RU2024897C1 - Устройство для фокусировки монохроматического излучения - Google Patents
Устройство для фокусировки монохроматического излучения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2024897C1 RU2024897C1 SU4927509A RU2024897C1 RU 2024897 C1 RU2024897 C1 RU 2024897C1 SU 4927509 A SU4927509 A SU 4927509A RU 2024897 C1 RU2024897 C1 RU 2024897C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical element
- phase
- focusing
- figures
- radiation
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
Использование: оптическое приборостроение. Сущность изобретения: устройство выполнено в виде оптического элемента, рельеф которого определяется по приведенной в описании формуле. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в различных сферах промышленности, например, в металлургической, машиностроительной и текстильной для лазерной маркировки изделий, закалки поверхностей, раскроя тканей.
Известно устройство для маркировки изделий, содержащее оптический элемент, фокусирующий монохроматическое излучение в набор точек.
Недостатком известного устройства являются значительные энергетические потери, обусловленные дифракционными эффектами (дифракционное размытие фокального пятна, рассеяние излучения на разрезах фазовой функции между сегментами, фокусирующими в разные точки).
Наиболее близким по технической сути к предлагаемому устройству является устройство для фокусировки монохроматического излучения в набор отрезков, выполненное в виде фазового оптического элемента. Апертура оптического элемента состоит из сектора круга, каждый сектор обеспечивает фокусировку в соответствующий отрезок фокальной области.
Недостатком известного устройства является энергетические потери, обусловленные дифракционным размытием фокальной линии и рассеянием излучения на разрезах фазовой функции между сегментами, фокусирующими в различные отрезки, а также более высокое среднеквадратичное отклонение распределения интенсивности вдоль отрезков фокусировки, обусловленное интерференцией фокусируемого и рассеянного излучений.
Решаемая задача состоит в достижении наиболее полной концентрации энергии при фокусировке монохроматического излучения в область, состоящую из N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с заданным соотношением энергии между фигурами.
Требуемый процесс фокусировки реализуется фазовым оптическим элементом, рельеф поверхности которого описывается выражением
(1) где h(u,v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;
(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью Ои, направленной противоположно проекции падающего луча;
λ - длина волны излучения,
ν(θ, n) = для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и ν(θ,n) = - для оптического элемента, работающего на отражение, где θ - угол между фокусируемым излучением и нормально к плоскости оптического элемента;
n - показатель преломления вещества элемента;
mod2π(x) - функция, равная остатку от деления х на 2π ;
f - фокусное расстояние элемента;
Φ (ζ) - функция фазовой модуляции фазовой дифракционной решетки с периодом Т = 2 π и интенсивностью дифракционных порядков а1 2,...,аN 2;
(xo, yo) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;
φ (u, v) - фазовая функция фокусатора в одну фигуру.
(1) где h(u,v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;
(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью Ои, направленной противоположно проекции падающего луча;
λ - длина волны излучения,
ν(θ, n) = для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и ν(θ,n) = - для оптического элемента, работающего на отражение, где θ - угол между фокусируемым излучением и нормально к плоскости оптического элемента;
n - показатель преломления вещества элемента;
mod2π(x) - функция, равная остатку от деления х на 2π ;
f - фокусное расстояние элемента;
Φ (ζ) - функция фазовой модуляции фазовой дифракционной решетки с периодом Т = 2 π и интенсивностью дифракционных порядков а1 2,...,аN 2;
(xo, yo) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;
φ (u, v) - фазовая функция фокусатора в одну фигуру.
В частности, для увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в четыре фигуры пропорциональных размеров в формуле (1) для высоты микрорельефа достаточно определить функцию Φ (ζ) как фазовую модуляцию четырехпорядковой решетки с периодом Т = 2 π и равной интенсивностью в порядках с номерами -2, -1, 1, 2:
Φ(ζ) = (2)
Рассмотрим работу оптического элемента, рельеф поверхности которого описывается формулой (1). Высота микрорельефа h(u,v) связана с фазовой функцией элемента следующим соотношением:
F(u,v) = h(u,v) (3)
Без ограничения общности рассмотрим случай нормального падения излучения на оптический элемент ( θ = 0). При этом согласно (1), (3) фазовая функция элемента имеет вид
F() = mod + Φ (()) где =(u,v), k=
()= mod2π(φ()+
φ() - фазовая функция, рассматриваемая как дополнение к линзе с фокусом f и обеспечивающая фокусировку в одну фигуру.
Φ(ζ) = (2)
Рассмотрим работу оптического элемента, рельеф поверхности которого описывается формулой (1). Высота микрорельефа h(u,v) связана с фазовой функцией элемента следующим соотношением:
F(u,v) = h(u,v) (3)
Без ограничения общности рассмотрим случай нормального падения излучения на оптический элемент ( θ = 0). При этом согласно (1), (3) фазовая функция элемента имеет вид
F() = mod + Φ (()) где =(u,v), k=
()= mod2π(φ()+
φ() - фазовая функция, рассматриваемая как дополнение к линзе с фокусом f и обеспечивающая фокусировку в одну фигуру.
