RU2018101C1 - Способ контроля качества и фокусировки оптической системы - Google Patents

Способ контроля качества и фокусировки оптической системы Download PDF

Info

Publication number
RU2018101C1
RU2018101C1 SU4927474A RU2018101C1 RU 2018101 C1 RU2018101 C1 RU 2018101C1 SU 4927474 A SU4927474 A SU 4927474A RU 2018101 C1 RU2018101 C1 RU 2018101C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
focusing
quality
beams
optical system
optic system
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
В.А. Шеволдин
И.В. Пикина
Original Assignee
Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем Всесоюзного научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем Всесоюзного научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова" filed Critical Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем Всесоюзного научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова"
Priority to SU4927474 priority Critical patent/RU2018101C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2018101C1 publication Critical patent/RU2018101C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано при наземных испытаниях оптикоэлектронной аппаратуры, имитирующей точку, в частности в стенках, работающих в криовакуумных условиях. Сущность изобретения: в способе контроля качества и фокусировки оптической системы, включающем формирование коллимированного пучка, разделение его на два равных по интенсивности, пропускание его через испытуемую систему, фокусировку прошедших пучков на приемное устройство, регистрацию их и определение качества и степени расфокусировки оптической системы путем деления пучка лучей на два симметричных относительно оптической оси коллиматора, перед регистрацией синфазно сканируют полученными пучками, измеряют абсолютное значение временного интервала появления сигналов и их амплитуду, осуществляют переход к временной регистрации сигнала. О качестве оптической системы судят по величине амплитуды, а о степени расфокусировки - по значению временного интервала. 1 ил., 1 табл.

