RU2080414C1 - Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония - Google Patents

Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония Download PDF

Info

Publication number
RU2080414C1
RU2080414C1 RU93040301A RU93040301A RU2080414C1 RU 2080414 C1 RU2080414 C1 RU 2080414C1 RU 93040301 A RU93040301 A RU 93040301A RU 93040301 A RU93040301 A RU 93040301A RU 2080414 C1 RU2080414 C1 RU 2080414C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
etching
regeneration
solution
copper
cathode
Prior art date
Application number
RU93040301A
Other languages
English (en)
Other versions
RU93040301A (ru
Inventor
Валерий Брониславивич Дроздович
Ирина Иосифовна Курило
Иван Михайлович Жарский
Руслан Иосифович Карпович
Original Assignee
Белорусский технологический институт им.С.М.Кирова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Белорусский технологический институт им.С.М.Кирова filed Critical Белорусский технологический институт им.С.М.Кирова
Priority to RU93040301A priority Critical patent/RU2080414C1/ru
Publication of RU93040301A publication Critical patent/RU93040301A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2080414C1 publication Critical patent/RU2080414C1/ru

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/46Regeneration of etching compositions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Изобретение относится к электрохимическому производству и может быть использовано для регенерации отработанных травильных растворов в производстве печатных плат. Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата включает химическое травление и электрохимическую регенерацию отработанного травильного раствора в двухкамерном электролизере, разделенном катионообменной мембраной, при этом отработанный травильный раствор подают в анодную камеру электролизера, а в катодную камеру - сернокислый раствор сульфата меди, полученный путем растворения двойной соли CuSO4•(NH4)2SO4•6H2O, выпадающей в осадок из отработанного травильного раствора при его охлаждении после 6 - 7 циклов процесса "травление-регенерация", при этом медь извлекают до концентрации 1,5 - 2 г/л, а в качестве катода используют титан с гладкой поверхностью. 1 табл.

