RU2007139571A - METHOD FOR PROCESSING THERMALLY INSTABLE MATERIALS OF A COLD PLASMA JET - Google Patents

METHOD FOR PROCESSING THERMALLY INSTABLE MATERIALS OF A COLD PLASMA JET Download PDF

Info

Publication number
RU2007139571A
RU2007139571A RU2007139571/02A RU2007139571A RU2007139571A RU 2007139571 A RU2007139571 A RU 2007139571A RU 2007139571/02 A RU2007139571/02 A RU 2007139571/02A RU 2007139571 A RU2007139571 A RU 2007139571A RU 2007139571 A RU2007139571 A RU 2007139571A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plasma
plasma jet
gas stream
cold plasma
outlet
Prior art date
Application number
RU2007139571/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2396369C2 (en
Inventor
Юрий Семенович Акишев (RU)
Юрий Семенович Акишев
Михаил Евгеньевич Грушин (RU)
Михаил Евгеньевич Грушин
Николай Иванович Трушкин (RU)
Николай Иванович Трушкин
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационн
Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационн, Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационн
Priority to RU2007139571/02A priority Critical patent/RU2396369C2/en
Publication of RU2007139571A publication Critical patent/RU2007139571A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2396369C2 publication Critical patent/RU2396369C2/en

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

Способ обработки термически нестойких материалов холодной плазменной струей, которую формируют путем пропускания потока газа через зону электрического разряда с последующим ее выносом за зону разряда на обрабатываемую поверхность, отличающийся тем, что в качестве плазмообразующего газа используют атмосферный воздух, плазму получают в стационарном тлеющем разряде атмосферного давления, который создают на выходе потока газа из камеры в межэлектродных промежутках, образованных пластинчатыми анодами и штыревыми катодами, расположенными напротив кромок анодных пластин, обращенных к выходу камерыA method of processing thermally unstable materials with a cold plasma jet, which is formed by passing a gas stream through an electric discharge zone and then transporting it outside the discharge zone to the surface to be treated, characterized in that atmospheric air is used as the plasma-forming gas, the plasma is produced in a stationary atmospheric pressure glow discharge , which is created at the outlet of the gas stream from the chamber in the interelectrode spaces formed by the plate anodes and pin cathodes, are located mi opposite the edges of the anode plates facing the camera outlet

Claims (1)

Способ обработки термически нестойких материалов холодной плазменной струей, которую формируют путем пропускания потока газа через зону электрического разряда с последующим ее выносом за зону разряда на обрабатываемую поверхность, отличающийся тем, что в качестве плазмообразующего газа используют атмосферный воздух, плазму получают в стационарном тлеющем разряде атмосферного давления, который создают на выходе потока газа из камеры в межэлектродных промежутках, образованных пластинчатыми анодами и штыревыми катодами, расположенными напротив кромок анодных пластин, обращенных к выходу камерыA method of processing thermally unstable materials with a cold plasma jet, which is formed by passing a gas stream through an electric discharge zone and then transporting it outside the discharge zone to the surface to be treated, characterized in that atmospheric air is used as the plasma-forming gas, the plasma is produced in a stationary atmospheric pressure glow discharge , which is created at the outlet of the gas stream from the chamber in the interelectrode spaces formed by the plate anodes and pin cathodes, are located mi opposite the edges of the anode plates facing the camera outlet
RU2007139571/02A 2007-10-26 2007-10-26 Procedure for processing thermally unstable material with cold plasma jet RU2396369C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007139571/02A RU2396369C2 (en) 2007-10-26 2007-10-26 Procedure for processing thermally unstable material with cold plasma jet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007139571/02A RU2396369C2 (en) 2007-10-26 2007-10-26 Procedure for processing thermally unstable material with cold plasma jet

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007139571A true RU2007139571A (en) 2009-05-10
RU2396369C2 RU2396369C2 (en) 2010-08-10

Family

ID=41019412

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007139571/02A RU2396369C2 (en) 2007-10-26 2007-10-26 Procedure for processing thermally unstable material with cold plasma jet

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2396369C2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2489350C2 (en) * 2011-11-16 2013-08-10 Общество с ограниченной ответственностью "Центр перспективных углеродных материалов" Method of producing carbon nanomaterials and device for its implementation

Also Published As

Publication number Publication date
RU2396369C2 (en) 2010-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2015003569A (en) Atmospheric-pressure plasma processing apparatus and method.
TW200802549A (en) Vertical plasma processing apparatus for semiconductor process
EA201190213A1 (en) PLASMA TORCH WITH SIDE INJECTOR
WO2008093442A1 (en) Gas processing apparatus
DE602004018517D1 (en) SEPARATION PROCESS WITH THERMAL PLASMA EXPANDED WITH A REPLACEABLE PLATE
SG137851A1 (en) Ultra high speed uniform plasma processing system
SE0501603L (en) Plasma generating device, plasma surgical device and use of a plasma surgical device
WO2008082518A3 (en) Methods and apparatuses for controlling gas flow conductance in a capacitively-coupled plasma processing chamber
TW200644118A (en) Plasma processor
TW200501266A (en) Substrate processing apparatus
TW200735726A (en) Plasma gun and plasma gun film forming apparatus provided with the same
RU2009119420A (en) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING POSITIVE AND / OR NEGATIVELY IONIZED ANALYZED GASES FOR GAS ANALYSIS
TW200644090A (en) Plasma doping method and system
RU2007139572A (en) GAS DISCHARGE CAMERA FOR CREATION OF A LOW-TEMPERATURE NONEQUILIBRIUM PLASMA
JP2012049376A5 (en)
RU2007139571A (en) METHOD FOR PROCESSING THERMALLY INSTABLE MATERIALS OF A COLD PLASMA JET
WO2008086618A8 (en) Apparatus and method for cooling ions
WO2008149741A1 (en) Method for dry cleaning plasma processing apparatus
RU2011154038A (en) PLANT FOR ION BEAM AND PLASMA PROCESSING
WO2009031520A1 (en) Plasma treatment apparatus, plasma treatment method, and semiconductor element
DE50313006D1 (en) High frequency electron source, in particular neutralizer
Sichler et al. A micro plasma reactor for fluorinated waste gas treatment
RU2008103489A (en) INSTALLATION FOR POWDERS AND GRANULES
RU2007139573A (en) APPLICATION OF AN EQUILIBRIUM LOW-TEMPERATURE PLASMA JET FOR STERILIZATION OF THERMALLY UNSTABLE MATERIALS
WO2009025306A1 (en) Sputtering method

Legal Events

Date Code Title Description
PC43 Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions

Effective date: 20161227