordance with embodiments of the present invention use integrated coherent imaging (ICI) to monitor and/or control material processing, with the processing beam moving in a wobble pattern, such as during a wobble welding process. While at least one processing beam moves according to the wobble pattern on the machined area (e.g., welded area) of the part, the ICI system moves the imaging beam at least partially independently of the processing beam to one or more measurement points on the wobble pattern and obtains ICI measurement results ( e.g. depth measurements) at these points. The ICI measurement result(s) can be used, for example, to evaluate the keyhole and/or molten pool characteristics during the welding process. While the present invention describes wobble welding processes, the systems and methods described herein may also be used in other material processing applications where a laser or other energy beam is wobbled or oscillated during processing, including, but not limited to, additive manufacturing, marking, and material removal.

[0026] Согласно одному варианту осуществления визуализирующий луч перемещается для сканирования свариваемого участка по схеме сканирования (например, растрового сканирования) по нескольким точкам измерения, охватывая схему вобуляции для образования карты глубины свариваемого участка. Согласно другому варианту осуществления один или несколько визуализирующих лучей перемещаются к одной или нескольким фиксированным точкам измерения на схеме вобуляции. Согласно дополнительному варианту осуществления визуализирующий луч перемещается вдоль схемы вобуляции в направлении, противоположном направлению перемещения обрабатывающего луча. Согласно еще одному варианту осуществления визуализирующий луч перемещается в направлении обрабатывающего луча вдоль схемы вобуляции, но независимо от обрабатывающего луча, например, для обеспечения динамического управления сдвигом и/или циклической корректировки выравнивания. [0026] According to one embodiment, the imaging beam is moved to scan the weld area in a scanning pattern (eg, raster scan) over multiple measurement points, spanning the wobble pattern to form a depth map of the weld area. According to another embodiment, one or more imaging beams are moved to one or more fixed measurement points on the wobble pattern. According to a further embodiment, the imaging beam moves along the wobble pattern in a direction opposite to that of the processing beam. According to another embodiment, the imaging beam moves in the direction of the processing beam along the wobble pattern, but independently of the processing beam, for example to provide dynamic shift control and/or cyclic alignment adjustments.

[0027] В контексте настоящего документа «вобуляция» относится к возвратно-поступательному перемещению лазерного луча (например, по меньшей мере по одной оси) в пределах относительно небольшого поля обзора, определенного углом сканирования менее 10° или максимальным угловым смещением луча ± 5°. В одном примере система ICI может использоваться с головкой для лазерной сварки с одним или несколькими исполнительными элементами для сканирования, такими как подвижные зеркала, которая выполняет сварочные операции с помощью схем вобуляции, например, как подробнее описано в публикации заявки на патент США №2016/0368089, которая находится в совместном владении с этой заявкой и полностью включена в настоящий документ посредством ссылки. Исполнительные элементы для сканирования обеспечивают перемещение с вобуляцией одного или нескольких лучей в пределах относительно небольшого поля обзора, например, определенного углом сканирования 1-2°. Исполнительные элементы для сканирования могут включать, без ограничения, гальванометрические сканирующие зеркала, многоугольные сканирующие зеркала, сканирующие зеркала на основе MEMS, пьезоэлектрические сканирующие зеркала, устройства сканирования луча на основе дифракции, вращающиеся призмы, кристаллы оксида калия, тантала и ниобия (KTN) и другие типы сканирующих зеркал или оптических элементов. Головка для лазерной сварки также может содержать дифракционный оптический элемент для придания формы перемещаемому лучу или лучам.[0027] As used herein, "wobble" refers to the reciprocating movement of a laser beam (e.g., along at least one axis) within a relatively small field of view defined by a scan angle of less than 10° or a maximum beam angular displacement of ±5°. In one example, the ICI system can be used with a laser welding head with one or more scanning actuators, such as moving mirrors, that performs welding operations using wobble patterns, for example, as detailed in U.S. Patent Application Publication No. 2016/0368089 , which is co-owned with this application and is incorporated herein by reference in its entirety. Actuators for scanning provide movement with wobble of one or more beams within a relatively small field of view, for example, defined by a scanning angle of 1-2°. Scanning actuators may include, but are not limited to, galvanometric scanning mirrors, polygonal scanning mirrors, MEMS-based scanning mirrors, piezoelectric scanning mirrors, diffraction-based beam scanning devices, rotating prisms, potassium, tantalum, and niobium oxide (KTN) crystals, and others. types of scanning mirrors or optical elements. The laser welding head may also include a diffractive optical element to shape the moving beam or beams.

[0028] В контексте настоящего документа термин «встроенная когерентная визуализация» (ICI) относится к процессу, в котором визуализирующий луч направляют на деталь вместе или «по одной линии» с обрабатывающим лучом для измерения характеристик процесса и/или детали. Термин «по одной линии» не требует, чтобы визуализирующий и обрабатывающий лучи были соосными. Визуализирующий луч может быть соосным с обрабатывающим лучом или может быть сдвинут или расположен под углом относительно обрабатывающего луча. Варианты осуществления, описанные в настоящем изобретении, могут использоваться с любыми системами ICI, например, как описано подробнее в патентах США №8822875, 9757817 и 10124410, которые находятся в совместном владении с этой заявкой и полностью включены в настоящий документ посредством ссылки. Система ICI может быть соединена с головкой для сварки по технологической схеме после исполнительных элементов для сканирования обрабатывающего луча и может содержать исполнительные элементы для сканирования визуализирующего луча для перемещения визуализирующего луча независимо от обрабатывающего луча, что будет подробно описано ниже. Исполнительные элементы для сканирования могут включать, без ограничения, гальванометрические сканирующие зеркала, многоугольные сканирующие зеркала, сканирующие зеркала на основе MEMS, пьезоэлектрические сканирующие зеркала, устройства сканирования луча на основе дифракции, вращающиеся призмы, и другие типы сканирующих зеркал или оптических элементов.[0028] As used herein, the term "Integrated Coherent Imaging" (ICI) refers to a process in which an imaging beam is directed onto a part along with or "in line" with a processing beam to measure process and/or part characteristics. The term "in line" does not require the imaging and processing beams to be coaxial. The imaging beam may be coaxial with the processing beam, or may be offset or angled relative to the processing beam. The embodiments described herein can be used with any ICI systems, for example, as described in more detail in US Pat. The ICI system may be connected to the welding head downstream of the processing beam scanning actuators and may include imaging beam scanning actuators to move the imaging beam independently of the processing beam, as will be detailed below. Scanning actuators may include, without limitation, galvanometric scanning mirrors, polygonal scanning mirrors, MEMS-based scanning mirrors, piezoelectric scanning mirrors, diffraction-based beam scanning devices, rotating prisms, and other types of scanning mirrors or optical elements.

[0029] ICI может использоваться для контроля сварки с вобуляцией в медных и алюминиевых сплавах, а также в других сплавах цветных металлов. В частности, ICI обеспечивает непосредственные геометрические измерения замочной скважины и может использоваться для создания карт глубины замочной скважины в пределах схемы вобуляции для демонстрации периодических колебаний в замочной скважине в соответствии с положением, которые не всегда можно увидеть в готовом сварном шве. Динамические свойства замочной скважины и ванны расплава могут быть изучены для условий с вращением и обычных условий сварки с вобуляцией с получением замочной скважины. Результаты измерения ICI могут обеспечивать уникальный обзор динамических свойств процессов сварки, в которых используется динамическое отклонение луча. Результаты измерения ICI, такие как глубина провара сварного шва или профили, и/или результаты измерения детали до или после обработки, также могут использоваться для управления параметрами обработки, такими как, например, мощность лазера или схема вобуляции. [0029] ICI can be used to control wobble welding in copper and aluminum alloys, as well as other non-ferrous alloys. In particular, ICI provides direct geometric measurements of the keyhole and can be used to create keyhole depth maps within a wobble pattern to demonstrate periodic oscillations in the keyhole according to position that are not always seen in the finished weld. The dynamic properties of the keyhole and molten pool can be studied for rotating and conventional wobble welding conditions to form a keyhole. ICI measurement results can provide a unique overview of the dynamic properties of welding processes that use dynamic beam deflection. ICI measurements such as weld penetration or profiles and/or measurements of the part before or after machining can also be used to control machining parameters such as laser power or wobble pattern, for example.

[0030] ICI обеспечивает преимущества по сравнению с традиционными датчиками на основе фотодиодов или высокоскоростными камерами, когда применяется для измерения процессов лазерной сварки с получением замочной скважины. Как будет подробно описано ниже, ICI подает вспомогательный визуализирующий луч (например, инфракрасный луч) через технологические оптические элементы для осуществления непосредственных геометрических измерений замочной скважины, ванны расплава и окружающего материала во время сварки. ICI обеспечивает то преимущество, что ее не ослепляет излучение черного тела или обратнорассеянный свет процесса, и она способна непосредственно измерять проникновение в замочную скважину во время лазерной сварки. Результаты измерения ICI обладают точностью до микрон и временным разрешением на уровне микросекунд. Использование ICI для изучения свойств замочной скважины во время сварки с вобуляцией позволяет по-новому взглянуть на свойства этого типа процесса сварки.[0030] ICI provides advantages over traditional photodiode sensors or high speed cameras when used to measure keyhole laser welding processes. As will be described in detail below, the ICI delivers an auxiliary imaging beam (eg, an infrared beam) through the process optics to make direct geometric measurements of the keyhole, molten pool, and surrounding material during welding. The ICI provides the advantage that it is not blinded by blackbody radiation or process backscattered light and is able to directly measure keyhole penetration during laser welding. The ICI measurement results are accurate to the micron and have a time resolution of the microsecond level. The use of ICI to study keyhole properties during wobble welding provides a new insight into the properties of this type of welding process.

[0031] Как показано на фиг. 1, контроль и/или управление системой 100 лазерной сварки для сварки с вобуляцией может осуществляться с использованием системы 150 ICI в соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения. Система 150 ICI может использоваться для контроля и/или управления сваркой с вобуляцией посредством получения одного или нескольких результатов измерения ICI в одной или нескольких точках в свариваемом участке и вдоль схемы вобуляции, что будет подробно описано ниже. Хотя система 150 ICI описана в контексте конкретного варианта осуществления системы 100 лазерной сварки, система 150 ICI может использоваться с любым типом систем лазерной сварки для сварки с вобуляцией или с другими системами обработки материала, в которых осуществляется вобуляция или колебание лазерного или энергетического луча.[0031] As shown in FIG. 1, wobble laser welding system 100 may be monitored and/or controlled using ICI system 150 in accordance with embodiments of the present invention. The ICI system 150 may be used to monitor and/or control wobble welding by obtaining one or more ICI measurements at one or more points in the weld region and along the wobble pattern, as will be described in detail below. Although the ICI system 150 is described in the context of a particular embodiment of the laser welding system 100, the ICI system 150 can be used with any type of laser welding system for wobbling or other material processing systems that wobble or oscillate a laser or power beam.

[0032] В изображенном варианте осуществления система 100 лазерной сварки содержит головку 110 для лазерной сварки, соединенную с выходным волокном 111 волоконного лазера 112 (например, с соединителем 111a). Головка 110 для лазерной сварки может использоваться для осуществления сварки на детали 102, например, посредством сварки шва 104 для образования валика 106 сварного шва. Система 150 ICI может быть соединена с головкой 110 для лазерной сварки, например, с разъемом камеры или другим оптическим портом на головке 110 для сварки.[0032] In the depicted embodiment, the laser welding system 100 includes a laser welding head 110 coupled to an output fiber 111 of the fiber laser 112 (eg, connector 111a). The laser welding head 110 can be used to weld the workpiece 102, for example by welding the seam 104 to form the weld bead 106. The ICI system 150 may be connected to the laser welding head 110, such as a camera connector or other optical port on the welding head 110.

[0033] Головка 110 для лазерной сварки и/или деталь 102 могут перемещаться или осуществлять поступательное перемещение друг относительно друга вдоль направления шва 104. Головка 110 для лазерной сварки может быть расположена на подвижная платформа 114 для поступательного перемещения головки 110 для сварки относительно детали 102 вдоль по меньшей мере одной оси, например, вдоль длины шва 104. В одном примере подвижная платформа 114 представляет собой многоосевого робота, такого как шестиосевой робот ABB IRB-4400, причем материалы или деталь зажата в неподвижном фиксаторе. Дополнительно или альтернативно деталь 102 может быть расположена на подвижной платформе 108 для перемещения или поступательного перемещения детали 102 относительно головки 110 для лазерной сварки. [0033] The laser welding head 110 and/or the workpiece 102 may move or translate relative to each other along the direction of the seam 104. The laser welding head 110 may be positioned on a movable platform 114 to translate the welding head 110 relative to the workpiece 102 along along at least one axis, such as along the length of the seam 104. In one example, the moveable platform 114 is a multi-axis robot, such as the ABB IRB-4400 six-axis robot, with the materials or workpiece clamped in a fixed fixture. Additionally or alternatively, part 102 may be positioned on a movable platform 108 to move or translate part 102 relative to the laser welding head 110.