Description

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для наземных испытаний оптико-электронной аппаратуры в частности в стендах для испытаний глубокоохлаждаемой оптико-электронной аппаратуры, имитирующей точку в вакуумно-криогенных условиях.
Решение данной задачи в настоящее время является весьма актуальным в связи с повышением требований к метрологической аттестации аппаратуры.
Описанные в литературе и применяемые на практике способы по оценке качества и фокусировки оптических систем, как правило, не совместимы в одном эксперименте и требуют перекомпановки измерительной аппаратуры. В криогенно-вакуумных условиях это в едет к увеличению погрешности измерений метрологических параметров, так как связано с необходимостью разгерметизации и схемных изменений.
Известен способ оценки качества оптических систем, заключающийся в том, что коллимированный пучок лучей, проходящий через испытуемую оптическую систему, попадает на модулятор, при вращении которого излучение, проходя прозрачные штрихи, модулируется с частотой, определяемой количеством штрихов и скоростью вращения модулятора, после чего модулируемый световой поток трансформируется приемным устройством в переменный ток, который воспринимается прибором.
Основным недостатком данного способа является его невысокая точность из-за погрешности определения плоскости наилучшего изображения, которая не может быть меньше десятых долей миллиметра, что объясняется торцевым биением модулятора и конечными размерами приемного устройства. К недостаткам также относится значительная потеря энергии, вносимая модуляцией, а также то, что для определения качества испытуемой оптической системы необходимо вводить дополнительные схемные элементы, и оценка производится визуально, что ведет к дополнительному снижению точности измерений.
Известен способ контроля качества и фокусировки оптических систем, в качестве прототипа, включающий формирование коллимированного пучка, разделение его на два равных пучка по интенсивности, пропускание их через испытуемую систему, фокусировку прошедшего через систему излучения на два ряда фоточувствительных элементов и регистрацию излучения. Качество и фокусировку испытуемой системы определяют по амплитуде и смещению изображения от заданных координат, согласованных с одной из площадок приемного устройства.
Недостатком этого способа также является невысокая точность измерений, обусловленная погрешностью пространственного разделения коллимированного излучения на два пучка двумя парами разделительных призм, усугубленная работой в криогенно-вакуумных условиях, а также недостаточной чувствительностью пространственного разрешения вследствие конечных размеров приемников излучения.
Целью изобретения является повышение точности измерений.
Это достигается тем, что в способе контроля качества и фокусировки оптической системы, включающем формирование коллимированного пучка лучей, разделение его на два разных по интенсивности, пропускание его через испытуемую оптическую систему, фокусировку прошедшего пучка лучей на приемное устройство, регистрацию излучения и определение расфокусировки и качества испытуемой оптической системы, коллимированный пучок делят на два симметричных относительно оптической оси коллиматора, перед регистрацией излучение синфазно сканируют полученными пучками лучей, о степени расфокусировки судят по временному разрешению сигналов, а о качестве испытуемой оптики - по амплитуде измеренного сигнала.
Изобретение позволяет осуществить переход от пространственного к временному разделению интенсивности сфокусированных пучков лучей. Это ведет к повышению точности измерений за счет исключения геометрических ограничений, определяемых пределом технологических возможностей создания приемных устройств.
Предлагаемый способ контроля качества и фокусировки иллюстрируется чертежом.
Система содержит источник 1 излучения, зеркала 2 и 3 коллиматора, испытуемая оптическая система 4, два плоских разделительных зеркала 5 и 5', сканирующее основание 6, приемник 7 излучения, прибор 8 регистрации излучения, 0-0' - оптическая ось коллиматора, совмещенная с оптической осью системы.
Контроль качества и фокусировки осуществляется следующим образом. От источника 1 излучение попадает на зеркала 2 и 3, с помощью которых формируется коллимированный пучок лучей. Коллимированный пучок лучей проходит испытуемую оптическую систему 4, делится на два равных по интенсивности, симметричных относительно оптической оси коллиматора пучка. Эта операция осуществляется с помощью равных по размерам разделительных зеркала 5 и 5', закрепленных на едином основании 6, установленном с возможностью сканирования. Излучение двух пучков, отраженных от каждого из разделительных зеркал, фокусируется на приемнике 7 излучения, а затем с помощью сканирования осуществляют последовательное попадание излучения на этот приемник. Равная интенсивность обоих пучков позволяет обеспечить идентичность сигналов. Синхронное сканирование основания 6 обеспечивает равную периодичность попадания отраженных пучков от каждого из зеркал на приемник. Информация о сигнале, который представляет собой последовательно возникающие "пики", с приемника 7 поступает на прибор 8 регистрации. На регистрационном приборе фиксируют интервалы времени Δτ между вершинами "пиков". Перемещая точку фокусировки вдоль оптической оси 0-0' коллиматора до получения минимального значения Δτ, тем самым определяют плоскость наилучшего изображения (фокальную плоскость).
Качество испытуемой оптической системы определяется по амплитуде полученных пиков, как фиксированное во времени распределение интенсивности изображения сфокусированных пучков вдоль оптической оси 0-0'.
Создан комплекс, включающий криогенно-вакуумную камеру КТВУ-100 Г и имитатор точки, предназначенный для наземных испытаний оптико-электронной аппаратуры в криовакуумных условиях.
Предлагаемый способ был использован для определения расфокусировки и оценки качества оптической системы имитатора точки, расположенного в крио-вакуумной камере. Имитатор точки состоит из плоского зеркала диаметром 150 мм и сферического - диаметром 300 мм, радиусом кривизны 1600 мм. Зеркала изготовлены из материала АМF6. В качестве источника излучения использовался светодиод АЛ-107А, а приемника - фотодиод ФД 25Н. В процессе эксперимента в качестве коллиматора использовалась оптическая система имитатора точки. Разделительные зеркала, изготовленные из материала АМF6, размерами 40х40 мм2, располагались симметрично на расстоянии 60 мм от оптической оси. Сканирование производилось с частотой 1 Гц, для чего использовался привод, снабженный асинхронным двигателем, мощностью 5 кВт и частотой вращения 30 Гц. В качестве прибора регистрации сигналов применялся осциллограф С1-83.
Эксперимент проводился в криогенно-вакуумных условиях при 25К и давлении 10-6 мм рт.ст. В процессе эксперимента была проведена оценка качества и определена величина расфокусировки имитатора точки.
На предварительном этапе эксперимента при 20оС комплекс был отъюстирован согласно техническим требованиям, заданным техническим заданием. Расстояние от приемника до зеркал имитатора точки, между зеркалами и от зеркал коллиматора до разделительных зеркал были выставлены с точностью + 1 мм.
В центре основания было закреплено юстировочное зеркало, с помощью которого основание установки строго перпендикулярно оптической оси методом автоколлимации. Разделительные зеркала закрепили на основании симметрично на расстоянии 60+1 мм от оптической оси.
Предварительная юстировка позволила точно сфокусировать испытуемую систему и получить интенсивность, равную по всему пучку излучения.
После проведения предварительного этапа камера КТВУ-100Г, внутри которой находился имитатор точки, была герметично закрыта.
При проведении эксперимента в криогенно-вакуумных условиях была определена расфокусировка, а сканирование разделительными пучками лучей позволило провести оценку качества оптической системы имитатора точки по всему рабочему полю системы. В процессе определения расфокусировки погрешность измерения не превысила 0,01 мм. В таблице приведены результаты измерений, где Δτ - расстояние между пиками; А - амплитуда пиков.
Была рассчитана погрешность, которая получилась бы при проведении аналогичного эксперимента с использованием способа-прототипа - определение расфокусировки, основанное на пространственном разделении пучка лучей. Она составила 0,1 мм.
При пространственном разделении пучка лучей дискретность отсчета, определяющая точность измерений и определяемая отношением размера линейного поля зрения коллиматора к количеству размещающихся на ней приемников излучения, в настоящее время составляет по технологическим возможностям порядка 10-2 мм/шт. ; при временном разделении подобное отношение (линейное поле зрения к количеству регистрируемых импульсов) составляет порядка 10-8 мм/шт. , где под штуками понимается максимальное количество регистрируемых импульсов, что служит наглядной иллюстрацией возможности значительного повышения точности в предлагаемом способе.
Таким образом, новая совокупность существенных признаков позволяет получить качественно новый эффект. Техническое решение соответствует критерию "существенные отличия".
Реализация предлагаемого способа оценки качества и фокусировки позволяет в одном эксперименте решить две задачи: определить расфокусировку и провести оценку качества испытуемой системы без разгерметизации камеры и переналадки измерительного комплекса, что также ведет к дальнейшему повышению точности проводимых измерений. Предлагаемый способ позволяет снять проблему геометрических ограничений, связанных с техническими возможностями создания приемных устройств, а использование испытуемой системы в качестве коллиматора значительно снизить затраты и упростить измерительную схему.

