DE602007010581D1 - Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes - Google Patents

Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes

Info

Publication number
DE602007010581D1
DE602007010581D1 DE602007010581T DE602007010581T DE602007010581D1 DE 602007010581 D1 DE602007010581 D1 DE 602007010581D1 DE 602007010581 T DE602007010581 T DE 602007010581T DE 602007010581 T DE602007010581 T DE 602007010581T DE 602007010581 D1 DE602007010581 D1 DE 602007010581D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electronic circuitry
test
automatic test
capacitors
capacitive sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE602007010581T
Other languages
English (en)
Inventor
Sylvain Grosjean
Michel M Willemin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EM Microelectronic Marin SA
Original Assignee
EM Microelectronic Marin SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EM Microelectronic Marin SA filed Critical EM Microelectronic Marin SA
Publication of DE602007010581D1 publication Critical patent/DE602007010581D1/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D18/00Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/2403Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by moving plates, not forming part of the capacitor itself, e.g. shields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P21/00Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups
DE602007010581T 2007-02-21 2007-02-21 Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes Active DE602007010581D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP07102811A EP1962063B1 (de) 2007-02-21 2007-02-21 Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE602007010581D1 true DE602007010581D1 (de) 2010-12-30

Family

ID=38659746

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE602007010581T Active DE602007010581D1 (de) 2007-02-21 2007-02-21 Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7724000B2 (de)
EP (1) EP1962063B1 (de)
AT (1) ATE488747T1 (de)
DE (1) DE602007010581D1 (de)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2228628B1 (de) * 2009-03-10 2011-09-28 EM Microelectronic-Marin SA Elektronischer Schaltkreis mit kapazitivem Sensor zur Messung eines physikalischen Parameters und Verfahren zur Ingangsetzung des elektronischen Schaltkreises
US8228076B2 (en) * 2009-03-27 2012-07-24 Texas Instruments Incorporated Deconvolution-based capacitive touch detection circuit and method
US8018238B2 (en) * 2009-03-27 2011-09-13 Texas Instruments Incorporated Embedded sar based active gain capacitance measurement system and method
EP2343507B1 (de) * 2009-12-24 2012-11-28 EM Microelectronic-Marin SA Verfahren zum kapazitiven Messen eines physikalischen Parameters und elektronischer Schnittstellenschaltkreis für einen kapazitiven Sensor
US8599623B1 (en) * 2011-12-23 2013-12-03 Suvolta, Inc. Circuits and methods for measuring circuit elements in an integrated circuit device
EP2618163B1 (de) * 2012-01-20 2014-09-17 EM Microelectronic-Marin SA Verfahren zum Messen eines physikalischen Parameters, und elektronischer Schnittstellenschaltkreis eines kapazitiven Sensors zur Umsetzung dieses Verfahrens
EP2618164B1 (de) * 2012-01-20 2014-07-16 EM Microelectronic-Marin SA Verfahren zum Messen eines physikalischen Parameters, und elektronischer Schnittstellenschaltkreis eines kapazitiven Sensors zur Umsetzung dieses Verfahrens
EP2662667B1 (de) * 2012-05-10 2016-01-06 EM Microelectronic-Marin SA Verfahren zur Messung einer physikalischen Größe und elektronischer Schnittstellenschaltkreis für einen kapazitiven Sensor zu dessen Durchführung
DE102013110243A1 (de) * 2013-09-17 2015-04-02 Endress + Hauser Flowtec Ag Verfahren zur Überwachung eines Messgerätes der Automatisierungstechnik
EP2887014B1 (de) * 2013-12-19 2020-02-05 EM Microelectronic-Marin SA Elektronischer Schaltkreis zur Drehgeschwindigkeitsmessung in einem MEMS Kreisel und Verfahren zu seiner Ausführung
FI127101B (en) 2014-10-13 2017-11-15 Murata Manufacturing Co Capacitive microelectromechanical sensor with self-test capability
US20170003315A1 (en) * 2015-06-30 2017-01-05 Freescale Semiconductor, Inc. Mems sensor devices having a self-test mode
FR3043786B1 (fr) 2015-11-16 2017-12-01 Sagem Defense Securite Capteur acceletometrique pendulaire de type mems a deux plages de mesure
US10323957B2 (en) 2015-11-23 2019-06-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Circuitry and method for generating a discrete-time high voltage
EP3324192B1 (de) 2016-11-22 2019-04-10 NXP USA, Inc. Mikroelektromechanische systeme, vorrichtungen und verfahren
US10712360B2 (en) 2017-09-27 2020-07-14 Azoteq (Pty) Ltd Differential charge transfer based accelerometer
WO2023125464A1 (zh) * 2021-12-30 2023-07-06 长沙巨杉智能科技有限公司 岩矿石标本阻抗测量信号源生成电路与装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03134552A (ja) * 1989-10-20 1991-06-07 Hitachi Ltd 自己較正機能付検出装置
DE4133426A1 (de) * 1991-10-09 1993-04-15 Bosch Gmbh Robert Schaltungsanordnung zur auswertung und zum test eines kapazitiven sensors
FR2720510B1 (fr) * 1994-05-26 1996-08-02 Suisse Electronique Microtech Dispositif de mesure d'une force.
US7472028B2 (en) * 2004-06-25 2008-12-30 Kele Inc. Sensor or capacitance measuring with a microprocessor
WO2006008207A1 (de) * 2004-07-17 2006-01-26 Robert Bosch Gmbh Sigma-delta-modulator