[0034] Волоконный лазер 112 может включать иттербиевый волоконный лазер, способный генерировать лазер в ближнем инфракрасном спектральном диапазоне (например, 1060-1080 нм). Иттербиевый волоконный лазер может представлять собой одномодовый или многомодовый иттербиевый волоконный лазер непрерывного действия, способный генерировать лазерный луч мощностью до 1 кВт в некоторых вариантах осуществления и более высокой мощностью до 50 кВт в других вариантах осуществления. Примеры волоконного лазера 112 включают лазеры серии YLR SM или серии YLR HP, доступные в продаже от компании IPG Photonics Corporation, такие как волоконный лазер YLS-6000 (длина волны 1070), доставляемый через технологический волоконный лазер с 100-мкм сердечником. Волоконный лазер 112 также может включать многолучевой волоконный лазер, такого типа, как описано в международной заявке № PCT/US 015/45037, поданной 13 августа 2015 г. и озаглавленной «Multibeam Fiber Laser System», который способен выборочно доставлять один или несколько лазерных лучей через несколько волокон.[0034] Fiber laser 112 may include an ytterbium fiber laser capable of generating a laser in the near infrared spectral range (eg, 1060-1080 nm). The ytterbium fiber laser may be a single-mode or multimode CW ytterbium fiber laser capable of generating a laser beam of up to 1 kW in some embodiments and higher power of up to 50 kW in other embodiments. Examples of the fiber laser 112 include the YLR SM series or YLR HP series lasers commercially available from IPG Photonics Corporation, such as the YLS-6000 fiber laser (1070 wavelength) delivered via a 100 µm core process fiber laser. The fiber laser 112 may also include a multibeam fiber laser, of the type described in International Application No. PCT/US 015/45037, filed Aug. 13, 2015, entitled "Multibeam Fiber Laser System", which is capable of selectively delivering one or more laser beams. through multiple fibers.

[0035] Согласно изображенному варианту осуществления головка 110 для лазерной сварки в целом содержит коллиматор 122 для коллимации лазерного луча из выходного волокна 111, по меньшей мере первое и второе подвижные зеркала 132, 134 для отражения и перемещения коллимированного луча 116 и фокусирующую линзу 142 для фокусировки и доставки сфокусированного луча 118 к детали 102. В одном примере головка 110 для сварки представляет собой головку для сварки с вобуляцией IPG D50 с 150-мм коллиматором и 300-мм конечной фокусирующей оптикой (для номинального диаметра фокуса 200 мкм). Система 150 ICI может быть соединена с головкой 110 для сварки по технологической схеме после подвижных зеркал 132, 134. Согласно изображенному варианту осуществления зафиксированное зеркало 144 также используется для направления коллимированного лазерного луча 116 от второго подвижного зеркала 134 к фокусирующей линзе 142. Коллиматор 122, подвижные зеркала 132, 134 и фокусирующая линза 142 и фиксированное зеркало 144 могут быть предусмотрены в отдельных модулях 120, 130, 140, которые могут быть соединены друг с другом, что будет подробно описано ниже. [0035] According to the depicted embodiment, the laser welding head 110 generally comprises a collimator 122 for collimating the laser beam from the output fiber 111, at least first and second movable mirrors 132, 134 for reflecting and moving the collimated beam 116, and a focusing lens 142 for focusing and delivering the focused beam 118 to the part 102. In one example, the welding head 110 is an IPG D50 wobble welding head with a 150 mm collimator and a 300 mm final focusing optic (for a nominal focus diameter of 200 µm). The ICI system 150 may be coupled to the welding head 110 downstream of the movable mirrors 132, 134. In the illustrated embodiment, the fixed mirror 144 is also used to guide a collimated laser beam 116 from the second movable mirror 134 to the focusing lens 142. Collimator 122, movable the mirrors 132, 134 and the focusing lens 142 and the fixed mirror 144 may be provided in separate modules 120, 130, 140, which may be connected to each other, as will be described in detail below.

[0036] Подвижные зеркала 132, 134 выполнены с возможностью поворота вокруг разных осей 131, 133 для обеспечения перемещения коллимированного луча 116 и, следовательно, обеспечения перемещения сфокусированного луча 118 относительно детали 102 по меньшей мере по двум разным перпендикулярным осям 2, 4. Подвижные зеркала 132, 134 могут представлять собой гальванометрические зеркала, которые выполнены с возможностью перемещения с помощью гальванометрических двигателей, которые могут быстро менять направление на обратное. Согласно другим вариантам осуществления могут использоваться другие механизмы для перемещения зеркал, такие как шаговые двигатели. Использование подвижных зеркал 132, 134 в головке 110 для лазерной сварки позволяет перемещать лазерный луч 118 точно, управляемо и быстро для вобуляции луча без необходимости в перемещении всей головки 110 для сварки и без использования вращающихся призм. [0036] Movable mirrors 132, 134 are rotatable about different axes 131, 133 to move the collimated beam 116 and hence move the focused beam 118 relative to the piece 102 in at least two different perpendicular axes 2, 4. Movable mirrors 132, 134 may be galvanometer mirrors that are movable with galvanometer motors that can rapidly reverse direction. In other embodiments, other mechanisms may be used to move the mirrors, such as stepper motors. The use of movable mirrors 132, 134 in the laser welding head 110 allows the laser beam 118 to be moved accurately, controlled and quickly to wobble the beam without the need to move the entire welding head 110 and without the use of rotating prisms.

[0037] Согласно одному варианту осуществления головки 110 для сварки, подвижные зеркала 132, 134 перемещают луч 118 в пределах только относительно небольшого поля обзора (например, максимальное смещение луча на детали ± 30 мм) за счет поворота луча 118 в пределах угла сканирования α менее 10° (или с максимальным угловым смещением луча ± 5°) и, более конкретно, угла сканирования приблизительно 1–2°, как показано на фиг. 1A, для обеспечения вобуляции луча. Напротив, обычные головки для сканирования лазерного луза в целом обеспечивают перемещение лазерного луча в пределах намного большего поля обзора (например, большего, чем 50×50 мм, величиной 250×250 мм) и могут быть приспособлены под большее поле обзора и угол сканирования. Таким образом, использование подвижных зеркал 132, 134 для обеспечения только относительно небольшого поля обзора в головке 110 для лазерной сварки является нелогичным и противоречит общепринятому мнению о предоставлении более широкого поля обзора при использовании гальванометрических сканеров. Ограничение поля обзора и угла сканирования дает преимущества при использовании гальванометрических зеркал в головке 110 для сварки, например, за счет обеспечения более высоких скоростей, использования менее дорогостоящих компонентов, таких как линзы, и использования таких вспомогательных элементов, как воздушный нож и/или вспомогательные элементы для подачи газа.[0037] According to one embodiment of the welding head 110, the movable mirrors 132, 134 move the beam 118 within only a relatively small field of view (e.g., maximum beam offset on the workpiece ± 30 mm) by rotating the beam 118 within a scan angle α of less than 10° (or with a maximum beam angle of ±5°) and more specifically a scan angle of approximately 1-2° as shown in FIG. 1A to provide beam wobble. In contrast, conventional laser pocket scanning heads generally move the laser beam over a much larger field of view (eg, larger than 50x50mm, 250x250mm) and can be accommodated for a larger field of view and scan angle. Thus, the use of movable mirrors 132, 134 to provide only a relatively small field of view in the laser welding head 110 is counterintuitive and contrary to conventional wisdom about providing a wider field of view using galvanometer scanners. Limiting the field of view and scanning angle has advantages when using galvanometer mirrors in the welding head 110, for example, by allowing higher speeds, using less expensive components such as lenses, and using accessories such as an air knife and/or accessories. for gas supply.

[0038] Из-за меньшего поля обзора и угла сканирования в иллюстративном варианте осуществления головки 110 для сварки, второе зеркало 134 может быть по существу такого же размера, как и первое зеркало 132. Напротив, традиционные гальванометрические сканеры обычно используют большее второе зеркало для обеспечения большего поля обзора и угла сканирования, и большее второе зеркало может ограничивать скорость перемещения по меньшей мере по одной оси. Меньшее второе зеркало 134 (например, приблизительно такого же размера, как первое зеркало 132) в головке 110 для сварки, таким образом, позволяет зеркалу 134 перемещаться быстрее по сравнению с большими зеркалами в традиционных гальванометрических сканерах, обеспечивая большие углы сканирования. [0038] Due to the smaller field of view and scan angle in the illustrative embodiment of the welding head 110, the second mirror 134 may be substantially the same size as the first mirror 132. In contrast, traditional galvanometer scanners typically use a larger second mirror to provide a larger field of view and scanning angle, and a larger second mirror can limit the speed of movement along at least one axis. The smaller second mirror 134 (eg, approximately the same size as the first mirror 132) in the weld head 110 thus allows the mirror 134 to move faster than the larger mirrors in conventional galvanometer scanners, allowing for large scanning angles.

[0039] Фокусирующая линза 142 может включать фокусирующие линзы, известные для использования в лазерных головках для сварки и характеризующиеся разными фокусными длинами в диапазоне, например, от 100 мм до 1000 мм. В традиционных головках для сканирования лазерного луча используются многоэлементные сканирующие линзы, такие как линза F-theta, линза, выравнивающая кривизну поля, или телецентрическая линза, с намного большими диаметрами (например, линза диаметром 300 мм для луча диаметром 33 мм) для фокусировки луча в пределах большего поля обзора. Поскольку подвижные зеркала 132, 134 перемещают луч в пределах относительно небольшого поля обзора, большая многоэлементная сканирующая линза (например, линза F-theta) не требуется и, следовательно, не используется. Согласно одному иллюстративному варианту осуществления головки 110 для сварки в соответствии с настоящим изобретением плоско-выпуклая фокусирующая линза F300 диаметром 50 мм может использоваться для фокусировки луча, характеризующегося диаметром приблизительно 40 мм, для перемещения в пределах поля обзора размером приблизительно 15×5 мм. Использование меньшей фокусирующей линзы 142 также позволяет использовать дополнительные вспомогательные элементы, такие как воздушный нож и/или вспомогательные элементы для подачи газа, на конце головки 110 для сварки. Большие сканирующие линзы, необходимые для традиционных головок для сканирования лазерного луча, ограничивали возможность использования таких вспомогательных элементов.[0039] The focusing lens 142 may include focusing lenses known for use in welding laser heads and having different focal lengths ranging from, for example, 100 mm to 1000 mm. Conventional laser beam scanning heads use multi-element scanning lenses such as an F-theta lens, field curvature equalizing lens, or telecentric lens with much larger diameters (e.g. 300mm diameter lens for a 33mm beam diameter) to focus the beam into within a larger field of view. Because the movable mirrors 132, 134 move the beam within a relatively small field of view, a large multi-element scanning lens (eg, an F-theta lens) is not required and therefore not used. According to one exemplary embodiment of the weld head 110 according to the present invention, a 50 mm diameter plano-convex focusing lens F300 can be used to focus a beam having a diameter of approximately 40 mm to move within an approximately 15×5 mm field of view. The use of a smaller focusing lens 142 also allows the use of additional auxiliary elements, such as an air knife and/or gas supply auxiliary elements, at the end of the welding head 110. The large scanning lenses required for traditional laser beam scanning heads limited the use of such accessories.

[0040] Хотя иллюстративный вариант осуществления головки 110 для лазерной сварки предусматривает два подвижных зеркала 132, 134, также могут использоваться другие типы и количества исполнительных элементов для сканирования для обеспечения схемы вобуляции. Другие оптические компоненты также могут использоваться в головке 110 для лазерной сварки, такие как расщепитель луча для расщепления лазерного луча для обеспечения по меньшей мере двух пятен луча для сварки (например, с обеих сторон сварного шва). Дополнительные оптические компоненты также могут включать дифракционную оптику и могут быть расположены между коллиматором 122 и зеркалами 132, 134.[0040] Although the exemplary embodiment of the laser welding head 110 provides for two movable mirrors 132, 134, other types and numbers of scanning actuators may also be used to provide the wobble pattern. Other optical components may also be used in the laser welding head 110, such as a beam splitter to split the laser beam to provide at least two beam spots for welding (eg, on both sides of the weld). Additional optical components may also include diffractive optics and may be located between collimator 122 and mirrors 132, 134.

[0041] Защитное окно 146 может быть предусмотрено перед линзой 142 для защиты линзы и других оптических элементов от мусора, образующегося в процессе сварки. Головка 110 для лазерной сварки также может содержать вспомогательный элемент головки для сварки, такой как воздушный нож, для обеспечения высокоскоростного потока воздуха на защитном окне 146 или фокусирующей линзе 142 для удаления мусора, и/или вспомогательный элемент для подачи газа для доставки защитного газа соосно или со смещением от оси к свариваемому участку для подавления струи дыма, образующейся при сварке. Следовательно, головка 110 для лазерной сварки с подвижными зеркалами может использоваться с существующими вспомогательными элементами головки для сварки.[0041] A protective window 146 may be provided in front of the lens 142 to protect the lens and other optical elements from debris generated during the welding process. The laser welding head 110 may also include an auxiliary welding head element, such as an air knife, to provide a high-velocity airflow to the protective window 146 or focusing lens 142 to remove debris, and/or an auxiliary gas supply element to deliver the shielding gas coaxially or with an offset from the axis to the welded area to suppress the jet of smoke generated during welding. Therefore, the moving mirror laser welding head 110 can be used with existing welding head accessories.

