RU2015122689A - Фокусировка лазерного импульса - Google Patents

Фокусировка лазерного импульса Download PDF

Info

Publication number
RU2015122689A
RU2015122689A RU2015122689A RU2015122689A RU2015122689A RU 2015122689 A RU2015122689 A RU 2015122689A RU 2015122689 A RU2015122689 A RU 2015122689A RU 2015122689 A RU2015122689 A RU 2015122689A RU 2015122689 A RU2015122689 A RU 2015122689A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser
pulse duration
parameters
change
duration
Prior art date
Application number
RU2015122689A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2617916C2 (ru
Inventor
Клаус ФОГЛЕР
Олаф КИТТЕЛЬМАНН
Маттиас ФЕЗЕЛЬ
Кристоф ДОНИЦКИ
Original Assignee
Уэйвлайт Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Уэйвлайт Гмбх filed Critical Уэйвлайт Гмбх
Publication of RU2015122689A publication Critical patent/RU2015122689A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2617916C2 publication Critical patent/RU2617916C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0057Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F9/00825Methods or devices for eye surgery using laser for photodisruption
    • A61F9/0084Laser features or special beam parameters therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J11/00Measuring the characteristics of individual optical pulses or of optical pulse trains
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity

Claims (35)

1. Система, содержащая:
источник лазерного излучения, выполненный с возможностью генерации одного или более лазерных импульсов;
один или более оптических элементов, выполненных с возможностью изменения длительности одного или более лазерных импульсов;
устройство контроля, выполненное с возможностью измерения длительности одного или более лазерных импульсов для выявления изменения длительности импульса; и
управляющий компьютер, выполненный с возможностью:
приема от устройства контроля значения измеренной длительности импульса;
определения одного или более параметров лазера, которые компенсируют изменение длительности импульса; и
управления источником лазерного излучения в соответствии с одним или более параметров лазера.
2. Система по п. 1, в которой изменение длительности импульса является увеличением или уменьшением длительности импульса.
3. Система по п. 1, в которой устройство контроля выполнено с возможностью измерения длительности одного или более лазерных импульсов на выходе из фокусирующего объектива одного или более оптических элементов.
4. Система по п. 1, в которой управляющий компьютер выполнен с возможностью определения одного или более параметров лазера посредством определения одного или более параметров, в зависимости от которых вводится положительный или отрицательный чирп для компенсации изменения длительности импульса.
5. Система по п. 1, в которой:
один или более оптических элементов изменяют длительность импульса посредством введения отрицательного чирпа в лазерные импульсы; и
управляющий компьютер выполнен с возможностью определения одного или более параметров лазера путем определения одного или более параметров, в зависимости от которых вводится положительный или отрицательный чирп для компенсации изменения длительности импульса.
6. Система по п. 1, в которой управляющий компьютер выполнен с возможностью управления источником лазерного излучения в соответствии с одним или более параметров лазера с помощью:
команды для источника лазерного излучения для коррекции количества циклов усилителя источника лазерного излучения.
7. Система по п. 1, в которой в зависимости от одного или более параметров лазера изменение длительности импульса компенсируется в значительной степени.
8. Система по п. 1, в которой в зависимости от одного или более параметров лазера изменение длительности импульса компенсируется частично.
9. Способ, содержащий следующие этапы:
испускание источником лазерного излучения одного или более лазерных импульсов;
изменение одним или более оптических элементов длительности одного или более лазерных импульсов;
измерение устройством контроля длительности одного или более лазерных импульсов для выявления изменения длительности импульса;
прием управляющим компьютером от устройства контроля измеренного значения длительности импульса;
определение управляющим компьютером одного или более параметров лазера, которые компенсируют изменение длительности импульса; и
управление источником лазерного излучения посредством управляющего компьютера в соответствии с одним или более параметров лазера.
10. Способ по п. 9, в котором изменение длительности импульса является увеличением или уменьшением длительности импульса.
11. Способ по п. 9, в котором измерение включает измерение длительности импульса одного или более лазерных импульсов на выходе из фокусирующего объектива одного или более оптических элементов.
12. Способ по п. 9, в котором определение одного или более параметров лазера включает определение одного или более параметров, в зависимости от которых для компенсации изменения длительности импульса вводится положительный или отрицательный чирп.
13. Способ по п. 9, в котором:
длительность импульса изменяют посредством одного или более оптических элементов путем введения отрицательного чирпа в лазерные импульсы; и
определение одного или более параметров лазера включает определение одного или более параметров, в зависимости от которых для компенсации изменения длительности импульса вводится положительный чирп.
14. Способ по п. 9, в котором управление источником лазерного излучения в соответствии с одним или более параметров лазера включает:
команды для источника лазерного излучения для регулирования количества циклов усилителя источника лазерного излучения.
15. Способ по п. 9, в котором в зависимости от одного или более параметров лазера изменение длительности импульса компенсируется в значительной степени.
16. Способ по п. 9, в котором в зависимости от одного или более параметров лазера изменение длительности импульса компенсируется частично.
RU2015122689A 2012-11-14 2012-11-14 Фокусировка лазерного импульса RU2617916C2 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2012/072567 WO2014075713A1 (en) 2012-11-14 2012-11-14 Laser pulse focusing

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015122689A true RU2015122689A (ru) 2017-01-10
RU2617916C2 RU2617916C2 (ru) 2017-04-28

Family

ID=47469874

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015122689A RU2617916C2 (ru) 2012-11-14 2012-11-14 Фокусировка лазерного импульса

Country Status (15)

