RU2014990C1 - Бесконечная полировальная лента - Google Patents
Бесконечная полировальная лента Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014990C1 RU2014990C1 SU5008466A RU2014990C1 RU 2014990 C1 RU2014990 C1 RU 2014990C1 SU 5008466 A SU5008466 A SU 5008466A RU 2014990 C1 RU2014990 C1 RU 2014990C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- abrasive
- tape
- fabric
- endless belt
- base
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
Использование: для шлифовки и полировки изделий, в частности для полирования пластин полупроводниковых материалов. Сущность изобретения: лента выполнена из мешковой лавсановой ткани в виде бесконечной тканевой основы. Рабочая поверхность ленты выполнена в виде ворса из синтетического волокна, закрепленного с помощью клея и наполнителя на основе. 1 ил.
Description
Изобретение относится к инструменту для шлифовки и полировки изделий. Это может быть использовано для полирования пластин полупроводниковых материалов.
Из литературы известно, что более высокая стойкость инструмента при меньшей глубине нарушенного слоя обеспечивается свободным абразивом. Поэтому при обработке полупроводниковых материалов применяют преимущественно свободный абразив, используя в качестве носителя винилискожу-Т замшевую галантерейную ТУ 17-1127-74. Она представляет собой тканевую основу с покрытием из высокополимерной смолы и клеящегося вещества с нанесенным на него электростатическим методом ворсом, изготовленным из искусственного волокна. Материал поставляется в виде рулонов и используется на круглых полировальниках, к которым он приклеивается или крепится механическим путем. При этом имеют место значительные отходы при вырезке круглых заготовок из рулонного материала. Использовать же этот носитель для более прогрессивного инструмента - бесконечной ленты - не представляется возможным из-за ненадежности стыка и большой вытяжки самой тканевой основы при применении абразивных суспензий на спиртовой основе.
Известна бесконечная полировальная лента для шлифования и полирования изделия, основа которой выполнена в виде бесшовного тканевого рукава из лавсановых нитей, на которую с помощью клея наносится связанный абразив. Недостатком таких лент является то, что эти ленты пригодны для работы только со связанным абразивом.
Цель изобретения - создание бесконечной ленты, позволяющей применение свободного абразива. Эта цель достигается, если наружный слой бесконечной полировальной ленты на бесшовной тканевой основе выполнить в виде ворса из синтетического волокна, закрепив его на основе с помощью клея и наполнителя, а тканевую основу выполнить из мешковой лавсановой ткани.
При такой конструкции носителя абразива внутренний слой с наполнителем, являясь несущей основой, воспринимает силовую нагрузку и не пропускает через себя абразив, а наружный ворсистый слой удерживает абразив вместе с суспензией.
Известно использование ткани с ворсом синтетического волокна (искусственная замша). Использование лавсановой ткани в виде мешковины придало бесконечной ленте важное качество - нерастяжимость в условиях смачивания абразивной суспензии на спирту. Это ее свойство было установлено в результате проведения серии опытов. Напротив, хлопчатобумажная ткань в условиях смачивания спиртовой суспензией растягивается и вскоре становится непригодной, так как не обеспечивает необходимые натяжение и прочность ленты. Этим же отрицательным свойством обладает и замшевая галантерейная кожа - Т.
На чертеже показана описываемая бесшовная бесконечная лента. Лента содержит внутренний слой 1 из мешковой лавсановой ткани в виде рукава, наполнитель 2 из высокополимерной смолы, слой клея 3 и ворс 4. Нанесение наполнителя и клеящего вещества производится вначале на одну сторону мешковой ткани, а затем на другую.
Испытание ленты производили на станке двухсторонней полировки. Испытывались одновременно две ленты: одна для обработки верхней плоскости пластин, а другая - для нижней.
