RU2025692C1 - Method of measurement of characteristics of optical systems: focal distances and decentering - Google Patents
Method of measurement of characteristics of optical systems: focal distances and decentering Download PDFInfo
- Publication number
- RU2025692C1 RU2025692C1 SU5018823A RU2025692C1 RU 2025692 C1 RU2025692 C1 RU 2025692C1 SU 5018823 A SU5018823 A SU 5018823A RU 2025692 C1 RU2025692 C1 RU 2025692C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- measured
- auxiliary lens
- light beam
- focal plane
- lens
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для измерения фокусных расстояний и децентрировки оптических систем. The invention relates to optical instrumentation and can be used to measure focal lengths and decentration of optical systems.
Известен способ измерения задних фокальных отрезков линз [1], при котором на линзу направляют параллельный пучок света и измеряют расстояние между вершиной последней поверхности линзы и плоскостью, в которой фокусируется параллельный пучок света после линзы. A known method of measuring the rear focal segments of the lens [1], in which a parallel beam of light is directed to the lens and the distance between the top of the last surface of the lens and the plane in which the parallel beam of light is focused after the lens is measured.
При измерении фокального отрезка микроскоп фокусируют на вершину последней поверхности линзы и снимают отсчет по шкале перемещений, затем фокусируют микроскоп на изображение тест-объекта и снимают второй отсчет. Разность отсчетов соответствует фокальному отрезку. When measuring the focal segment, the microscope is focused on the top of the last lens surface and a count is taken on the displacement scale, then the microscope is focused on the image of the test object and a second count is taken. The difference of the samples corresponds to the focal segment.
Недостатки этого способа: нельзя измерять большие фокальные отрезки, нельзя без изменения оптической схемы измерять отрицательные системы, высокие требования к точности базировки системы, так как надо измерение вести строго по оптической оси. The disadvantages of this method: it is impossible to measure large focal segments, it is impossible to measure negative systems without changing the optical scheme, high requirements for the accuracy of the system’s basing, since it is necessary to measure strictly along the optical axis.
Известен способ измерения задней вершинной рефракции очковых линз [2], при котором на линзу направляют пучок света от тест-объекта (сетки) и наблюдают изображение тест-объекта через зрительную трубу, добиваясь его резкого изображения изменение расходимости падающего на линзу пучка света. There is a method of measuring posterior vertex refraction of spectacle lenses [2], in which a light beam is sent from a test object (grid) to the lens and the image of the test object is observed through the telescope, achieving a sharp image of it changing the divergence of the light beam incident on the lens.
Недостатки этого способа: для точного измерения фокального отрезка необходимо центрировать линзу относительно оптической оси устройства, большое время измерения, так как надо центрировать линзу и проводить продольную фокусировку изображения сетки. The disadvantages of this method: for accurate measurement of the focal length, it is necessary to center the lens relative to the optical axis of the device, a long measurement time, since it is necessary to center the lens and conduct longitudinal focusing of the grid image.
Известен способ измерения рабочего отрезка оптической системы [3], при котором на оптическую систему направляют световой пучок, измеряют фототок в двух точках, находящихся на известном расстоянии от последней поверхности оптической системы, и определяют величину заднего фокального отрезка по формуле
S= + Δr + ry, (1) где Δ r - расстояние между точками, в которых измеряется фототок;
ry - расстояние от последней поверхности оптической системы до одной из точек, где измеряются фототоки.A known method of measuring the working segment of the optical system [3], in which a light beam is directed to the optical system, measure the photocurrent at two points located at a known distance from the last surface of the optical system, and determine the magnitude of the back focal segment by the formula
S = + Δr + r y , (1) where Δ r is the distance between the points at which the photocurrent is measured;
r y is the distance from the last surface of the optical system to one of the points where the photocurrents are measured.
Недостаток способа: необходимо совмещать оптическую ось измеряемой системы с осью светового пучка и знать децентрировку измеряемой системы, иначе появляется ошибка вследствие разных углов падения пучка лучей на фотоприемники, т. е. большое время на совмещение осей и ошибка измерения при неизвестной децентрировке системы. The disadvantage of this method is that it is necessary to combine the optical axis of the measured system with the axis of the light beam and know the decentration of the measured system, otherwise an error occurs due to different angles of incidence of the beam on the photodetectors, i.e., a long time for alignment of the axes and measurement error with an unknown decentration of the system.