[0042] Согласно изображенному варианту осуществления система 150 ICI оптически соединена с головкой 110 для лазерной сварки, например, по технологической схеме после зеркал 132, 134. Система 150 ICI генерирует визуализирующий луч 152, который направляется по одной линии с обрабатывающим лучом 118. Фиксированное зеркало 144 может представлять собой дихроическое зеркало, которое отражает обрабатывающий луч 118 и позволяет визуализирующему лучу 152 проходить через него. Система 150 ICI содержит один или несколько исполнительных элементов для сканирования (не показаны) для перемещения визуализирующего луча 152 к одной или нескольким точкам измерения на свариваемом участке и по схеме вобуляции, что будет подробно описано ниже. В одном примере система 150 ICI включает систему IPG LDD-700 ICI, содержащую вспомогательную пару гальванометрических сканирующих зеркал, позволяющих размещать визуализирующий луч независимо от обрабатывающего луча. Согласно другим вариантам осуществления система 150 ICI может быть оптически присоединена по технологической схеме до зеркал 132, 134.[0042] According to the depicted embodiment, the ICI system 150 is optically coupled to the laser welding head 110, such as downstream of the mirrors 132, 134. The ICI system 150 generates an imaging beam 152 that is directed in line with the processing beam 118. Fixed mirror 144 may be a dichroic mirror that reflects the processing beam 118 and allows the imaging beam 152 to pass through. The ICI system 150 includes one or more scanning actuators (not shown) to move the imaging beam 152 to one or more measurement points in the area to be welded and in a wobble pattern, as will be described in detail below. In one example, ICI system 150 includes an IPG LDD-700 ICI system containing an auxiliary pair of galvanometric scanning mirrors to allow placement of the imaging beam independently of the processing beam. In other embodiments, the ICI system 150 may be optically process-coupled to the mirrors 132, 134.

[0043] Изображенный вариант осуществления системы 100 лазерной сварки дополнительно предусматривает управляющую систему 160 для управления волоконным лазером 112, размещения подвижных зеркал 132, 134 и/или подвижных платформ 108, 114, например, в зависимости от зарегистрированных условий в головке 110 для сварки, определенного места расположения шва 104 и/или перемещения и/или положения лазерного луча 118. Управляющая система 160 также может контролировать и/или управлять операцией сварки за счет приема данных от системы 150 ICI, например, представляющих результаты измерения глубины вдоль свариваемого участка.[0043] The depicted embodiment of the laser welding system 100 further provides a control system 160 for controlling the fiber laser 112, placing the movable mirrors 132, 134, and/or the movable platforms 108, 114, for example, depending on the recorded conditions in the welding head 110, determined the location of the seam 104 and/or the movement and/or position of the laser beam 118. The control system 160 may also monitor and/or control the welding operation by receiving data from the ICI system 150, for example representing depth measurements along the welded area.

[0044] Управляющая система 160 может управлять волоконным лазером 112, например, за счет выключения лазера, изменения мощности лазера или корректировки любого другого корректируемого параметра лазера. Управляющая система 160 также может управлять параметрами лазера (например, мощностью лазера) в зависимости от перемещения или положения луча 118 без выключения лазера 112. Если одно из подвижных зеркал 132, 134 перемещает луч 118 за пределы диапазона или слишком медленно, управляющая система 160 может снижать мощность лазера для динамического управления энергией пятна луча, чтобы избежать повреждения от лазера. Управляющая система 160 может дополнительно управлять выбором лазерных лучей в многолучевом волоконном лазере.[0044] The control system 160 may control the fiber laser 112, for example, by turning off the laser, changing the laser power, or adjusting any other adjustable laser parameter. Control system 160 can also control laser parameters (eg, laser power) based on the movement or position of beam 118 without turning off laser 112. If one of the moving mirrors 132, 134 moves beam 118 out of range or too slowly, control system 160 can reduce laser power to dynamically control beam spot energy to avoid laser damage. The control system 160 may further control the selection of laser beams in the multibeam fiber laser.

[0045] Управляющая система 160 может управлять одним или обоими подвижными зеркалами 132, 134 для обеспечения перемещения с вобуляцией во время сварки, что подробнее описано ниже. Управляющая система 160 также может управлять исполнительными элементами для сканирования в системе 150 ICI для управления перемещениями и/или размещением визуализирующего луча 152 на свариваемом участке, как описано ниже. Управляющая система 160 также может содержать системы обработки данных для корректировки результатов измерения ICI. Управляющая система 160 может дополнительно содержать генератор записей для генерирования записей результатов измерения ICI и систему оценки качества для выполнения анализа качества сваренных деталей.[0045] The control system 160 may control one or both of the movable mirrors 132, 134 to provide wobble movement during welding, as described in more detail below. The control system 160 may also control the scanning actuators in the ICI system 150 to control the movements and/or placement of the imaging beam 152 on the area to be welded, as described below. Control system 160 may also include data processing systems for correcting ICI measurement results. The control system 160 may further comprise a record generator for generating records of ICI measurement results and a quality evaluation system for performing quality analysis of the welded parts.

[0046] Управляющая система 160, таким образом, содержит средства управления лазером, управления вобуляцией, управления перемещением и управления ICI, работающие вместе для управления процессом сварки с вобуляцией и контроля процесса сварки с вобуляцией. Управляющая система 160 может содержать, например, аппаратное обеспечение (например, компьютер общего назначения или микроконтроллер) и программное обеспечение, известное для использования при управлении волоконными лазерами и гальванометрическими зеркалами. Может использоваться существующее программное обеспечение для гальванометрического управления, например, оно может быть модифицировано для обеспечения управления гальванометрическими зеркалами так, как описано в настоящем документе.[0046] The control system 160 thus includes laser control, wobble control, motion control, and ICI control working together to control the wobble welding process and control the wobble welding process. Control system 160 may include, for example, hardware (eg, a general purpose computer or microcontroller) and software known for use in controlling fiber lasers and galvanometer mirrors. Existing galvanometer control software may be used, for example it may be modified to provide control of galvanometer mirrors as described herein.

[0047] Система 100 лазерной сварки также может содержать вспомогательную измерительную систему 170, содержащую вспомогательные датчики, такие как фотодиоды, чувствительные к видимому и/или ИК-излучению, и/или камеры, некоторые из которых могут быть соединены с головкой 110 для сварки посредством оптических волокон. Вспомогательная измерительная система 170 может быть выполнена с возможностью измерения излучения процесса, например, в пределах спектрального диапазона от 100 нм до 20 мкм. Вспомогательная измерительная система 170 может содержать оптические элементы, такие как апертуры, линзы, сканирующие зеркала, оптические волокна (некоторые из которых могут быть соединены с обрабатывающим лазером или самой системой ICI), для выполнения пространственно локализованных измерений относительно обрабатывающего луча и/или измеряющего луча. Примеры вспомогательных датчиков описаны подробнее в патенте США №10124410, который включен в настоящий документ посредством ссылки. Один или несколько выводов из вспомогательной измерительной системы 170 могут использоваться для динамического сдвига визуализирующего луча от обрабатывающего луча на поверхности детали согласно положению обрабатывающего луча в пределах схемы вобуляции во время процесса сварки. Вспомогательная измерительная система 170 может быть выполнена с возможностью осуществления пространственно локализованного измерения в точке измерения, динамически сдвинутой от обрабатывающего луча на основании по меньшей мере одного вывода из системы ICI.[0047] The laser welding system 100 may also include an auxiliary measurement system 170 containing auxiliary sensors such as visible and/or IR sensitive photodiodes and/or cameras, some of which may be connected to the welding head 110 via optical fibers. Auxiliary measurement system 170 may be configured to measure the radiation of the process, for example, within the spectral range from 100 nm to 20 μm. Auxiliary measurement system 170 may include optical elements such as apertures, lenses, scanning mirrors, optical fibers (some of which may be coupled to the processing laser or the ICI system itself) to make spatially localized measurements relative to the processing beam and/or measurement beam. Examples of auxiliary sensors are described in more detail in US patent No. 10124410, which is incorporated herein by reference. One or more leads from the auxiliary measurement system 170 may be used to dynamically shift the imaging beam from the processing beam at the surface of the part according to the position of the processing beam within the wobble pattern during the welding process. The auxiliary measurement system 170 may be configured to perform a spatially localized measurement at a measurement point dynamically shifted from the processing beam based on at least one output from the ICI system.

[0048] На фиг. 2A-2D изображены примеры циклических или повторяемых схем вобуляции, которые могут использоваться для выполнения ротационной сварки трением шва, вместе с иллюстративными сварными швами, образованными с помощью них. На фиг. 2A и 2B показана схема с круговым движением по часовой стрелке, на фиг. 2B показана линейная схема, на фиг. 2C показана схема с «восьмеркой», и на фиг. 2D показана схема с формой знака бесконечности. Хотя изображены некоторые схемы вобуляции, другие схемы вобуляции находятся в пределах объема настоящего изобретения, включая, без ограничения, спиральные схемы. Одним из преимуществ использования подвижных зеркал в головке 110 для лазерной сварки является возможность перемещения луча согласно ряду различных схем вобуляции.[0048] FIG. 2A-2D depict examples of cyclic or repeating wobble patterns that can be used to perform friction welding, together with illustrative welds formed therewith. In FIG. 2A and 2B show a circuit with clockwise circular motion, FIG. 2B shows a line diagram, FIG. 2C shows the figure eight circuit, and FIG. 2D shows a circuit with an infinity sign shape. Although some wobble patterns are depicted, other wobble patterns are within the scope of the present invention, including, without limitation, helical patterns. One of the advantages of using movable mirrors in the laser welding head 110 is the ability to move the beam according to a number of different wobble patterns.

[0049] На фиг. 3A и 3B изображено сравнение стандартного сварного шва со сварным швом, образованным с помощью схемы вобуляции. Системы и способы лазерной сварки, описанные в настоящем документе, могут использоваться для улучшения сварки с такими материалами, как титан, которые, как правило, трудно сваривать.[0049] FIG. 3A and 3B show a comparison of a standard weld with a weld formed with a wobble pattern. The laser welding systems and methods described herein can be used to improve welding with materials such as titanium, which are generally difficult to weld.

[0050] На фиг. 4 и 5 более подробно изображен иллюстративный вариант осуществления сканирующей головки 410 для лазерной сварки. Хотя показан один конкретный вариант осуществления, другие варианты осуществления головки для лазерной сварки, а также систем и способов, описанных в настоящем документе, находятся в пределах объема настоящего изобретения. Как показано на фиг. 4 и 5, головка 410 для лазерной сварки содержит коллимирующий модуль 420, модуль 430 вобуляции и основной модуль 440. Модуль 430 вобуляции содержит исполнительный элемент (элементы) для сканирования, такие как первое и второе подвижные зеркала, как описано выше, и он присоединен между коллимирующим модулем 420 и основным модулем 440.[0050] FIG. 4 and 5, an exemplary embodiment of a laser welding scan head 410 is shown in more detail. Although one specific embodiment is shown, other embodiments of the laser welding head and systems and methods described herein are within the scope of the present invention. As shown in FIG. 4 and 5, the laser welding head 410 includes a collimating module 420, a wobble module 430, and a main module 440. The wobble module 430 includes a scanning actuator(s) such as first and second movable mirrors as described above, and is connected between collimating module 420 and main module 440.

[0051] Коллимирующий модуль 420 может содержать коллиматор (не показан) с фиксированной парой коллиматорных линз, известных для использования в лазерных головках для сварки. Согласно другим вариантам осуществления коллиматор может содержать другие конфигурации линз, например подвижные линзы, способные регулировать размер пятна луча и/или фокальную точку. Модуль 430 вобуляции может содержать первый и второй гальванометры (не показаны) для перемещения гальванометрических зеркал (не показаны) относительно различных перпендикулярных осей. Могут использоваться гальванометры, известные для использования в головках для сканирования лазерного луча. Гальванометры могут быть соединены с гальванометрическим контроллером (не показан). Гальванометрический контроллер может содержать аппаратное обеспечение и/или программное обеспечение для управления гальванометрами для управления перемещением зеркал и, следовательно, перемещением и/или размещением лазерного луча. Может использоваться известное программное обеспечение для гальванометрического управления, и оно может быть модифицировано для предоставления функциональных возможностей, описанных в настоящем документе, например, поиска шва, схем вобуляции и связи с лазером. Основной модуль 440 может содержать фиксированное зеркало (не показано), которое перенаправляет луч, принятый от модуля 430 вобуляции, к фокусирующей линзе, а затем к детали. Система ICI может быть соединена, например, с основным модулем 440, и фиксированное зеркало в основном модуле 440 может представлять собой дихроическое зеркало, позволяющее отраженному визуализирующему лучу проходить назад через него в систему ICI, что будет подробно описано ниже.[0051] The collimating module 420 may include a collimator (not shown) with a fixed pair of collimator lenses known for use in welding laser heads. In other embodiments, the collimator may comprise other lens configurations, such as movable lenses capable of adjusting the beam spot size and/or focal point. Wobble module 430 may include first and second galvanometers (not shown) for moving galvanometer mirrors (not shown) about different perpendicular axes. Galvanometers known for use in laser beam scanning heads may be used. Galvanometers may be connected to a galvanometer controller (not shown). The galvanometer controller may include hardware and/or software to control the galvanometers to control the movement of the mirrors and hence the movement and/or placement of the laser beam. Known galvanometric control software may be used and may be modified to provide the functionality described herein, such as seam search, wobble patterns, and laser communication. The main module 440 may include a fixed mirror (not shown) that redirects the beam received from the wobble module 430 to a focusing lens and then to the part. The ICI system may be coupled to the main module 440, for example, and the fixed mirror in the main module 440 may be a dichroic mirror allowing the reflected imaging beam to pass back through it into the ICI system, as will be detailed below.

