RU2024897C1 - Устройство для фокусировки монохроматического излучения - Google Patents

Устройство для фокусировки монохроматического излучения Download PDF

Info

Publication number
RU2024897C1
RU2024897C1 SU4927509A RU2024897C1 RU 2024897 C1 RU2024897 C1 RU 2024897C1 SU 4927509 A SU4927509 A SU 4927509A RU 2024897 C1 RU2024897 C1 RU 2024897C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical element
phase
focusing
figures
radiation
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
М.А. Голуб
Л.Л. Досколович
Н.Л. Казанский
И.Н. Сисакян
В.А. Сойфер
С.И. Харитонов
Original Assignee
Центральное конструкторское бюро уникального приборостроения
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Центральное конструкторское бюро уникального приборостроения filed Critical Центральное конструкторское бюро уникального приборостроения
Priority to SU4927509 priority Critical patent/RU2024897C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2024897C1 publication Critical patent/RU2024897C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

Использование: оптическое приборостроение. Сущность изобретения: устройство выполнено в виде оптического элемента, рельеф которого определяется по приведенной в описании формуле. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в различных сферах промышленности, например, в металлургической, машиностроительной и текстильной для лазерной маркировки изделий, закалки поверхностей, раскроя тканей.
Известно устройство для маркировки изделий, содержащее оптический элемент, фокусирующий монохроматическое излучение в набор точек.
Недостатком известного устройства являются значительные энергетические потери, обусловленные дифракционными эффектами (дифракционное размытие фокального пятна, рассеяние излучения на разрезах фазовой функции между сегментами, фокусирующими в разные точки).
Наиболее близким по технической сути к предлагаемому устройству является устройство для фокусировки монохроматического излучения в набор отрезков, выполненное в виде фазового оптического элемента. Апертура оптического элемента состоит из сектора круга, каждый сектор обеспечивает фокусировку в соответствующий отрезок фокальной области.
Недостатком известного устройства является энергетические потери, обусловленные дифракционным размытием фокальной линии и рассеянием излучения на разрезах фазовой функции между сегментами, фокусирующими в различные отрезки, а также более высокое среднеквадратичное отклонение распределения интенсивности вдоль отрезков фокусировки, обусловленное интерференцией фокусируемого и рассеянного излучений.
Решаемая задача состоит в достижении наиболее полной концентрации энергии при фокусировке монохроматического излучения в область, состоящую из N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с заданным соотношением энергии между фигурами.
Требуемый процесс фокусировки реализуется фазовым оптическим элементом, рельеф поверхности которого описывается выражением
Figure 00000001
(1) где h(u,v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;
(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью Ои, направленной противоположно проекции падающего луча;
λ - длина волны излучения,
ν(θ, n) =
Figure 00000002
для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и ν(θ,n) = -
Figure 00000003
Figure 00000004
для оптического элемента, работающего на отражение, где θ - угол между фокусируемым излучением и нормально к плоскости оптического элемента;
n - показатель преломления вещества элемента;
mod(x) - функция, равная остатку от деления х на 2π ;
f - фокусное расстояние элемента;
Φ (ζ) - функция фазовой модуляции фазовой дифракционной решетки с периодом Т = 2 π и интенсивностью дифракционных порядков а1 2,...,аN 2;
(xo, yo) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;
φ (u, v) - фазовая функция фокусатора в одну фигуру.
В частности, для увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в четыре фигуры пропорциональных размеров в формуле (1) для высоты микрорельефа достаточно определить функцию Φ (ζ) как фазовую модуляцию четырехпорядковой решетки с периодом Т = 2 π и равной интенсивностью в порядках с номерами -2, -1, 1, 2:
Φ(ζ) =
Figure 00000005
(2)
Рассмотрим работу оптического элемента, рельеф поверхности которого описывается формулой (1). Высота микрорельефа h(u,v) связана с фазовой функцией элемента следующим соотношением:
F(u,v) =
Figure 00000006
h(u,v) (3)
Без ограничения общности рассмотрим случай нормального падения излучения на оптический элемент ( θ = 0). При этом согласно (1), (3) фазовая функция элемента имеет вид
F(
Figure 00000007
) = mod
Figure 00000008
Figure 00000009
+ Φ (
Figure 00000010
(
Figure 00000011
))
Figure 00000012
где
Figure 00000013
=(u,v), k=
Figure 00000014

Figure 00000015
(
Figure 00000016
)= mod(φ(
Figure 00000017
)+
Figure 00000018
Figure 00000019