Известен способ измерения фокусных расстояний (метод увеличения) объективов [1] , при котором тест-объект, расположенный в фокальной плоскости объектива коллиматора и освещенный источником света через конденсатор, проектируется измеряемым объективом в его фокальную плоскость. Изображение тест-объекта (сетка с вертикальными штрихами) рассматривают с помощью микроскопа и измеряют расстояние между выбранными штрихами сетки окуляр-микрометром, установленным на микроскопе. A known method of measuring focal lengths (zoom method) of lenses [1], in which a test object located in the focal plane of the collimator lens and illuminated by a light source through a capacitor, is projected by the measured lens into its focal plane. The image of the test object (a grid with vertical strokes) is examined using a microscope and the distance between the selected strokes of the grid is measured with an eyepiece-micrometer mounted on a microscope.
Фокусное расстояние измеряемого объектива определяется по формуле
f′= f , (2) где fк - фокусное расстояние объектива коллиматора;
y - расстояние между штрихами тест-объекта.The focal length of the measured lens is determined by the formula
f ′ = f , (2) where fк is the focal length of the collimator lens;
y is the distance between the strokes of the test object.
Недостаток способа: нельзя измерять большие фокусные расстояния, фокусные расстояния отрицательных систем, большое время на продольную фокусировку системы. The disadvantage of this method: it is impossible to measure large focal lengths, focal lengths of negative systems, long time for longitudinal focusing of the system.
Общим недостатком всех вышеперечисленных устройств является то, что устройством можно измерять только какой-то один параметр или фокусное расстояние, или фокальные отрезки оптических систем. A common drawback of all of the above devices is that the device can only measure any one parameter or focal length, or focal segments of optical systems.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу является способ измерения фокусных расстояний объективов (метод Фабри-Юдина( [4], при котором на измеряемый объектив направляют параллельный пучок света с сечением известного размера, располагают за измеряемым вспомогательную линзу и, измеряя размер сечения пучка в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы, определяют фокусное расстояние измеряемого объектива f1 по формуле
f′= f
D' - размер сечения пучка в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы;
f1 2 - фокусное расстояние вспомогательной линзы.The closest in technical essence to the claimed method is a method for measuring the focal lengths of lenses (Fabry-Yudin method ([4], in which a parallel beam of light with a section of a known size is directed to the measured lens, placed behind the measured auxiliary lens and, measuring the size of the beam section in the rear focal plane of the auxiliary lens, determine the focal length of the measured lens f1 by the formula
f ′ =
D 'is the size of the beam section in the rear focal plane of the auxiliary lens;
f 1 2 is the focal length of the auxiliary lens.
При этом способе можно измерять и децентрировку измеряемого объектива. Если объектив децентрирован на величину C, то размер параллельного пучка от оси объектива в одном направлении будет + C , в другом - C и соответственно размер пучка в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы от оси будет в одном направлении
D = · f
D = · f
Разность этих размеров будет
D - D = C , откуда
C = f′ (4) Причем измеряемая величина фокусного расстояния не зависит от величины децентрировки, так как
D′ = D + D = f (5)
Недостатки данного способа следующие: ограниченность диапазона измеряемых фокусных расстояний объективов, что связано с ограниченным полем зрения измерительного устройства; большее время измерения, связанное с необходимостью подбора диафрагм для каждого измеряемого фокусного расстояния, кроме того, при этом способе нельзя измерять фокальные отрезки оптических систем, если в этом возникает необходимость (например, в бинокулярных приборах нужно подбирать объективы по фокальным отрезкам и увеличению, т. е. по фокусному расстоянию) и нужно применять другие способы измерения фокальных отрезков, что опять-таки увеличивает время измерения.With this method, the decentration of the measured lens can also be measured. If the lens is decentered by the value of C, then the size of the parallel beam from the axis of the lens in one direction will be + C, in another - C and, accordingly, the beam size in the rear focal plane of the auxiliary lens from the axis will be in one direction
D =
D = F
The difference of these sizes will be
D - D = C from where
C = f (4) Moreover, the measured value of the focal length does not depend on the amount of decentration, since
D ′ = D + D = f (5)
The disadvantages of this method are as follows: the limited range of the measured focal lengths of the lenses, which is associated with a limited field of view of the measuring device; longer measurement time, associated with the need to select apertures for each measured focal length, in addition, with this method it is impossible to measure the focal segments of optical systems if this is necessary (for example, binocular devices need to select lenses according to focal segments and magnification, t. i.e., by focal length) and other methods of measuring focal lengths need to be applied, which again increases the measurement time.
