RU2015156866A - Ионный источник - Google Patents
Ионный источник Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015156866A RU2015156866A RU2015156866A RU2015156866A RU2015156866A RU 2015156866 A RU2015156866 A RU 2015156866A RU 2015156866 A RU2015156866 A RU 2015156866A RU 2015156866 A RU2015156866 A RU 2015156866A RU 2015156866 A RU2015156866 A RU 2015156866A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- annular gap
- internal
- ion source
- pole
- additional pole
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Claims (2)
1. Ионный источник, включающий магнитную систему под потенциалом катода с кольцевым зазором между внутренним и внешним полюсами системы, источник магнитодвижущей силы (постоянный магнит), установленный сзади симметрично кольцевому зазору анод, систему подачи рабочего газа со стороны анода, при этом кольцевой зазор выполнен в виде конусной щели, отличающийся тем, что перед внутренним полюсом системы установлен дополнительный полюс в виде диска диаметром, меньшим внутреннего конусного раскрытия кольцевого зазора, внешний и внутренний полюса выполнены в виде конуса, ориентированного своим основанием в сторону дополнительного полюса, а в пространстве между внутренним конусным раскрытием кольцевого зазора и дополнительным полюсом установлена кольцевая вставка из немагнитного материала.
2. Ионный источник по п. 1, отличающийся тем, что кольцевой зазор выполнен с фасками под углом 35-45° на наружной поверхности полюсов и на расстоянии от внутренней поверхности в пределах 1/3-1/2 их толщины.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015156866A RU2630426C2 (ru) | 2015-12-30 | 2015-12-30 | Ионный источник |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015156866A RU2630426C2 (ru) | 2015-12-30 | 2015-12-30 | Ионный источник |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015156866A true RU2015156866A (ru) | 2017-07-05 |
| RU2630426C2 RU2630426C2 (ru) | 2017-09-07 |
Family
ID=59309345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015156866A RU2630426C2 (ru) | 2015-12-30 | 2015-12-30 | Ионный источник |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2630426C2 (ru) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2030807C1 (ru) * | 1992-02-20 | 1995-03-10 | Парфененок Михаил Антонович | Источник ионов с замкнутым дрейфом электронов |
| EP1282909A1 (en) * | 1999-08-02 | 2003-02-12 | Advanced Energy Industries, Inc. | Enhanced electron emissive surfaces for a thin film deposition system using ion sources |
| RU2248064C1 (ru) * | 2003-09-29 | 2005-03-10 | Парфененок Михаил Антонович | Источник ионов |
| US8575565B2 (en) * | 2011-10-10 | 2013-11-05 | Guardian Industries Corp. | Ion source apparatus and methods of using the same |
| RU2510735C2 (ru) * | 2012-05-22 | 2014-04-10 | Закрытое акционерное общество "Ферри Ватт" | Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта и способ его применения |
-
2015
- 2015-12-30 RU RU2015156866A patent/RU2630426C2/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2630426C2 (ru) | 2017-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104632565B (zh) | 一种霍尔推力器磁路结构 | |
| GB2538676A (en) | Right angle time-of-flight detector with an extended life time | |
| WO2015155731A3 (fr) | Rotor de machine électrique tournante | |
| JP2014525590A5 (ru) | ||
| EP2945173A3 (en) | Symmetrical electromagnetic actuator | |
| TR201910078T4 (tr) | Bir volan düzeneği. | |
| AR116805A2 (es) | Geófono con sistema magnético de suspensión automática | |
| WO2016106425A3 (en) | Combined multipole magnet and dipole scanning magnet | |
| RU2015156866A (ru) | Ионный источник | |
| EP4254749A3 (en) | Assembly and method to produce three pole magnets | |
| CL2019001648A1 (es) | Separador magnético plano. | |
| JP2015017304A5 (ru) | ||
| RU2013103124A (ru) | Электромагнитный поляризованный переключатель | |
| RU2014149467A (ru) | Магнитный подшипник | |
| RU2013141782A (ru) | Двигатель с замкнутым дрейфом электронов | |
| PL415236A1 (pl) | Poprzeczne łożyskowanie magnetyczne | |
| RU2015156520A (ru) | Магнитная опора с дополнительной магнитной системой | |
| TN2016000575A1 (en) | A kinetic & electrical energy generation device controlled by magnetic forces | |
| RU2016120817A (ru) | Способ повышения ресурса самонакаливаемого полого катода в сильноточном разряде в аксиально-симметричном магнитном поле | |
| UA105173U (uk) | Сепаратор магнітний барабанний | |
| MX369729B (es) | Fuente de evaporación por arco. | |
| TH12521A3 (th) | หัวเพนนิงแมกนีตรอนสปัตเตอริงสำหรับการเคลือบฟิล์มบางสารแม่เหล็ก | |
| RU140240U1 (ru) | Динамический громкоговоритель | |
| PL405783A1 (pl) | Wzdłużno-promieniowe łożyskowanie obrotowego wałka, smarowane cieczą ferromagnetyczną | |
| RU2014122130A (ru) | Втяжной электромагнит |