[0052] На фиг. 4 и 5 показаны собранная головка 410 для лазерной сварки с каждым из модулей 420, 430, 440, соединенных друг с другом и излучающих сфокусированный луч 418. Лазерный луч, входящий в коллимирующий модуль 420, подвергается коллимации, и коллимированный луч направляется в модуль 430 вобуляции. Модуль 430 вобуляции перемещает коллимированный луч с использованием зеркал и направляет перемещающийся коллимированный луч к основному модулю 440. Основной модуль 440 затем фокусирует перемещающийся луч и сфокусированный луч 418 направляется к детали (не показана).[0052] FIG. 4 and 5 show an assembled laser welding head 410 with each of the modules 420, 430, 440 connected to each other and emitting a focused beam 418. The laser beam entering the collimating module 420 is collimated and the collimated beam is directed to the wobble module 430 . The wobble module 430 moves the collimated beam using mirrors and guides the moving collimated beam towards the main module 440. The main module 440 then focuses the moving beam and the focused beam 418 is directed towards the part (not shown).

[0053] На фиг. 6 показан пример системы 650 ICI, содержащей конфигурацию интерферометра и использующей низкокогерентную интерферометрию для контроля системы для сварки с вобуляцией, как описано выше. В изображенном варианте осуществления используется интерферометр Майкельсона; однако системы ICI с другими конфигурациями интерферометрии, например, интерферометр Маха-Цендера, также могут использоваться с системой для сварки с вобуляцией и они находятся в пределах объема настоящего изобретения.[0053] FIG. 6 shows an example of an ICI system 650 containing an interferometer configuration and using low coherence interferometry to control the wobbling welding system as described above. In the depicted embodiment, a Michelson interferometer is used; however, ICI systems with other interferometry configurations, such as the Mach-Zehnder interferometer, can also be used with a wobbling welding system and are within the scope of the present invention.

[0054] Система 650 ICI содержит источник 652 визуализирующего луча для генерирования одного или нескольких визуализирующих лучей 652 и расщепитель/объединитель 654 для расщепления визуализирующего луча (лучей) 652 таким образом, что по меньшей мере один компонент 652a визуализирующего луча направляется в сторону детали 602 (т.е. применяется к отводу 656 для получения образца) и по меньшей мере один компонент 652b визуализирующего луча направляется в сторону эталонного зеркала 657 (т.е. применяется к эталонному отводу 658). Согласно изображенному варианту осуществления компонент 652a визуализирующего луча, направленный в сторону детали 602, проходит через дихроическое зеркало 644, которое отражает обрабатывающий луч 618, используемый для осуществления сварки с вобуляцией. Другие объединяющие оптические элементы также могут использоваться для объединения компонента 652a визуализирующего луча с обрабатывающим лучом 618, при этом позволяя отраженному компоненту 652a визуализирующего луча проходить назад в сторону объединителя 654.[0054] The ICI system 650 includes an imaging beam source 652 for generating one or more imaging beams 652 and a splitter/combiner 654 for splitting the imaging beam(s) 652 such that at least one imaging beam component 652a is directed toward part 602 ( ie, applied to sample acquisition finger 656) and at least one imaging beam component 652b is directed toward reference mirror 657 (ie, applied to reference finger 658). In the depicted embodiment, the imaging beam component 652a directed toward workpiece 602 passes through a dichroic mirror 644 that reflects the processing beam 618 used to perform wobble welding. Other merging optics may also be used to combine imaging beam component 652a with processing beam 618 while allowing reflected imaging beam component 652a to pass back toward combiner 654.

[0055] Компоненты визуализирующего луча, отраженные от детали 602 и эталонного зеркала 657, затем объединяются посредством расщепителя/объединителя 654 для предоставления объединенного сигнала в качестве интерферометрического вывода. Система 650 ICI дополнительно содержит детектор 655 сигналов, например, высокоскоростной спектральный детектор, для приема и обнаружения объединенного сигнала от отраженных компонентов 652a, 652b визуализирующего луча с получением интерферограмма из интерферометрического вывода. Интерферограмма может быть передана на устройство 661 обработки интерферограмм для обработки интерферограммы и вычисления результатов измерения (например, результатов измерения глубины) из нее. Устройство 661 обработки интерферограмм может быть частью системы 650 ICI или управляющей системы 160, показанной на фиг. 1.[0055] The imaging beam components reflected from workpiece 602 and reference mirror 657 are then combined by splitter/combiner 654 to provide the combined signal as an interferometric output. The ICI system 650 further comprises a signal detector 655, such as a high speed spectral detector, for receiving and detecting a combined signal from reflected imaging beam components 652a, 652b to obtain an interferogram from the interferometric output. The interferogram may be transmitted to the interferogram processor 661 to process the interferogram and calculate measurement results (eg, depth measurement results) from it. Interferogram processor 661 may be part of ICI system 650 or control system 160 shown in FIG. 1.

[0056] Согласно этому варианту осуществления система 650 ICI дополнительно содержит один или несколько исполнительных элементов 659 для сканирования визуализирующего луча, таких как 2-осевой гальванометрический сканер или другие активные отклоняющие устройства, для сканирования компонента 652a визуализирующего луча независимо от обрабатывающего луча 618. Исполнительные элементы 659 для сканирования могут использоваться, например, для сканирования компонента 652a визуализирующего луча так, чтобы он оставался по существу выровненным с обрабатывающим лучом 618 при его перемещении по схеме вобуляции. Исполнительные элементы 659 для сканирования также могут использоваться для сканирования компонента 652a визуализирующего луча в различных схемах сканирования, охватывающих схему вобуляции обрабатывающего луча 618, что будет подробно описано ниже. Согласно другим вариантам осуществления система 650 ICI может содержать несколько отводов 656 для получения образца и/или несколько эталонных отводов 658. Например, несколько эталонных отводов 658 с разными длинами оптического пути могут использоваться для учета изменений в длине оптического пути при сканировании компонента 652a визуализирующего луча.[0056] According to this embodiment, the ICI system 650 further comprises one or more imaging beam scanning actuators 659, such as a 2-axis galvanometer scanner or other active deflectors, for scanning the imaging beam component 652a independently of the processing beam 618. 659 for scanning may be used, for example, to scan the imaging beam component 652a so that it remains substantially aligned with the processing beam 618 as it moves through the wobble pattern. Scanning actuators 659 may also be used to scan the imaging beam component 652a in various scan patterns encompassing the processing beam wobble pattern 618, which will be described in detail below. In other embodiments, ICI system 650 may comprise multiple sample acquisition taps 656 and/or multiple reference taps 658. For example, multiple reference taps 658 with different optical path lengths may be used to account for changes in optical path length as imaging beam component 652a is scanned.

[0057] На фиг. 7 показан и описан способ контроля сварка с вобуляцией с использованием ICI. Способ предусматривает направление 710 по меньшей мере одного обрабатывающего луча (например, обрабатывающего луча 118, 618) и по меньшей мере одного визуализирующего луча (например, визуализирующего луча 152, 652a) от системы ICI к свариваемому участку. Обрабатывающий луч перемещают 712 по схеме вобуляции на свариваемом участке, например, как описано выше. Визуализирующий луч перемещают 714 по меньшей мере частично независимо от обрабатывающего луча к одной или нескольким точкам измерения на свариваемом участке, в том числе, например, на схеме вобуляции. Результаты измерения ICI получают 716 из одной или нескольких точек измерения при перемещении обрабатывающего луча по схеме вобуляции. Визуализирующий луч можно перемещать для получения результатов измерения ICI в разных точках, что позволяет оценивать различные аспекты сварки с вобуляцией, в том числе, например, характеристики замочной скважины и/или ванны расплава, что подробнее описано ниже. Визуализирующий луч также могут перемещать вдоль того же пути вобуляции и по существу выровненным с обрабатывающим лучом. Колебание или вобуляция визуализирующего луча также может осуществляться локально в одной или нескольких точках измерения.[0057] FIG. 7 shows and describes a method for controlling wobble welding using ICI. The method includes directing 710 at least one processing beam (eg, processing beam 118, 618) and at least one imaging beam (eg, imaging beam 152, 652a) from the ICI system to the area to be welded. The processing beam is moved 712 in a wobble pattern in the area to be welded, for example, as described above. The imaging beam is moved 714 at least partially independently of the processing beam to one or more measurement points in the area to be welded, including, for example, a wobble pattern. ICI measurements are obtained 716 from one or more measurement points as the processing beam moves through the wobble pattern. The imaging beam can be moved to obtain ICI measurements at different points, which allows evaluation of various aspects of wobble welding, including, for example, keyhole and/or molten pool characteristics, as described in more detail below. The imaging beam can also be moved along the same wobble path and substantially aligned with the processing beam. The imaging beam can also oscillate or wobble locally at one or more measurement points.

[0058] Результаты измерения ICI также могут использоваться для управления процессом сварки с вобуляцией, например, за счет корректировки одного или нескольких параметров обработки и/или перемещения с вобуляцией обрабатывающего луча. Примеры управления включают управление с обратной связью, например, как описано в патентах США №8822875, 9757817 и 10124410, которые находятся в совместном владении с этой заявкой и полностью включены в настоящий документ посредством ссылки.[0058] The results of the ICI measurement can also be used to control the wobbling welding process, for example by adjusting one or more processing parameters and/or wobbling the processing beam. Control examples include feedback control, for example, as described in US Pat.

[0059] Как показано на фиг. 8 и 9, один вариант осуществления контроля процесса сварки с вобуляцией с использованием ICI предусматривает перемещение визуализирующего луча 152 для растрового сканирования свариваемого участка по схеме сканирования по множеству точек измерения, охватывающей схему вобуляции, с образованием карты глубины свариваемого участка. В одном примере вобуляция обрабатывающего луча 118 осуществлялась по круговой схеме, и его перемещали в направлении 3 сварки для выполнения линейных валиков, наплавленных на пластину, в образцах из нержавеющей стали (304). Во время каждой сварки осуществлялось растровое сканирование измеряющего луча ICI или визуализирующего луча по схеме квадратной сетки размером 1,5 на 1,5 мм с центром по оси обрабатывающего луча (в неподвижном состоянии). Результаты измерения глубины от каждой точки в схеме сетки объединяли с образованием асинхронных трехмерных изображений свариваемого участка. Параметры процесса поддерживали постоянными согласно таблице 1 ниже, за исключением диаметра схемы вобуляции, который варьировал от 0 мкм (эквивалентно сварному шву с неподвижной оптикой) до 500 мкм. Трехмерные изображения последовательных сварных швов объединяли за счет вычисления средней глубины в каждой точке в системе координат (x,y) для построения репрезентативной глубины поверхности материала, включая исходную сталь, замочную скважину и ванну расплава.[0059] As shown in FIG. 8 and 9, one embodiment of monitoring the wobble welding process using ICI involves moving the imaging beam 152 to raster scan the weld area in a multi-point scan pattern spanning the wobble pattern to form a weld depth map. In one example, the processing beam 118 was wobbled in a circular pattern and moved in the welding direction 3 to form linear plate-welded beads in (304) stainless steel specimens. During each welding, a raster scan of the ICI measuring beam or imaging beam was carried out in a 1.5 by 1.5 mm square grid pattern centered on the processing beam axis (while stationary). The depth measurements from each point in the grid layout were combined to form asynchronous 3D images of the welded area. The process parameters were kept constant according to Table 1 below, except for the diameter of the wobble pattern, which varied from 0 µm (equivalent to a fixed optic weld) to 500 µm. Three-dimensional images of successive welds were combined by calculating the average depth at each point in the coordinate system (x,y) to construct a representative surface depth of the material, including the parent steel, keyhole and melt pool.

Таблица 1: параметры процесса для экспериментов с формой замочной скважины.Table 1: Process parameters for keyhole shape experiments.

ПараметрParameter ЗначениеMeaning Мощность лазераLaser power 1500 Вт1500 W Скорость подачи материалаMaterial feed rate 50 мм/с50 mm/s Размер лазерного пятнаLaser spot size 200 мкм200 µm Частота вобуляцииWobble frequency 500 Гц500 Hz Диаметр вобуляцииWobble diameter 0–500 мкм (переменный)0–500 µm (variable) Форма вобуляцииWobble shape КруговаяCircular

[0060] На фиг. 9 показаны карты усредненной глубины для сварных швов в нержавеющей стали с переменными диаметрами вобуляции (например, без вобуляции, 100 мкм, 200 мкм, 300 мкм, 400 мкм и 500 мкм), причем направление сварки проходит справа налево на изображениях. Каждая карта представляет собой комбинацию из пяти последовательных трехмерных изображений, полученных во время разных операций сварки с идентичными параметрами. Качественное изменение карты глубины можно наблюдать между диаметрами вобуляции 100 мкм и 200 мкм. Для сварки с фиксированным лучом и для луча с вобуляцией диаметром 100 мкм в результате процесса получали локализованную замочную скважину, углубленную в центре изображения. [0060] FIG. 9 shows averaged depth maps for welds in stainless steel with variable wobble diameters (e.g., no wobble, 100 µm, 200 µm, 300 µm, 400 µm, and 500 µm), with the weld direction running from right to left in the images. Each map is a combination of five consecutive 3D images obtained during different welding operations with identical parameters. A qualitative change in the depth map can be observed between wobble diameters of 100 µm and 200 µm. For fixed beam welding and for a beam with a 100 µm diameter wobble, the process resulted in a localized keyhole recessed in the center of the image.