Целью изобретения является расширение диапазона измеряемых фокусных расстояний оптических систем, уменьшение времени измерения, а также при необходимости измерения фокальных отрезков объективов. The aim of the invention is to expand the range of measured focal lengths of optical systems, reducing the measurement time, and also, if necessary, measuring the focal lengths of the lenses.
Цель достигается тем, что в способе измерения характеристик оптических систем фокусных расстояний и децентрировки сходящийся пучок света фокусируют вблизи передней фокальной плоскости вспомогательной линзы, устанавливают измеряемую оптическую систему вблизи точки, в которой фокусируется сходящийся пучок света, и измеряют размер сечения пучка света в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы, затем изменяют (во времени или в пространстве) взаимное положение точки, в которой фокусируется сходящийся пучок света, относительно вершины передней поверхности измеряемой системы и измеряют размер сечения пучка в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы и по сравнению измеренных размеров сечений определяют требуемую характеристику измеряемой оптической системы по формулам
f′ = 2α·f (6)
-SF = (7)
C = f′ (8) где f1 2 - фокусное расстояние измеряемой оптической системы;
- SF - передний фокальный отрезок измеряемой оптической системы;
D1', D2' - размер сечений пучка в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы для двух положений измеряемой оптической системы;
X1, X2 - расстояния от вершины передней поверхности измеряемой оптической системы до точки, в которой фокусируется сходящийся пучок света;
2 α - угол между крайними лучами сходящегося пучка лучей;
f2' - фокусное расстояние вспомогательной линзы;
C - децентрировка измеряемой оптической системы;
(D')A, (D')B - размер сечения пучка света в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы от оси вспомогательной линзы до крайнего луча пучка света, измеренные в направлении децентрировки измеряемой системы и в противоположном направлении, для одного положения измеряемой оптической системы относительно точки, в которой фокусируется сходящийся пучок света.The goal is achieved by the fact that in the method for measuring the characteristics of optical systems of focal lengths and decentration, the converging light beam is focused near the front focal plane of the auxiliary lens, the measured optical system is installed near the point at which the converging light beam is focused, and the cross-sectional size of the light beam in the rear focal plane is measured auxiliary lens, then change (in time or in space) the relative position of the point at which the converging beam of light is focused, relative to the defects of the front surface of the measured system and measure the size of the beam cross section in the rear focal plane of the auxiliary lens and, comparing the measured sizes of the cross sections, determine the required characteristic of the measured optical system using the formulas
f ′ = 2α (6)
-S F = (7)
C = f (8) where f 1 2 is the focal length of the measured optical system;
- S F - front focal segment of the measured optical system;
D 1 ', D 2 ' - the size of the cross sections of the beam in the rear focal plane of the auxiliary lens for two positions of the measured optical system;
X 1 , X 2 - the distance from the top of the front surface of the measured optical system to the point at which the converging beam of light is focused;
2 α is the angle between the extreme rays of a converging beam of rays;
f 2 'is the focal length of the auxiliary lens;
C - decentration of the measured optical system;
(D ') A , (D') B is the cross-sectional dimension of the light beam in the rear focal plane of the auxiliary lens from the axis of the auxiliary lens to the extreme beam of the light beam, measured in the direction of decentration of the measured system and in the opposite direction, for one position of the measured optical system relative to the point at which the converging beam of light is focused.
Способ отличается от прототипа тем, что на измеряемую оптическую систему падает сходящийся пучок света, в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы измеряют сечение пучка лучей, близкого к параллельному (коллимированного), измерение сечений пучка проводят для двух положений измеряемых оптических систем, кроме того, этим способом определяется дополнительная характеристика оптической системы - фокальный отрезок. The method differs from the prototype in that a converging light beam is incident on the measured optical system, in the rear focal plane of the auxiliary lens, a beam section close to parallel (collimated) is measured, beam sections are measured for two positions of the measured optical systems, in addition, this method determines an additional characteristic of the optical system - the focal segment.
