RU2017129614A - Устройство для получения пленок - Google Patents

Устройство для получения пленок Download PDF

Info

Publication number
RU2017129614A
RU2017129614A RU2017129614A RU2017129614A RU2017129614A RU 2017129614 A RU2017129614 A RU 2017129614A RU 2017129614 A RU2017129614 A RU 2017129614A RU 2017129614 A RU2017129614 A RU 2017129614A RU 2017129614 A RU2017129614 A RU 2017129614A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
target
rotation
substrate
control unit
center
Prior art date
Application number
RU2017129614A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2669259C2 (ru
RU2017129614A3 (ru
Inventor
Константин Геннадьевич Балымов
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Priority to RU2017129614A priority Critical patent/RU2669259C2/ru
Publication of RU2017129614A publication Critical patent/RU2017129614A/ru
Publication of RU2017129614A3 publication Critical patent/RU2017129614A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2669259C2 publication Critical patent/RU2669259C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (1)

  1. Устройство для получения многослойных пленок, содержащее подложкодержатель, расположенный в горизонтальном магнитном поле, и катод-мишень с экраном, имеющим отверстия над каждой мишенью распыляемого материала и изолирующие перегородки, позволяющие секторально разделить распыляемые материалы, отличающееся тем, что при распылении центр подложки перемещают вращением от центра одного отверстия с распыляемым материалом к другому посредством воздействия блока управления вращением, а конечные положения подложки над мишенью фиксируют по установленным датчикам положения, при этом положение заслонки, открытое или закрытое относительно мишени, определяют воздействием блока управления вращением на соответствующий двигатель с использованием датчика положения заслонки.
RU2017129614A 2016-12-09 2016-12-09 Устройство для получения пленок RU2669259C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017129614A RU2669259C2 (ru) 2016-12-09 2016-12-09 Устройство для получения пленок

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017129614A RU2669259C2 (ru) 2016-12-09 2016-12-09 Устройство для получения пленок

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017129614A true RU2017129614A (ru) 2018-06-13
RU2017129614A3 RU2017129614A3 (ru) 2018-06-13
RU2669259C2 RU2669259C2 (ru) 2018-10-09

Family

ID=62619408

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017129614A RU2669259C2 (ru) 2016-12-09 2016-12-09 Устройство для получения пленок

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2669259C2 (ru)

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05251259A (ja) * 1992-03-06 1993-09-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄膜積層コンデンサの製造方法
JPH10121241A (ja) * 1996-10-17 1998-05-12 Nec Corp 真空蒸着装置
US6328856B1 (en) * 1999-08-04 2001-12-11 Seagate Technology Llc Method and apparatus for multilayer film deposition utilizing rotating multiple magnetron cathode device
CN1461234A (zh) * 2000-09-22 2003-12-10 通用电气公司 一种组合涂复系统及方法
ITMI20031178A1 (it) * 2003-06-11 2004-12-12 Getters Spa Depositi multistrato getter non evaporabili ottenuti per
EP2119806A4 (en) * 2007-01-09 2015-05-06 Ulvac Inc METHOD FOR FORMING A MULTILAYER FILM AND DEVICE FOR FORMING A MULTILAYER FILM
JP5251259B2 (ja) * 2008-05-27 2013-07-31 マツダ株式会社 バックドア構造
RU2451769C2 (ru) * 2009-12-22 2012-05-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н.Ельцина" Способ, устройство для получения многослойных пленок и многослойная структура, полученная с их использованием

Also Published As

Publication number Publication date
RU2669259C2 (ru) 2018-10-09
RU2017129614A3 (ru) 2018-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA201692097A1 (ru) Контейнер с индикацией вскрытия и способ его изготовления
FR3041135B1 (fr) Drone avec camera a visee frontale avec segmentation de l'image du ciel pour le controle de l'autoexposition
JP2019218623A5 (ru)
JP2007127978A5 (ru)
JP2015143396A5 (ja) 酸化物半導体膜の成膜方法
JP2013147754A5 (ja) 成膜方法および発光装置の作製方法
EA201591209A1 (ru) Устройство и способ для изготовления объемного объекта посредством литографии с повышенным пространственным разрешением
HRP20161093T1 (hr) Kapsula
JP2013147743A5 (ru)
EP2905097A3 (en) Article produced by additive manufacturing
FR3033642B1 (fr) Dispositif de controle en ligne de la qualite d'une solution de polymere hydrosoluble fabriquee a partir d'emulsion inverse ou de poudre dudit polymere
JP2017206548A5 (ru)
RU2017129614A (ru) Устройство для получения пленок
FR3053329B1 (fr) Procede de revetement d'une piece en materiau composite a matrice ceramique par une barriere environnementale
FR3046282B1 (fr) Procede de representation graphique d'une image issue d'un capteur d'image en superposition sur une seconde image synthetique du paysage exterieur
WO2019143424A3 (en) Polymer nanocomposites and methods of making the same
JP2018121576A5 (ru)
CN103014620A (zh) Oled玻璃基板蒸镀机
ES2674438A2 (es) Helióstato y dispositivo de accionamiento para orientar un panel de un helióstato
JP2020004083A5 (ru)
RU2016123693A (ru) Универсальный способ управления движением объекта с помощью оптической навигационной системы
RU2015124929A (ru) Способ имитации водной акватории
JP2018010025A5 (ru)
JP2019000575A5 (ru)
UA97315U (en) Method for the preparation of thermoelectric thin film material based on the p-s note: bi on a substrate of mica