RU2014120187A - Способ измерения толщины слоя покрытия посредством наведения магнитных полей - Google Patents
Способ измерения толщины слоя покрытия посредством наведения магнитных полей Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014120187A RU2014120187A RU2014120187/28A RU2014120187A RU2014120187A RU 2014120187 A RU2014120187 A RU 2014120187A RU 2014120187/28 A RU2014120187/28 A RU 2014120187/28A RU 2014120187 A RU2014120187 A RU 2014120187A RU 2014120187 A RU2014120187 A RU 2014120187A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- calibration
- indicator
- values
- frequencies
- rev
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
- G01B7/105—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
1. Способ измерения толщины слоя покрытия (Rev) детали (P), нанесенного на подложку (Sub) этой детали (P), причем покрытие (Rev) и подложка (Sub) соответственно выполнены из отличных друг от друга первого и второго электропроводящих материалов, включающий следующие этапы, на которых:позиционируют средства индукции (Mind) относительно слоя покрытия (Rev) и подают питание на эти средства индукции (Mind) при помощи по меньшей мере одного переменного электрического сигнала (S) для наведения в детали магнитного поля (В), зависящего от электрического сигнала питания (S);измеряют по меньшей мере одну физическую характеристику (Zn), изменяющуюся в зависимости от наведенного в детали (P) магнитного поля (B);определяют первое и второе значения (σ1, σ2) показателя (σn), причем этот показатель (σn) зависит по меньшей мере от удельной электрической проводимости (σrev) первого материала и от частоты (Fn) электрического сигнала питания (S), при этом первое значение (σ1) показателя определяют на основании измерения указанной по меньшей мере одной физической характеристики (Z1), выполненного, когда электрический сигнал (S) имеет первую заданную частоту (F1), и второе значение (σ2) показателя определяют на основании измерения указанной по меньшей мере одной физической характеристики (Z2), выполненного, когда электрический сигнал (S) имеет вторую заданную частоту (F2), отличную от первой частоты (F1); затемвычисляют разность между первым и вторым значениями (σ1, σ2) показателя и определяют толщину слоя покрытия (e) в зависимости от этой разности и от заранее определенных данных, связывающих разность между значениями показателя (σ1, σ2) с соответствующими значениями толщин слоя
Claims (10)
1. Способ измерения толщины слоя покрытия (Rev) детали (P), нанесенного на подложку (Sub) этой детали (P), причем покрытие (Rev) и подложка (Sub) соответственно выполнены из отличных друг от друга первого и второго электропроводящих материалов, включающий следующие этапы, на которых:
позиционируют средства индукции (Mind) относительно слоя покрытия (Rev) и подают питание на эти средства индукции (Mind) при помощи по меньшей мере одного переменного электрического сигнала (S) для наведения в детали магнитного поля (В), зависящего от электрического сигнала питания (S);
измеряют по меньшей мере одну физическую характеристику (Zn), изменяющуюся в зависимости от наведенного в детали (P) магнитного поля (B);
определяют первое и второе значения (σ1, σ2) показателя (σn), причем этот показатель (σn) зависит по меньшей мере от удельной электрической проводимости (σrev) первого материала и от частоты (Fn) электрического сигнала питания (S), при этом первое значение (σ1) показателя определяют на основании измерения указанной по меньшей мере одной физической характеристики (Z1), выполненного, когда электрический сигнал (S) имеет первую заданную частоту (F1), и второе значение (σ2) показателя определяют на основании измерения указанной по меньшей мере одной физической характеристики (Z2), выполненного, когда электрический сигнал (S) имеет вторую заданную частоту (F2), отличную от первой частоты (F1); затем
вычисляют разность между первым и вторым значениями (σ1, σ2) показателя и определяют толщину слоя покрытия (er) в зависимости от этой разности и от заранее определенных данных, связывающих разность между значениями показателя (σ1, σ2) с соответствующими значениями толщин слоя покрытия (Rev).