[0061] При диаметре 200 мкм и более ванна расплава начинает входить в центр схемы вобуляции (например, как указано измеренными глубинами, аналогичными поверхности материала). При превышении этого диаметра более глубокие измерения замочной скважины попадают в кольцевое распределение. В этом режиме замочная скважина описывает круговую схему в пределах большей ванны расплава, следуя за обрабатывающим лучом во время его движения. Другими словами, увеличение диаметра вобуляции до сфокусированного диаметра обрабатывающего луча привело к переходу распределения глубины замочной скважины от одной локализованной области замочной скважины к вращающейся замочной скважине с высоким центральным участком расплава, выровненным с поверхностью материала.[0061] At a diameter of 200 µm or more, the melt pool begins to enter the center of the wobble pattern (eg, as indicated by measured depths similar to the surface of the material). Above this diameter, the deeper keyhole measurements fall into the annular distribution. In this mode, the keyhole traces a circular pattern within the larger melt pool, following the treatment beam as it travels. In other words, increasing the wobble diameter to the focused processing beam diameter resulted in the keyhole depth distribution shifting from a single localized keyhole area to a rotating keyhole with a high central melt aligned with the surface of the material.

[0062] Эти результаты интуитивно понятны, если учесть диаметр обрабатывающего луча. Для этих экспериментов номинальный диаметр луча 1/e2 в фокусе составлял 200 мкм. При увеличении диаметра вобуляции для соответствия диаметру луча, больше не существует заметной области перекрытия интенсивности в центре на протяжении каждого оборота обрабатывающего луча. Это приводит к дефициту давления отдачи при испарении на оси процесса по сравнению со схемами вобуляции меньшего диаметра, и заставляет замочную скважину переходить к отчетливому вращательному движению. Для диаметров вобуляции, которые меньше диаметра луча, распределение глубины замочной скважины более похоже на таковое для замочной скважины с фиксированным лучом. В этом режиме все еще может происходить небольшое вращение замочной скважины вслед за обрабатывающим лучом, что не будет видно на изображениях, показанных на фиг. 9. Это может повлиять на динамические свойства ванны расплава и общую стабильность процесса таким образом, который невозможен при использовании луча большего диаметра с эквивалентным усредненным по времени распределением интенсивности.[0062] These results are intuitive when considering the diameter of the processing beam. For these experiments, the nominal beam diameter 1/e 2 at the focus was 200 μm. By increasing the wobble diameter to match the beam diameter, there is no longer a noticeable area of intensity overlap at the center during each revolution of the processing beam. This results in a deficit in evaporative recoil pressure on the process axis compared to smaller diameter wobble patterns, and causes the keyhole to move into a distinct rotational motion. For wobble diameters that are smaller than the beam diameter, the keyhole depth distribution is more similar to that of a fixed beam keyhole. In this mode, there may still be some keyhole rotation following the treatment beam, which will not be seen in the images shown in FIG. 9. This can affect the dynamic properties of the molten bath and the overall stability of the process in a way that is not possible with a larger diameter beam with an equivalent time-averaged intensity distribution.

[0063] Как показано на фиг. 10-12, другой вариант осуществления контроля процесса сварки с вобуляцией с использованием ICI предусматривает перемещение визуализирующего луча 152 ICI к одной или нескольким фиксированным точкам вдоль схемы вобуляции для получения фиксированных результатов измерения ICI в точке (точках). В одном примере вобуляция обрабатывающего луча 118 осуществлялась с помощью круговой схемы вобуляции, и он перемещался в направлении 3 сварки для получения линейных валиков, наплавленных на пластину, в меди (110) с целью наблюдения и сравнения стабильности колебаний глубины замочной скважины в определенных фиксированных точках в пределах схемы вобуляции. Результаты измерения замочной скважины получали непрерывно в фиксированных точках по схеме вобуляции в течение всей продолжительности каждой операции сварки. Различные положения измерения были исследованы во время последовательных операций сварки с идентичными параметрами в соответствии с таблицей 2 ниже.[0063] As shown in FIG. 10-12, another embodiment of monitoring a wobble welding process using ICI involves moving the ICI imaging beam 152 to one or more fixed points along the wobble pattern to obtain fixed ICI measurements at the point(s). In one example, the processing beam 118 was wobbled with a circular wobble pattern and moved in the welding direction 3 to produce linear plate-deposited beads in copper (110) to observe and compare the stability of keyhole depth fluctuations at certain fixed points in within the wobble pattern. Keyhole measurement results were obtained continuously at fixed points in a wobble pattern throughout the duration of each welding operation. Different measurement positions were examined during successive welding operations with identical parameters according to Table 2 below.

Таблица 2: параметры процесса при стабильной замочной скважине в фиксированных точках.Table 2: Process parameters for a stable keyhole at fixed points.

ПараметрParameter ЗначениеMeaning Мощность лазераLaser power 3000 Вт3000 W Скорость подачи материалаMaterial feed rate 50 мм/с50 mm/s Размер лазерного пятнаLaser spot size 200 мкм200 µm Частота вобуляцииWobble frequency 500 Гц500 Hz Диаметр вобуляцииWobble diameter 500 мкм 500 µm Форма вобуляцииWobble shape КруговаяCircular

[0064] В этом примере статичные результаты измерения глубины ICI получали в четырех основных точках (например, 152a-d) вокруг круговой схемы вобуляции. Две точки (например, 152a, 152b) вдоль оси, параллельной направлению сварки, называются передней (152a) и задней (152b), и две точки (например, 152c, 152d) вдоль оси, перпендикулярной направлению 3 сварки, также называются быстрой (152c) и медленной (152d). Движение обрабатывающего луча в сочетании со скоростью перемещения головки относительно детали создает асимметрию в локальной скорости перемещения луча между быстрой и медленной сторонами схемы вобуляции. Исходя из параметров вобуляции, окружная скорость обрабатывающего луча в системе отсчета обрабатывающей головки составила 785 мм/с. На быстрой стороне схемы вобуляции обрабатывающий луч перемещался со скоростью 835 мм/с в прямом направлении 3 сварки (относительно материала), в то время как на медленной стороне схемы вобуляции луч перемещался со скоростью 735 мм/с в направлении задней части сварного шва.[0064] In this example, static ICI depth measurements were obtained at four primary points (eg, 152a-d) around the circular wobble pattern. Two points (e.g. 152a, 152b) along an axis parallel to the welding direction are called front (152a) and back (152b), and two points (e.g. 152c, 152d) along an axis perpendicular to welding direction 3 are also called fast (152c ) and slow (152d). The motion of the processing beam, combined with the speed of the head relative to the workpiece, creates an asymmetry in the local speed of the beam between the fast and slow sides of the wobble pattern. Based on the wobble parameters, the circumferential velocity of the processing beam in the processing head reference frame was 785 mm/s. On the fast side of the wobble pattern, the treatment beam moved at 835 mm/s in the forward weld direction 3 (relative to material), while on the slow side of the wobble pattern, the beam moved at 735 mm/s towards the back of the weld.

[0065] Данные о глубине, полученные таким образом, включают результаты измерения со дна замочной скважины, когда обрабатывающий луч 118 пересекает измеряющий луч (152a-d), и результаты измерения с поверхности ванны расплава в другое время. Данные о глубине были сокращены до набора минимумов замочной скважины путем поиска локального минимума в пределах каждого ожидаемого интервала пересечения двух лучей. На фиг. 11 показаны итоговые глубины замочной скважины для всех четырех точек измерения (т.е. переднего, заднего, медленного и быстрого краев схемы вобуляции) во время создания различных валиков, наплавленных на пластину, в меди с идентичными параметрами. На фиг. 12 показаны средние глубины и стандартные отклонения для каждой из этих точек измерения в основных точках круговой схемы вобуляции.[0065] The depth data thus obtained includes measurements from the bottom of the keyhole when the processing beam 118 intersects the measurement beam (152a-d) and measurements from the surface of the molten bath at other times. The depth data was reduced to a set of keyhole minima by looking for a local minimum within each expected two-beam intersection interval. In FIG. 11 shows the resulting keyhole depths for all four measurement points (i.e. front, back, slow and fast edges of the wobble pattern) during the creation of different beads deposited on a plate in copper with identical parameters. In FIG. 12 shows the average depths and standard deviations for each of these measurement points at the main points of the circular wobble pattern.

[0066] Каждый из четырех наборов результатов измерения глубины на фиг. 11 отображает его собственные характеристические признаки глубины и стабильности. Передние и задние результаты измерения демонстрируют заметную разницу в глубине провара (например, приблизительно 400 мкм). Когда замочная скважина перемещается по заднему краю схемы вобуляции (ближайшему к большей части объема расплава), она достигает большей глубины провара, чем на переднем краю схемы. Медленные и быстрые края схемы различаются как по глубине, так и по стабильности. Согласно наблюдениям медленный край схемы вобуляции достигает в среднем большей глубины, чем быстрый край схемы. Этот увеличенный провар на медленном краю сопровождается большей вариабельностью результатов измерений глубины по сравнению с другими точками измерения. Более глубокие «пики», наблюдаемые в данных быстрого края, согласуются с тем, что это наименее стабильный участок траектории вращения замочной скважины для параметров, протестированных в данном случае. В дополнение к различиям в поверхностной скорости обрабатывающего луча между медленной и быстрой сторонами схемы вобуляции, эта асимметрия также может быть частично связана с динамическими свойствами расплава, вызванными эффектом перемешивания движущейся замочной скважины.[0066] Each of the four sets of depth measurements in FIG. 11 displays its own characteristic features of depth and stability. Anterior and posterior measurements show a noticeable difference in penetration (eg approximately 400 µm). As the keyhole travels along the trailing edge of the wobble pattern (closest to most of the melt volume), it reaches a greater depth of penetration than at the leading edge of the pattern. The slow and fast edges of the circuit differ in both depth and stability. It has been observed that the slow edge of the wobble pattern reaches, on average, more depth than the fast edge of the pattern. This increased penetration at the slow edge is accompanied by greater variability in depth measurements compared to other measurement points. The deeper "peaks" observed in the fast edge data are consistent with this being the least stable portion of the keyhole rotation trajectory for the parameters tested in this case. In addition to differences in the surface speed of the processing beam between the slow and fast sides of the wobble pattern, this asymmetry can also be partly due to the dynamic properties of the melt caused by the stirring effect of the moving keyhole.

[0067] Как показано на фиг. 13-15, дополнительный вариант осуществления контроля процесса сварки с вобуляцией с использованием ICI предусматривает перемещение визуализирующего луча 152 вдоль схемы вобуляции в направлении, противоположном направлению перемещения обрабатывающего луча 118, и синхронно с периодом вобуляции. В одном примере вобуляция обрабатывающего луча 118 осуществлялась с помощью круговой схемы, и он перемещался в направлении 3 сварки для получения линейных валиков, наплавленных на пластину, в меди (110) и алюминии (6061) для оценки вариации глубины замочной скважины в пределах схемы вобуляции. Параметры сварки поддерживали постоянными для каждого материала, за исключением скорости сварки, которая менялась, как указано в таблице 3 ниже. Измеряющий луч ICI или визуализирующий луч 152 были повернуты в противоположные стороны относительно обрабатывающего луча 118, что приводило к множественным пересечениям замочной скважины и измеряющего луча в течение периода вобуляции.[0067] As shown in FIG. 13-15, a further embodiment of monitoring the wobble welding process using ICI involves moving the imaging beam 152 along the wobble pattern in the opposite direction to that of the processing beam 118 and in sync with the wobble period. In one example, the processing beam 118 was wobbled in a circular pattern and moved in the weld direction 3 to produce linear plate-faced beads in copper (110) and aluminum (6061) to evaluate keyhole depth variation within the wobble pattern. The welding parameters were kept constant for each material, except for the welding speed, which varied as indicated in Table 3 below. The ICI measurement beam or imaging beam 152 was rotated in opposite directions relative to the processing beam 118, resulting in multiple keyhole and measurement beam intersections during the wobble period.

Таблица 3: параметры процесса при изменениях глубины замочной скважины в пределах схемы вобуляции.Table 3: Process parameters for changes in keyhole depth within the wobble pattern.

ПараметрParameter ЗначениеMeaning Мощность лазераLaser power Алюминий: 1500 Вт
Медь: 3000 Вт
Aluminum: 1500 W
Copper: 3000 W
Скорость подачи материалаMaterial feed rate 50, 75, 100 мм/с50, 75, 100 mm/s Размер лазерного пятнаLaser spot size 200 мкм200 µm Частота вобуляцииWobble frequency 500 Гц500 Hz Диаметр вобуляцииWobble diameter 500 мкм 500 µm Форма вобуляцииWobble shape КруговаяCircular

[0068] Полученная информация о глубине включает результаты измерения замочной скважины (когда лучи выровнены) и поверхности ванны расплава (когда лучи находятся в разных точках вокруг пути вобуляции). Измеряющий и обрабатывающий лучи встречаются через равные промежутки, определяемые их соответствующими частотами вращения, в данном документе называемые «интервалом пересечения». Набор минимумов замочной скважины был извлечен из каждого набора данных о глубине путем поиска локального минимума в пределах каждого ожидаемого интервала пересечения. На фиг. 14 показаны глубины замочной скважины, измеренные с передней, задней, левой и правой точек схемы вобуляции во время создания различных валиков, наплавленных на пластину, в меди, где каждая точка в схеме вобуляции характеризуется разными характеристиками глубины и стабильности.[0068] Depth information obtained includes measurements of the keyhole (when the beams are aligned) and the surface of the melt bath (when the beams are at different points around the wobble path). The measuring and processing beams meet at regular intervals determined by their respective rotational frequencies, herein referred to as the "crossing interval". A set of keyhole minima was extracted from each depth dataset by searching for a local minimum within each expected intersection interval. In FIG. 14 shows the keyhole depths measured from the front, back, left, and right points of the wobble pattern during the creation of various plate-faced beads in copper, where each point in the wobble pattern has different depth and stability characteristics.

