RU2014118753A - Вч-система для высокочастотной лампы - Google Patents

Вч-система для высокочастотной лампы Download PDF

Info

Publication number
RU2014118753A
RU2014118753A RU2014118753/07A RU2014118753A RU2014118753A RU 2014118753 A RU2014118753 A RU 2014118753A RU 2014118753/07 A RU2014118753/07 A RU 2014118753/07A RU 2014118753 A RU2014118753 A RU 2014118753A RU 2014118753 A RU2014118753 A RU 2014118753A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
signal
generator
matching
generating
proportional
Prior art date
Application number
RU2014118753/07A
Other languages
English (en)
Inventor
Хольгер ХОЙЕРМАНН
Араш ЗАДЕГХФАМ
Original Assignee
Дритте Патентпортфолио Бетайлигунгсгезелльшафт мбХ унд Ко.КГ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дритте Патентпортфолио Бетайлигунгсгезелльшафт мбХ унд Ко.КГ filed Critical Дритте Патентпортфолио Бетайлигунгсгезелльшафт мбХ унд Ко.КГ
Publication of RU2014118753A publication Critical patent/RU2014118753A/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B47/00—Circuit arrangements for operating light sources in general, i.e. where the type of light source is not relevant
    • H05B47/10—Controlling the light source
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
    • H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
    • H05B41/14—Circuit arrangements
    • H05B41/24—Circuit arrangements in which the lamp is fed by high frequency ac, or with separate oscillator frequency
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B20/00—Energy efficient lighting technologies, e.g. halogen lamps or gas discharge lamps

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
  • Input Circuits Of Receivers And Coupling Of Receivers And Audio Equipment (AREA)
  • Circuits Of Receivers In General (AREA)

Abstract

1. ВЧ-система (1), содержащая ВЧ-устройство (5), в частности ВЧ-лампу, ВЧ-свечу зажигания или подобный плазменный ВЧ-прибор, и вводящее ВЧ-сигнал устройство (3) для управления ВЧ-устройством (5), содержащая:генератор (7) для генерирования ВЧ-сигнала () для управления ВЧ-устройством (5),отличающаясясредствами (15) для генерирования сигнала напряжения (U), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), на основании ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), исигнала, отраженного ВЧ-устройством, и устройством (27), предпочтительно не содержащим микропроцессор, для генерирования сигнала управления (U) для согласования выходной частоты генератора (7) на основании сигнала напряжения (U), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5).2. ВЧ-система по п. 1,отличающаяся тем, чтосредства для генерирования сигнала напряжения (U), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), содержат по меньшей мере одно выводящее устройство (17, 19) для выведения части ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), и для выведения части сигнала, отраженного ВЧ-устройством (5).3. ВЧ-система по п. 1 или 2,отличающаяся тем, чтосредства для генерирования сигнала напряжения (U), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), содержат по меньшей мере одно устройство (21) детектирования напряжения для детектирования и вывода сигнала напряжения выведенной части (а) ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), и по меньшей мере одно дополнительное устройство (23) детектирования напряжения для детектирования и вывода сигнала напряжения выведенной части (b) сигнала, отраженного ВЧ-устройством (5).4. ВЧ-система по п. 1 или 2,отличающаяся тем, чтосредс

Claims (20)

