KR101996671B1 - 레이저 펄스 포커싱 - Google Patents

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마티아스 푀젤
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웨이브라이트 게엠베하
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Abstract

임의의 실시예들에서, 시스템(10)은 레이저원(20), 하나 이상의 광학 요소들(24), 감시 디바이스(28), 및 제어 컴퓨터(30)를 포함한다. 레이저원(20)은 하나 이상의 레이저 펄스들을 방출한다. 광학 요소들(24)은 레이저 펄스들의 펄스 길이를 변화시키고, 감시 디바이스(28)는 펄스 길이의 변화를 검출하기 위해 레이저 펄스들의 펄스 길이를 측정한다. 제어 컴퓨터(30)는 감시 디바이스(28)로부터 측정된 펄스 길이를 수신하고, 펄스 길이의 변화를 보상하는 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하며, 레이저 파라미터들에 따라 레이저원(20)을 제어한다.

Description

레이저 펄스 포커싱{LASER PULSE FOCUSING}
본 발명은 일반적으로 레이저 시스템들에 관한 것으로, 특히 레이저 펄스 포커싱에 관한 것이다.
초단파 레이저 펄스들은 의학 및 과학에서 재료들을 처리하기 위해 일상적으로 사용된다. 임의의 경우들에서, 매우 높은 피크 강도들이 요구될 수 있다. 임의의 응용들에서, 레이저 펄스들은 광학기기를 통과하고 그 다음 타겟에서의 초점에 포커싱된다. 그러나, 광학기기는 시간에 대해 레이저 펄스들을 신장시킬 수 있으며, 이는 타겟에서 펄스들의 피크 강도를 감소시킨다. 더욱이, 더 짧은 레이저 펄스들은 더 긴 레이저 펄스들보다 더 큰 신장을 경험할 수 있다.
임의의 실시예들에서, 시스템은 레이저원, 하나 이상의 광학 요소들, 감시 디바이스, 및 제어 컴퓨터를 포함한다. 레이저원은 하나 이상의 레이저 펄스들을 방출한다. 광학 요소들은 레이저 펄스들의 펄스 길이를 변화시키고, 감시 디바이스는 펄스 길이의 변화를 검출하기 위해 레이저 펄스들의 펄스 길이를 측정한다. 상기 제어 컴퓨터는 감시 디바이스로부터 측정된 펄스 길이를 수신하고, 펄스 길이의 변화를 보상하는 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하며, 레이저 파라미터들에 따라 레이저원을 제어한다.
임의의 실시예들에서, 방법은 레이저원에 의해, 하나 이상의 레이저 펄스들을 방출하는 단계; 하나 이상의 광학 요소들에 의해, 레이저 펄스들의 펄스 길이를 변화시키는 단계; 펄스 길이의 변화를 검출하기 위해, 감시 디바이스에 의해, 레이저 펄스들의 펄스 길이를 측정하는 단계; 제어 컴퓨터에서, 감시 디바이스로부터 측정된 펄스 길이를 수신하는 단계; 제어 컴퓨터에 의해, 펄스 길이의 변화를 보상하는 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하는 단계; 및 제어 컴퓨터에 의해, 레이저 파라미터들에 따라 레이저원을 제어하는 단계를 포함한다.
본 발명의 대표적인 실시예들이 이제 첨부된 도면들을 참조하여 일 예로서 보다 상세히 설명될 것이다:
도 1은 임의의 실시예들에 따른 타겟 상에 레이저 펄스들을 포커싱하도록 구성되는 시스템의 일 예를 예시한다.
도 2a 및 도 2b는 임의의 실시예들에 따른 도 1의 시스템과 함께 사용될 수 있는 포커싱 대물렌즈 및 감시 디바이스의 예들을 예시한다.
도 3은 펄스 지속 기간에 영향을 미치는 사이클 수들의 일 예를 예시한다.
도 4는 도 1의 시스템이 임의의 실시예들에 따라 사용될 수 있는 디바이스의 일 예를 예시한다.