[0069] Затем эти минимумы замочной скважины были построены как функция полярного угла вокруг оси процесса. Значения глубины были разделены на интервалы в 10 градусов вокруг круговой схемы вобуляции, и были рассчитаны среднее значение и стандартное отклонение для каждого интервала. Чтобы помочь охарактеризовать величину изменения замочной скважины, а также ориентацию экстремумов глубины замочной скважины относительно направления сварки, для каждого набора глубин была подобрана синусоида с использованием только фазы и амплитуды в качестве свободных переменных. На фиг. 15 показана средняя глубина провара минимумов замочной скважины в зависимости от угла поворота вокруг схемы вобуляции для сварных швов в меди и алюминии при различных скоростях сварки. Среднее значение провара в каждом случае приведено в соответствие с синусоидой, чтобы помочь оценить как степень вариабельности глубины, так и ориентацию экстремумов глубины провара относительно направления движения сварки. На каждом графике направление назад отмечено пунктирной линией под углом 180 градусов, медленная сторона схемы вобуляции находится под углом 90 градусов, а быстрая сторона - под углом 270 градусов.[0069] These keyhole minima were then plotted as a function of the polar angle about the process axis. Depth values were divided into 10 degree intervals around a circular wobble pattern, and the mean and standard deviation were calculated for each interval. To help characterize the amount of keyhole change as well as the orientation of the keyhole depth extremes relative to the weld direction, a sinusoid was fitted for each set of depths using only phase and amplitude as free variables. In FIG. 15 shows the average penetration depth of the keyhole minima as a function of the angle of rotation around the wobble pattern for welds in copper and aluminum at various welding speeds. The average penetration value in each case is adjusted to a sinusoid to help evaluate both the degree of depth variability and the orientation of penetration depth extremes relative to the direction of welding motion. In each graph, the backward direction is marked with a dashed line at 180 degrees, the slow side of the wobble pattern is at 90 degrees, and the fast side is at 270 degrees.

[0070] На основании результатов, показанных на фиг. 15, два разных эффекта могут оказывать влияние на глубину замочной скважины в разных точках вокруг схемы вобуляции. Первый эффект предполагает изменение глубины замочной скважины в зависимости от скорости перемещения обрабатывающего луча по поверхности материала. По отдельности этот эффект будет иметь тенденцию смещать экстремумы глубины замочной скважины в сторону медленных и быстрых краев схемы вобуляции, где возникают максимальная и минимальная скорости перемещения обрабатывающего луча. Второй эффект предполагает изменение глубины замочной скважины в зависимости от температуры материала, на которую влияет близость к большей части объема расплава (который следует за процессом). Теоретически, как только сварка продлится достаточно долго для того, чтобы ванна расплава полностью сформировалась, материал, на который падает обрабатывающий луч на заднем краю схемы вобуляции, должен иметь более высокую температуру, чем на переднем краю. [0070] Based on the results shown in FIG. 15, two different effects can affect keyhole depth at different points around the wobble pattern. The first effect involves a change in the depth of the keyhole depending on the speed of movement of the processing beam over the surface of the material. Individually, this effect will tend to shift the keyhole depth extremes towards the slow and fast edges of the wobble pattern where the maximum and minimum processing beam speeds occur. The second effect involves a change in keyhole depth depending on the temperature of the material, which is affected by proximity to the majority of the melt volume (which follows the process). Theoretically, once the weld is long enough for the molten pool to fully form, the material hit by the treatment beam at the trailing edge of the wobble pattern should be at a higher temperature than at the leading edge.

[0071] На основании результатов, показанных на фиг. 15, как для алюминия, так и для меди, экстремумы глубины, по-видимому, возникают по направлению к передней/задней оси схемы вобуляции. Это согласуется с тем, что близость к заднему объему расплава действует как доминирующий эффект на глубину замочной скважины в пределах схемы вобуляции. Все же можно было бы ожидать некоторого отклонения от медленной или быстрой стороны схемы вобуляции на основе эффектов поверхностной скорости. Такая тенденция, по-видимому, присутствует в медных сварных швах, причем все они демонстрируют смещение максимума глубины примерно на 20 градусов в сторону медленной стороны схемы вобуляции. Результаты по алюминию не демонстрируют последовательной тенденции к медленным или быстрым краям, но данные о глубине по алюминию были заметно более шумными, чем данные по меди, и это могло вызвать несогласованность в положении подобранных экстремумов глубины. В случае этого конкретного процесса в алюминии преобладающее изменение глубины замочной скважины, по-видимому, происходит между передним и задним краями схемы вобуляции.[0071] Based on the results shown in FIG. 15, for both aluminum and copper, depth extremes appear to occur towards the front/back axis of the wobble pattern. This is consistent with the fact that proximity to the rear melt volume acts as a dominant effect on keyhole depth within the wobble pattern. Still, one would expect some deviation from the slow or fast side of the wobble pattern based on surface velocity effects. This trend appears to be present in the copper welds, all of which exhibit a depth maximum shift of about 20 degrees towards the slow side of the wobble pattern. The aluminum results do not show a consistent trend towards slow or fast edges, but the aluminum depth data was noticeably noisier than the copper data, and this may have caused inconsistencies in the position of the fitted depth extremes. In the case of this particular process in aluminum, the predominant change in keyhole depth appears to occur between the leading and trailing edges of the wobble pattern.

[0072] Хотя примеры схем сканирования визуализирующего луча описаны выше, возможны другие схемы сканирования визуализирующего луча, находящиеся в пределах объема настоящего изобретения.[0072] While examples of imaging beam scanning schemes are described above, other imaging beam scanning schemes are possible and are within the scope of the present invention.

[0073] В дополнительных вариантах осуществления процесс сварки с вобуляцией может контролироваться с использованием системы ICI за счет перемещения визуализирующего луча в направлении обрабатывающего луча и синхронно с периодом вобуляции. Визуализирующий луч может перемещаться в направлении обрабатывающего луча, но независимо от обрабатывающего луча, например, для обеспечения динамического управления сдвигом и/или для обеспечения циклической корректировки выравнивания. Визуализирующий луч может быть выровнен по существу соосно с обрабатывающим лучом или может быть выровнен так, чтобы отставать от обрабатывающего луча, для контроля характеристик, которые отстают от обрабатывающего луча, например, на величину, связанную со скоростью обработки. Как описано выше, в некоторых схемах вобуляции скорость обработки изменяется циклически вокруг схемы вобуляции. Например, в круговой схеме вобуляции есть медленная сторона и быстрая сторона схемы вобуляции, и, таким образом, на желаемое выравнивание визуализирующего луча может повлиять, когда лучи движутся вдоль круговой схемы вобуляции.[0073] In additional embodiments, the wobble welding process can be controlled using the ICI system by moving the imaging beam in the direction of the processing beam and in sync with the wobble period. The imaging beam may move in the direction of the processing beam, but independently of the processing beam, for example to provide dynamic shift control and/or to provide cyclic alignment adjustments. The imaging beam may be aligned substantially coaxial with the processing beam, or may be aligned to lag the processing beam to control for characteristics that lag the processing beam, for example, by an amount related to processing speed. As described above, in some wobble patterns, the processing speed changes cyclically around the wobble pattern. For example, in a circular wobble pattern, there is a slow side and a fast side of the wobble pattern, and thus the desired imaging beam alignment can be affected as the rays move along the circular wobble pattern.

[0074] Для обеспечения циклической корректировки выравнивания управляющая система может быть запрограммирована таким образом, чтобы исполнительный элемент (элементы) для сканирования визуализирующего луча перемещал визуализирующий луч относительно обрабатывающего луча для корректировки выравнивания визуализирующего луча относительно обрабатывающего луча по меньшей мере частично на основании положения лучей на схеме вобуляции. Например, в круговой схеме вобуляции выравнивание может изменяться циклически для медленной стороны и быстрой стороны. Циклическая корректировка выравнивания также может быть основана на других параметрах, таких как скорость обработки, тип материала и толщина материала. [0074] To provide cyclic alignment adjustments, the control system can be programmed such that the imaging beam scanning actuator(s) move the imaging beam relative to the processing beam to correct the alignment of the imaging beam relative to the processing beam based at least in part on the positions of the beams in the diagram. wobbles. For example, in a circular wobble pattern, the alignment may be changed cyclically for the slow side and the fast side. The cyclic alignment adjustment can also be based on other parameters such as processing speed, material type and material thickness.

[0075] Согласно некоторым вариантам осуществления управляющая система системы лазерной сварки, которая описана в настоящем документе, может быть запрограммирована так, чтобы обеспечивать динамическое управление сдвигом визуализирующего луча на основании одного или нескольких других факторов или параметров. Эти факторы или параметры включают, без ограничения: положение обрабатывающего луча в пределах его схемы вобуляции; схема вобуляции обрабатывающего луча (например, геометрию вобуляции, амплитуду вобуляции и/или период вобуляции); геометрию детали; справочную таблицу, содержащую параметры сдвига на основании параметров материала и процесса сварки; термомеханические модели сварки; результаты измерения ICI предыдущих процессов сварки; предыдущие результаты измерения ICI в том же процессе сварки; по меньшей мере один компонент вектора мгновенной скорости обрабатывающего луча относительно материала; криволинейный путь сварки по материалу; и одну или несколько корректировок системы доставки лазерного луча (например, корректировки поля хроматической аберрации, корректировки поля фокальной плоскости, корректировки поля размера пятна и/или корректировки формирования луча). Альтернативно или дополнительно результаты измерения ICI также могут корректироваться (например, с использованием систем обработки данных) на основании одного или нескольких из вышеуказанных факторов или параметров, например, для сглаживания результатов измерения ICI и обеспечения единообразия в процессе сварки.[0075] In some embodiments, the control system of the laser welding system as described herein may be programmed to dynamically control imaging beam shift based on one or more other factors or parameters. These factors or parameters include, without limitation: the position of the processing beam within its wobble pattern; wobble pattern of the processing beam (eg, wobble geometry, wobble amplitude, and/or wobble period); part geometry; a lookup table containing shear parameters based on material and welding process parameters; thermomechanical models of welding; results of ICI measurement of previous welding processes; previous ICI measurements in the same welding process; at least one component of the instantaneous velocity vector of the processing beam relative to the material; curved path of welding on the material; and one or more laser beam delivery system adjustments (eg, chromatic aberration field adjustments, focal plane field adjustments, spot size field adjustments, and/or beamforming adjustments). Alternatively or additionally, the ICI measurement results may also be corrected (eg, using data processing systems) based on one or more of the above factors or parameters, for example, to smooth the ICI measurement results and ensure uniformity in the welding process.

[0076] Системы и способы, описанные в настоящем документе, могут использоваться для контроля профиля провара сварного шва. В одном примере система ICI может сканировать визуализирующий луч поперек направления сварного шва в различных точках вдоль сварного шва (например, с использованием растрового сканирования) для получения указания профиля провара, поперечного направлению сварного шва в этих точках. В другом примере система ICI может сканировать визуализирующий луч вдоль направления сварного шва, чтобы произвести указание профиля провара сварного шва вдоль направления сварного шва в различных точках вдоль сварного шва. В дополнительном примере система ICI может сканировать визуализирующий луч для получения указания профиля провара по виртуальному поперечному сечению, определяемому произвольной геометрической поверхностью. Управляющая система может быть выполнена с возможностью регулировки мощности лазера на основании результатов измерения провара сварного шва от системы ICI в более чем одной точке во время цикла вобуляции. В частности, управляющая система может быть выполнена с возможностью регулирования мощности лазера, чтобы уменьшить вариацию провара сварного шва в течение цикла вобуляции. Как упомянуто выше, результаты измерения ICI могут быть скорректированы на основании одного или нескольких дополнительных факторов или параметров, например, чтобы гарантировать, что глубины сварного шва при вобуляции дают одинаковую глубину для обеспечения качества и/или что валик сварного шва, полученный вобуляцией, не смещается. [0076] The systems and methods described herein can be used to control the penetration profile of a weld. In one example, the ICI system may scan the imaging beam across the direction of the weld at various points along the weld (eg, using raster scanning) to obtain an indication of the penetration profile transverse to the direction of the weld at those points. In another example, the ICI system may scan the imaging beam along the direction of the weld to produce an indication of the penetration profile of the weld along the direction of the weld at various points along the weld. In a further example, the ICI system may scan the imaging beam to obtain an indication of penetration profile over a virtual cross section defined by an arbitrary geometric surface. The control system may be configured to adjust the laser power based on the weld penetration measurement from the ICI system at more than one point during the wobble cycle. In particular, the control system may be configured to adjust the power of the laser to reduce weld penetration variation during the wobble cycle. As mentioned above, the ICI measurement results can be corrected based on one or more additional factors or parameters, for example to ensure that the wobbled weld depths give the same depth for quality assurance and/or that the wobbled weld bead does not move. .

[0077] В дополнительных вариантах осуществления управляющая система может корректировать обработку на основании выходных данных измерения детали из системы ICI. Управляющая система может быть выполнена, например, с возможностью регулировки схемы вобуляции обрабатывающего луча на основании выходных данных измерения детали до обработки и/или выходных данных измерения детали после обработки из системы ICI.[0077] In further embodiments, the control system may adjust processing based on the part measurement output from the ICI system. The control system may be configured, for example, to adjust the treatment beam wobble pattern based on pre-processing workpiece measurement output and/or post-processing workpiece measurement output from the ICI system.