1. ВЧ-система (1), содержащая ВЧ-устройство (5), в частности ВЧ-лампу, ВЧ-свечу зажигания или подобный плазменный ВЧ-прибор, и вводящее ВЧ-сигнал устройство (3) для управления ВЧ-устройством (5), содержащая:
генератор (7) для генерирования ВЧ-сигнала () для управления ВЧ-устройством (5),
отличающаяся
средствами (15) для генерирования сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), на основании ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), и
сигнала, отраженного ВЧ-устройством, и устройством (27), предпочтительно не содержащим микропроцессор, для генерирования сигнала управления (UA) для согласования выходной частоты генератора (7) на основании сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5).
2. ВЧ-система по п. 1,
отличающаяся тем, что
средства для генерирования сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), содержат по меньшей мере одно выводящее устройство (17, 19) для выведения части ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), и для выведения части сигнала, отраженного ВЧ-устройством (5).
3. ВЧ-система по п. 1 или 2,
отличающаяся тем, что
средства для генерирования сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), содержат по меньшей мере одно устройство (21) детектирования напряжения для детектирования и вывода сигнала напряжения выведенной части (а) ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), и по меньшей мере одно дополнительное устройство (23) детектирования напряжения для детектирования и вывода сигнала напряжения выведенной части (b) сигнала, отраженного ВЧ-устройством (5).
4. ВЧ-система по п. 1 или 2,
отличающаяся тем, что
средства для генерирования сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), содержат по меньшей мере одно устройство, в частности, в виде по меньшей мере одного операционного усилителя (25), которое на основании сигнала напряжения выведенной части (b) сигнала, отраженного ВЧ-устройством (5), и сигнала напряжения выведенной части (а) ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), генерирует сигнал напряжения (Uпроп), пропорциональный степени согласования ВЧ-устройства (5).
5. ВЧ-система по п. 1,
отличающаяся тем, что
средства для генерирования сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), содержат циркулятор, предназначенный для выведения части ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), и для выведения части сигнала (), отраженного ВЧ-устройством (5), и при необходимости детектирует и выводит соответствующие сигналы напряжения выведенных частей (а, b).
6. ВЧ-система по п. 5,
отличающаяся тем, что
предпочтительно циркулятор содержит по меньшей мере одно устройство, в частности по меньшей мере один операционный усилитель или по меньшей мере одну усилительную схему, которое на основании сигналов напряжения выведенных частей генерирует сигнал напряжения, пропорциональный степени согласования ВЧ-устройства (5).
7. ВЧ-система по любому из пп. 1, 2, 5 и 6,
отличающаяся тем, что
устройство (27), предпочтительно не содержащее микропроцессор, для генерирования сигнала управления (UA) для согласования выходной частоты генератора (7) содержит логический блок (45), содержащий по меньшей мере один, предпочтительно два логических элемента (61, 63, 59), который выводит сигнал управления для согласования входной частоты генератора (7) на основании по меньшей мере одного, предпочтительно трех состояний (Kl, K2, К3).
8. ВЧ-система по п. 7,
отличающаяся тем, что
предусмотрен сдвигающий регистр (47) для приема выходного сигнала (Y) логического блока (45).
9. ВЧ-система по п. 8,
отличающаяся тем, что
предусмотрено устройство (49) задающего генератора для тактирования выходного сигнала (Y) логического блока (45).
10. ВЧ-система по п. 7,
отличающаяся тем, что
логический блок (45) подключен к генератору (7) через фильтр (31) в цепи обратной связи для генерирования аналогового выходного напряжения (UA) для управления частотой указанного генератора (7).
11. ВЧ-система по п. 7,
отличающаяся тем, что
логический блок (45) подключен к генератору (7) через устройство накачки заряда для генерирования аналогового выходного напряжения (UA), для управления частотой указанного генератора (7).
12. ВЧ-система по п. 7,
отличающаяся тем, что
устройство (27), предпочтительно не содержащее микропроцессор, в частности логический блок (45), спроектировано так, что предназначено для генерирования аналогового выходного напряжения (UA) для управления частотой генератора (7).
13. ВЧ-система по любому из пп. 1, 2, 5 и 6,
отличающаяся тем, что
предусмотрена схема (33) сброса, которая предназначена для приведения генератора (7) в заданное состояние.
14. Вводящее сигнал устройство (3) для применения в ВЧ-системе (1) по любому из пп. 1-13.
15. Способ управления ВЧ-устройством (5), в частности ВЧ-лампой, ВЧ-свечой зажигания или подобным плазменным ВЧ-прибором, включающий
генерирование ВЧ-сигнала для управления ВЧ-устройством (5) посредством генератора (7), отличающийся
генерированием сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), на основании ВЧ-сигнала, генерируемого генератором (7), и сигнала, отраженного ВЧ-устройством (5), и
генерированием сигнала управления (UA) для согласования выходной частоты генератора (7) на основании сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5).
16. Способ по п. 15,
отличающийся
генерированием первого состояния (К1) на основании сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), перед генерированием сигнала управления (UA) для согласования выходной частоты генератора (7).
17. Способ по п.16,
отличающийся тем, что
первое состояние (К1) получают путем сравнения сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5) с заданным значением напряжения.
18. Способ по любому из пп. 15-17,
отличающийся
генерированием второго состояния (К2) на основании сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5), перед генерированием сигнала управления (UA) для согласования выходной частоты генератора (7).
19. Способ по п. 18,
отличающийся тем, что
второе состояние (К2) получают посредством получения сигнала напряжения (Uпроп), пропорционального степени согласования ВЧ-устройства (5).
20. Способ по п. 16 или 17,
отличающийся
подведением первого (К1) и второго состояния (К2) и, в частности, третьего состояния (K3) к одному или нескольким логическим элементам (59, 61, 63) и генерированием сигнала управления (UA) для согласования выходной частоты генератора (7) на основании таблицы истинности, основанной на логическом элементе или логических элементах.
RU2014118753/07A 2011-11-23 2012-11-22 Вч-система для высокочастотной лампы RU2014118753A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011055624.9 2011-11-23
DE102011055624A DE102011055624A1 (de) 2011-11-23 2011-11-23 HF-System
PCT/EP2012/073292 WO2013076174A1 (de) 2011-11-23 2012-11-22 Hf-system für eine hochfrequenzlampe