φ(
Figure 00000020
) - фазовая функция, рассматриваемая как дополнение к линзе с фокусом f и обеспечивающая фокусировку в одну фигуру.
Рассмотрим функцию Φ[
Figure 00000021
(
Figure 00000022
)] как функцию аргумента
Figure 00000023
. При этом Φ[
Figure 00000024
] соответствует фазовой модуляции N-порядковой дифракционной решетки с периодом 2π и интенсивностью дифракционных порядков
a 2 1 , . .., a 2 N
Figure 00000025
a 2 i =1
Figure 00000026
. Обозначим l1,...,lN - номера порядков дифракции. Тогда разложение Фурье функции exp[iΦ(
Figure 00000027
)] на интервале [0,2π ) с учетом ненулевых членов l1,...,lN имеет вид:
exp[iΦ(
Figure 00000028
)]=
Figure 00000029
C
Figure 00000030
exp[iln(
Figure 00000031
)], (4) где Cln - коэффициенты Фурье, причем
Figure 00000032
Cln
Figure 00000033
= an 2.
Полагая в (4)
Figure 00000034
=
Figure 00000035
(u,v) и используя 2π -периодичность фазы запишем функцию комплексного пропускания оптического элемента в виде:
exp(iF(
Figure 00000036
))= exp
Figure 00000037
-
Figure 00000038
Figure 00000039
C
Figure 00000040
exp(il
Figure 00000041
(
Figure 00000042
)) (5)
Согласно (5) каждая зона, определяемая как область изменения функции
Figure 00000043
(
Figure 00000044
) в пределах интервала [0,2 π), формирует N пучков (каждый пучок характеризуется фазовой функцией φп(
Figure 00000045
)= lпφ(
Figure 00000046
). В силу линейности оператора распространения света поле в фокальной области есть суперпозиция преобразований освещающего пучка, осуществляемых фазовыми функциями
φп(
Figure 00000047
) = -
Figure 00000048
+ lпφ(
Figure 00000049
)+ lп
Figure 00000050
В приближении геометрической оптики фазовая функция -
Figure 00000051
+ φ(
Figure 00000052
) , обеспечивающая фокусировку в одну фигуру, выполняет преобразование светового поля, при котором каждой точке (u,v) в области расположения оптического элемента соответствует точка
Figure 00000053
(u,v)= (x(u, v),y(u,v))в фокальной плоскости, причем указанное преобразование имеет вид
Figure 00000054
(u,v)= grad
Figure 00000055
[φ(u,v)]
Figure 00000056
(7) Согласно (7), фазовая функция
Figure 00000057
=V-
Figure 00000058
+
Figure 00000059
Figure 00000060
Figure 00000061
осуществляет преобразование:
Figure 00000062
(u, v)= l
Figure 00000063
+ lпgrad
Figure 00000064
[φ(u,v)]
Figure 00000065
(8) что соответствует фокусировке в ln раз увеличенную фигуру, смещенную на вектор
Figure 00000066
= (lпxo, lпyo). Таким образом, фазовая функция оптического элемента обеспечивает фокусировку излучения в набор N фигур пропорциональных размеров, причем доля энергии освещающего пучка, фокусируемая в фигуру с номером n, пропорциональна квадрату модуля an 2 соответствующего коэффициента Фурье.
Оптический элемент соответствует дифракционному решению задачи фокусировки в N фигур пропорциональных размеров. При этом полная апертура элемента (1) работает в каждую из N фигур фокусировки, что снижает степень дифракционного размытия по сравнению с сегментированными оптическими элементами [1], [2] и обеспечивает наиболее полную концентрацию энергии в области фокусировки.
На чертеже приведена схема устройства, реализующего предлагаемый способ для случая фокусировки лазерного излучения в набор из N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с соотношением энергии а1 2,...,аN 2 между фигурами.
Устройство состоит из оптического элемента 1, выполненного в виде отражающей пластинки с микрорельефом 2. Форма поверхности микрорельефа 2 определяется выражением (1). (В частности, при фокусировке в 4-е фигуры с равными энергиями Φ (ζ) описывается формулой (2)). На оптический элемент 1 направлено лазерное излучение 3, которое фокусируется в область 4, состоящую из N фигур пропорциональных размеров.
Устройство работает следующим образом. Лазерное излучение 3 падает на отражающий оптический элемент 1 с микрорельефом 2, угол между нормалью к плоскости оптического элемента и падающим лучом равен θ. За счет отражения излучения 3 от поверхности микрорельефа 2 происходит фазовая модуляция волны 3 по закону, описываемому кусочно-непрерывной функцией, изменяющейся в диапазоне от 0 до
Figure 00000067
(для отражающего оптического элемента).
Таким образом формируется N волновых пучков с заданным соотношением энергии а1 2, . ..,аN 2 между пучками, при этом микрорельеф 2 направляет падающий на него волновой фронт во все N фигур фокусировки. За счет взаимодействия волновых фронтов, направляемых микрорельефом оптического элемента 1, в области фокусировки 4 излучение фокусируется в N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с соотношением энергии a1 2,...,aN 2 между фигурами.