이제 설명 및 도면들을 참조하면, 개시된 장치들, 시스템들, 및 방법들의 예시적인 실시예들이 상세히 도시된다. 설명과 도면들은 배타적이 되도록 의도되지 않고, 도면들에 도시되고 설명에서 개시된 특정한 실시예들에 대해 청구범위를 다르게 제한 또는 한정할 것을 의도하지 않는다. 도면들이 가능한 실시예들을 제시할지라도, 도면들은 반드시 일정한 비율로 나타낼 필요는 없고, 임의의 피처들은 실시예들을 더 잘 예시하기 위해 확대, 제거, 또는 부분적으로 분할될 수 있다.
도 1은 임의의 실시예들에 따른 타겟(26) 상에 레이저 빔(22)의 레이저 펄스들을 포커싱하도록 구성되는 시스템(10)의 일 예를 예시한다. 예에서, 시스템(10)은 레이저원(20), 하나 이상의 광학 요소들(24), 감시 디바이스(28), 및 제어 컴퓨터(30)를 포함한다. 임의의 실시예들에서, 감시 디바이스(28)는 펄스 길이의 변화들(예를 들면, 증가 또는 감소)을 검출하기 위해 광학 요소들(24)로부터 출력되는 레이저 펄스들의 펄스 길이를 측정하고 측정 정보를 제어 컴퓨터(30)에 송신한다. 제어 컴퓨터(30) 및/또는 레이저원(20)은 펄스 길이의 변화들을 보상한다. 임의의 실시예들에서, 제어 컴퓨터(30)는 타겟(26)을 향해 레이저 빔(22)을 지향시키기 위해 변화들(예를 들면, 펄스 길이 변화들)을 보상할 수 있는 레이저원 파라미터들을 결정하고 그 다음 파라미터들을 사용하여 레이저원(20)을 제어한다.
임의의 실시예들에서, 광학 요소들(24) 및/또는 레이저원(20)은 펄스 길이 변화들을 산출할 수 있다. 실시예들에서, 레이저원(20)의 요소들(광학 요소들과 같은)은 처프(chirp)(양의 처프와 같은)를 발생시키는 광학 요소들(24) 및/또는 레이저원(20)의 분산(양의 분산과 같은)을 보상하기 위해 적절한 조정(음의 처프와 같은)을 적용하는데 사용될 수 있다. 대안적으로, 양의 처프는 음의 처프를 발생시키는 광학 요소들(24) 및/또는 레이저원(20)의 음의 분산을 보상하기 위해 적용될 수 있다. 시스템(10)은 원하는 펄스 길이 및 펄스 에너지를 갖는 레이저 펄스들을 타겟(26)에 출력할 수 있다. 임의의 경우들에서, 펄스 길이가 최소화될 수 있다.
레이저원(20)은 초단파 레이저 펄스들을 갖는 레이저 빔을 생성하고 방출한다. 이러한 문헌에서, 광의 “초단파(ultrashort)” 펄스는 나노초, 피코초, 펨토초, 또는 아토초의 순서로와 같이, 나노초 이하인 지속 기간을 갖는 광 펄스를 지칭한다. 레이저원(20)의 예들은 나노초, 펨토초, 피코초, 및 아토초 레이저들을 포함한다. 레이저 빔은 300 내지 1900 나노미터(nm)의 범위의 파장, 예를 들면 300 내지 650, 650 내지 1050, 1050 내지 1250, 또는 1100 내지 1900 nm의 범위의 파장과 같은, 임의의 적절한 파장을 가질 수 있다. 레이저 빔은 1 내지 1000 펨토초(fs), 예를 들면, 거의 10 fs와 같은 임의의 적절한 펄스 지속 기간의 펄스들을 포함할 수 있다.
광학 요소들(24)은 광을 운영, 예를 들면 광을 반사, 굴절, 회절, 및/또는 투과시킬 수 있는 하나 이상의 요소들을 포함할 수 있다. 광학 요소들(24)은 타겟(26) 위에 레이저 빔(22)을 포커싱할 수 있는 포커싱 대물렌즈와 같은 임의의 적절한 요소들을 포함할 수 있다. 광학 요소들(24)은 레이저 펄스들의 펄스 길이를 변화, 예를 들면 증가 또는 감소시킬 수 있다. 임의의 실시예들에서, 광학 요소들(24)은 제시간에 펄스들을 신장시키는 양의 분산을 적용할 수 있다. 예를 들면, 광학 요소들(24)은 펄스 길이를 10 fs에서 200 fs까지 증가시킬 수 있다. 더욱이, 더 짧은(예를 들면, 200 fs 이하의) 레이저 펄스들은 더 긴(예를 들면, 거의 400 fs) 레이저 펄스들보다 더 큰 신장을 경험할 수 있다.