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2014118753A true RU2014118753A (ru) 2015-12-27

Family

ID=47326082

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014118753/07A RU2014118753A (ru) 2011-11-23 2012-11-22 Вч-система для высокочастотной лампы

Country Status (14)

Country Link
US (1) US9155164B2 (ru)
EP (2) EP2783553B1 (ru)
JP (1) JP2014533879A (ru)
KR (1) KR20140096149A (ru)
CN (1) CN103947298A (ru)
BR (1) BR112014012376A2 (ru)
CA (1) CA2854589A1 (ru)
DE (1) DE102011055624A1 (ru)
ES (1) ES2942568T3 (ru)
HK (1) HK1199162A1 (ru)
MX (1) MX2014006111A (ru)
RU (1) RU2014118753A (ru)
TW (1) TW201338631A (ru)
WO (1) WO2013076174A1 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013103670A1 (de) 2013-04-11 2014-10-30 Dritte Patentportfolio Beteiligungsgesellschaft Mbh & Co.Kg HF-Lampe mit dielektrischem Wellenleiter
DE102013226511B4 (de) * 2013-12-18 2016-12-15 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Leistungsversorgungssystem und Verfahren zur Erzeugung einer Leistung
DE102013226537B4 (de) 2013-12-18 2022-12-29 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Leistungsversorgungssystem mit mehreren Verstärkerpfaden sowie Verfahren zur Anregung eines Plasmas
DE102016220349A1 (de) 2016-10-18 2018-04-19 Trumpf Schweiz Ag Hochfrequenztreiberschaltung für eine akustooptische Komponente und Verfahren zum Betrieb einer HF-Treiberschaltung
DE102017206132B3 (de) 2017-04-10 2018-07-12 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Verfahren zur Erzeugung einer Hochfrequenzleistung mit einer vorgegebenen Frequenz und Leistungswandler
DE102017115438A1 (de) 2017-06-06 2018-12-06 Fricke Und Mallah Microwave Technology Gmbh Vorrichtung zum erzeugen eines plasmastrahls im mhz- und ghzbereich mit tem- und hohlleitermoden
WO2019149897A1 (de) 2018-02-02 2019-08-08 Ionics Atmosphärenplasmajet mit geradem kanülenrohr