[0078] Система сварки может также управлять перемещением измеряющего луча относительно обрабатывающего луча другими способами. Если система ICI соединена по технологической схеме до исполнительных элементов для сканирования в головке для вобуляции, например, управляющая система может быть запрограммирована для перемещения исполнительных элементов для сканирования визуализирующего луча комплементарно к исполнительным элементам для сканирования обрабатывающего луча и синхронно, вследствие чего визуализирующий луч эффективно отделяется от схемы вобуляции обрабатывающего луча на поверхности детали. Альтернативно или дополнительно управляющая система может быть запрограммирована для переключения исполнительных элементов для сканирования обрабатывающего луча между их схемой вобуляции и фиксированным положением для достижения результатов измерения ICI поверхности детали, которые отделены от схемы вобуляции. Управляющая система также может быть запрограммирована на запуск измерений системы ICI, так что они будут синхронизированы по времени с циклом вобуляции.[0078] The welding system may also control the movement of the measuring beam relative to the processing beam in other ways. If the ICI system is flow-connected to the scanning actuators in the wobble head, for example, the control system can be programmed to move the imaging beam scanning actuators complementary to the processing beam scanning actuators and synchronously, whereby the imaging beam is effectively separated from wobble patterns of the processing beam on the surface of the part. Alternatively or additionally, the control system may be programmed to switch the processing beam scanning actuators between their wobble pattern and a fixed position to achieve ICI measurements of the part surface that are separate from the wobble pattern. The control system can also be programmed to start ICI system measurements so that they are time synchronized with the wobble cycle.

[0079] Одно из основных преимуществ сварки с вобуляцией заключается в ее благоприятном влиянии на качественное соединение разнородных металлов, таких как комбинации обычных технических сплавов меди, алюминия, стали, нержавеющей стали, титана и различных их версий с покрытием или гальваническим покрытием. Соединение разнородных металлов находит применение в различных областях применения, включая, без ограничения, электрифицированные транспортные системы (например, автомобили, поезда и самолеты).[0079] One of the main advantages of wobbling welding is its favorable effect on the quality joining of dissimilar metals, such as combinations of common technical alloys of copper, aluminum, steel, stainless steel, titanium, and various coated or galvanized versions thereof. Dissimilar metal bonding finds use in a variety of applications including, without limitation, electrified transportation systems (eg, cars, trains, and aircraft).

[0080] После того как эффективные средства измерения глубины провара и/или динамические свойства процесса заданы с использованием головки для вобуляции и системы ICI, результаты измерения ICI могут иметь конкретное использование в качестве заменителя для степени смешивания материалов, составляющих сварное соединение. Например, при сварке внахлест меди и алюминия недостаточное смешивание приводит к неудовлетворительному механическому и электрическому соединению. Слишком сильное смешивание вызывает охрупчивание из-за значительного присутствия интерметаллических фаз. С помощью наблюдения ICI и/или управления процессом соединения на основе ICI, эти аспекты металлургии сварного шва могут контролироваться для обеспечения качества и/или регулироваться, чтобы компенсировать изменения в производственном процессе, исходном материале и окружающей среде. Этому процессу способствует предпусковая калибровка и сравнение с металлургическим анализом.[0080] Once effective means of penetration measurement and/or process dynamics have been established using the wobble head and the ICI system, the ICI measurements can be of particular use as a substitute for the degree of mixing of the materials constituting the weld. For example, when overlap welding copper and aluminum, insufficient mixing results in an unsatisfactory mechanical and electrical connection. Too much mixing causes embrittlement due to the significant presence of intermetallic phases. Through ICI monitoring and/or ICI-based joining process control, these aspects of weld metallurgy can be monitored for quality assurance and/or adjusted to compensate for changes in manufacturing process, feedstock, and environment. This process is facilitated by pre-start calibration and comparison with metallurgical analysis.

[0081] Соответственно, встроенная когерентная визуализация (ICI) может успешно использоваться для контроля сварки с вобуляцией даже со сложными схемами вобуляции, сформированными обрабатывающим лазером. Используя различные методы для перемещения визуализирующего луча в разные точки измерения, можно контролировать различные аспекты сварки с вобуляцией, включая глубину и стабильность замочной скважины, а также образование ванны расплава.[0081] Accordingly, integrated coherent imaging (ICI) can be successfully used to monitor wobble welding even with complex wobble patterns formed by the processing laser. By using various methods to move the imaging beam to different measurement points, various aspects of wobbling welding can be monitored, including keyhole depth and stability, and molten pool formation.

[0082] Хотя в настоящем документе были описаны принципы настоящего изобретения, специалисты в данной области техники должны понимать, что это описание приведено только в качестве примера, а не в качестве ограничения объема настоящего изобретения. Другие варианты осуществления предусмотрены в объеме настоящего изобретения в дополнение к иллюстративным вариантам осуществления, показанным и описанным в настоящем документе. Модификации и замены, выполненные специалистом в данной области техники, считаются находящимися в пределах объема настоящего изобретения, которое не должно быть ограничено за исключением следующей формулы изобретения.[0082] Although the principles of the present invention have been described herein, those skilled in the art should understand that this description is provided by way of example only and not as a limitation on the scope of the present invention. Other embodiments are contemplated within the scope of the present invention in addition to the exemplary embodiments shown and described herein. Modifications and substitutions made by a person skilled in the art are considered to be within the scope of the present invention, which should not be limited except by the following claims.

Claims (49)