2. Способ по п. 1, в котором указанным показателем (σn), зависящим, по меньшей мере, от удельной проводимости (σrev) первого материала (Rev) и от частоты (Fn) электрического сигнала питания (S), является удельная проводимость (σn) участка детали (P), через который проходит магнитное поле (B).
3. Способ по п. 2, в котором для получения заранее определенных данных:
используют ряд калибровочных образцов (A, B, C, D, E, F, G, H, I), каждый из которых содержит положку (Sub) из указанного второго материала и слой (Rev) из указанного первого материала, при этом каждый из калибровочных образцов имеет известную толщину слоя покрытия; и
для каждого калибровочного образца выполняют по меньшей мере одну серию измерений, во время которых позиционируют средства индукции электромагнитного поля (Mind) относительно слоя калибровочного образца и оценивают первое и второе калибровочные значения, которые являются значениями, принимаемыми указанным показателем, при этом первое калибровочное значение определяют на основании по меньшей мере одного измерения указанной по меньшей мере одной физической характеристики (Zeta1), когда в средства индукции (Mind) подают первый калибровочный сигнал (Seta) с частотой, равной указанной первой частоте (F1), и второе калибровочное значение определяют на основании по меньшей мере одного измерения по меньшей мере одной физической характеристики (Zeta2), когда в средства индукции (Mind) подают второй калибровочный сигнал (Seta) с частотой, равной указанной второй частоте (F2); и
для каждого калибровочного образца записывают данные, связывающие известную толщину (δlim) слоя покрытия (Rev), первую и вторую частоты (F1, F2) и первое и второе калибровочные значения.
4. Способ по п. 2, в котором указанные первое и второе калибровочные значения соответственно являются значениями удельной проводимости, вычисленными в зависимости от измерений сопротивления (Zeta), выполненных на указанных калибровочных образцах.
5. Способ по любому из пп. 1-4, в котором указанные первую и вторую частоты (F1, F2) выбирают таким образом, чтобы электромагнитное поле (B), генерируемое средствами индукции (Mind), имело глубину проникновения (δn) внутрь второго материала, меньшую трех четвертей толщины подложки (Sub), предпочтительно меньшую половины толщины подложки и еще предпочтительнее меньшую одной трети толщины подложки.
6. Способ по п. 5, в котором значение глубины проникновения электромагнитного поля во второй материал, называемой стандартной глубиной проникновения δn в материал, определяют по формуле:
где δ - глубина проникновения в метрах;
σ - удельная электрическая проводимость (См/м) материала, через который проходит индуцируемое поле;
µr - магнитная проницаемость материала, через который проходит поле;
Fn - частота в герцах сигнала (S), применяемого для питания средств индукции (Mind) и для генерирования электромагнитного поля (Bn) в материале.
7. Способ по любому из пп. 1-4, 6, в котором для определения значений первой и второй частот (F1, F2):
(A) на каждом образце из совокупности образцов предварительной калибровки (A, B, C, D, E, F, G, H, I) с известными и разными значениями толщины слоев покрытия выполняют серию измерений предварительной калибровки на разных частотах (Fn) заранее определенного ряда частот предварительной калибровки, при этом каждое измерение предварительной калибровки этой серии измерений выполняют следующим образом:
позиционируют средства электромагнитной индукции (Mind) по отношению к слою (Rev) образца предварительной калибровки и подают питание на средства индукции (Mind) при помощи переменного электрического сигнала предварительной калибровки, чтобы навести в образце предварительной калибровки магнитное поле (B), зависящее от электрического сигнала предварительной калибровки; и
измеряют физическую характеристику (Zn), изменяющуюся в зависимости от магнитного поля (B), индуцируемого в образце предварительной калибровки, и на основании результата измерения физической характеристики (Zn) определяют значение, принимаемое в качестве показателя (σn), зависящего от удельной проводимости (σRev) первого материала слоя покрытия образца предварительной калибровки и от частоты (Fn) сигнала предварительной калибровки в момент измерения; затем
B) для каждого образца предварительной калибровки с известной толщиной слоя вычисляют все возможные разности между значениями показателя, определенными с этим образцом предварительной калибровки, и с каждой вычисленной таким образом разностью связывают пару частот, которые соответственно использовались для определения этих значений показателя;
C) определяют указанные первую и вторую частоты (F1, F2), выбирая среди различных пар частот по меньшей мере одну из этих пар, обеспечивающую заранее определенный минимальный уровень взаимосвязи между:
разностями значений показателя (σn), определенными для образцов ряда образцов предварительной калибровки; и
значениями толщины слоев покрытия (Rev) этих образцов предварительной калибровки,
при этом частоты выбранной пары представляют собой указанные первую и вторую частоты (F1, F2).