Also Published As

Publication number Publication date
EP1962063B1 (de) 2010-11-17
ATE488747T1 (de) 2010-12-15
US20080197861A1 (en) 2008-08-21
EP1962063A1 (de) 2008-08-27
US7724000B2 (en) 2010-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE602007010581D1 (de) Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes
WO2015100214A3 (en) Methods and apparatus for sensor diagnostics
WO2010090870A3 (en) Method and apparatus for characterizing a circuit coupled to an ac line
WO2009150498A3 (en) Touch and force sensing for input devices
JP2015507384A5 (de)
EP1918678A3 (de) Verschiebungssensor mit GMR-Elementen, Winkelsensor mit GMR-Elementen und dafür verwendete Halbleitervorrichtung
EP2390997A3 (de) Antrieb mit variabler Frequenz und Verfahren zur Filterkondensatorfehlererkennung
NZ589885A (en) A flow sensor system
ATE529754T1 (de) Verfahren und schaltungsanordnung zum messen einer kapazität
EP2647954A3 (de) Selbsttest eines MEMS-Gyroskops mit integrierten ASIC-Kondensatoren
EP2455842A3 (de) Eingabemessschaltung und Berührungsbildschirm damit
EP2421281A3 (de) Schaltung und Verfahren zur Überwachung einer kapazitativen Signalquelle
WO2008033712A3 (en) Detecting voltage glitches
DE502008001971D1 (de) Ng
ATE527551T1 (de) Magnetsensorschaltung
MX2013010528A (es) Dispositivo para medir características físicas y/o cambio en las características físicas en un material de hoja y una hoja adaptada para uso con dicho dispositivo.
WO2008083165A3 (en) An electronic device identification system
RU2012152546A (ru) Обнаружение скрытого диэлектрического объекта
EP2717131A3 (de) Signalverarbeitungsschaltung, Signalverarbeitungsverfahren, Positionserkennungsvorrichtung und elektronische Vorrichtung
WO2015031807A3 (en) Electromechanical polymer-based sensor
EP2546728A3 (de) Berührungsempfindliche Schaltung und Methode zur Detektion des Berührungspunkts dafür
ATE511699T1 (de) Plasmasystem und messverfahren
WO2014090395A3 (fr) Ensemble de detection de position a tension de decalage diminuee et procede utilisant un tel ensemble
TWI484170B (zh) 具溫度補償之溼度感測電路
WO2009068345A3 (de) Schaltung für einen mikromechanischen körperschallsensor und verfahren zu dessen betrieb