RU2021105779A - Детектор электромагнитного излучения, матрица, состоящая из таких детекторов, и способ регистрации излучения с помощью такой матрицы - Google Patents

Детектор электромагнитного излучения, матрица, состоящая из таких детекторов, и способ регистрации излучения с помощью такой матрицы Download PDF

Info

Publication number
RU2021105779A
RU2021105779A RU2021105779A RU2021105779A RU2021105779A RU 2021105779 A RU2021105779 A RU 2021105779A RU 2021105779 A RU2021105779 A RU 2021105779A RU 2021105779 A RU2021105779 A RU 2021105779A RU 2021105779 A RU2021105779 A RU 2021105779A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
photosensitive
matrix
elements
electrodes
radiation
Prior art date
Application number
RU2021105779A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2021105779A3 (ru
Inventor
Алексей Юрьевич Бочаров
Виктор Иванович Клещ
Максим Леонидович Князев
Александр Николаевич Образцов
Петр Александрович ОБРАЗЦОВ
Original Assignee
Алексей Юрьевич Бочаров
Виктор Иванович Клещ
Максим Леонидович Князев
Александр Николаевич Образцов
Петр Александрович ОБРАЗЦОВ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Алексей Юрьевич Бочаров, Виктор Иванович Клещ, Максим Леонидович Князев, Александр Николаевич Образцов, Петр Александрович ОБРАЗЦОВ filed Critical Алексей Юрьевич Бочаров
Priority to RU2021105779A priority Critical patent/RU2021105779A/ru
Publication of RU2021105779A publication Critical patent/RU2021105779A/ru
Priority to PCT/RU2021/050283 priority patent/WO2022191736A1/en
Publication of RU2021105779A3 publication Critical patent/RU2021105779A3/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/09Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R29/00Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
    • G01R29/08Measuring electromagnetic field characteristics
    • G01R29/0864Measuring electromagnetic field characteristics characterised by constructional or functional features
    • G01R29/0878Sensors; antennas; probes; detectors
    • G01R29/0885Sensors; antennas; probes; detectors using optical probes, e.g. electro-optical, luminescent, glow discharge, or optical interferometers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes
    • H01L31/022408Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022416Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier comprising ring electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/0248Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
    • H01L31/036Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
    • H01L31/0392Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate
    • H01L31/03921Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate including only elements of Group IV of the Periodic Table
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y15/00Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Claims (4)

1. Детектор электромагнитного излучения, содержащий фоточувствительный материал, в котором под действием падающего излучения возникает электрический сигнал, и два электрода, предназначенных для измерения величины возникающего сигнала, отличающийся тем, что указанные электроды выполняются в виде внешнего, окружающего круглую или эллиптическую область поверхности указанного фоточувствительного материала, облучаемой детектируемым излучением, и внутреннего, расположенного в центре указанной фоточувствительной области.
2. Детектор электромагнитного излучения согласно п.1, отличающийся тем, что в качестве фоточувствительного материала используется нанографитная пленка, нанесенная на подложку и состоящая из кристаллитов графита пластинчатой формы, представляющих собой совокупность из нескольких параллельных слоев графена и имеющих преимущественную ориентацию указанных слоев графена перпендикулярно подложке.
3. Фоточувствительная матрица, отличающаяся тем, что она состоит из фоточувствительных элементов (пикселей) выполненных согласно пп.1 и 2 и упорядоченных в виде столбцов, состоящих из элементов с электрически соединенными внешними электродами, и рядов, содержащих элементы с электрически соединенными внутренние электроды; при этом столбцы и ряды располагаются во взаимно перпендикулярных направлениях и электрически изолированы друг от друга.
4. Способ регистрации излучения, отличающийся тем, что он реализуется с помощью фоточувствительной матрицы, выполненной согласно п.3 и состоящий в поочередной регистрации величины электрических сигналов, возникающих в фоточувствительных элементах (пикселах) матрицы под действием детектора.
RU2021105779A 2021-03-06 2021-03-06 Детектор электромагнитного излучения, матрица, состоящая из таких детекторов, и способ регистрации излучения с помощью такой матрицы RU2021105779A (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021105779A RU2021105779A (ru) 2021-03-06 2021-03-06 Детектор электромагнитного излучения, матрица, состоящая из таких детекторов, и способ регистрации излучения с помощью такой матрицы
PCT/RU2021/050283 WO2022191736A1 (en) 2021-03-06 2021-09-01 An electromagnetic radiation detector, a matrix and a method for detecting radiation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021105779A RU2021105779A (ru) 2021-03-06 2021-03-06 Детектор электромагнитного излучения, матрица, состоящая из таких детекторов, и способ регистрации излучения с помощью такой матрицы

