RU2018114296A - Устройство для измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна и способ измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна - Google Patents

Устройство для измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна и способ измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна Download PDF

Info

Publication number
RU2018114296A
RU2018114296A RU2018114296A RU2018114296A RU2018114296A RU 2018114296 A RU2018114296 A RU 2018114296A RU 2018114296 A RU2018114296 A RU 2018114296A RU 2018114296 A RU2018114296 A RU 2018114296A RU 2018114296 A RU2018114296 A RU 2018114296A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
collimator
fiber optic
optic connector
signal
light source
Prior art date
Application number
RU2018114296A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2018114296A3 (ru
RU2713038C2 (ru
Inventor
Карол Стемпень
Михалина ЮЗОВИК
Марек Наперала
Анна ЗЕЛОВИЧ
Лукаш Шосткевич
Михал МУРАВСКИ
Станислав ЛИПИНЬСКИ
Збигнев ХОЛЬДЫНЬСКИ
Томаш СТАНЬЧИК
Томаш НАСИЛОВСКИ
Original Assignee
Польские Центрум Фотоники И Свиатловодов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Польские Центрум Фотоники И Свиатловодов filed Critical Польские Центрум Фотоники И Свиатловодов
Publication of RU2018114296A3 publication Critical patent/RU2018114296A3/ru
Publication of RU2018114296A publication Critical patent/RU2018114296A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2713038C2 publication Critical patent/RU2713038C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/0209—Low-coherence interferometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
    • G01B9/02018—Multipass interferometers, e.g. double-pass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02024—Measuring in transmission, i.e. light traverses the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02062—Active error reduction, i.e. varying with time
    • G01B9/02064—Active error reduction, i.e. varying with time by particular adjustment of coherence gate, i.e. adjusting position of zero path difference in low coherence interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
    • G01B9/02072—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer by calibration or testing of interferometer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/0271—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by using interferometric methods
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
    • G01M11/31—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter and a light receiver being disposed at the same side of a fibre or waveguide end-face, e.g. reflectometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
    • G01M11/33—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
    • G01M11/33—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face
    • G01M11/331—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face by using interferometer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
    • G01M11/33—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face
    • G01M11/338—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face by measuring dispersion other than PMD, e.g. chromatic dispersion
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Claims (25)

1. Устройство для измерения параметров, в частности, толщины фазовых элементов и дисперсии оптических волокон, отличающееся тем, что содержит по меньшей мере один источник света (1.1), по меньшей мере один входной оптоволоконный соединитель (2.1), по меньшей мере один моторизированный линейный транслятор (6), по меньшей мере один детектор (7.1, 7.2), по меньшей мере один коллиматор (3.1, 3.2, 4.1, 4.2), выходной оптоволоконный соединитель (2.2), причем указанный источник света (1.1) последовательно подсоединен к указанному одному оптоволоконному соединителю (2.1), одно из плеч которого является опорным плечом, а второе плечо является измерительным плечом устройства, при этом указанный один моторизированный линейный транслятор (6) установлен по меньшей мере на одном из плеч устройства, и при этом указанное плечо устройства подсоединено непосредственно или через выходной оптоволоконный соединитель (2.2) к указанному одному детектору (7.1, 7.2), а указанный один коллиматор (3.1, 3.2, 4.1, 4.2) размещен по меньшей мере в одном из плеч устройства и по меньшей мере перед фазовым элементом (5.1, 5.2, 5.3, 5.4, 11).
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что источник света (1.1) является низкокогерентным источником света.
3. Устройство по п. 1 или 2, отличающееся тем, что в опорном плече установлен эталонный фазовый элемент (5.2), выбранный из линз, плоскопараллельних пластин, оптических волокон или иного.
4. Устройство по пп. 1 или 2, или 3, отличающееся тем, что детектор (7.1, 7.2) является фотодиодом.