На фиг. 1 представлена схема, по которой осуществляется способ измерения характеристик измерения оптических систем: фокусных расстояний, фокальных отрезков и децентрировки; на фиг. 2, 3 - варианты устройств, на которых может быть реализован способ измерения характеристик оптических систем. In FIG. 1 is a diagram illustrating a method for measuring the measurement characteristics of optical systems: focal lengths, focal lengths, and decentration; in FIG. 2, 3 - variants of devices on which a method for measuring the characteristics of optical systems can be implemented.
Способ измерения характеристик оптических систем: фокусных расстояний и децентрировки, при котором сходящийся пучок с углом 2 α между крайними лучами A и B фокусируется в точке F1' вблизи передней фокальной плоскости F2' вспомогательной линзы 2.A method for measuring the characteristics of optical systems: focal lengths and decentration, in which a converging beam with an angle of 2 α between the extreme rays A and B is focused at a point F 1 'near the front focal plane F 2 ' of the
Измеряемую систему 1 с передним фокусным расстоянием -f и задним - f передним фокальным отрезком - -SF и децентрировкой C устанавливают вершиной передней поверхности вблизи точки F1' на расстоянии -Х, от вершины до F1' и измеряют размер сечения пучка в задней фокальной плоскости линзы 2.The measured
Из расчета хода лучей A и B размер сечения пучка в плоскости F2' от оси линзы 2 до луча A будет
(-D)1= -αf - f (9) и размер сечения пучка в плоскости от оси линзы до луча B будет
(D)1= -αf + f (10)
Решая эти уравнения, получают
(D)1-(-D) = 2f (11) откуда децентрировка измеряемой системы будет
C = f′ (8) и далее
D = (D)1+(-D)1= 2αf (12)
Затем изменяют взаимное положение точки F1 и вершины передней поверхности измеряемой системы на X2 и получают размер сечения D2' в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы 2
D = - 2αf (13)
Из (12) и (13) следует
F′ = 4αf
-SF = X или при симметричном расположении вершины передней поверхности оптической системы относительно т. е. F', т. е. при
X1=-X2=X, (14) будет
f′ = 4αf (15)
Способ может быть реализован в устройстве (фиг. 2), в котором изменение взаимного положения точки, в которой фокусируется сходящийся пучок относительно вершины передней поверхности измеряемой линзы, происходит во времени.Based on the calculation of the paths of rays A and B, the size of the beam section in the plane F 2 'from the axis of the
(-D ) 1 = -αf - f (9) and the size of the beam cross section in the plane from the axis of the lens to beam B will be
(D ) 1 = -αf + f (10)
Solving these equations, we get
(D ) 1 - (- D ) = 2f (11) where will the decentration of the measured system be
C = f (8) and further
D = (D ) 1 + (- D ) 1 = 2αf (12)
Then, the relative position of the point F1 and the vertices of the front surface of the measured system is changed to X 2 and the section size D 2 'is obtained in the rear focal plane of the
D = - 2αf (thirteen)
From (12) and (13) it follows
F ′ = 4αf
-S F = X or with a symmetrical arrangement of the vertices of the front surface of the optical system with respect to, i.e., F ', i.e., with
X 1 = -X 2 = X, (14) will be
f ′ = 4αf (fifteen)
The method can be implemented in a device (Fig. 2), in which a change in the relative position of the point at which the converging beam is focused relative to the top of the front surface of the measured lens occurs in time.
