RU2021134567A -
INSTALLATION FOR ION NITRIDATION IN GLOW DISCHARGE PLASMA
- Google Patents
INSTALLATION FOR ION NITRIDATION IN GLOW DISCHARGE PLASMA
Download PDF
Info
Publication number
RU2021134567A
RU2021134567ARU2021134567ARU2021134567ARU2021134567ARU 2021134567 ARU2021134567 ARU 2021134567ARU 2021134567 ARU2021134567 ARU 2021134567ARU 2021134567 ARU2021134567 ARU 2021134567ARU 2021134567 ARU2021134567 ARU 2021134567A
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"filedCriticalфедеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Publication of RU2021134567ApublicationCriticalpatent/RU2021134567A/en
Установка для ионного азотирования в плазме тлеющего разряда, содержащая вакуумную камеру и подключенные к ней форвакуумный насос с блоком управления расходом газа, к которому подключены баллоны с газами, электроды для возбуждения тлеющего разряда, установленные в рабочем пространстве камеры, анод и подложка-катод, соединенные с источником питания разряда, отличающаяся тем, что содержит набор перфорированных экранов, которыми окружены обрабатываемые детали, с возможностью создания эффекта полого катода, обеспечивая формирование на поверхности обрабатываемой детали участков с разной микронеоднородной структурой.Installation for ion nitriding in glow discharge plasma, containing a vacuum chamber and a fore vacuum pump connected to it with a gas flow control unit to which gas cylinders are connected, electrodes for glow discharge excitation installed in the working space of the chamber, an anode and a substrate-cathode connected with a discharge power source, characterized in that it contains a set of perforated screens that surround the workpieces, with the ability to create the effect of a hollow cathode, providing the formation of sections with different microinhomogeneous structures on the surface of the workpiece.
RU2021134567A2021-11-26
INSTALLATION FOR ION NITRIDATION IN GLOW DISCHARGE PLASMA
RU2021134567A
(en)