감시 디바이스(28)는 시간에 대해 펄스 신장을 검출하기 위해 레이저 펄스들의 펄스 길이를 측정하고 그 다음 측정 정보를 제어 컴퓨터(30)에 송신한다. 펄스 길이는 임의의 적절한 방식으로 측정될 수 있다. 임의의 실시예들에서, 감시 디바이스(28)는 펄스가 카피되고 카피들이 비선형 매체에 결합되는 비선형 측정 기술을 사용한다. 비선형 매체는 양 펄스 카피들이 동시에 제공될 때에만 특정 신호를 생성하므로, 펄스 카피들 사이의 지연을 변화시키고 각각의 지연에 대한 신호가 펄스 길이의 추정값을 제공하는 것을 측정한다. 이러한 감시 디바이스들은 2개 이상의 광자들을 검출하는 SHG 결정, 포토다이오드, 및/또는 다광자 검출기를 포함할 수 있다. 이러한 감시 디바이스들의 예들은 주파수 분해 광학 게이팅(FROG; frequency-resolved optical gating) 디바이스들, 자기상관 모니터들, 및 태양 차양 검출기들(근적외 레이저 펄스들의 다광자 흡수를 위한)을 포함한다.
제어 컴퓨터(30)는 감시 디바이스(28)로부터 측정된 펄스 길이를 수신하고, 제시간에 펄스 길이의 신장을 실질적으로 보상하는 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하며, 레이저 파라미터들에 따라 레이저원(20)을 제어하도록 구성된다. 레이저 파라미터들 및/또는 레이저원 요소들은 펄스 폭의 변화를 임의의 적절한 방식으로 보상할 수 있다. 예를 들면, 레이저원 요소들은 광학 요소들(24)이 레이저 펄스들에 적용하는 양의 분산을 보상하기 위해 음의 처프를 생성할 수 있다(또는 그 역도 또한 마찬가지임). 다른 예로서, 파라미터들은 음의 처프를 적용하기 위해 위상 변조를 유도하도록 레이저원(20)의 재생 증폭기의 사이클 수를 증가시킬 수 있다.
임의의 예들에서, 광학 요소들(24)에 의해 적용되는 양의 분산, 또는 군 속도 지연(GVD)은 GVDpos로 표현될 수 있다. 레이저 파라미터들에 의해 적용되는 음의 처프는 |GVDneg| = |GVDpos|로 표현될 수 있다. 음의 처프는 임의의 적절한 값, 예를 들면 ―20,000 fs2 초과 0 펨토초2(fs2) 미만의 범위의 값을 가질 수 있다. 임의의 실시예들에서, 레이저원(20)은 펄스 길이 변화들을 실질적으로 보상하기 위해 전부 보상을 수행할 수 있다. 다른 실시예들에서, 레이저원(20)은 펄스 길이 변화들을 실질적으로 보상하지 않는 부분 보상을 수행할 수 있고, 다른 디바이스는 펄스들을 타겟(26)에 출력하기 전에 보상의 나머지를 수행할 수 있다.
타겟(26)은 생물 또는 무생물 생체 조직과 같은, 임의의 적절한 재료를 나타낼 수 있다. 임의의 실시예들에서, 타겟(26)은 각막 조직과 같은, 눈의 조직이다. 레이저 빔의 초점은 타겟(26)에서 레이저 유도 광학 브레이크다운(LIOB; induced optical breakdown)을 생성할 수 있다. 최소화된 펄스 길이는 더 낮은 펄스 에너지에서 LIOB를 산출할 수 있으며, 이는 산란 방사선, 가스 버블들, 또는 불투명 버블 층들과 같은, 원하지 않는 효과들을 감소 또는 회피할 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 시스템(10)과 함께 사용될 수 있는 포커싱 대물렌즈(32) 및 감시 디바이스(28)의 예들을 예시한다. 포커싱 대물렌즈(32)는 광학 요소(24)이고 F-세타 대물렌즈와 같은, 레이저 빔(22)을 포커싱할 수 있는 임의의 적절한 광학 요소일 수 있다. 임의의 실시예들에서, 포커싱 대물렌즈(32)는 어블레이션 콘(ablation cone)일 수 있다.