Country Link
US (1) US9755393B2 (ru)
EP (1) EP2789058B1 (ru)
JP (1) JP6088062B2 (ru)
KR (1) KR101996671B1 (ru)
CN (1) CN104798268B (ru)
AU (2) AU2012394709A1 (ru)
BR (1) BR112015010812A2 (ru)
CA (1) CA2885893C (ru)
DK (1) DK2789058T3 (ru)
ES (1) ES2587555T3 (ru)
MX (1) MX357955B (ru)
PL (1) PL2789058T3 (ru)
PT (1) PT2789058T (ru)
RU (1) RU2617916C2 (ru)
WO (1) WO2014075713A1 (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9795512B2 (en) 2014-05-23 2017-10-24 Novartis Ag Measuring module including an interface for coupling to a laser device
DE102017002434B4 (de) 2017-03-13 2019-02-28 A.P.E. Angewandte Physik & Elektronik GmbH Laservorrichtung zur Materialbearbeitung
JP7294462B2 (ja) * 2019-07-02 2023-06-20 オムロン株式会社 パルス放電用電子機器ドライバ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2112843A1 (en) * 1993-02-04 1994-08-05 Richard C. Ujazdowski Variable repetition rate picosecond laser
US7486705B2 (en) * 2004-03-31 2009-02-03 Imra America, Inc. Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback
US7962046B2 (en) * 2006-11-09 2011-06-14 Newport Corporation Automated dispersion compensation over a broad wavelength range for coherent optical pulses
JP5307439B2 (ja) * 2007-04-23 2013-10-02 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
US20110182306A1 (en) * 2008-02-19 2011-07-28 Bergmann Messgerate Entwicklung Kg Generation of burst of laser pulses
JP5826027B2 (ja) * 2008-03-21 2015-12-02 イムラ アメリカ インコーポレイテッド レーザベースの材料加工方法及びシステム
JP2009272396A (ja) * 2008-05-02 2009-11-19 Japan Atomic Energy Agency 固体レーザー装置
US9060847B2 (en) * 2008-05-19 2015-06-23 University Of Rochester Optical hydrogel material with photosensitizer and method for modifying the refractive index
RU101277U1 (ru) * 2010-08-09 2011-01-10 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Оптическая система для формирования лазерных импульсов пико- и наносекундной длительности
US9000403B2 (en) * 2013-02-15 2015-04-07 Asml Netherlands B.V. System and method for adjusting seed laser pulse width to control EUV output energy

Also Published As

Publication number Publication date
AU2017201096A1 (en) 2017-03-09
JP2016503584A (ja) 2016-02-04
CA2885893C (en) 2019-07-02
AU2012394709A1 (en) 2015-04-30
EP2789058A1 (en) 2014-10-15
CN104798268B (zh) 2018-04-20
KR20150084805A (ko) 2015-07-22
BR112015010812A2 (pt) 2017-07-11
DK2789058T3 (en) 2016-08-22
MX357955B (es) 2018-07-30
MX2015006027A (es) 2015-08-07
PT2789058T (pt) 2016-08-12
RU2617916C2 (ru) 2017-04-28
PL2789058T3 (pl) 2016-12-30
CN104798268A (zh) 2015-07-22
US9755393B2 (en) 2017-09-05
WO2014075713A1 (en) 2014-05-22
EP2789058B1 (en) 2016-06-29
AU2017201096B2 (en) 2018-11-01
CA2885893A1 (en) 2014-05-22
JP6088062B2 (ja) 2017-03-01
KR101996671B1 (ko) 2019-07-04
US20140361145A1 (en) 2014-12-11
ES2587555T3 (es) 2016-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2015014463A (es) Operacion de calibracion de un dispositivo de iluminacion.
WO2014197786A3 (en) Apparatus and methods for detecting optical signals from implanted sensors
GB201020278D0 (en) Improved proximity sensor and associated method, computer readable medium and firmware
IL278660B (en) Metrology of critical optical dimensions
WO2015178975A3 (en) An optical sensor system and methods of use thereof
MX2015004816A (es) Aparato y metodo para determinar la desviacion de posicion objetivo de dos cuerpos.
RU2014131759A (ru) Система камеры и способ очищения объектива камеры
RU2015131012A (ru) Светочувствительная система и способ калибровки светочувствительного устройства
GB2529116A (en) Fiber optic distributed vibration sensing with wavenumber sensitivity correction
WO2014056708A3 (en) Mark position measuring apparatus and method, lithographic apparatus and device manufacturing method
JP2013545094A5 (ru)
WO2014129611A3 (en) Acoustic wave acquiring apparatus and control method therefor
DE502008003347D1 (de) Rauchdetektion mittels zweier spektral unterschiedlicher Streulichtmessungen
RU2017125276A (ru) Оптический датчик жизненных показателей
EA201291288A1 (ru) Способ и устройство измерения оптических характеристик оптически изменяемой маркировки, нанесенной на объект
RU2016139135A (ru) Устройство для определения физиологического показателя
WO2015044020A3 (en) Optical absorption monitor system
RU2015135177A (ru) Лазерное геодезическое устройство
ATE529762T1 (de) Distanz- und orientierungsmessung eines objekts
RU2015122689A (ru) Фокусировка лазерного импульса
DE602008003866D1 (de) Coriolis-Durchflussmesser mit optischer Schwingunsdetektor
WO2010013907A3 (ko) 레이저 디스플레이 시스템의 화이트 밸런스 조정 장치 및 방법
JP2013218148A5 (ru)
JP2016145770A5 (ru)
FR3067813B1 (fr) Procede d'estimation d'une quantite d'une espece gazeuse

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201115