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4044308A (en) * 1976-09-20 1977-08-23 Gte Sylvania Incorporated Communication transmitting apparatus with carrier level control
US4375051A (en) * 1981-02-19 1983-02-22 The Perkin-Elmer Corporation Automatic impedance matching between source and load
US5688357A (en) * 1995-02-15 1997-11-18 Applied Materials, Inc. Automatic frequency tuning of an RF power source of an inductively coupled plasma reactor
US6313587B1 (en) * 1998-01-13 2001-11-06 Fusion Lighting, Inc. High frequency inductive lamp and power oscillator
WO2001003161A2 (en) * 1999-07-02 2001-01-11 Fusion Lighting, Inc. Lamp, oscillator and lighting apparatus
DE19934473A1 (de) * 1999-07-27 2001-02-01 Thomson Brandt Gmbh Gerät zum Beschreiben optischer Aufzeichnungsträger
JP2001284078A (ja) * 2000-03-30 2001-10-12 Toshiba Lighting & Technology Corp 無電極放電ランプ装置
DE10243271A1 (de) * 2002-09-18 2003-12-04 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum Zünden eines Luft-Kraftstoff-Gemischs in einem Verbrennungsmotor
WO2004036776A1 (en) * 2002-10-15 2004-04-29 Sirific Wireless Corporation Dc trimming circuit for radio frequency (rf) down-conversion
US20060252283A1 (en) * 2003-08-07 2006-11-09 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus and sustrate processing method
JP2006128075A (ja) * 2004-10-01 2006-05-18 Seiko Epson Corp 高周波加熱装置、半導体製造装置および光源装置
JP4799947B2 (ja) * 2005-02-25 2011-10-26 株式会社ダイヘン 高周波電源装置および高周波電源の制御方法
WO2007126899A2 (en) * 2006-03-28 2007-11-08 Topanga Technologies Coaxial waveguide electrodeless lamp
WO2008048978A2 (en) 2006-10-16 2008-04-24 Luxim Corporation Electrodeless plasma lamp systems and methods
DE102007057581A1 (de) * 2007-11-28 2009-06-04 Fachhochschule Aachen Hochfrequenzlampe und Verfahren zu deren Betrieb
JP2009181771A (ja) * 2008-01-30 2009-08-13 Seiko Epson Corp 光源装置、光源装置の発光制御方法、およびプロジェクタ
RU2551644C2 (ru) * 2009-01-06 2015-05-27 Лаксим Корпорейшн Безэлектродная плазменная лампа (варианты)
US8723531B2 (en) * 2009-03-12 2014-05-13 Sige Semiconductor, Inc. Integrated VSWR detector for monolithic microwave integrated circuits
US8670730B2 (en) * 2011-08-24 2014-03-11 Spectralux Corporation Power efficient radio frequency transmitter
US8878432B2 (en) * 2012-08-20 2014-11-04 Varian Medical Systems, Inc. On board diagnosis of RF spectra in accelerators

Also Published As

Publication number Publication date
HK1199162A1 (en) 2015-06-19
MX2014006111A (es) 2014-09-01
DE102011055624A1 (de) 2013-05-23
EP2783553B1 (de) 2023-01-25
KR20140096149A (ko) 2014-08-04
WO2013076174A1 (de) 2013-05-30
BR112014012376A2 (pt) 2017-05-30
US9155164B2 (en) 2015-10-06
EP4181628A1 (de) 2023-05-17
JP2014533879A (ja) 2014-12-15
ES2942568T3 (es) 2023-06-02
CA2854589A1 (en) 2013-05-30
EP2783553A1 (de) 2014-10-01
CN103947298A (zh) 2014-07-23
US20150115842A1 (en) 2015-04-30
TW201338631A (zh) 2013-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014118753A (ru) Вч-система для высокочастотной лампы
WO2018217355A3 (en) MAGNETIC FIELD SENSOR WITH ERROR CALCULATION
WO2015160413A3 (en) Stabilized microwave-frequency source
ATE504884T1 (de) Signalgeneratorbasierte vorrichtungssicherheit
WO2010033436A3 (en) Techniques for generating fractional clock signals
TW200746644A (en) Clock generator with variable delay clock and method thereof
TW200710413A (en) Test circuit, delay circuit, clock generating circuit, and image sensor
TW200737730A (en) Pulse width modulation circuit
DE602007010581D1 (de) Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes
CN205427032U (zh) 一种基于锁相环的弱信号检测装置
WO2015089367A8 (en) Method for resonant frequency detection in corona ignition systems
CN104660220B (zh) 一种产生整数频率脉冲的信号发生器及信号产生方法
CN201688849U (zh) 一种机抖激光陀螺用同步采样模拟伪随机噪声注入电路
DE602005007004D1 (de) Signalskalierungsschaltung mit geschalteten kapazitäten
CN102608416B (zh) 一种基于互相关技术的双混频时差法测量系统和方法
TW200633361A (en) Oscillator circuit and oscillation control method
US9329724B2 (en) Signal processing circuit for touch screen and method for controlling the same
WO2018089121A3 (en) Frequency divider with selectable frequency and duty cycle
CN202424650U (zh) 一种用于汽车仪表检测的信号发生器
KR19990066958A (ko) 고주파 신호의 주파수 변조 방법 및 장치
WO2013126626A3 (en) High resolution pulse width modulator
GB2487116B (en) Repetition frequency control device
RU2007141584A (ru) Самосинхронный однотактный d-триггер с низким активным уровнем сигнала управления
CN203643489U (zh) 一种信号发生器
CN104198781B (zh) 一种控制交流信号输出的方法及装置

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20160211