RU2019138079A

RU2019138079A - Тепловой детектор с подвешенной мембраной, содержащий деформируемую часть для обеспечения теплового короткого замыкания

Info

Publication number: RU2019138079A
Application number: RU2019138079A
Authority: RU
Inventors: Абделкадер АЛИАН; Жан-Луи УВРЬЕ-БУФЭ
Original assignee: Комиссариат А Л'Энержи Атомик Э О Энержи Альтернатив
Priority date: 2018-11-30
Filing date: 2019-11-26
Publication date: 2021-05-26
Also published as: KR20200066235A; US20200173858A1; FR3089290A1; FR3089290B1; CA3062531A1; EP3663733A1; US11047738B2; CN111256844A

Claims

1. Тепловой детектор (1), выполненный с возможностью детектирования электромагнитного излучения, содержащий:

подложку (10),

мембрану (20), поглощающую электромагнитное излучение, теплоизолированную от подложки (10) и содержащую:

зафиксированную детектирующую часть (21), содержащую термометрический преобразователь (26),

деформируемую часть (30), обеспечивающую тепловое короткое замыкание,

- содержащую зафиксированный конец (31), прикрепленный к зафиксированной детектирующей части (21), и противоположный свободный конец (32),

- выполненную с возможностью деформации под воздействием изменения температуры поглощающей мембраны (20) таким образом, что свободный конец (32) деформируемой части (30) вступает в контакт с подложкой (10) при температуре T_C контакта поглощающей мембраны (20),

отличающийся тем, что деформируемая часть (30):

содержит сплав с памятью формы, имеющий обратное мартенситное превращение мартенситной фазы в аустенитную фазу указанного сплава между температурами начала A_S и конца A_F аустенита, и прямое мартенситное превращение аустенитной фазы в мартенситную фазу между температурами начала M_S и конца M_F мартенсита, при этом температура конца A_F аустенита выше температуры начала M_S мартенсита, и

расположена относительно подложки (10) таким образом, что свободный конец (32) находится в контакте с подложкой (10), когда температура T_C контакта выше температуры начала A_S аустенита.

2. Тепловой детектор (1) по п. 1, в котором деформируемая часть (30):

имеет максимальное отклонение Δp_max между первым положением p_r свободного конца (32) при температуре T_m поглощающей мембраны (20), меньшей или равной температуре M_F конца мартенсита, и вторым положением p_d,max свободного конца (32), соответствующим температуре T_m, большей или равной температуре A_F конца аустенита, и

расположена относительно подложки (10) таким образом, что максимальное расстояние d_max, отделяющее свободный конец (32), занимающий первое положение p_r, и контактную поверхность (18а) подложки (10), с которой контактирует свободный конец (32) при температуре Тс контакта, меньше максимального отклонения Δp_max или равно ему.

3. Тепловой детектор (1) по п. 1 или 2, в котором сплав с памятью формы представляет собой металлический сплав на основе NiTi.

4. Тепловой детектор (1) по любому из пп. 1-3, в котором сплав с памятью формы представляет собой металлический сплав, выбранный из

Ti_50,5Ni_24,5Pd₂₅, Ti_85,3-XNi_XHf_14,7 c х>50 ат.%, и Ti₇Ni₁₁Zr₄₃Cu_39-XCo_X с х>10 ат.%.

5. Тепловой детектор (1) по любому из пп. 1-4, в котором подложка (10) имеет контактную поверхность (18а), с которой свободный конец (32) находится в контакте при температуре T_C контакта, причем сплав с памятью формы имеет форму продольной полосы между зафиксированным концом (31) и свободным концом (32), одна поверхность которой, ориентированная в сторону контактной поверхности (18а) подложки (10), имеет выступающие элементы (34).

6. Тепловой детектор (1) по любому из пп. 1-5, в котором подложка (10) имеет плоскую верхнюю поверхность (10а) и содержит контактную площадку (18), которая проходит от верхней поверхности (10а) и имеет контактную поверхность (18а), с которой свободный конец (32) контактирует при температуре T_C контакта.

7. Тепловой детектор (1) по любому из пп. 1-6, в котором подложка (10) имеет плоскую верхнюю поверхность (10а), причем поглощающая мембрана (20) удерживается над верхней поверхностью (10а) подложки (10) с помощью теплоизолирующих кронштейнов (4) и с помощью крепежных стоек (3), которые проходят приблизительно перпендикулярно плоскости верхней поверхности (10а) подложки (10).

8. Тепловой детектор (1) по пп. 6 и 7, в котором контактная площадка (18) изготовлена из по меньшей мере одного теплопроводящего материала, идентичного материалу крепежных стоек (3).

9. Способ изготовления теплового детектора (1) по любому из пп. 1-8, включающий следующие этапы:

- выбор подложки (10), имеющей контактную поверхность (18а);

- осаждение по меньшей мере одного жертвенного слоя (41, 42);

- изготовление крепежных стоек (3), проходящих через жертвенный слой (41,42);

- изготовление теплоизолирующих кронштейнов и поглощающей мембраны (20) на жертвенном слое (41, 42), причем поглощающая мембрана (20) содержит деформируемую часть (30), расположенную напротив контактной поверхности (18а);

- удаление жертвенного слоя (41, 42).