1. Лазерная система обработки материала, содержащая:1. A laser material processing system, comprising: источник луча для модификации материала для генерирования обрабатывающего луча;a beam source for modifying the material to generate a processing beam; обрабатывающую головку, соединенную с источником луча для модификации материала и содержащую по меньшей мере один исполнительный элемент для сканирования обрабатывающего луча, предназначенный для направления и перемещения обрабатывающего луча согласно схеме вобуляции по меньшей мере по одной оси на обрабатываемом участке детали;a processing head connected to the material modification beam source and comprising at least one processing beam scanning actuator for guiding and moving the processing beam according to a wobble pattern along at least one axis in a workpiece area to be machined; систему встроенной когерентной визуализации (ICI), оптически соединенную с обрабатывающей головкой, при этом система ICI содержит по меньшей мере один исполнительный элемент для сканирования визуализирующего луча, предназначенный для размещения визуализирующего луча по меньшей мере частично независимо от обрабатывающего луча; иan integrated coherent imaging (ICI) system optically coupled to the processing head, the ICI system comprising at least one imaging beam scanning actuator for positioning the imaging beam at least partially independent of the processing beam; And управляющую систему для управления по меньшей мере источником луча для модификации материала, исполнительным элементом для сканирования обрабатывающего луча и исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча, причем управляющая система запрограммирована так, чтобы обеспечивать сканирование обрабатывающей головкой обрабатывающего луча по схеме вобуляции, при этом управляющая система запрограммирована так, чтобы обеспечивать перемещение визуализирующего луча исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча к множеству точек измерения на обрабатываемом участке в соответствии со схемой вобуляции.a control system for controlling at least a beam source for material modification, an actuator for scanning the processing beam, and an actuator for scanning the imaging beam, the control system being programmed to cause the processing head to scan the processing beam in a wobble pattern, the control system being programmed to to cause the imaging beam to be moved by the imaging beam scanning actuator to a plurality of measurement points in the area to be treated in accordance with the wobble pattern. 2. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой обрабатывающая головка представляет собой головку для сварки, предназначенную для направления и перемещения обрабатывающего луча согласно схеме вобуляции на свариваемом участке.2. The laser material processing system of claim 1, wherein the processing head is a welding head for guiding and moving the processing beam according to a wobble pattern in the area to be welded. 3. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой источник луча для модификации материала представляет собой волоконный лазер.3. The laser material processing system of claim 1, wherein the material modification beam source is a fiber laser. 4. Лазерная система обработки материала по п. 1, дополнительно содержащая по меньшей мере одну подвижную платформу для поступательного перемещения по меньшей мере одного из обрабатывающей головки и детали друг относительно друга при перемещении обрабатывающего луча по схеме вобуляции на детали.4. The laser material processing system of claim 1, further comprising at least one movable platform for translationally moving at least one of the processing head and the workpiece relative to each other as the processing beam moves in a wobble pattern onto the workpiece. 5. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой система ICI оптически соединена с обрабатывающей головкой по технологической схеме после по меньшей мере одного исполнительного элемента для сканирования обрабатывающего луча.5. Laser material processing system according to claim 1, in which the ICI system is optically connected to the processing head according to the technological scheme after at least one actuating element for scanning the processing beam. 6. Лазерная система обработки материала по п. 5, в которой управляющая система запрограммирована таким образом, чтобы обеспечивать перемещение визуализирующего луча исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча вдоль схемы вобуляции в направлении, противоположном направлению перемещения обрабатывающего луча и синхронно со схемой вобуляции.6. The laser material processing system according to claim 5, in which the control system is programmed in such a way as to ensure that the imaging beam scanning actuator moves along the wobble pattern in the direction opposite to the direction of movement of the processing beam and synchronously with the wobble pattern. 7. Лазерная система обработки материала по п. 5, в которой управляющая система запрограммирована таким образом, чтобы обеспечивать перемещение визуализирующего луча исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча вдоль схемы вобуляции в направлении обрабатывающего луча и синхронно со схемой вобуляции.7. The laser material processing system of claim 5, wherein the control system is programmed to cause the imaging beam scanning actuator to move the imaging beam along the wobble pattern in the direction of the processing beam and in synchronization with the wobble pattern. 8. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой система ICI оптически соединена с головкой для сварки по технологической схеме до по меньшей мере одного исполнительного элемента для сканирования обрабатывающего луча.8. Laser material processing system according to claim 1, in which the ICI system is optically connected to the head for welding according to the technological scheme to at least one actuating element for scanning the processing beam. 9. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой управляющая система запрограммирована таким образом, чтобы обеспечивать перемещение визуализирующего луча исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча, вследствие чего визуализирующий луч сканирует обрабатываемый участок по схеме сканирования, по меньшей мере частично охватывающей схему вобуляции.9. The laser material processing system according to claim 1, in which the control system is programmed in such a way as to provide movement of the imaging beam by the actuator for scanning the imaging beam, as a result of which the imaging beam scans the treated area in a scanning pattern at least partially enclosing the wobble pattern. 10. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой управляющая система выполнена с возможностью управления исполнительным элементом для сканирования обрабатывающего луча для корректировки по меньшей мере одного из геометрии вобуляции, периода вобуляции, скорости вобуляции и амплитуды вобуляции в ответ на результаты измерения от системы ICI.10. The laser material processing system of claim 1, wherein the control system is configured to control an actuator for scanning the processing beam to adjust at least one of the wobble geometry, wobble period, wobble speed, and wobble amplitude in response to measurement results from the system. ICI. 11. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой управляющая система выполнена с возможностью управления мощностью обрабатывающего луча в ответ на результаты измерения от системы ICI.11. The laser material processing system of claim 1, wherein the control system is configured to control the power of the processing beam in response to measurements from the ICI system. 12. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой исполнительный элемент для сканирования обрабатывающего луча выполнен с возможностью перемещения обрабатывающего луча с максимальным смещением луча на детали ± 30 мм.12. Laser material processing system according to claim 1, in which the actuator for scanning the processing beam is configured to move the processing beam with a maximum beam offset on the parts of ± 30 mm. 13. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой исполнительный элемент для сканирования обрабатывающего луча выполнен с возможностью перемещения обрабатывающего луча на максимальное угловое смещение луча ± 5° для обеспечения амплитуды вобуляции.13. The laser material processing system of claim 1, wherein the processing beam scanning actuator is configured to move the processing beam by a maximum beam angular displacement of ±5° to provide a wobble amplitude. 14. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой по меньшей мере один исполнительный элемент для сканирования обрабатывающего луча и по меньшей мере один исполнительный элемент для сканирования визуализирующего луча выбраны из группы, состоящей из гальванометрических сканирующих зеркал, многоугольных сканирующих зеркал, сканирующих зеркал на основе MEMS, пьезоэлектрических сканирующих зеркал и устройств сканирования луча на основе дифракции.14. The laser material processing system according to claim 1, in which at least one actuating element for scanning the processing beam and at least one actuating element for scanning the imaging beam are selected from the group consisting of galvanometric scanning mirrors, polygonal scanning mirrors, scanning mirrors based on MEMS, piezoelectric scanning mirrors and diffraction based beam scanning devices. 15. Лазерная система обработки материала по п. 1, в которой управляющая система запрограммирована таким образом, чтобы обеспечивать перемещение визуализирующего луча исполнительным элементом для сканирования визуализирующего луча, чтобы визуализирующий луч был динамически сдвинут от обрабатывающего луча на поверхности детали согласно положению обрабатывающего луча в пределах схемы вобуляции.15. The laser material processing system of claim. 1, wherein the control system is programmed to cause the imaging beam to be moved by the imaging beam scanning actuator so that the imaging beam is dynamically shifted away from the processing beam at the surface of the part according to the position of the processing beam within the pattern. wobbles. 16. Лазерная система обработки материала по п. 1, дополнительно содержащая вспомогательную измерительную систему, выполненную с возможностью измерения излучения процесса.16. The laser material processing system of claim. 1, further comprising an auxiliary measurement system configured to measure the radiation of the process. 17. Лазерная система обработки материала по п. 16, в которой вспомогательная измерительная система выполнена с возможностью измерения излучения процесса в пределах спектрального диапазона от 100 нм до 1 мм.17. The laser material processing system of claim 16, wherein the auxiliary measurement system is configured to measure process radiation within a spectral range of 100 nm to 1 mm. 18. Лазерная система обработки материала по п. 16, в которой вспомогательная измерительная система содержит оптические элементы для выполнения пространственно локализованного измерения относительно обрабатывающего луча.18. The laser material processing system of claim 16, wherein the auxiliary measurement system includes optical elements for performing a spatially localized measurement relative to the processing beam. 19. Лазерная система обработки материала по п. 18, в которой вспомогательная измерительная система выполнена с возможностью осуществления пространственно локализованного измерения в точке измерения, динамически сдвинутой от обрабатывающего луча на основании по меньшей мере одного вывода из системы ICI.19. The laser material processing system of claim 18, wherein the auxiliary measurement system is configured to make a spatially localized measurement at a measurement point dynamically shifted from the processing beam based on at least one output from the ICI system. 20. Лазерная система обработки материала по п. 16, в которой вспомогательная измерительная система содержит оптические элементы для выполнения пространственно локализованного измерения относительно визуализирующего луча.20. The laser material processing system of claim 16, wherein the auxiliary measurement system includes optical elements for performing a spatially localized measurement relative to the imaging beam. 21. Лазерная система обработки материала по п. 16, в которой управляющая система запрограммирована таким образом, чтобы обеспечивать перемещение визуализирующего луча исполнительным элементом для визуализирующего луча, чтобы визуализирующий луч был динамически сдвинут от обрабатывающего луча на основании по меньшей мере одного вывода вспомогательной измерительной системы.21. The laser material processing system of claim 16, wherein the control system is programmed to cause the imaging beam actuator to move the imaging beam such that the imaging beam is dynamically shifted away from the processing beam based on at least one output of the auxiliary measurement system. 22. Способ контроля процесса лазерной сварки, включающий:22. A method for controlling the laser welding process, including: направление обрабатывающего луча и по меньшей мере одного визуализирующего луча от системы встроенной когерентной визуализации (ICI) к свариваемому участку детали;directing the processing beam and at least one imaging beam from the integrated coherent imaging (ICI) system to the welded area of the part; перемещение обрабатывающего луча по схеме вобуляции на свариваемом участке детали;moving the processing beam according to the wobble scheme on the welded part of the part; перемещение по меньшей мере одного визуализирующего луча по меньшей мере частично независимо от обрабатывающего луча к множеству точек измерения на свариваемом участке; и moving at least one imaging beam at least partially independent of the processing beam to a plurality of measurement points in the area to be welded; And получение результатов измерения ICI из множества точек измерения при перемещении обрабатывающего луча по схеме вобуляции.obtaining ICI measurement results from a plurality of measurement points while moving the processing beam along the wobble pattern. 23. Способ по п. 22, в котором дополнительно осуществляют поступательное перемещение по меньшей мере одного из обрабатывающего луча и детали друг относительно друга при перемещении обрабатывающего луча по схеме вобуляции на свариваемом участке.23. The method of claim 22, further comprising translational movement of at least one of the treatment beam and the workpiece relative to each other while moving the treatment beam in a wobble pattern in the area to be welded. 24. Способ по п. 22, в котором перемещение визуализирующего луча предусматривает сканирование визуализирующего луча независимо от обрабатывающего луча в схеме сканирования ICI по свариваемому участку детали, причем схема сканирования ICI по меньшей мере частично охватывает схему вобуляции.24. The method of claim 22, wherein moving the imaging beam comprises scanning the imaging beam independently of the processing beam in an ICI scanning pattern over a welded area of the part, the ICI scanning pattern at least partially enclosing the wobble pattern. 25. Способ по п. 24, в котором получение результатов измерения ICI предусматривает получение результатов измерения глубины в точках в схеме сканирования ICI, и дополнительно предусматривает объединение результатов измерения глубины с образованием трехмерного изображения свариваемого участка.25. The method of claim 24, wherein obtaining the ICI measurements includes obtaining the depth measurements at points in the ICI scan pattern, and further comprising combining the depth measurements to form a 3D image of the weld area. 26. Способ по п. 24, в котором сканирование предусматривает растровое сканирование.26. The method of claim 24, wherein the scan comprises a raster scan. 27. Способ по п. 22, в котором перемещение визуализирующего луча предусматривает колебание измеряющего луча локально вокруг по меньшей мере части схемы вобуляции.27. The method of claim 22, wherein moving the imaging beam includes oscillating the measurement beam locally around at least a portion of the wobble pattern. 28. Способ по п. 22, в котором перемещение визуализирующего луча предусматривает перемещение визуализирующего луча независимо от обрабатывающего луча к множеству фиксированных точек измерения на схеме вобуляции, причем получение результатов измерения ICI предусматривает получение результатов измерения глубины в фиксированных точках измерения при перемещении обрабатывающего луча по схеме вобуляции.28. The method of claim 22, wherein moving the imaging beam includes moving the imaging beam independently of the processing beam to a plurality of fixed measurement points on the wobble pattern, wherein obtaining ICI measurements involves obtaining depth measurements at the fixed measurement points while moving the processing beam along the pattern. wobbles. 29. Способ по п. 28, в котором по меньшей мере одна фиксированная точка измерения предусматривает четыре точки измерения вокруг схемы вобуляции, в том числе переднюю точку измерения, заднюю точку измерения, быструю точку измерения и медленную точку измерения.29. The method of claim 28, wherein the at least one fixed measurement point provides four measurement points around the wobble pattern, including a front measurement point, a back measurement point, a fast measurement point, and a slow measurement point. 30. Способ по п. 22, в котором перемещение визуализирующего луча предусматривает перемещение визуализирующего луча независимо от обрабатывающего луча вдоль схемы вобуляции в направлении, противоположном направлению перемещения обрабатывающего луча, причем визуализирующий луч пересекает обрабатывающий луч на интервалах пересечения, и получение результатов измерения ICI предусматривает получение результатов измерения глубины в точках вдоль схемы вобуляции с использованием системы ICI.30. The method of claim 22, wherein moving the imaging beam includes moving the imaging beam independently of the processing beam along the wobble pattern in a direction opposite to the direction of movement of the processing beam, wherein the imaging beam intersects the processing beam at intersection intervals, and obtaining ICI measurement results provides for obtaining depth measurement results at points along the wobble pattern using the ICI system. 31. Способ по п. 30, в котором дополнительно осуществляют определение глубин замочной скважины из результатов измерения глубины, полученных с дна замочной скважины при пересечении обрабатывающего луча и визуализирующего луча.31. The method of claim 30 further comprising determining keyhole depths from depth measurements obtained from the bottom of the keyhole at the intersection of the processing beam and the imaging beam. 32. Способ по п. 31, в котором определение глубин замочной скважины предусматривает поиск глубины с локальным минимумом в пределах диапазона вокруг каждого интервала пересечения, где пересекаются обрабатывающий луч и визуализирующий луч.32. The method of claim 31, wherein determining the keyhole depths comprises finding a depth with a local minimum within a range around each intersection interval where the processing beam and the imaging beam intersect. 33. Способ по п. 22, в котором перемещение визуализирующего луча предусматривает перемещение визуализирующего луча независимо от обрабатывающего луча и с обрабатывающим лучом вдоль схемы вобуляции, причем результаты измерения ICI получают при перемещении визуализирующего луча вдоль схемы вобуляции.33. The method of claim 22, wherein moving the imaging beam comprises moving the imaging beam independently of the processing beam and with the processing beam along the wobble pattern, wherein the ICI measurements are obtained by moving the imaging beam along the wobble pattern. 34. Способ по п. 33, в котором визуализирующий луч перемещают таким образом, чтобы визуализирующий луч был динамически сдвинут от обрабатывающего луча на поверхности детали согласно положению обрабатывающего луча в пределах схемы вобуляции.34. The method of claim 33, wherein the imaging beam is moved such that the imaging beam is dynamically shifted from the processing beam at the surface of the part according to the position of the processing beam within the wobble pattern. 35. Способ по п. 33, в котором визуализирующий луч перемещают таким образом, чтобы визуализирующий луч был динамически сдвинут от обрабатывающего луча на поверхности детали для компенсации изменения положения замочной скважины в пределах схемы вобуляции.35. The method of claim 33, wherein the imaging beam is moved such that the imaging beam is dynamically shifted away from the processing beam at the surface of the part to compensate for changes in keyhole position within the wobble pattern. 36. Способ по п. 33, в котором схема вобуляции представляет собой циклическую схему, причем визуализирующий луч перемещают для обеспечения циклической корректировки выравнивания по меньшей мере частично на основании положения обрабатывающего луча.36. The method of claim 33, wherein the wobble pattern is a cyclic pattern, wherein the imaging beam is moved to provide cyclic alignment adjustment based at least in part on the position of the processing beam. 37. Способ по п. 22, в котором дополнительно осуществляют перемещение головки для сварки относительно детали для поступательного перемещения обрабатывающего луча относительно детали.37. The method of claim 22, further comprising moving the welding head relative to the workpiece to translate the treatment beam relative to the workpiece. 38. Способ по п. 22, в котором дополнительно осуществляют перемещение детали относительно головки для сварки для поступательного перемещения детали относительно обрабатывающего луча.38. The method of claim 22, further comprising moving the workpiece relative to the welding head to translate the workpiece relative to the treatment beam. 39. Способ по п. 22, в котором деталь содержит разнородные металлы, причем результаты измерения ICI указывают на степень смешивания между разнородными металлами.39. The method of claim 22, wherein the part contains dissimilar metals, wherein the ICI measurements indicate the degree of mixing between the dissimilar metals. 40. Способ по п. 22, в котором деталь содержит материал, выбранный из по меньшей мере одного из меди и алюминия.40. The method of claim 22, wherein the part comprises a material selected from at least one of copper and aluminum. 41. Способ по п. 22, в котором деталь содержит сплав цветных металлов. 41. The method of claim 22, wherein the part contains a non-ferrous metal alloy.
RU2021100314A 2018-07-19 2019-07-18 Systems and methods for monitoring and/or control of wobbling processing using integrated coherent imaging (ici) RU2795069C2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US62/700,606 2018-07-19
US62/853,368 2019-05-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2021100314A RU2021100314A (en) 2022-08-19
RU2795069C2 true RU2795069C2 (en) 2023-04-28

Family

ID=

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2086376C1 (en) * 1993-12-22 1997-08-10 Вадим Павлович Вейко Method of laser machining of surface of materials
US20120138586A1 (en) * 2010-09-25 2012-06-07 Queen's University At Kingston Methods and systems for coherent imaging and feedback control for modification of materials
US20160039045A1 (en) * 2013-03-13 2016-02-11 Queen's University At Kingston Methods and Systems for Characterizing Laser Machining Properties by Measuring Keyhole Dynamics Using Interferometry
WO2017139769A1 (en) * 2016-02-12 2017-08-17 Ipg Photonics Corporation Laser cutting head with dual movable mirrors providing beam alignment and/or wobbling movement
RU2635588C2 (en) * 2013-03-29 2017-11-14 Тойота Дзидося Кабусики Кайся Welding section control device and method of its control

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2086376C1 (en) * 1993-12-22 1997-08-10 Вадим Павлович Вейко Method of laser machining of surface of materials
US20120138586A1 (en) * 2010-09-25 2012-06-07 Queen's University At Kingston Methods and systems for coherent imaging and feedback control for modification of materials
US20160039045A1 (en) * 2013-03-13 2016-02-11 Queen's University At Kingston Methods and Systems for Characterizing Laser Machining Properties by Measuring Keyhole Dynamics Using Interferometry
RU2635588C2 (en) * 2013-03-29 2017-11-14 Тойота Дзидося Кабусики Кайся Welding section control device and method of its control
WO2017139769A1 (en) * 2016-02-12 2017-08-17 Ipg Photonics Corporation Laser cutting head with dual movable mirrors providing beam alignment and/or wobbling movement

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112469526B (en) Systems and methods for monitoring and/or controlling wobble processing using in-line coherent imaging (ICI)
KR102536222B1 (en) Laser welding head with dual movable mirrors providing beam movement
US11148232B2 (en) Laser machining system and laser machining method
JP6645960B2 (en) Method of measuring depth of penetration of laser beam into workpiece and laser processing device
JP6972165B2 (en) Equipment and methods for additive manufacturing
JP7154132B2 (en) Laser cutting head with dual moveable mirrors to provide beam alignment and/or wobble movement
US10449631B2 (en) Machining head for a laser machining device
CA2792322C (en) Laser processing head and method for processing a workpiece by means of a laser beam
JP7267991B2 (en) Method and laser processing machine for laser material processing
RU2795069C2 (en) Systems and methods for monitoring and/or control of wobbling processing using integrated coherent imaging (ici)
JP7308439B2 (en) LASER PROCESSING DEVICE AND OPTICAL ADJUSTMENT METHOD
JP2021030253A (en) Laser processing device, laser processing method and corrected data creation method
US11964341B2 (en) Laser welding head with dual movable mirrors providing beam movement and laser welding systems and methods using same
JP7301939B2 (en) High frequency laser optical device and method of operating high frequency laser optical device
JP2024002820A (en) Laser welding device
RU2021100314A (en) SYSTEMS AND METHODS FOR MONITORING AND/OR CONTROL OF PROCESSING WITH WOBBULATION USING INTEGRATED COHERENT VISUALIZATION (ICI)
CN115464257A (en) Method for laser machining a workpiece and associated laser machining system