감시 디바이스(28)는 측정이 제어 컴퓨터(30)가 펄스 폭의 변화를 실질적으로 보상할 수 있는 레이저 파라미터들을 산출하는 것을 허용할 수 있는 정보를 제어 컴퓨터(30)에 제공할 수 있는 임의의 적절한 위치에서 펄스 길이를 측정할 수 있다. 예에서, 감시 디바이스(28)는 포커싱 대물렌즈(32)의 출구에서 출력되는 펄스들의 펄스 길이를 측정한다. 감시 디바이스(28)는 포커싱 대물렌즈(32)(도 2a의 예에 도시된 바와 같은)에 결합되거나 포커싱 대물렌즈(32)(도 2b의 예에 도시된 바와 같은) 내에 배치될 수 있다.
감시 디바이스(28)는 교정이 요구될 때마다와 같은, 임의의 적절한 시간에 펄스 길이를 측정할 수 있다. 임의의 경우들에서, 측정은 기계적으로 또는 자동적으로, 예컨대 정기적으로(예를 들면, 매주, 매일, 또는 매시간) 또는 트리거 이벤트에 응답하여(예를 들면, 시스템(10)이 턴 온될 때 또는 새로운 환자 정보가 입력될 때) 수행될 수 있다. 다른 경우들에서, 측정은 사용자 요청에 응답하여 수행될 수 있으며, 이는 임의의 적절한 사용자, 예를 들면 외과 의사, 수리원, 또는 제조자에 의해 이루어질 수 있다.
도 3은 사이클 수들과 펄스 지속 기간 사이의 관계를 나타내는 그래프의 일 예를 예시한다. 그래프에서, 펄스 지속 기간(40)은 레이저원(20)의 출력에서의 펄스 지속 기간이고, 펄스 지속 기간(42)은 타겟(26)에서의 펄스 지속 기간이다. 참조 화살표(50)는 레이저원(20)의 출력에서의 펄스 지속 기간(40)에서 타겟(26)에서의 펄스 지속 기간(42)까지의 펄스 지속 기간의 증가를 표시한다. 참조 화살표(52)는 광 시스템에서 펄스의 최소 펄스 지속 기간(40)에 더 가까운 펄스 지속 기간(42)을 산출하기 위해 90 사이클에서 83 - 85 사이클까지의 사이클 수의 변화를 표시한다.
도 4는 도 1의 시스템(10) 이 임의의 실시예들에 따라 사용될 수 있는 디바이스(110)의 일 예를 예시한다. 시스템(10)은 임의의 적절한 레이저 응용을 위해 사용될 수 있다. 응용들의 예들은 외과 수술 또는 진단 응용들과 같은, 과학 및 의료 응용들을 포함한다. 예를 들면, 시스템(10)은 후술되는 것, 다광자 분광계, 또는 다른 진단 시스템과 같은, 레이저 외과 수술 시스템과 함께 사용될 수 있다.
임의의 실시예들에서, 디바이스(110)는 눈(122) 상에 레이저 굴절 수술을 수행한다. 디바이스(110)는 예에 도시된 바와 같이 결합되는 레이저 디바이스(115), 환자 어댑터(120), 제어 컴퓨터(130), 및 메모리(132)를 포함한다. 레이저 디바이스(115)는 예에 도시된 바와 같이 결합되는 레이저원(112), 스캐너(116), 하나 이상의 광학 요소들(117), 및/또는 포커싱 대물렌즈(118)를 포함할 수 있다. 환자 어댑터(120)는 도시된 바와 같이 결합되는 접촉 요소(124)(샘플로부터 외부로 배치되는 접합 면(126)을 갖는) 및 슬리브(128)를 포함할 수 있다. 메모리(132)는 제어 프로그램(134)을 저장한다.