Description

Изобретение относится к электрохимическому производству и может быть использовано для регенерации отработанных травильных растворов (ТР) производства печатных плат.
Известен способ травления и регенерации ТР на основе персульфата аммония (ПА), включающий химическое травление и электрохимическую регенерацию [1] Электрохимическую регенерацию ведут непосредственно в процессе химического травления путем размещения электродов в ТР при катодной и анодной плотностях тока 1500 2000 и 500 1000 А/м2 соответственно с дозированной плачей концентрированной перекиси водорода. В качестве катода используют графит, в качестве анода платину. Электролиз ведут при температуре 50 55oC.
Однако данный способ мало эффективен, так как в процессе электролизера на катоде происходит активное разложение персульфатиона, в связи с этим существенно снижается катодный выход по току меди. Кроме того, при повышенных температурах (50 55oC) крайне осложняется анодный синтез ПА [2] Проведение электрохимической регенерации непосредственно в ванне травления приводит к возникновению биполярного эффекта, что вызывает неравномерность травления. Вместе с этим существенным недостатком данного способа является также использование больших количеств перекиси водорода, что приводит к разбавлению раствора и дополнительным экономическим затратам.
Наиболее близким к предлагаемому способу по технической сущности и достигаемому результату является способ травления и трехстадийной регенерации травильного раствора с и использованием двухкамерного электролита с разделением катодного и анодного пространств катионообменной мембраной [3] Отработанный ТР предварительно поступает на первую ступень в электролизер, где извлекается более 60% меди при плотности тока 50 200 А/м2 и температуре 50oC в присутствии ингибирующих добавок. После этого раствор подается на вторую ступень регенерации в катодное пространство двухкамерного электролизера, где происходит полное извлечение меди и разложение ПА при катодной плотности тока 500 2000 А/м2. Затем раствор из катодной камеры переводят в анодную, где в присутствии ингибирующих добавок (тиоцианата, хлорида, мочевины и др.) в количестве 0,05 0,5 г/л при плотности тока 4000 7000 А/м2 синтезируется необходимое количество персульфатов с анодным выходом по току 85,1% при условии отсутствия пероксомоносульфатов, которые резко понижают анодный выход по току. Полученные растворы персульфатов используют в ванне травления.
Недостатком этого способа является многостадийность и сложность аппаратурного оформления. Проведение процесса извлечения меди в бездиафрагменном электролизере и в бездиафрагменном электролизере и в катодном пространстве двухкамерного электролизера приводит к полному разложению персульфатов и, следовательно, снижению катодного выхода по току меди, что вызывает значительное увеличение энергозатрат. При этом также отсутствует возможность получения компактных катодных осадков меди. Кроме того, полное извлечение меди с ниpким выходом по току существенно увеличивает длительность проесса регенераии. Использование добавок различного типа на первой и третьей стадиях регенерации приводит к накоплению в растворе продуктов их деструкции, получаемых в процессе электролиза, что осложняет травление и приводит к необходимости периодической очистки.
Для устранения указанных недостатков предложен способ травления и регенерации ТР на основе ПА в двухкамерном электролизере, разделенном катионообменной мембраной, включающий химическое травление и электрохимическую регенерацию, в котором для регенерации отработанный ТР подают в анодную камеру, а в катодную камеру подают сернокислый раствор сульфата меди, полученный путем растворения двойной соли CuSO4•(NH4)2SO4•6H2O, выпадающей в осадок из отработанного ТР при его охлаждении после 6 7 циклов процесса "травление-электрохимическая регенерация" при этом медь извлекают не полностью, а в качестве катода используют титан.
Ввиду невысокой концентрации кислоты в отработанный ТР в процессе электролиза токоперенос через мембрану в основном осуществляется катионами и аммония, которые переходят в катодную камеру. Наблюдаемое при этом падение pH в анодной камере, вызванное диффузией ионов водорода, увеличивает перенапряжение выделения кислорода и тормозит побочную реакцию его образования. Это вызывает увеличение выхода по току ПА. Так как в катодной камере находится раствор с достаточно высоким содержанием ионов меди, в процессе электролиза на катоде при плотности тока 100 200 А/м2 формируется компактный осадок меди с выходом по току 80 95%
Извлечение из меди ведут не полностью, т.к. при достижении концентрации меди в католите 1,5 2,0 г/л резко падает катодный выход по току и значительно ухудшается качество осадка. Для устранения этого необходимо снижать плотность тока, что существенно увеличит длительность процесса и повысит энергозатраты. Поэтому извлечение меди целесообразно проводить до остаточных концентраций 1,5 2,0 г/л. Наличие остаточных количеств меди в анолите позволяет стабилизировать параметры на стадии травления.
В качестве катода используют гладкий титан, который ввиду пассивации обеспечивает легкость съема катодного осадка, обладает высокой коррозионной стойкостью и длительным ресурсом работы.
При увеличении числа циклов "травление электрохимическая регенерация" наблюдается увеличение скорости травления, что объясняется накоплением в растворе сульфата аммония и образованием более стойких аммиачных комплексов. Однако это приводит к некоторому снижению катодного выхода по току. Поэтому после проведения 6 7 циклов "травление электрохимическая регенерация" отработанный ТР охлаждают до 7 10oC и отделяют выпавший осадок двойной соли CuSO4•(NH4)2SO4•6H2O, а раствор направляют в катодную камеру электролиза для синтеза ПА.
Выпавший кристаллический осадок растворяют в сернокислом растворе и направляют в катодное пространство электролизера. После электроосаждения меди раствор вновь используют для растворения осадка.
Из литературных источников неизвестен способ травления и регенерации травильных растворов на основе ПА, в котором отработанный травильный раствор подается в анодную камеру, а в катодную сернокислый раствор сульфата меди, полученный путем растворения двойной соли CuSO4•(NH4)2SO4•6H2O, выпадающей в осадок из отработанного ТР при его охлаждении после 6 7 циклов процесса травление регенерация" и нами предлагается впервые.
Изобретение поясняется примером.
Пример 1. Заготовки из фольгированного стеклотекстолита марки СТФ-2-35-03 химически травят в растворе, содержанием, г/л: ПА-120, серная кислота 10.
В процессе травления по мере насыщения раствора по меди температуру повышают от 30 до 50oC. Содержание меди с отработанном ТР составляет 15 г/л Регенерацию отработанного ТР проводят в анодной камере двухкамерного электролизера, где катодное и анодное пространства разделены катионообменной мембраной марки МК-40.
В катодную камеру подают сернокислый раствор сульфата меди с концентрацией ионов меди 30 г/л. В качестве анода используют платину, катода - гладкий титан. Электролиз ведут при катодной и анодной плотностях тока 15 и 7000 А/м2 соответственно. При этом на катоде формируется компактный осадок меди с катодным выходом по току 96%
По окончании процесса регенерации концентрации меди в католите составляет 2 г/л, а концентрация ПА в анолите 110 г/л. После корректировке (добавления 10 г/л ПА), раствор направляют в ванну травления.
После проведения шести циклов "травление-регенерация" отработанный ТР охлаждают до температуры 10oC и отделяют выпавший кристаллический осадок. Полученный раствор, содержащий 65 г/л ПА, направляют в анодную камеру электролизера. Выпавший осадок двойной соли CuSO4•(NH4)2SO4•6H2O растворяют в 1 М серной кислоте и направляют в катодную камеру электролизера. Начальная концентрация меди в католите составляет 30 г/л.
Результаты травления и регенерации представлены в таблице.
Как видно из таблицы в предложенном способе по сравнению с прототипом коэффициент использования персульфата аммония выше в 2 раза, у предлагаемого 80 85% у прототипа 30 40% Кроме того, катодный выход по току составляет в предлагаемом способе 80 96% что более чем на 30% выше, чем у прототипа.
Таким образом, предложенный способ травления и регенерации позволяет интенсифицировать, упростить и удешевить процесс за счет уменьшения числа стадий процесса, снижения энергозатрат, использования оптимальных концентраций травящих компонентов, многократного и эффективного использования реагентов.