Устройство содержит последовательно установленные источник 4 параллельного света, диафрагму 5 размером D и оптический канал, в котором установлены последовательно и соосно фокусирующая линза 6, базировочное приспособление 7, механизм 8 перемещения базировочного приспособления с отсчетным устройством 9, вспомогательная линза, передняя фокальная плоскость которой совпадает с задней фокальной плоскостью фокусирующей линзы, измерительное устройство 3, например матричный фотоприемник, чувствительная площадка, которая установлена в задней фокальной плоскости впомогательной линзы. The device comprises a parallel-mounted parallel light source 4, a
Источник параллельного света освещает диафрагму 5 размером D и падает на фокусирующую линзу 6 с фокусным расстоянием f1'. Сходящийся пучок света с углом α = проходит измеряемую оптическую систему 1, установленную на базировочном приспособлении 7 на известном расстоянии X1 от вершины передней поверхности измеряемой системы до передней фокальной плоскости вспомогательной линзы 2, и вспомогательную линзу. С помощью измерительного устройства 3 измеряют размер сечения D1' пучка лучей в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы.A parallel light source illuminates the
Перемещают базировочное приспособление 7 с измеряемой оптической системой на некоторое расстояние вдоль оптической оси и по отсчетному устройству 9 определяют расстояние -X2 от вершины передней поверхности измеряемой оптической системы до передней поверхности измеряемой оптической системы до передней фокальной плоскости вспомогательной линзы 2.The
С помощью измерительного устройства 3 измеряют размер сечения пучка D2' в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы 2.Using a
Измеряемую оптическую систему желательно располагать вблизи переднего фокуса вспомогательной линзы, так как тогда на измерительное устройство падает пучок лучей, близкий к параллельному, и на измерительном устройстве (фотоприемнике) будет более контрастное пятно и точность измерения будет выше. Вместо отсчетного устройства 9 могут быть установлены два упора. В таком случае перемещение базировочного приспособления 7 не измеряется, а фиксируется в рабочих положениях по упорам. It is desirable to place the measured optical system near the front focus of the auxiliary lens, since then a beam of rays that is close to parallel will fall on the measuring device and there will be a more contrasting spot on the measuring device (photodetector) and the measurement accuracy will be higher. Instead of the
Способ может быть реализован также в устройстве (фиг. 3), в котором изменение взаимного положения точки, в которой фокусируется сходящийся пучок относительно вершины передней поверхности измеряемой линзы, происходит в пространстве. The method can also be implemented in a device (Fig. 3), in which a change in the relative position of the point at which the converging beam is focused relative to the top of the front surface of the measured lens occurs in space.
Устройство содержит последовательно установленные источник 4 параллельного света и два идентичных оптических канала, оси которых параллельны и смещены в осевом и поперечном направлениях друг относительно друга, и соосно установлена диафрагма 5, фокусирующая линза 6, вспомогательная линза 2, передний фокус которой совпадает с задним фокусом фокусирующей линзы, измерительное устройство 3, например матричный фотоприемник, чувствительная площадка, которая располагается в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы, симметрично осей обеих каналов и вблизи передних фокальных плоскостей вспомогательных линз расположено базировочное приспособление 7. The device contains sequentially mounted parallel light source 4 and two identical optical channels whose axes are parallel and offset in axial and transverse directions relative to each other, and
Параллельный пучок света от источника 4 в каждом канале проходит диафрагму 5 размером D, фокусирующая линзу 6 с фокусным расстоянием f1' и превращается в сходящейся. Сходящийся пучок света с углом между осью и крайним лучом α = проходит измеряемую оптическую систему 1, установленную на базировочном приспособлении 7, и вспомогательную линзу 2 и падает на измерительное устройство 3.A parallel light beam from the source 4 in each channel passes through an
Claims (2)
f′ = 2α·f ,
где f2 ′ - фокусное расстояние вспомогательной линзы;
2α - угол между крайними лучами сходящегося пучка света;
x1, x2 - расстояния от вершины передней поверхности измеряемой оптической системы до точки, в которой фокусируется сходящийся пучок света;
D1 ′, D2 ′ - размеры сечений пучка света в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы, соответствующие расстояниям x1, x2,
а фокальный отрезок измеряемой оптической системы определяют по формуле
-SF = ,
децентрировку измеряемой оптической системы определяют по формуле
C = f′ ,
где DA ′, DB ′ - размеры сечений пучка света в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы от оси вспомогательной линзы до крайнего луча пучка света, измеренные в направлении децентрировки линзы и противоположном направлении при одном положении измеряемой системы относительно сходящегося пучка света.1. METHOD FOR MEASURING THE CHARACTERISTICS OF OPTICAL SYSTEMS: FOCUS DISTANCES AND DECENTRATION, which consists in measuring the size of the cross section of the light beam in the rear focal plane of the auxiliary lens, characterized in that before the operation of measuring the size of the cross section of the light beam in the rear focal plane of the auxiliary lens, a converging focus beam is focused near the front focal plane of the auxiliary lens the focal plane of the auxiliary lens, set the measured optical system with the top of the front surface near the point at which the converging Xia light beam then alter the mutual position of the front surface vertex of the measured optical system and the point at which the convergent light beam is focused, repeated measurement beam cross section size in the back focal plane of the auxiliary lens and the focal length determined by the formula
f ′ = 2α ,
where f 2 ′ is the focal length of the auxiliary lens;
2α is the angle between the extreme rays of a converging beam of light;
x 1 , x 2 - the distance from the top of the front surface of the measured optical system to the point at which the converging beam of light is focused;
D 1 ′ , D 2 ′ - dimensions of the sections of the light beam in the rear focal plane of the auxiliary lens, corresponding to distances x 1 , x 2 ,
and the focal length of the measured optical system is determined by the formula
-S F = ,
decentration of the measured optical system is determined by the formula
C = f ,
where D A ′ , D B ′ are the dimensions of the cross sections of the light beam in the rear focal plane of the auxiliary lens from the axis of the auxiliary lens to the extreme beam of the light beam, measured in the direction of decentration of the lens and in the opposite direction at the same position of the measured system relative to the converging light beam.