5. Устройство по любому из пп. 1-4, отличающееся тем, что измерительное плечо согласно изобретению содержит оптическое волокно, которое образует входной оптоволоконный соединитель (2.1), коллиматор (3.1), расположенный в конце оптического волокна, которое образует входной оптоволоконный соединитель (2.1), свободный промежуток, в котором установлен фазовый элемент (5.1, 5.2, 5.4), коллиматор (3.2), расположенный в начале оптического волокна, которое образует выходной оптоволоконный соединитель (2.2), и оптическое волокно, которое образует выходной оптоволоконный соединитель (2.2); опорное плечо устройства согласно изобретению содержит: оптическое волокно, которое образует входной оптоволоконный соединитель (2.1), коллиматор (4.1), расположенный в конце оптического волокна, которое образует входной оптоволоконный соединитель (2.1), свободный промежуток, коллиматор (4.2), установленный на моторизированном линейном трансляторе (6) и расположенный в начале оптического волокна, которое образует выходной оптоволоконный соединитель (2.2) и оптическое волокно, которое образует выходной оптоволоконный соединитель (2.2), при этом один из коллиматоров (4.1) или (4.2) установлен на моторизированном линейном трансляторе (6).
6. Устройство по любому из пп. 1-5, отличающееся тем, что по меньшей мере один источник света (1.1) подсоединен к входному оптоволоконному соединителю (2.1), оптические волокна которого образуют измерительное плечо и опорное плечо и заканчиваются коллиматорами, один из которых соединен с моторизированным линейным транслятором (6), при этом оптоволоконный соединитель, который соединен с детектором, подсоединен к другим сторонам опорного и измерительного плеч, и при этом на участке измерительного плеча, на стадии измерения, установлен измеряемый фазовый элемент (5.1, 5.3, 5.4).
7. Устройство по любому из пп. 1-5, отличающееся тем, что измеряемый фазовый элемент (5.1, 5.3, 5.4), в частности измеряемая линза, размещен в свободном промежутке измерительного плеча после коллиматора (3.1), размещенного в конце оптического волокна, которое образует входной соединитель (2.1), и перед коллиматором (4.2), установленным на моторизированном линейном трансляторе, а оптическое волокно, которое образует входной соединитель (2.1), который не заканчивается коллиматором, подсоединено непосредственно или через другое оптическое волокно к оптическому волокну, которое образует выходной соединитель (2.2), который также не заканчивается коллиматором.
8. Устройство по любому из пп. 1-5, отличающееся тем, что оптическое волокно с высоким значением дисперсии (11) подсоединяется к оптическим волокнам, которые образуют оптоволоконные соединители (2.1) и (2.2), и это подсоединение осуществляется путем сращивания, стыкового соединения оптических волокон или иначе, причем опорное плечо устройства согласно изобретению содержит последовательно соединенные друг с другом коллиматор (3.1) и коллиматор (3.2), размещенный на моторизированном линейном трансляторе (6), при этом они параллельны оптическому волокну с высоким значением дисперсии (11), и при этом оптическое волокно с высоким значением дисперсии (11) и система коллиматоров (3.1) и (3.2) подсоединены к оптоволоконному соединителю (2.2), подсоединенному к детектору (7.1).
9. Устройство по п. 7 или 8, отличающееся тем, что коллиматор, установленный на моторизированном линейном трансляторе (6), размещен в другом плече, чем измеряемый фазовый элемент, в частности измеряемая линза.
10. Устройство по любому из пп. 1-9, отличающееся тем, что кроме низкокогерентного источника света (1.1) имеется второй, когерентный источник света (1.2), соединенный с устройством перекрестно относительно первого источника света (1.1), причем выходной сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) направляется через входной оптоволоконный соединитель (2.1) к опорному и измерительному плечам, и далее достигает детектора через подсоединенный выходной оптоволоконный соединитель (2.2), а второй, когерентный источник света (1.2) подсоединен ко второму оптическому волокну, которое образует выходной оптоволоконный соединитель (2.2), из которого, через измерительное плечо, сигнал поступает во входной оптоволоконной соединитель (1.1) и на второй детектор (7.2).