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2021105779A true RU2021105779A (ru) 2021-05-24
RU2021105779A3 RU2021105779A3 (ru) 2021-10-18

Family

ID=76033685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2021105779A RU2021105779A (ru) 2021-03-06 2021-03-06 Детектор электромагнитного излучения, матрица, состоящая из таких детекторов, и способ регистрации излучения с помощью такой матрицы

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2021105779A (ru)
WO (1) WO2022191736A1 (ru)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011049832A2 (en) * 2009-10-19 2011-04-28 Brookhaven Science Associates, Llc 3d-trench electrode detectors
JP7197506B2 (ja) * 2017-12-15 2022-12-27 株式会社堀場製作所 シリコンドリフト型放射線検出素子、シリコンドリフト型放射線検出器及び放射線検出装置
RU2699930C1 (ru) * 2019-04-09 2019-09-11 Акционерное общество "Концерн "Созвездие" Быстродействующий фотодетектор

Also Published As

Publication number Publication date
RU2021105779A3 (ru) 2021-10-18
WO2022191736A1 (en) 2022-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6046454A (en) Semiconductor radiation detector with enhanced charge collection
US6822239B2 (en) Corpuscular beam image detector using gas amplification by pixel type electrodes
JP5162085B2 (ja) 空間分解能を改善した固体x線検出器
RU2722062C2 (ru) Детектор излучения и устройство формирования изображения
JP4635191B2 (ja) 超解像画素電極の配置構造及び信号処理方法
US9287433B2 (en) Radiation detector
WO2013029748A1 (en) Detector-readout interface for an avalanche particle detector
US9121953B2 (en) Array of virtual Frisch-grid detectors with common cathode and reduced length of shielding electrodes
JP5645943B2 (ja) 読み出し装置及びなだれ粒子検出器
US9651686B2 (en) X-ray detectors having photoconductors including current resistance layers
KR101318455B1 (ko) 방사선 검출기
US5347131A (en) Gas ionizing-radiation detector
SE515884C2 (sv) Förfarande och anordning för radiografi samt strålningsdetektor
US20010035497A1 (en) Detector support device for detecting ionizing radiations
RU2021105779A (ru) Детектор электромагнитного излучения, матрица, состоящая из таких детекторов, и способ регистрации излучения с помощью такой матрицы
JP2007520865A (ja) 放射線検出器
US9111737B2 (en) Method for fabricating an amplification gap of an avalanche particle detector
US8581198B2 (en) Apparatus and method for detecting radiation
JP6281268B2 (ja) ガス増幅を用いた放射線検出器
Kargar et al. Design of capacitive Frisch grid TlBr detectors for radionuclide identification
WO1998014981A1 (fr) Detecteur a gaz de rayonnements ionisants a tres grand taux de comptage
JP4681233B2 (ja) 荷電粒子測定用の位置分解能を有する検出器、該検出器を備えたトモグラフ又はコンプトンカメラ、及び該検出器の製造方法
RU2730045C2 (ru) Гибридный пиксельный детектор ионизирующих излучений
US8552429B2 (en) Proximity charge sensing for semiconductor detectors
WO2002001598A1 (fr) Chambre a gaz a micro-bandes