8. Способ по п. 7, в котором физическая характеристика (Zn), изменяющаяся в зависимости от магнитного поля (B), индуцируемого в образце предварительной калибровки, является сопротивлением (Zn), а показатель, зависящий по меньшей мере от удельной проводимости первого материала слоя покрытия образца предварительной калибровки, является удельной проводимостью (σn) части образца предварительной калибровки.
9. Способ по п. 5, в котором для определения значений первой и второй частот (F1, F2):
(A) на каждом образце из совокупности образцов предварительной калибровки (A, B, C, D, E, F, G, H, I) с известными и разными значениями толщины слоев покрытия выполняют серию измерений предварительной калибровки на разных частотах (Fn) заранее определенного ряда частот предварительной калибровки, при этом каждое измерение предварительной калибровки этой серии измерений выполняют следующим образом:
позиционируют средства электромагнитной индукции (Mind) по отношению к слою (Rev) образца предварительной калибровки и подают питание на средства индукции (Mind) при помощи переменного электрического сигнала предварительной калибровки, чтобы навести в образце предварительной калибровки магнитное поле (B), зависящее от электрического сигнала предварительной калибровки; и
измеряют физическую характеристику (Zn), изменяющуюся в зависимости от магнитного поля (B), индуцируемого в образце предварительной калибровки, и на основании результата измерения физической характеристики (Zn) определяют значение, принимаемое в качестве показателя (σn), зависящего от удельной проводимости (σRev) первого материала слоя покрытия образца предварительной калибровки и от частоты (Fn) сигнала предварительной калибровки в момент измерения; затем
B) для каждого образца предварительной калибровки с известной толщиной слоя вычисляют все возможные разности между значениями показателя, определенными с этим образцом предварительной калибровки, и с каждой вычисленной таким образом разностью связывают пару частот, которые соответственно использовались для определения этих значений показателя;
C) определяют указанные первую и вторую частоты (F1, F2), выбирая среди различных пар частот по меньшей мере одну из этих пар, обеспечивающую заранее определенный минимальный уровень взаимосвязи между:
разностями значений показателя (σn), определенными для образцов ряда образцов предварительной калибровки; и
значениями толщины слоев покрытия (Rev) этих образцов предварительной калибровки,
при этом частоты выбранной пары представляют собой указанные первую и вторую частоты (F1, F2).
