RU2086037C1 - Электростатический анализатор энергии заряженных частиц - Google Patents
Электростатический анализатор энергии заряженных частиц Download PDFInfo
- Publication number
- RU2086037C1 RU2086037C1 SU4945673A RU2086037C1 RU 2086037 C1 RU2086037 C1 RU 2086037C1 SU 4945673 A SU4945673 A SU 4945673A RU 2086037 C1 RU2086037 C1 RU 2086037C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- flange
- analyzer
- ionizing radiation
- axis
- radiation source
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение относится к устройствам для энергетического анализа заряженных частиц и может быть использовано для физико-технического анализа поверхности твердого тела, например, в качестве узла оже-спектрометра. Сущность изобретения: электростатический анализатор энергий заряженных частиц снабжен дополнительным фланцем 17, на котором размещены источник ионизирующего излучения 9, выходная диафрагма 12 и коллектор вторичных электронов 14 и образующим с ними единый функциональный легко-съемный узел. Дополнительный фланец 17 установлен на съемном фланце 19 и подпружинен относительно него посредством пружин 25 в направлении к размещенным на нем элементам, что обеспечивает возможность перемещения дополнительного фланца 17 в плоскости, перпендикулярной электронно-оптической оси 0 анализатора, в направлении оси 0 и наклона относительно оси 0. В результате облегчается осмотр, регулирование и замена деталей источника 9, диафрагмы 12 и коллектора 14 и повышается точность их установки относительно оси 0. 2 ил.
Description
Изобретение относится к устройствам для анализа заряженных частиц, в частности к конструкциям дисперсионных электростатических анализаторов типа "Цилиндрическое зеркало", и может быть использовано при изучении химико-физических свойств поверхности твердого тела.
Известен электростатический анализатор энергий заряженных части [1] содержащий анализирующий блок из цилиндрических электродов, выходную диафрагму, коллектор заряженных частиц, переходный фланец, установочные шпильки и присоединительный фланец.
Известный анализатор имеет сложную и недостаточно жесткую конструкцию.
Наиболее близким к изобретению является электростатический анализатор энергий заряженных частиц [2] содержащий источник ионизирующего излучения (электронную пушку), два коаксиальных цилиндрических электрода, внутренний из которых выполнен с входной и выходной апертурными кольцевыми прорезями, выходную диафрагму, коллектор заряженных частиц, корпус и опорный фланец со съемной частью (съемный фланец).
Однако в известном анализаторе съемная часть на опорном фланце обеспечивает доступ только к коллектору заряженных частиц, так как съемным выполнен только коллектор заряженных частиц. Доступ к элементам источника ионизирующего излучения (электронной пушки), например, для замены вышедшего из строя катода, и выходной диафрагме возможен только после демонтажа анализатора с вакуумной камеры и его полной разборки. Осмотр, регулирование и замена отдельных элементов источника ионизирующего излучения и выходной диафрагмы в собранном виде в известном анализаторе затруднены, а некоторые элементы практически недоступны для обслуживания.
Кроме того, погрешности при изготовлении деталей в пределах допусков на их размеры, а также при затяжке герметизирующей прокладки съемной части опорного фланца не обеспечивают необходимой точности установки и ее повторяемости при замене элементов, расположенных на съемном фланце, относительно электронно-оптической оси коаксиальных цилиндрических электродов как в продольном, так и в поперечном направлении.
Цель изобретения повышение удобства обслуживания (облегчение осмотра, замены, регулирования) и точности установки источника ионизирующего излучения, выходной диафрагмы и коллектора заряженных частиц в смонтированном виде.
Цель достигается тем, что в электростатическом анализаторе энергий заряженных частиц, содержащем источник ионизирующего излучения, анализирующий блок, состоящий из коаксиальных цилиндрических электродов, внутренний из которых выполнен с входной и выходной кольцевыми апертурными прорезями, выходную диафрагму, коллектор заряженных частиц, корпус с опорным фланцем, выполненный разъемным со съемной частью, расположенной соосно с анализирующим блоком, источник ионизирующего излучения, выходная диафрагма и коллектор заряженных частиц закреплены на дополнительном фланце, установленном на съемной части с возможностью перемещений угловых, перпендикулярных и параллельных относительно анализирующего блока и подпружиненном вдоль оси анализирующего блока в направлении к анализирующему блоку.