11. Устройство по любому из пп. 1-5, отличающееся тем, что один источник света (1.1) подсоединен к входному оптоволоконному соединителю (2.1), оптические волокна которого образуют измерительное плечо и опорное плечо и заканчиваются коллиматорами (3.1, 4.1), один из которых соединен с моторизированным линейным транслятором (6), с которым соединено зеркало (10), причем на этапе фактического измерения измеряемый фазовый элемент (5.1, 5.3, 5.4) устанавливается на участке измерительного плеча.
12. Устройство по п. 11, отличающееся тем, что зеркало (10) расположено за измеряемым фазовым элементом (5.1, 5.2, 5.3, 5.4).
13. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что низкокогерентный источник света представляет собой источник света, выбранный из числа суперлюминесцентных светодиодов, светодиодов, суперконтинуумных источников света, низкокогерентных лазеров и прочих источников, в которых ширина спектра составляет по меньшей мере несколько нанометров.
14. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что моторизированный линейный транслятор (6) движется вдоль по меньшей мере одной оси, а держатель фазового элемента (5.1, 5.2, 5.3, 5.4) движется вдоль трех осей и позволяет обращение вокруг любой из этих осей.
15. Способ измерения параметров фазового элемента и дисперсии оптических волокон, при котором применяют устройство согласно пп. 1-14, отличающийся тем, что является двухэтапным, при этом первый этап предусматривает калибровку устройства согласно изобретению, а второй этап является фактическим измерением, способ, отличающийся тем, что во время калибровки устройства согласно изобретению световой пучок от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), где он разделяется на два плеча: измерительное и опорное, после чего моторизированный линейный транслятор (6) движется, регистрируя информацию о своем положении до тех пор, пока не будет получена нулевая оптическая разность хода между плечами оптоволоконного соединителя, интерферограмму снимают фотодетектором, в частности, фотодиодом, при временной задержке, а после калибровки устройства система переходит к фактическому измерению, при котором фазовый элемент, в частности линзу, предназначенную для измерения, вставляют в измерительное плечо устройства согласно изобретению, после чего, продвигая моторизированный линейный транслятор, определяют положение, при котором создается нулевая разница оптического хода, а выбранный параметр фазового элемента определяют на основе разности положений для эквивалентных оптических путей при калибровочном и фактическом измерениях.
16. Способ по п. 15, отличающийся тем, что калибровочное и фактическое измерения выполняют за одно сканирование устройства согласно изобретению в конфигурации с отражением.
17. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что во время измерения сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает в коллиматоры (3.1) и (4.1), после выхода из коллиматора (3.1) в измерительном плече световой пучок направляется на фазовый элемент, линзу (5.1), а после этого на коллиматор (3.2), при этом после выхода из коллиматора (4.1) световой пучок освещает коллиматор (4.2) во втором плече, положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), сигналы из коллиматоров (3.2) и (4.2) поступают в оптоволоконный соединитель (2.2), где они интерферируются, а сигнал от этого оптоволоконного соединителя поступает в детектор (7.1).
18. Способ по пп. 15 или 16, отличающийся тем, что когда кроме низкокогерентного источника света, применяют второй, когерентный источник света, сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает в коллиматоры (3.1) и (4.1), после выхода из коллиматора (3.1) световой пучок направляется на фазовый элемент, линзу (5.1) в измерительном плече, а после этого на коллиматор (3.2), при этом после выхода из коллиматора (4.1) световой пучок достигает коллиматора (4.2) во втором плече, положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), сигналы от коллиматоров (3.2 и 4.2) поступают в оптоволоконный соединитель (2.2), где они интерферируются, а сигнал от этого оптоволоконного соединителя поступает в детектор (7.1). С другой стороны системы сигнал от когерентного источника света (1.2) поступает в оптоволоконный соединитель (2.2), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает в коллиматоры (3.2) и (4.2), после выхода из коллиматора (3.2) световой пучок направляется на линзу (5.1) в измерительном плече, и далее в коллиматор (3.2), а потом на коллиматор (4.1) во втором плече, положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), затем сигналы от коллиматоров (3.1) и (4.1) поступают в оптоволоконный соединитель (2.1), где они интерферируются, а сигнал от этого оптоволоконного соединителя поступает в детектор (7.2).
19. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что когда используется эталонный фазовый элемент, который размещается в опорном плече, сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает в коллиматоры (3.1) и (4.1), после выхода из коллиматора (3.1) световой пучок направляется на эталонный фазовый элемент, эталонную линзу (5.1) в измерительном плече, после чего световой пучок поступает в коллиматор (3.2), при этом после выхода из коллиматора (4.1) световой пучок достигает эталонной линзы (5.2), и далее коллиматора (4.2) во втором плече, положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), затем сигналы из коллиматоров (3.2) и (4.2) поступают в оптоволоконный соединитель (2.2), где они интерферируются, а сигнал от этого оптоволоконного соединителя поступает в детектор (7.1).
20. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что во время измерения кривизны фазового элемента сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает в коллиматоры (3.1) и (4.1), после выхода из коллиматора (3.1) световой пучок направляется на фазовый элемент, плоско-выпуклую линзу (5.3) в измерительном плече, а после этого на коллиматор (3.2), причем линзу (5.3) монтируют в системе, которая позволяет ей двигаться вдоль осей X и Y (8), при этом после выхода из коллиматора (4.1) световой пучок достигает коллиматора (4.2) во втором плече, положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), и далее сигналы из коллиматоров (3.2) и (4.2) поступают в оптоволоконный соединитель (2.2), где они интерферируются, а сигнал от этого оптоволоконного соединителя поступает в детектор (7.1).
21. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что во время измерения показателя преломления сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает в коллиматоры (3.1) и (4.1), после выхода из коллиматора (3.1) световой пучок направляется на плоскопараллельную пластину (5.4) в измерительном плече, а после этого на коллиматор (3.2), причем пластина (5.4) монтируется в системе, которая обеспечивает ее вращение под заданным углом (9), при этом после выхода из коллиматора (4.1) световой пучок достигает коллиматора (4.2) во втором плече, положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), и далее сигналы из коллиматоров (3.2) и (4.2) поступают в оптоволоконный соединитель (2.2), где они интерферируются, а сигнал от этого оптоволоконного соединителя поступает в детектор (7.1).
22. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что во время измерений с коллиматорами, которые установлены только в одном измерительном плече оптоволоконных соединителей, сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает в коллиматор (3.1), после выхода из коллиматора (3.1) световой пучок направляется на фазовый элемент, линзу (5.1) в измерительном плече, а после этого на коллиматор (3.2), положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), при этом после выхода из оптоволоконного соединителя (2.1) световой пучок передается оптическим волокном опорного плеча, ко второму оптоволоконному соединителю (2.2), и далее сигналы с измерительного и опорного плеч направляются на оптоволоконный соединитель (2.2), где они интерферируются, а сигнал от этого оптоволоконного соединителя поступает в детектор (7.1).
23. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что во время применения системы в конфигурации с отражением сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал поступает к коллиматору (3.1) и коллиматору (4.1), после выхода из коллиматора (3.1), световой пучок направляется на фазовый элемент, линзу (5.1) в измерительном плече, после чего он отражается зеркалом (10.1) и направляется через линзу (5.1) и коллиматор обратно к оптоволоконному соединителю (2.1) и детектору (7.1), при этом, световой пучок через коллиматор (4.1), направляется на зеркало (10.1), положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), и затем, после выхода из оптоволоконного соединителя (2.1), световой пучок направляется в детектор (7.1).
24. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) поступает в оптоволоконный соединитель (2.1), после чего из оптических волокон, которые образуют этот оптоволоконный соединитель, сигнал проходит к коллиматору (3.1) и коллиматору (4.1), после выхода из коллиматора (3.1) световой пучок направляется на фазовый элемент, линзу (5.1) в измерительном плече, после чего световой пучок отражается от двух поверхностей фазового элемента и направляется через линзу (5.1) и коллиматор обратно к оптоволоконному соединителю (2.1) и детектору (7.1), при этом, световой пучок через коллиматор (4.1), направляется в зеркало (10.1), положение которого зависит от смещения моторизированного линейного транслятора (6), и далее, после выхода из оптоволоконного соединителя (2.1), световой пучок направляется в детектор (7.1).
25. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что во время измерений с коллиматорами, которые установлены только в одном, опорном плече оптоволоконных соединителей, сигнал от низкокогерентного источника света (1.1) направляется к оптоволоконному соединителю (2.1), от оптоволоконного соединителя, сигнал проходит к оптическому волокну (11) с высоким значением дисперсии и к коллиматору (3.1), после выхода из коллиматора (3.1) световой пучок направляется на коллиматор (3.2), положение которого регулируется моторизированным линейным транслятором (6), после чего сигнал из оптического волокна (11) и сигнал, который выходит из коллиматора (3.2), интерферируются в оптоволоконном соединителе (2.2), а результирующий сигнал направляется на детектор (7.1).
RU2018114296A 2015-09-18 2015-11-30 Устройство для измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна и способ измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна RU2713038C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL414064A PL237446B1 (pl) 2015-09-18 2015-09-18 Urządzenie do pomiarów parametrów elementów fazowych i dyspersji światłowodów oraz sposób pomiaru parametrów elementu fazowego i dyspersji światłowodów
PLP.414064 2015-09-18
PCT/PL2015/050065 WO2017048141A1 (en) 2015-09-18 2015-11-30 Device for measuring the parameters of phase elements and optical fiber dispersion and a method of measuring the parameters of phase elements and optical fiber dispersion

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2018114296A3 RU2018114296A3 (ru) 2019-10-18
RU2018114296A true RU2018114296A (ru) 2019-10-18
RU2713038C2 RU2713038C2 (ru) 2020-02-03

Family

ID=55085871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018114296A RU2713038C2 (ru) 2015-09-18 2015-11-30 Устройство для измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна и способ измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна

Country Status (11)

Country Link
US (1) US20200191551A1 (ru)
EP (1) EP3423782B1 (ru)
JP (1) JP2018534547A (ru)
KR (1) KR20180084745A (ru)
CN (1) CN108431544A (ru)
CA (1) CA3000156A1 (ru)
IL (1) IL258173A (ru)
PH (1) PH12018500611A1 (ru)
PL (1) PL237446B1 (ru)
RU (1) RU2713038C2 (ru)
WO (1) WO2017048141A1 (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111901044B (zh) * 2019-11-28 2021-11-02 阳光学院 一种单光束相干光通信装置
CN111258081A (zh) * 2020-02-25 2020-06-09 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于光纤互联的光学系统装调方法及装置
CN113804405A (zh) * 2021-08-16 2021-12-17 广东工业大学 一种基于双耦合器环行光路结构的微量光纤色散测量装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5724836A (en) * 1980-07-22 1982-02-09 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Measurement of group delay time difference by mode groups for multimode optical fiber scope
US4799789A (en) 1987-02-27 1989-01-24 Anritsu Corporation Chromatic dispersion measuring system for optical fibers
JPH05107150A (ja) * 1991-10-14 1993-04-27 Mitsubishi Cable Ind Ltd 高分散光フアイバの分散測定方法
TW275570B (ru) * 1994-05-05 1996-05-11 Boehringer Mannheim Gmbh
JP2004029076A (ja) * 2002-06-21 2004-01-29 Canon Inc 波面発生装置、該装置を組み込んだ面形状測定装置、焦点駆動装置
RU2247938C1 (ru) * 2003-05-27 2005-03-10 Геликонов Валентин Михайлович Оптическое устройство для исследования объекта
US7433027B2 (en) 2004-12-22 2008-10-07 Novartis Ag Apparatus and method for detecting lens thickness