f′ = 4α· f и -SF = X
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что размеры сечений в задней фокальной плоскости вспомогательной линзы измеряют с помощью матричного фотоприемника.2. The method according to claim 1, characterized in that, in order to simplify the processing of measurement results, take x 2 = -x 1 = x, and f 1 and -S F are defined as
f ′ = 4α and -S F = X
3. The method according to claim 1, characterized in that the cross-sectional dimensions in the rear focal plane of the auxiliary lens are measured using an array photodetector.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5018823 RU2025692C1 (en) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | Method of measurement of characteristics of optical systems: focal distances and decentering |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5018823 RU2025692C1 (en) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | Method of measurement of characteristics of optical systems: focal distances and decentering |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2025692C1 true RU2025692C1 (en) | 1994-12-30 |
Family
ID=21592696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU5018823 RU2025692C1 (en) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | Method of measurement of characteristics of optical systems: focal distances and decentering |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2025692C1 (en) |
-
1991
- 1991-12-26 RU SU5018823 patent/RU2025692C1/en active
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
1. Креопалова Г.В. и др. Оптические измерения. М.:Машиностроение, 1987, с.162, 156. * |
2. Диоптриометр оптический ДО-3 ТУЗ-1120-81. Техническое описание и инструкция по эксплуатации, с.6. * |
3. Авторское свидетельство СССР N 1080053, кл. G 01M 11/00, 1984. * |
4. Кривовяз Л.М. Практика оптической и измерительной лаборатории, 1974, с.202, 203. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7298468B2 (en) | Method and measuring device for contactless measurement of angles or angle changes on objects | |
CN101238348B (en) | Device and method for measurement of surfaces | |
CN104568389A (en) | Bilateral dislocation differential confocal element parameter measuring method | |
GB2144537A (en) | Profile measuring instrument | |
CN106767545A (en) | A kind of high accuracy high-space resolution angel measuring instrument and angle measurement method | |
EP0002428A1 (en) | Optical system for use with apparatus for contouring surfaces with coherent light | |
US3447874A (en) | Apparatus for testing lenses and method | |
US5410397A (en) | Method and apparatus for holographic wavefront diagnostics | |
CN110736721B (en) | Glass plate refractive index uniformity detection device and detection method based on diffraction grating | |
CN106052585A (en) | Surface shape detection device and detection method | |
US20220137425A1 (en) | Collimator | |
US5355210A (en) | Method and apparatus for measuring optical properties of optical devices | |
US4281926A (en) | Method and means for analyzing sphero-cylindrical optical systems | |
JP2005098933A (en) | Instrument for measuring aberrations | |
Thomasset et al. | Latest metrology results with the SOLEIL synchrotron LTP | |
US9677875B2 (en) | Measuring surface curvature | |
US3619067A (en) | Method and apparatus for determining optical focal distance | |
RU2025692C1 (en) | Method of measurement of characteristics of optical systems: focal distances and decentering | |
US20160018259A1 (en) | Method and apparatus for measuring the shape of a wave-front of an optical radiation field | |
JPH0755638A (en) | Device and method for measuring focal length of optical system | |
US4758731A (en) | Method and arrangement for aligning, examining and/or measuring two-dimensional objects | |
US20030090814A1 (en) | Compact telephoto lens for grating scale position measuring system | |
JP2672771B2 (en) | Through hole inner diameter measuring device | |
CN109990982B (en) | Reflection type transverse subtraction differential confocal focal length measuring method | |
RU2082193C1 (en) | Photoelectronic device for adjustment of optical system |