Сопоставительный анализ с прототипом позволяет сделать вывод, что предлагаемый анализатор отличается тем, что источник ионизирующего излучения, выходная диафрагма и коллектор заряженных частиц собраны в единый функциональный блок и закреплены на промежуточном (дополнительном) фланце, установленном на съемной части (съемном фланце) с возможностью его перемещения относительно съемной части как в продольном, так и в поперечном направлении, а также углового перемещения (наклона) относительно оси анализирующего блока и подпружиненном вдоль оси анализирующего блока по направлению к анализирующему блоку.
Таким образом, предлагаемое изобретение соответствует критерию "новизна".
Анализ известных технических решений позволяет сделать вывод об отсутствии в них признаков, сходных с существенными отличительными признаками в предлагаемом анализаторе. Совокупность существенных признаков предлагаемого является новой, неочевидной, обуславливает достижение положительного эффекта, следовательно, предлагаемое техническое решение удовлетворяет критерию "существенные отличия".
На фиг. 1 изображен предлагаемый анализатор, общий вид; на фиг. 2 узел I на фиг. 1, крепление промежуточного (дополнительного) фланца к съемному элементу (фланцу).
Анализатор состоит из наружного цилиндрического электрода 1, внутреннего цилиндрического электрода 2 с входным 3 и выходным 4 апертурными кольцевыми окнами, затянутыми металлическими мелкоструктурными сетками, изолирующих торцевых систем защиты 5 и 6 с корректирующими кольцами 7, источника заряженных частиц 8 (исследуемого образца), источника ионизирующего излучения 9 с цилиндрическими центрирующими опорами 10 и монтажными трубками 11, выходной диафрагмы 12 с фланцем 13, приемника заряженных частиц 14 (коллектора), корпуса 15, опорного фланца 16, промежуточного (дополнительного) фланца 17, стоек 18, съемной части (съемного фланца) 19, прокладки 20, защитного электромагнитного экрана 21.
Кроме того, показаны крайние траектории заряженных частиц 22, определяющие входной конический пучок и оптическая ось анализатора (анализирующего блока ) О.
На фиг. 2 показано крепление дополнительного фланца 17 к съемному фланцу 19 посредством винтов 23, шайб 24 и пружин 25.
Изолирующие торцовые системы защиты 5 и 6 скрепляют коаксиальные цилиндрические электроды 1 и 2 в анализирующий блок 26.
Источник ионизирующего излучения 9, выходная диафрагма 12, коллектор заряженных частиц 14 с помощью монтажных трубок 11, строек 18 и других элементов крепления (на фиг. 1 не показаны) закреплены на промежуточном фланце 19, образуя съемный блок 27.
Анализатор работает следующим образом.
Расходящийся от источника 8 пучок заряженных частиц 22 через входное кольцевое окно 3 попадает в область анализирующего тормозящего поля между цилиндрическими электродами 1 и 2, где происходит анализ частиц по энергиям. Отклоненные полем заряженные частицы выходят из области поля через выходное кольцевое окно 4. Пройдя через выходную диафрагму 12, частицы попадают в коллектор 14 регистрирующего устройства и регистрируются.
Установку съемного блока 27 производят через отверстие 28 в корпусе 15 анализатора. Для осмотра, замены или регулирования съемный блок 27 в смонтированном виде извлекают из анализатора за съемный фланец 19, что обеспечивает свободный доступ ко всем его элементам, без разборки анализатора.
Дополнительный фланец 17 имеет плавающее крепление со съемным фланцем 19 и в пределах зазоров Δ, Δ1 и хода пружины 25 может смещаться как вдоль оси О, так и поперек оси О, а также становиться под углом (наклоняться) относительно съемного фланца 19. Это обеспечивает самоустанавливаемость съемного блока 27 относительно анализирующего блока 26 при всех возможных неточностях изготовления и монтажа.
Точность установки съемного блока 27 вдоль оси О анализатора обеспечивается за счет сопряжения по плоскости фланца 13 диафрагмы 12 с базовым торцом 29 внутреннего цилиндрического электрода 2 под действием усилия пружины 25.
Точность установки в радиальном направлении обеспечивается за счет телескопического сопряжения цилиндрических поверхностей опор 10 и фланца 13 с внутренней поверхностью цилиндрического электрода 2. При этом исключаются деформации и внутренние напряжения в элементах конструкции.