10. Способ по п. 9, в котором физическая характеристика (Zn), изменяющаяся в зависимости от магнитного поля (B), индуцируемого в образце предварительной калибровки, является сопротивлением (Zn), а показатель, зависящий по меньшей мере от удельной проводимости первого материала слоя покрытия образца предварительной калибровки, является удельной проводимостью (σn) части образца предварительной калибровки.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1159513 | 2011-10-20 | ||
FR1159513A FR2981741B1 (fr) | 2011-10-20 | 2011-10-20 | Procede de mesure d'epaisseur d'une couche de revetement par induction de champs magnetiques |
PCT/EP2012/070599 WO2013057157A1 (fr) | 2011-10-20 | 2012-10-17 | Procede de mesure d'epaisseur d'une couche de revetement par induction de champs magnetiques |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2014120187A true RU2014120187A (ru) | 2015-11-27 |
Family
ID=47040736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014120187/28A RU2014120187A (ru) | 2011-10-20 | 2012-10-17 | Способ измерения толщины слоя покрытия посредством наведения магнитных полей |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10006752B2 (ru) |
EP (1) | EP2769174B1 (ru) |
CN (1) | CN103890536B (ru) |
BR (1) | BR112014009357A2 (ru) |
CA (1) | CA2851415C (ru) |
FR (1) | FR2981741B1 (ru) |
RU (1) | RU2014120187A (ru) |
WO (1) | WO2013057157A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103575202A (zh) * | 2012-08-06 | 2014-02-12 | 富泰华工业(深圳)有限公司 | 具有测量涂覆层厚度功能的电子装置及测试系统 |
US10203202B2 (en) * | 2014-04-07 | 2019-02-12 | John Weber Schultz | Non-contact determination of coating thickness |
ITUB20153029A1 (it) * | 2015-08-10 | 2017-02-10 | Danieli Automation Spa | Metodo per la misura a caldo, durante la laminazione, di una dimensione di profili metallici |
IT201700021397A1 (it) * | 2017-02-24 | 2018-08-24 | Technoprobe Spa | Testa di misura con migliorate proprietà in frequenza |
GB2580045A (en) * | 2018-12-20 | 2020-07-15 | Airbus Operations Ltd | Aircraft glazing unit |
CN113028944B (zh) * | 2021-03-31 | 2022-09-13 | 九江职业技术学院 | 一种新型楼板厚度检测装置 |
CN115195168A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-10-18 | 江苏翔茜管业有限公司 | 一种钢丝网骨架复合管及其生产方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SK141697A3 (en) * | 1995-06-29 | 1998-05-06 | Bekaert Sa Nv | Method and apparatus for measuring the thickness of a non-ferromagnetic conductive layer on a ferromagnetic conductive substrate |
SE508354C2 (sv) * | 1996-07-05 | 1998-09-28 | Asea Atom Ab | Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek |
WO1999026062A1 (en) * | 1997-11-14 | 1999-05-27 | Jentek Sensors, Inc. | Multiple frequency quantitative coating characterization |
US6366083B1 (en) * | 1999-09-17 | 2002-04-02 | Framatome Anp Inc. | Method for measuring the thickness of oxide layer underlying crud layer containing ferromagnetic material on nuclear fuel rods |
US20030210041A1 (en) * | 2000-04-07 | 2003-11-13 | Le Cuong Duy | Eddy current measuring system for monitoring and controlling a chemical vapor deposition (CVD) process |
US6593737B2 (en) * | 2000-08-24 | 2003-07-15 | Shell Oil Company | Method for measuring the wall thickness of an electrically conductive object |
ITFI20020077A1 (it) * | 2002-05-10 | 2003-11-10 | Galileo Vacuum Systems S R L | Dispositivo per la determinazione dello spessore di uno strato conduttivo |
US7112960B2 (en) * | 2003-07-31 | 2006-09-26 | Applied Materials, Inc. | Eddy current system for in-situ profile measurement |