Claims (1)

  1. Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония, включающий химическое травление и электрохимическую регенерацию отработанного травильного раствора в двухкамерном электролизере, разделенном катионообменной мембраной, отличающийся тем, что при регенерации отработанный травильный раствор подают в анодную камеру электролизера, а в катодную камеру сернокислый раствор сульфата меди, полученный путем растворения двойной соли СuSO4•(NH4)2SO4•6H2O, выпадающей в осадок из отработанного травильного раствора при его охлаждении после 6 7 циклов процесса травление регенерация, при этом медь извлекают до концентрации 1,5 2 г/л, а в качестве катода используют титан с гладкой поверхностью.
RU93040301A 1993-08-06 1993-08-06 Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония RU2080414C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93040301A RU2080414C1 (ru) 1993-08-06 1993-08-06 Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93040301A RU2080414C1 (ru) 1993-08-06 1993-08-06 Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93040301A RU93040301A (ru) 1996-08-10
RU2080414C1 true RU2080414C1 (ru) 1997-05-27

Family

ID=20146311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93040301A RU2080414C1 (ru) 1993-08-06 1993-08-06 Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2080414C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2765894C1 (ru) * 2021-04-15 2022-02-04 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева (РХТУ им. Д.И. Менделеева) Способ обработки раствора подтравливания печатных плат

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР N 827598, кл. С 23 G 1/36, 1982. Патент ГДР N 212229, кл. С 23 G 1/36, 1984. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2765894C1 (ru) * 2021-04-15 2022-02-04 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева (РХТУ им. Д.И. Менделеева) Способ обработки раствора подтравливания печатных плат

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4545877A (en) Method and apparatus for etching copper
US3470044A (en) Electrolytic regeneration of spent ammonium persulfate etchants
AU724854B2 (en) A process and device for regenerating tinning solutions
US3072545A (en) Electroplating of metals
EA000239B1 (ru) Способ комбинированного электрохимического получения пероксодисульфата натрия и раствора едкого натра
CN108505043B (zh) 一种pcb酸性蚀刻废液再生回用的方法
RU2677583C1 (ru) Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора
US4762601A (en) Copper bath for electroless plating having excess counter-cation and process using same
JPH0681181A (ja) パラジウムアミン水酸化物化合物の合成方法
EP0043854A1 (en) AQUEOUS METAL ELECTROLYTIC EXTRACTION.
US3969207A (en) Method for the cyclic electrochemical processing of sulfuric acid-containing pickle waste liquors
RU2080414C1 (ru) Способ травления и регенерации травильного раствора на основе персульфата аммония
US3406108A (en) Regeneration of spent ammonium persulfate etching solutions
JPS57155390A (en) Manufacture of organic ammonium hydroxide using ion exchange membrane
JP3778238B2 (ja) 過硫酸ナトリウムの製造方法
DD211129B1 (de) Kreislaufverfahren zum beizen von kupfer und kupferlegierungen
EP0201925A1 (en) Process for producing a free amino acid from an alkali metal salt thereof
RO119838B1 (ro) Procedeu pentru placarea galvanică, cu cupru, a substraturilor
WO1995023880A1 (en) Treatement of electrolyte solutions
SU1395588A1 (ru) Способ извлечени никел
RU2709305C1 (ru) Регенерация солянокислого медно-хлоридного раствора травления меди методом мембранного электролиза
JP3832534B2 (ja) 過硫酸ナトリウムの製造方法
JPH11293484A (ja) 過硫酸アンモニウムの製造方法
RU2765894C1 (ru) Способ обработки раствора подтравливания печатных плат
JPH0824586A (ja) 硝弗酸洗浄廃液の電気透析処理方法及びその装置