US7221439B2 (en) 2005-04-29 2007-05-22 Corning Incorporated Method of estimating and measuring longitudinal dispersion in optical fibers
US20070002331A1 (en) 2005-06-30 2007-01-04 Hall William J In line thickness measurement
US20080001320A1 (en) * 2006-06-28 2008-01-03 Knox Wayne H Optical Material and Method for Modifying the Refractive Index
JP5156291B2 (ja) * 2007-07-31 2013-03-06 浜松ホトニクス株式会社 フローセル中を流れるサンプルの光学的特性計測装置
US7787127B2 (en) * 2007-10-15 2010-08-31 Michael Galle System and method to determine chromatic dispersion in short lengths of waveguides using a common path interferometer
KR101000974B1 (ko) * 2008-12-01 2010-12-13 인하대학교 산학협력단 간섭무늬 측정시스템을 이용한 광도파로샘플의 색분산 특성측정방법
US8405836B2 (en) * 2010-03-19 2013-03-26 Interfiber Analysis, LLC System and method for measuring an optical fiber
CN102353520B (zh) * 2011-06-10 2013-06-19 北京航空航天大学 一种用于光纤延迟线测量系统的延迟量测量方法及其实现装置
US9121705B2 (en) 2012-04-20 2015-09-01 Massachusetts Institute Of Technology Sensor for simultaneous measurement of thickness and lateral position of a transparent object
US9019485B2 (en) * 2013-03-11 2015-04-28 Lumetrics, Inc. Apparatus and method for evaluation of optical elements
CN103267743B (zh) * 2013-04-08 2018-09-21 辽宁科旺光电科技有限公司 一种折射率测量装置及方法
JP6157240B2 (ja) * 2013-06-28 2017-07-05 キヤノン株式会社 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2018114296A3 (ru) 2019-10-18
RU2713038C2 (ru) 2020-02-03
EP3423782B1 (en) 2022-01-26
IL258173A (en) 2018-05-31
US20200191551A1 (en) 2020-06-18
WO2017048141A1 (en) 2017-03-23
PL414064A1 (pl) 2017-03-27
CA3000156A1 (en) 2017-03-23
PL237446B1 (pl) 2021-04-19
CN108431544A (zh) 2018-08-21
PH12018500611A1 (en) 2018-10-01
KR20180084745A (ko) 2018-07-25
EP3423782A1 (en) 2019-01-09
JP2018534547A (ja) 2018-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4062606B2 (ja) 低可干渉測定／高可干渉測定共用干渉計装置およびその測定方法
US8520218B2 (en) Measuring method of refractive index and measuring apparatus of refractive index
KR101264671B1 (ko) 광 간섭 계측 방법 및 광 간섭 계측 장치
US8405836B2 (en) System and method for measuring an optical fiber
CN110337577B (zh) 用于光学测量机探头的可更换透镜模块系统
CA2272033A1 (en) Arrangement for determining the temperature and strain of an optical fiber
CN104215176A (zh) 高精度光学间隔测量装置和测量方法
CN102980601A (zh) 基于低相干干涉的光纤杨氏干涉光程差解调装置及方法
CN108204788A (zh) 光学特性测定装置以及光学特性测定方法
RU2018114296A (ru) Устройство для измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна и способ измерения параметров фазовых элементов и дисперсии оптического волокна
WO2012170275A1 (en) Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements
US20220187126A1 (en) Broadband pulsed light source apparatus
US7545506B2 (en) Interferometric measuring device
CN103267478B (zh) 高精度位置检测装置及方法
JP2018534547A5 (ru)
CN103197382A (zh) 一种光纤导出式的干涉仪激光光源系统
KR20120080670A (ko) 광섬유 소자와 자유공간 광학계를 병용하는 편광식 광간섭 계측장치
KR20120080669A (ko) 광섬유 소자와 자유공간 광학계를 병용하는 광간섭계측장치
EP2840352A1 (en) Interferometric apparatus combined with a non interferometric apparatus, and measuring method
JP6571352B2 (ja) 光干渉断層計測装置
JP2008196901A (ja) 光波干渉測定装置
KR20180068372A (ko) Visar 또는 orvis를 이용한 이동 물체의 속도 측정장치
RU2518844C1 (ru) Интерферометр для контроля телескопических систем и объективов
KR101622026B1 (ko) 저 결맞음 간섭계 기반 단층 촬영 장치
CN108663192A (zh) 波前传感器的检测装置和方法