레이저원(112)은 도 1의 레이저원(20)과 유사할 수 있고, 광학 요소들(117) 및 포커싱 대물렌즈(118)는 광학 요소들(24)과 유사할 수 있다. 스캐너(116), 광학 요소들(117), 및 포커싱 대물렌즈(118)는 빔 경로에 있고 응용에 따라 빔 경로로부터 용이하게 제거될 수 있다. 스캐너(116)는 레이저 빔(114)의 초점을 횡으로(x 및 y 방향들) 그리고 종으로(z 방향) 제어한다. 하나(또는 그 이상의) 광학 요소들(117)은 포커싱 대물렌즈(118)를 향해 레이저 빔(114)을 지향시킨다. 포커싱 대물렌즈(118)는 환자 어댑터(120) 위에 레이저 빔(114)을 포커싱하고, 환자 어댑터(120)에 분리가능하게 결합될 수 있다. 환자 어댑터(120)는 눈(122)의 각막과 인터페이스한다. 예에서, 환자 어댑터(120)는 접촉 요소(124)에 결합되는 슬리브(128)를 갖는다. 슬리브(128)는 포커싱 대물렌즈(118)에 결합된다.
제어 컴퓨터(130)는 제어가능 구성요소들, 예를 들면 레이저원(112), 스캐너(116), 및/또는 적어도 하나의 광학 요소(117)를, 제어 프로그램(134)에 따라 제어한다. 제어 프로그램(134)은 제어가능 구성요소들에 영역의 적어도 일부를 광파괴하기 위해 각막의 영역에서 펄스된 레이저 방사선을 포커싱하도록 지시하는 컴퓨터 코드를 포함한다.
본 명세서에 개시된 시스템들 및 장치들의 구성요소(제어 컴퓨터(130)와 같은)는 인터페이스, 로직, 메모리, 및/또는 다른 적절한 요소를 포함할 수 있으며, 그 중 임의의 것은 하드웨어 및/또는 소프트웨어를 포함할 수 있다. 인터페이스는 입력을 수신하고, 출력을 전송하고, 입력 및/또는 출력을 프로세싱하며, 및/또는 다른 적절한 동작들을 수행할 수 있다. 로직은 구성요소의 동작들을 수행할 수 있으며, 예를 들면, 입력으로부터 출력을 생성하기 위해 지시들을 실행할 수 있다. 로직은 메모리에 인코딩될 수 있으며 컴퓨터에 의해 실행될 때 동작들을 수행할 수 있다. 로직은 하나 이상의 컴퓨터들, 하나 이상의 마이크로프로세서들, 하나 이상의 애플리케이션들, 및/또는 다른 로직과 같이, 프로세서일 수 있다. 메모리는 정보를 저장할 수 있으며 하나 이상의 유형의, 컴퓨터-판독 가능한 및/또는 컴퓨터-실행 가능한 저장 매체를 포함할 수 있다. 메모리의 예들은 컴퓨터 메모리(예를 들면, 랜덤 액세스 메모리(RAM) 또는 판독 전용 메모리(ROM)), 대량 저장 미디어(예를 들면, 하드 디스크), 착탈 가능한 저장 미디어(예를 들면, 콤팩트 디스크(CD) 또는 디지털 비디오 디스크(DVD)), 데이터베이스 및/또는 네트워크 저장 장치(예를 들면, 서버), 및/또는 다른 컴퓨터-판독 가능한 미디어를 포함한다.