Рассмотрим функцию Φ[()] как функцию аргумента . При этом Φ[] соответствует фазовой модуляции N-порядковой дифракционной решетки с периодом 2π и интенсивностью дифракционных порядков
a , . .., a a =1. Обозначим l1,...,lN - номера порядков дифракции. Тогда разложение Фурье функции exp[iΦ()] на интервале [0,2π ) с учетом ненулевых членов l1,...,lN имеет вид:
exp[iΦ()]= Cexp[iln()], (4) где Cln - коэффициенты Фурье, причем Cln = an 2.
a
exp[iΦ()]= Cexp[iln()], (4) где Cln - коэффициенты Фурье, причем Cln = an 2.
Полагая в (4) = (u,v) и используя 2π -периодичность фазы запишем функцию комплексного пропускания оптического элемента в виде:
exp(iF())= exp- Cexp(il()) (5)
Согласно (5) каждая зона, определяемая как область изменения функции () в пределах интервала [0,2 π), формирует N пучков (каждый пучок характеризуется фазовой функцией φп()= lпφ(). В силу линейности оператора распространения света поле в фокальной области есть суперпозиция преобразований освещающего пучка, осуществляемых фазовыми функциями
φп() = - + lпφ()+ lп В приближении геометрической оптики фазовая функция - + φ() , обеспечивающая фокусировку в одну фигуру, выполняет преобразование светового поля, при котором каждой точке (u,v) в области расположения оптического элемента соответствует точка (u,v)= (x(u, v),y(u,v))в фокальной плоскости, причем указанное преобразование имеет вид
(u,v)= grad [φ(u,v)] (7) Согласно (7), фазовая функция
=V- + осуществляет преобразование:
(u, v)= l+ lпgrad [φ(u,v)] (8) что соответствует фокусировке в ln раз увеличенную фигуру, смещенную на вектор = (lпxo, lпyo). Таким образом, фазовая функция оптического элемента обеспечивает фокусировку излучения в набор N фигур пропорциональных размеров, причем доля энергии освещающего пучка, фокусируемая в фигуру с номером n, пропорциональна квадрату модуля an 2 соответствующего коэффициента Фурье.
exp(iF())= exp- Cexp(il()) (5)
Согласно (5) каждая зона, определяемая как область изменения функции () в пределах интервала [0,2 π), формирует N пучков (каждый пучок характеризуется фазовой функцией φп()= lпφ(). В силу линейности оператора распространения света поле в фокальной области есть суперпозиция преобразований освещающего пучка, осуществляемых фазовыми функциями
φп() = - + lпφ()+ lп В приближении геометрической оптики фазовая функция - + φ() , обеспечивающая фокусировку в одну фигуру, выполняет преобразование светового поля, при котором каждой точке (u,v) в области расположения оптического элемента соответствует точка (u,v)= (x(u, v),y(u,v))в фокальной плоскости, причем указанное преобразование имеет вид
(u,v)= grad [φ(u,v)] (7) Согласно (7), фазовая функция
=V- + осуществляет преобразование:
(u, v)= l+ lпgrad [φ(u,v)] (8) что соответствует фокусировке в ln раз увеличенную фигуру, смещенную на вектор = (lпxo, lпyo). Таким образом, фазовая функция оптического элемента обеспечивает фокусировку излучения в набор N фигур пропорциональных размеров, причем доля энергии освещающего пучка, фокусируемая в фигуру с номером n, пропорциональна квадрату модуля an 2 соответствующего коэффициента Фурье.
Оптический элемент соответствует дифракционному решению задачи фокусировки в N фигур пропорциональных размеров. При этом полная апертура элемента (1) работает в каждую из N фигур фокусировки, что снижает степень дифракционного размытия по сравнению с сегментированными оптическими элементами [1], [2] и обеспечивает наиболее полную концентрацию энергии в области фокусировки.
На чертеже приведена схема устройства, реализующего предлагаемый способ для случая фокусировки лазерного излучения в набор из N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с соотношением энергии а1 2,...,аN 2 между фигурами.
Устройство состоит из оптического элемента 1, выполненного в виде отражающей пластинки с микрорельефом 2. Форма поверхности микрорельефа 2 определяется выражением (1). (В частности, при фокусировке в 4-е фигуры с равными энергиями Φ (ζ) описывается формулой (2)). На оптический элемент 1 направлено лазерное излучение 3, которое фокусируется в область 4, состоящую из N фигур пропорциональных размеров.
Устройство работает следующим образом. Лазерное излучение 3 падает на отражающий оптический элемент 1 с микрорельефом 2, угол между нормалью к плоскости оптического элемента и падающим лучом равен θ. За счет отражения излучения 3 от поверхности микрорельефа 2 происходит фазовая модуляция волны 3 по закону, описываемому кусочно-непрерывной функцией, изменяющейся в диапазоне от 0 до (для отражающего оптического элемента).
Таким образом формируется N волновых пучков с заданным соотношением энергии а1 2, . ..,аN 2 между пучками, при этом микрорельеф 2 направляет падающий на него волновой фронт во все N фигур фокусировки. За счет взаимодействия волновых фронтов, направляемых микрорельефом оптического элемента 1, в области фокусировки 4 излучение фокусируется в N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с соотношением энергии a1 2,...,aN 2 между фигурами.