Демонтаж съемного блока не нарушает целостности устройства, что дает возможность быстро и неоднократно заменять в необходимых случаях элементы источника ионизирующего излучения, коллектора, выходной диафрагмы, облегчает ремонт и эксплуатацию анализатора.
Claims (1)
- Электростатический анализатор энергий заряженных частиц, содержащий источник ионизирующего излучения, коаксиальные цилиндрические электроды, внутренний из которых выполнен с входной и выходной кольцевыми апертурными прорезями, выходную диафрагму, коллектор заряженных частиц и корпус с опорным фланцем, выполненный разъемным со съемной частью, расположенной соосно с анализирующим блоком, отличающийся тем, что, с целью повышения точности установки и удобства обслуживания источника ионизирующего излучения, выходной диафрагмы и коллектора заряженных частиц, в него введен расположенный перед опорным фланцем и соединенный с ним с помощью пружины дополнительный съемный фланец, на котором соосно закреплены источник ионизирующего излучения, выходная диафрагма и коллектор заряженных частиц, причем дополнительный съемный фланец установлен с возможностью угловых, перпендикулярных и продольных относительно оси анализатора перемещений.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4945673 RU2086037C1 (ru) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | Электростатический анализатор энергии заряженных частиц |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4945673 RU2086037C1 (ru) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | Электростатический анализатор энергии заряженных частиц |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2086037C1 true RU2086037C1 (ru) | 1997-07-27 |
Family
ID=21579380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4945673 RU2086037C1 (ru) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | Электростатический анализатор энергии заряженных частиц |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2086037C1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004025276A1 (fr) * | 2002-09-16 | 2004-03-25 | Alexei Alexandrovich Kalachev | Dispositif destine a l'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide |
WO2008147247A2 (ru) * | 2007-01-30 | 2008-12-04 | Irina Nikolaevna Shabanova | Электронный магнитный спектрометр |
-
1991
- 1991-06-17 RU SU4945673 patent/RU2086037C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР N 795308, кл. H 01 J 49/44, 1979. 2. Цилиндрический ОЖЕ-анализатор, модель 25110. Инструкция по эксплуатации фирмы "RHI", 1978. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004025276A1 (fr) * | 2002-09-16 | 2004-03-25 | Alexei Alexandrovich Kalachev | Dispositif destine a l'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide |
WO2008147247A2 (ru) * | 2007-01-30 | 2008-12-04 | Irina Nikolaevna Shabanova | Электронный магнитный спектрометр |
WO2008147247A3 (ru) * | 2007-01-30 | 2009-02-12 | Irina Nikolaevna Shabanova | Электронный магнитный спектрометр |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5955730A (en) | Reflection time-of-flight mass spectrometer | |
GB2153139A (en) | Time of flight mass spectrometer | |
WO2006130149A2 (en) | Mass spectrometer and methods of increasing dispersion between ion beams | |
Brongersma et al. | ’’NODUS’’—a sensitive new instrument for analyzing the composition of surfaces | |
JPS58161237A (ja) | 質量分析計 | |
CN109216149B (zh) | 一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置 | |
Unwin et al. | A simple high‐performance high‐resolution electron energy‐loss spectroscopy system | |
RU2086037C1 (ru) | Электростатический анализатор энергии заряженных частиц | |
US5032724A (en) | Multichannel charged-particle analyzer | |
US4870283A (en) | Electric multipole lens | |
US5091645A (en) | Selectable-resolution charged-particle beam analyzers | |
US3105899A (en) | Electric mass filter | |
JPS6037644A (ja) | 表面分析装置 | |
US4752685A (en) | Electronic spectrometer for identifying element conditions of a sample surface by utilizing an energy spectrum of charged particles | |
JP2870910B2 (ja) | 可変分散質量分析計 | |
US3143647A (en) | Demountable mass-filter cell for use in high vacuum | |
JP4624556B2 (ja) | 高分解能荷電粒子エネルギー検出ミラー分析システム及びその使用方法 | |
US4546254A (en) | Charged particle energy analyzer | |
JP3769029B2 (ja) | X線管 | |
US20210225630A1 (en) | Mass Spectrometry Device | |
JPS62157653A (ja) | 荷電粒子エネルギ分析器 | |
EP0120106B1 (en) | Charged particle energy analyzer | |
CN114354732A (zh) | 一种高分辨双聚焦质谱仪分析系统 | |
SU1064348A1 (ru) | Магнитный спектрометр | |
SU680534A1 (ru) | Электростатический энергоанализатор |