특정한 실시예들에서, 실시예들의 동작들은 컴퓨터 프로그램, 소프트웨어, 컴퓨터 실행 가능한 지시들, 및/또는 컴퓨터에 의해 실행될 수 있는 지시들로 인코딩된 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능한 미디어에 의해 수행될 수 있다. 특정한 실시예들에서, 동작들은 컴퓨터 프로그램을 저장하고, 그것과 함께 구체화되고, 및/또는 그것으로 인코딩되고, 및/또는 저장된 및/또는 인코딩된 컴퓨터 프로그램을 가진 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능한 미디어에 의해 수행될 수 있다. 본 발명은 임의의 실시예들에 대해 설명되었으나, 실시예의 변형들(예를 들어, 변경들, 대체들, 추가들, 생략들 및/또는 다른 변형들)이 이 기술 분야에 통상의 지식을 가진 자에게는 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 실시예들에 여러 변형들이 이루어질 수 있다. 예를 들면, 본문에 개시된 시스템들과 장치들에 대한 변형들이 이루어질 수 있다. 시스템들과 장치들의 구성요소들은 통합되거나, 분리될 수 있고, 시스템들과 장치들의 동작들은 보다 많은, 보다 적은, 또는 기타 구성요소들에 의해 수행될 수 있다. 또 다른 예시로서, 본문에 개시된 방법들에 대한 변형들이 이루어질 수 있다. 방법들은 더 많거나, 소수이거나 다른 단계들을 포함할 수 있고, 단계들은 임의의 적절한 순서로 수행될 수 있다.
본 발명의 범위에서 벗어나지 않고서 기타 변형들이 가능하다. 예를 들면, 본 상세한 설명은 특정 실제 응용들에서 실시예들을 도시하지만, 다른 응용들도 이 기술 분야에 통상의 지식을 가진 자들에게는 명백할 것이다. 나아가, 본 명세서에 설명된 기술 분야에서 장래 개발들이 발생될 것이고, 개시된 시스템들, 장치들 및 방법들은 이러한 장래 개발 기술들과 함께 사용될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 설명에 대해 결정되지 않아야 한다. 특허 법규들에 따라, 상기 설명은 대표적인 실시예들을 이용하여 본 발명의 원리들 및 모드들을 설명 및 예시한다. 설명은 이 기술분야의 다른 숙련자들이 다양한 실시예들에서 및 다양한 변형들을 갖고 시스템들, 장치들, 및 방법들을 이용할 수 있게 하지만, 본 발명의 범위를 결정하기 위해 사용되지 않아야 한다.
본 발명의 범위는 청구범위와 상기 청구범위에 대한 등가물들의 전체 범위에 대해 판정되어야 한다. 모든 청구범위의 용어들은 본문에서 명확하게 달리 지시가 주어지지 않는다면, 당업자들에 의해 이해되는바 그의 가장 넓고 합리적인 구조들 및 일반적인 의미들로 주어져야 한다. 예를 들면, “일”, “상기” 등과 같은 단수 용어들의 사용은, 청구항이 달리 명시적인 제한을 인용하지 않으면, 지시된 요소들 중 하나 이상을 인용하도록 판독되어야 한다. 또 다른 예로서, “각각”은 한 세트의 각각의 멤버 또는 세트의 서브세트의 각각의 멤버를 언급하며, 여기에서 한 세트는 0, 1, 또는 1 이상의 요소를 포함할 수 있다. 요컨대, 본 발명은 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위는 설명을 참조하지 않지만, 청구항들 및 등가물들의 그 전체 범위를 참조하여 결정되어야 한다.