Claims (2)
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ МОНОХРОМАТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, выполненное в виде фазового оптического элемента, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в область, состоящую из фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с заданным соотношением энергии a1 2, . . .aN 2 между фигурами, рельеф фазового оптического элемента описывается выражением
(
где h(u, v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;
(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью Θu ,, направленной противоположно проекции падающего луча;
λ - длина волны излучения;
ν(θ, n) = для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и
ν(θ,n) = - работающего на отражение,
где Θ - угол между фокусируемым излучением и нормалью к плоскости оптического элемента;
n - показатель преломления вещества элемента;
mod2π[x] - функция, равная остатку от деления x на 2π;
f - фокусное расстояние элемента;
Θ(ζ) - периодическая функция с периодом T=2π, описывающая модуляцию фазовой дифракционной решетки с интенсивностью дифракционных порядков, a1 2... ,aN 2 ;
(x0, y0) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;
φ(u,v) -фазовая функция фокусатора в одну фигуру.
(
где h(u, v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;
(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью Θu ,, направленной противоположно проекции падающего луча;
λ - длина волны излучения;
ν(θ, n) = для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и
ν(θ,n) = - работающего на отражение,
где Θ - угол между фокусируемым излучением и нормалью к плоскости оптического элемента;
n - показатель преломления вещества элемента;
mod2π[x] - функция, равная остатку от деления x на 2π;
f - фокусное расстояние элемента;
Θ(ζ) - периодическая функция с периодом T=2π, описывающая модуляцию фазовой дифракционной решетки с интенсивностью дифракционных порядков, a1 2... ,aN 2 ;
(x0, y0) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;
φ(u,v) -фазовая функция фокусатора в одну фигуру.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в область, состоящую из четырех фигур пропорциональных размеров с равными энергиями, периодическая функция с периодом T = 2n, описывающая модуляцию фазовой дифракционной решетки с равной интенсивностью дифракционных порядков a1 2, a2 2, a3 2, a4 2 , определяется как
Φ(ζ) =
Φ(ζ) =
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4927509 RU2024897C1 (ru) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | Устройство для фокусировки монохроматического излучения |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4927509 RU2024897C1 (ru) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | Устройство для фокусировки монохроматического излучения |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2024897C1 true RU2024897C1 (ru) | 1994-12-15 |
Family
ID=21569757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4927509 RU2024897C1 (ru) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | Устройство для фокусировки монохроматического излучения |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2024897C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2646514C2 (ru) * | 2013-12-26 | 2018-03-05 | Поско | Установка для прокатки, установка и способ непрерывного литья и прокатки |
-
1991
- 1991-04-17 RU SU4927509 patent/RU2024897C1/ru active
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР N 1303977, кл. G 02B 27/44, 1987. * |
Патент Великобритании N 2185126, кл. G 02B 5/00, 1989. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2646514C2 (ru) * | 2013-12-26 | 2018-03-05 | Поско | Установка для прокатки, установка и способ непрерывного литья и прокатки |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6376818B1 (en) | Microscopy imaging apparatus and method | |
EP0092395B1 (en) | Method of forming diffraction gratings | |
US4440839A (en) | Method of forming laser diffraction grating for beam sampling device | |
US6262845B1 (en) | Apparatus and method for generating partially coherent illumination for photolithography | |
US20220215980A1 (en) | Vortex-pair beam based optical tweezer system | |
JP2779102B2 (ja) | 多重波長干渉計装置 | |
JPH02262107A (ja) | 光走査用回折格子 | |
Golub et al. | Spatial phase filters matched to transverse modes | |
RU2024897C1 (ru) | Устройство для фокусировки монохроматического излучения | |
US6343307B1 (en) | Synthesis of light beams | |
Doskolovich et al. | Analytical initial approximation for multiorder binary grating design | |
US6490088B1 (en) | Optical system using a radial harmonic pupil filter for generating collimated beams | |
JPS62502779A (ja) | 単色放射集束法およびこの方法を実施する光学位相素子 | |
SU1697041A1 (ru) | Устройство дл фокусировки гауссова пучка в пр моугольник с равномерным распределением интенсивности | |
JP2803434B2 (ja) | 回折格子プロッター | |
EP0475991B1 (en) | Scanning optical microscope | |
RU2034322C1 (ru) | Устройство для формирования пучка монохроматического излучения | |
Shuying et al. | New Method of Designing High-Efficiency Multi-Beam Light-Splitter | |
JPS5952537B2 (ja) | 自動マスク合せ法 | |
JP3171013B2 (ja) | 回折格子からなる物品の作製方法および作製装置 | |
KR20020049493A (ko) | 대면적 홀로그래픽 회절격자 생성방법 및 장치 | |
RU2137163C1 (ru) | Светофильтр оптического излучения переменной плотности | |
JPS58120211A (ja) | 透過型表面レリ−フ回折格子 | |
Klaus et al. | Theoretical and experimental evaluation of waveguide Talbot array illuminators | |
Redmond et al. | High performance holographic optics for the visible and near infra-red |