Ленты перемещались в противоположных направлениях со скоростью 1,5 м/с. Обрабатываемым пластинам сообщалось возвратно-поступательное движение в направлении, перпендикулярном направлению движения лент. Для обработки использовалась алмазная паста с размером зерна абразива 0,3-2,1 мкм. Внутренний слой ленты был изготовлен из мешковой ткани с плотностью укладки нити по утку и по основе 25 ниток на 1 см.
Амплитуда перемещения пластин составляла 35 мм, число двойных ходов в минуту - 120.
Обработке подвергались пластины из кремния монокристаллического ориентации III диаметром 60 мм после шлифовки связанным абразивом. Время обработки составило 12 мин. Среднее арифметическое отклонение профиля неровностей пластин после обработки составило 0,020 мкм, что соответствует 12-му классу шероховатости. Отклонение от плоскостности составило ±1 мкм.
Claims (1)
- БЕСКОНЕЧНАЯ ПОЛИРОВАЛЬНАЯ ЛЕНТА, основа которой выполнена в виде тканевого рукава из лавсановых нитей, отличающаяся тем, что тканевый рукав основы выполнен из мешковины, а рабочая поверхность ленты выполнена в виде ворса из синтетического волокна, закрепленного на основе.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5008466 RU2014990C1 (ru) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | Бесконечная полировальная лента |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5008466 RU2014990C1 (ru) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | Бесконечная полировальная лента |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2014990C1 true RU2014990C1 (ru) | 1994-06-30 |
Family
ID=21588462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU5008466 RU2014990C1 (ru) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | Бесконечная полировальная лента |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2014990C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1483182A2 (en) * | 2002-03-12 | 2004-12-08 | Lam Research Corporation | Reinforced chemical mechanical planarization belt |
-
1991
- 1991-11-06 RU SU5008466 patent/RU2014990C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР N 833438, кл. B 24D 11/00, 1979. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1483182A2 (en) * | 2002-03-12 | 2004-12-08 | Lam Research Corporation | Reinforced chemical mechanical planarization belt |
EP1483182A4 (en) * | 2002-03-12 | 2007-04-25 | Lam Res Corp | REINFORCED STRAPS FOR CHEMICAL-MECHANICAL-PLANARIZATION |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5607345A (en) | Abrading apparatus | |
RU2357850C2 (ru) | Шлифовальный элемент | |
US3605349A (en) | Abrasive finishing article | |
CA2792573C (en) | Non-abrasive back coat for coated abrasives | |
US20060141918A1 (en) | Endless abrasive belt and method of making the same | |
FR2475965A1 (fr) | Perfectionnements apportes aux feuilles abrasives et de polissage | |
US5908680A (en) | Replaceable roll covers with repositionable pressure sensitive adhesive | |
JPS61175357U (ru) | ||
EP1967621A2 (en) | Abrasive backing and abrasive cloth | |
EP0045408B1 (en) | Flexible coated abrasive sheet material | |
RU2014990C1 (ru) | Бесконечная полировальная лента | |
KR19990087523A (ko) | 신속 교체식 롤 커버 | |
US6988941B2 (en) | Engaging assembly for abrasive back-up pad | |
ES2115334T3 (es) | Armazon textil utilizable para la realizacion de materiales compuestos. | |
US2309305A (en) | Abrasive article | |
US3316072A (en) | Abrasive coated backing of sheathed synthetic fiber yarns | |
KR100914770B1 (ko) | 발포형 연마 제품 및 그 제조방법 | |
GB1475986A (en) | Belts | |
US2288649A (en) | Multiple cloth backing for flexible abrasive articles | |
JPH0288165A (ja) | ポリッシングパッド及びその製造方法 | |
JPH0355170A (ja) | 研磨ベルトおよび研磨機 | |
US6589106B1 (en) | Consumable polishing element, particularly for finishing optical glass | |
JP2000052257A (ja) | バ フ | |
KR100581614B1 (ko) | 정밀연마용 클리닝 테이프 | |
CN219359123U (zh) | 研磨垫 |