Claims (16)

  1. 하나 이상의 레이저 펄스들을 방출하도록 구성된 레이저원 ― 상기 레이저원은 재생 증폭기를 포함함 ―;
    상기 하나 이상의 레이저 펄스들의 펄스 길이를 변화시키는 하나 이상의 광학 요소들;
    상기 펄스 길이의 상기 변화를 검출하기 위해 상기 하나 이상의 레이저 펄스들의 상기 펄스 길이를 측정하도록 구성되는 감시 디바이스; 및
    제어 컴퓨터를 포함하고,
    상기 제어 컴퓨터는,
    상기 감시 디바이스로부터 측정된 상기 펄스 길이를 수신하고;
    상기 펄스 길이의 상기 변화를 보상하는 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하며 ― 상기 하나 이상의 레이저 파라미터들은 상기 재생 증폭기의 사이클 수를 포함함 ―;
    상기 펄스 길이의 검출된 변화를 보상하기 위해 상기 사이클 수를 조정하도록 상기 레이저원에 지시함으로써, 상기 하나 이상의 레이저 파라미터들에 따라 상기 레이저원을 제어하도록 구성되는,
    시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 펄스 길이의 상기 변화는 펄스 길이의 증가 또는 감소인,
    시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 감시 디바이스는 상기 하나 이상의 광학 요소들의 포커싱 대물렌즈로부터의 출력인 상기 하나 이상의 레이저 펄스들의 상기 펄스 길이를 측정하도록 구성되는,
    시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어 컴퓨터는 펄스 길이의 상기 변화를 보상하기 위해 양의 또는 음의 처프(chirp)를 도입하는 하나 이상의 파라미터들을 결정함으로써 상기 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하도록 구성되는,
    시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 하나 이상의 광학 요소들은 상기 레이저 펄스들에서 음의 처프를 발생시킴으로써 상기 펄스 길이를 변화시키고;
    상기 제어 컴퓨터는 상기 펄스 길이의 상기 변화를 보상하기 위해 양의 또는 음의 처프를 도입하는 하나 이상의 파라미터들을 결정함으로써 상기 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하도록 구성되는,
    시스템.
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 하나 이상의 레이저 파라미터들은 펄스 길이의 상기 변화를 실질적으로 보상하는,
    시스템.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 하나 이상의 레이저 파라미터들은 펄스 길이의 상기 변화를 부분적으로 보상하는,
    시스템.
  9. 레이저원에 의해, 하나 이상의 레이저 펄스들을 방출하는 단계 ― 상기 레이저원은 재생 증폭기를 포함함 ―;
    하나 이상의 광학 요소들에 의해, 상기 하나 이상의 레이저 펄스들의 펄스 길이를 변화시키는 단계;
    상기 펄스 길이의 상기 변화를 검출하기 위해, 감시 디바이스에 의해, 상기 하나 이상의 레이저 펄스들의 상기 펄스 길이를 측정하는 단계;
    제어 컴퓨터에서, 상기 감시 디바이스로부터 측정된 상기 펄스 길이를 수신하는 단계;
    상기 제어 컴퓨터에 의해, 상기 펄스 길이의 상기 변화를 보상하는 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하는 단계 ― 상기 하나 이상의 레이저 파라미터들은 상기 재생 증폭기의 사이클 수를 포함함 ―; 및
    상기 제어 컴퓨터에 의해, 상기 펄스 길이의 검출된 변화를 보상하기 위해 상기 사이클 수를 조정하도록 상기 레이저원에 지시함으로써, 상기 하나 이상의 레이저 파라미터들에 따라 상기 레이저원을 제어하는 단계를 포함하는,
    방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 펄스 길이의 상기 변화는 펄스 길이의 증가 또는 감소인,
    방법.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 측정하는 단계는 상기 하나 이상의 광학 요소들의 포커싱 대물렌즈로부터의 출력인 상기 하나 이상의 레이저 펄스들의 상기 펄스 길이를 측정하는 단계를 포함하는,
    방법.
  12. 청구항 9에 있어서,
    상기 하나 이상의 레이저 파라미터들을 상기 결정하는 단계는 펄스 길이의 상기 변화를 보상하기 위해 양의 또는 음의 처프를 도입하는 하나 이상의 파라미터들을 결정하는 단계를 포함하는,
    방법.
  13. 청구항 9에 있어서,
    상기 하나 이상의 광학 요소들은 상기 레이저 펄스들에서 음의 처프를 발생시킴으로써 상기 펄스 길이를 변화시키고;
    상기 하나 이상의 레이저 파라미터들을 상기 결정하는 단계는 상기 펄스 길이의 상기 변화를 보상하기 위해 양의 처프를 도입하는 하나 이상의 파라미터들을 결정하는 단계를 포함하는,
    방법.
  14. 삭제
  15. 청구항 9에 있어서,
    상기 하나 이상의 레이저 파라미터들은 펄스 길이의 상기 변화를 실질적으로 보상하는,
    방법.
  16. 청구항 9에 있어서,
    상기 하나 이상의 레이저 파라미터들은 펄스 길이의 상기 변화를 부분적으로 보상하는,
    방법.
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