Claims (1)

  1. СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА И ФОКУСИРОВКИ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ, включающий формирование коллимированного пучка, разделение его на два равных по интенсивности, пропускание его через испытуемую оптическую систему, фокусировку прошедших пучков на приемное устройство, регистрацию их и определение качества и степени расфокусировки оптической системы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, коллимированный пучок делят на два симметричных относительно оптической оси коллиматора, перед регистрацией осуществляют синхронное сканирование полученными пучками, измеряют абсолютное значение временных интервалов появления сигналов и их амплитуду, находят плоскость измерения амплитуды по минимальному значению временного интервала, о качестве оптической системы судят по величине амплитуды, измеренной в этой плоскости, а о степени расфокусировки - по значению временного интервала.
SU4927474 1991-04-15 1991-04-15 Способ контроля качества и фокусировки оптической системы RU2018101C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4927474 RU2018101C1 (ru) 1991-04-15 1991-04-15 Способ контроля качества и фокусировки оптической системы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4927474 RU2018101C1 (ru) 1991-04-15 1991-04-15 Способ контроля качества и фокусировки оптической системы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2018101C1 true RU2018101C1 (ru) 1994-08-15

Family

ID=21569736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4927474 RU2018101C1 (ru) 1991-04-15 1991-04-15 Способ контроля качества и фокусировки оптической системы

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2018101C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2172973C1 (ru) * 2000-03-17 2001-08-27 Открытое Акционерное Общество "Пеленг" Устройство для контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматора
RU2531555C2 (ru) * 2013-02-12 2014-10-20 Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" Автоколлимационный способ измерения фокусного расстояния

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Заявка Великобритании N 1578678, кл. G02 B 27/16, 1980. *
Петров В.М. Контроль качества и испытания оптических приборов. Л.; Машиностроение, 1985, с.144 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2172973C1 (ru) * 2000-03-17 2001-08-27 Открытое Акционерное Общество "Пеленг" Устройство для контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматора
RU2531555C2 (ru) * 2013-02-12 2014-10-20 Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" Автоколлимационный способ измерения фокусного расстояния

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4815844A (en) Device for testing components of transparent material for surface irregularities and occlusions
CA1183365A (en) Method of and apparatus for determining the refractive index profile of optical fibres and optical fibre preforms
GB1403911A (en) Method and apparatus for testing optical components
EP0129205A2 (en) Noncontacting ultrasonic flaw detecting method
US2897722A (en) Means and method of testing lenses
US4673817A (en) Measuring system for contactless measuring the distance between a predetermined point of an object surface and a reference level
JPS6365922B2 (ru)
US5210592A (en) Method and apparatus for determining the optical quality of a transparent plate
US4822165A (en) Device for illuminating components of transparent material in testing for irregularities
US4722604A (en) Radiation interference devices
RU2018101C1 (ru) Способ контроля качества и фокусировки оптической системы
JPS6420426A (en) Apparatus for measuring contrast of display screen as function of observing direction
JP2700454B2 (ja) 光学レンズの性能を特徴づける方法および装置
US3449945A (en) Optical scanning systems for photoelectric tonometers
SU1370456A1 (ru) Способ фиксации положени границы объекта
US4212540A (en) Testing the divergence of a beam from a laser
USH220H (en) Optical performance comparator
US2803995A (en) Means and method of testing lenses
CN106290226B (zh) 一种太赫兹透射成像装置及方法
RU2808750C1 (ru) Устройство для измерения параметров и характеристик источников излучения
RU2042966C1 (ru) Способ фазирования многоапертурной системы
CN217901558U (zh) 光检测装置
SU1308835A1 (ru) Способ измерени диаметров и межосевого рассто ни отверстий
SU1629751A1 (ru) Дифференциальный оптический сканирующий микроскоп
Maciejewski et al. Fast THz-TDS Reflection Imaging with ECOPS scheme