DE102004034081A1 (de) * | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur berührungsfreien Bestimmung einer Dicke einer Schicht aus elektrisch leitendem Material |
DE102006025356A1 (de) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Siemens Ag | Verfahren zum Bestimmen der Schichtdicke einer elektrisch leitfähigen Beschichtung auf einem elektrisch leitfähigen Substrat |
CN101398286A (zh) * | 2008-11-10 | 2009-04-01 | 王洋 | 用于非铁磁性材料的厚度以及铁制品表面涂层厚度测量的仪器 |
-
2011
- 2011-10-20 FR FR1159513A patent/FR2981741B1/fr active Active
-
2012
- 2012-10-17 US US14/350,398 patent/US10006752B2/en active Active - Reinstated
- 2012-10-17 RU RU2014120187/28A patent/RU2014120187A/ru not_active Application Discontinuation
- 2012-10-17 EP EP12773329.3A patent/EP2769174B1/fr active Active
- 2012-10-17 CN CN201280051368.XA patent/CN103890536B/zh active Active
- 2012-10-17 WO PCT/EP2012/070599 patent/WO2013057157A1/fr active Application Filing
- 2012-10-17 CA CA2851415A patent/CA2851415C/fr active Active
- 2012-10-17 BR BR112014009357A patent/BR112014009357A2/pt not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013057157A1 (fr) | 2013-04-25 |
US10006752B2 (en) | 2018-06-26 |
FR2981741A1 (fr) | 2013-04-26 |
EP2769174B1 (fr) | 2018-09-05 |
US20140324384A1 (en) | 2014-10-30 |
BR112014009357A2 (pt) | 2017-04-18 |
CN103890536A (zh) | 2014-06-25 |
CA2851415C (fr) | 2016-06-21 |
CA2851415A1 (fr) | 2013-04-25 |
EP2769174A1 (fr) | 2014-08-27 |
FR2981741B1 (fr) | 2013-11-29 |
CN103890536B (zh) | 2016-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2014120187A (ru) | Способ измерения толщины слоя покрытия посредством наведения магнитных полей | |
SE508354C2 (sv) | Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek | |
US20130085685A1 (en) | Method And Arrangement For Crack Detection In A Metallic Material | |
RU2014122120A (ru) | Усовершенствованные устройство, способ и система для измерения удельного сопротивления | |
WO2010029465A3 (en) | Method and system for magnetic induction tomography | |
GB2494582A (en) | Improved determination of conductive formation orientation by making wellbore sonde error correction | |
JP2007040865A (ja) | 硬化層深さ・未焼入れ・異材判定の非破壊測定法 | |
CN109030621A (zh) | 监测裂纹的柔性二维涡流阵列传感器及其使用方法 | |
CN109540053B (zh) | 一种基于单线圈的金属母材及表面非金属涂层快速测厚方法 | |
CN104929625B (zh) | 一种地层探测方法 | |
CN109613111A (zh) | 一种梯度螺旋涡流检测线圈及其检测方法 | |
US20210018641A1 (en) | Device, method and system for measuring resistivity of open hole formation in vertical direction | |
JP2013101129A (ja) | 渦電流センサ及び検出物判別回路 | |
CN110907999B (zh) | 一种基于被动源电场信号测量的主动源电法勘探方法 | |
SE0303610D0 (sv) | Metod och anordning för förbättring av mätnoggrannheten vid elektromagnetisk mätning av dimensioner och andra egenskaper hos ett mätobjekt | |
JP7304689B2 (ja) | 磁化できる基材上の磁化できない層の厚さを測定するための方法および機器 | |
RU2494354C1 (ru) | Способ поверки электромагнитных расходомеров без съема с трубопровода | |
RU2008117641A (ru) | Способ и устройство для определения толщины солеотложения | |
JP4192333B2 (ja) | 鋼材の変態層厚さ計測方法 | |
JP2013205179A (ja) | 導電体センサ及び導電体の検出方法 | |
RU2480708C2 (ru) | Способ и устройство для измерения толщины слоя частично кристаллизованных расплавов | |
RU2677081C1 (ru) | Вихретоковая измерительная система для контроля качества и толщины упрочняющих покрытий на металлической основе | |
RU122181U1 (ru) | Устройство для поверки магнитометров | |
CN100516865C (zh) | 评测迭片磁芯压力的方法和系统 | |
RU2379715C2 (ru) | Способ измерения проницаемости пористого пласта |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA94 | Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees) |
Effective date: 20160418 |