Claims (2)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ МОНОХРОМАТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, выполненное в виде фазового оптического элемента, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в область, состоящую из фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с заданным соотношением энергии a1 2, . . .aN 2 между фигурами, рельеф фазового оптического элемента описывается выражением
Figure 00000068
(
Figure 00000069

где h(u, v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;
(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью Θu ,, направленной противоположно проекции падающего луча;
λ - длина волны излучения;
ν(θ, n) =
Figure 00000070
для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и
ν(θ,n) =
Figure 00000071
Figure 00000072
- работающего на отражение,
где Θ - угол между фокусируемым излучением и нормалью к плоскости оптического элемента;
n - показатель преломления вещества элемента;
mod[x] - функция, равная остатку от деления x на 2π;
f - фокусное расстояние элемента;
Θ(ζ) - периодическая функция с периодом T=2π, описывающая модуляцию фазовой дифракционной решетки с интенсивностью дифракционных порядков, a1 2... ,aN 2 ;
(x0, y0) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;
φ(u,v) -фазовая функция фокусатора в одну фигуру.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в область, состоящую из четырех фигур пропорциональных размеров с равными энергиями, периодическая функция с периодом T = 2n, описывающая модуляцию фазовой дифракционной решетки с равной интенсивностью дифракционных порядков a1 2, a2 2, a3 2, a4 2 , определяется как
Φ(ζ) =
Figure 00000073
SU4927509 1991-04-17 1991-04-17 Устройство для фокусировки монохроматического излучения RU2024897C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4927509 RU2024897C1 (ru) 1991-04-17 1991-04-17 Устройство для фокусировки монохроматического излучения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4927509 RU2024897C1 (ru) 1991-04-17 1991-04-17 Устройство для фокусировки монохроматического излучения

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2024897C1 true RU2024897C1 (ru) 1994-12-15

Family

ID=21569757

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4927509 RU2024897C1 (ru) 1991-04-17 1991-04-17 Устройство для фокусировки монохроматического излучения

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2024897C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2646514C2 (ru) * 2013-12-26 2018-03-05 Поско Установка для прокатки, установка и способ непрерывного литья и прокатки

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР N 1303977, кл. G 02B 27/44, 1987. *
Патент Великобритании N 2185126, кл. G 02B 5/00, 1989. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2646514C2 (ru) * 2013-12-26 2018-03-05 Поско Установка для прокатки, установка и способ непрерывного литья и прокатки

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6376818B1 (en) Microscopy imaging apparatus and method
EP0092395B1 (en) Method of forming diffraction gratings
US4440839A (en) Method of forming laser diffraction grating for beam sampling device
US6262845B1 (en) Apparatus and method for generating partially coherent illumination for photolithography
US20220215980A1 (en) Vortex-pair beam based optical tweezer system
JP2779102B2 (ja) 多重波長干渉計装置
JPH02262107A (ja) 光走査用回折格子
Golub et al. Spatial phase filters matched to transverse modes
RU2024897C1 (ru) Устройство для фокусировки монохроматического излучения
US6343307B1 (en) Synthesis of light beams
Doskolovich et al. Analytical initial approximation for multiorder binary grating design
US6490088B1 (en) Optical system using a radial harmonic pupil filter for generating collimated beams
JPS62502779A (ja) 単色放射集束法およびこの方法を実施する光学位相素子
SU1697041A1 (ru) Устройство дл фокусировки гауссова пучка в пр моугольник с равномерным распределением интенсивности
JP2803434B2 (ja) 回折格子プロッター
EP0475991B1 (en) Scanning optical microscope
RU2034322C1 (ru) Устройство для формирования пучка монохроматического излучения
Shuying et al. New Method of Designing High-Efficiency Multi-Beam Light-Splitter
JPS5952537B2 (ja) 自動マスク合せ法
JP3171013B2 (ja) 回折格子からなる物品の作製方法および作製装置
KR20020049493A (ko) 대면적 홀로그래픽 회절격자 생성방법 및 장치
RU2137163C1 (ru) Светофильтр оптического излучения переменной плотности
JPS58120211A (ja) 透過型表面レリ−フ回折格子
Klaus et al. Theoretical and experimental evaluation of waveguide Talbot array illuminators
Redmond et al. High performance holographic optics for the visible and near infra-red