RU2021134567A - INSTALLATION FOR ION NITRIDATION IN GLOW DISCHARGE PLASMA - Google Patents

INSTALLATION FOR ION NITRIDATION IN GLOW DISCHARGE PLASMA Download PDF

Info

Publication number
RU2021134567A
RU2021134567A RU2021134567A RU2021134567A RU2021134567A RU 2021134567 A RU2021134567 A RU 2021134567A RU 2021134567 A RU2021134567 A RU 2021134567A RU 2021134567 A RU2021134567 A RU 2021134567A RU 2021134567 A RU2021134567 A RU 2021134567A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
glow discharge
installation
discharge plasma
ion nitridation
chamber
Prior art date
Application number
RU2021134567A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Рустем Шамилевич Нагимов
Александр Владиславович Асылбаев
Эдуард Леонидович Варданян
Алмаз Юнирович Назаров
Равиль Айратович Абдуллин
Роман Сергеевич Есипов
Юлдаш Гамирович Хусаинов
Алексей Александрович Николаев
Алексей Валерьевич Олейник
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Publication of RU2021134567A publication Critical patent/RU2021134567A/en

Links

Claims (1)

Установка для ионного азотирования в плазме тлеющего разряда, содержащая вакуумную камеру и подключенные к ней форвакуумный насос с блоком управления расходом газа, к которому подключены баллоны с газами, электроды для возбуждения тлеющего разряда, установленные в рабочем пространстве камеры, анод и подложка-катод, соединенные с источником питания разряда, отличающаяся тем, что содержит набор перфорированных экранов, которыми окружены обрабатываемые детали, с возможностью создания эффекта полого катода, обеспечивая формирование на поверхности обрабатываемой детали участков с разной микронеоднородной структурой.Installation for ion nitriding in glow discharge plasma, containing a vacuum chamber and a fore vacuum pump connected to it with a gas flow control unit to which gas cylinders are connected, electrodes for glow discharge excitation installed in the working space of the chamber, an anode and a substrate-cathode connected with a discharge power source, characterized in that it contains a set of perforated screens that surround the workpieces, with the ability to create the effect of a hollow cathode, providing the formation of sections with different microinhomogeneous structures on the surface of the workpiece.
RU2021134567A 2021-11-26 INSTALLATION FOR ION NITRIDATION IN GLOW DISCHARGE PLASMA RU2021134567A (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2021134567A true RU2021134567A (en) 2023-05-26

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2636846T3 (en) Device for the generation of a plasma at atmospheric pressure
SE0501602L (en) Plasma generating device, plasma surgical device, use of a plasma surgical device and method for forming a plasma
UA109032C2 (en) Device for producing an electron beam
RU2009119420A (en) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING POSITIVE AND / OR NEGATIVELY IONIZED ANALYZED GASES FOR GAS ANALYSIS
TW200420199A (en) Mechanism for minimizing ion bombardment energy in a plasma chamber
TW200735726A (en) Plasma gun and plasma gun film forming apparatus provided with the same
RU2015137774A (en) DEVICE FOR ION BOMBARDING AND METHOD OF ITS APPLICATION FOR CLEANING THE SUBSTRATE SURFACE
RU2021134567A (en) INSTALLATION FOR ION NITRIDATION IN GLOW DISCHARGE PLASMA
TW200501346A (en) Ion doping apparatus, ion doping method and semiconductor device
RU2004123675A (en) ION ACCELERATOR
RU2010122060A (en) METHOD FOR PRODUCING A PROCESSED SURFACE AND VACUUM SOURCES OF PLASMA
CN105491782A (en) Electrode of plasma device
TW200515461A (en) Electron beam treatment apparatus
RU87065U1 (en) DEVICE FOR CREATING A HOMOGENEOUS GAS DISCHARGE PLASMA IN LARGE VOLUME TECHNOLOGICAL VACUUM CAMERAS
WO2002019379A1 (en) Device and process for producing dc glow discharge
RU2450083C2 (en) Plant for vacuum ion-plasma treatment of long components
WO2014193207A1 (en) The gas-discharge electron gun
JP2007510311A5 (en)
RU2007139571A (en) METHOD FOR PROCESSING THERMALLY INSTABLE MATERIALS OF A COLD PLASMA JET
RU2008112458A (en) DEVICE FOR THE GENERATION OF PULSE BEAMS OF FAST ELECTRONS IN THE AIR SPACE OF THE ATMOSPHERIC PRESSURE
RU2007139573A (en) APPLICATION OF AN EQUILIBRIUM LOW-TEMPERATURE PLASMA JET FOR STERILIZATION OF THERMALLY UNSTABLE MATERIALS
UA120300C2 (en) GAS DISCHARGE ELECTRONIC GUN AND METHOD OF CONTROLLING ITS CURRENT
JP6879187B2 (en) Plasma device jig
RU2015120561A (en) SOURCE OF IONS
RU2656191C1 (en) Device for processing of a steel article in a glow discharge plasma