WO2009068345A3 - Schaltung für einen mikromechanischen körperschallsensor und verfahren zu dessen betrieb - Google Patents

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Abstract

Es wird eine Schaltung für einen mikromechanischen Körperschallsensor und ein Verfahren zum Betrieb dieses Sensors vorgeschlagen, wobei mit einem Spannungsgenerator Spannungen auf wenigstens ein mikromechanisches Element, das zur Erfassung des Körperschalls dient, beaufschlagt werden, so dass eine Veränderung des mikromechanischen Elements eintritt. Weiterhin ist eine Auswerteschaltung vorgesehen, die wenigstens einen elektrisch erfassbaren Parameter des mikromechanischen Elements mit einer Abtastrate aufnimmt und auswertet. Dieser wenigstens eine Parameter ändert sich in Folge der Veränderung. Es ist auch ein Taktgenerator vorgesehen, der zur Erzeugung der Abtastrate und zur Erzeugung des Takts vorgesehen ist. Ein Frequenzgenerator dient zur Erzeugung des Takts zumindest zeitweise für den Testbetrieb, wobei der Frequenzgenerator den Takt als ein Vielfaches oder als einen Teiler der Abtastrate erzeugt.
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