RU2013156037A

RU2013156037A - Способ для разбиения изображения для использования в устройстве для многопучковой литографии

Info

Publication number: RU2013156037A
Application number: RU2013156037/07A
Authority: RU
Inventors: Марко Ян-Яко ВИЛАНД; НИУВСТАДТ Йорис Анне Хенри ВАН; ДЕ ПЕТ Тенис ВАН
Original assignee: МЭППЕР ЛИТОГРАФИ АйПи Б.В.
Priority date: 2011-05-18
Filing date: 2012-05-18
Publication date: 2015-06-27
Also published as: TW201303524A; JP2014513871A; US20130120724A1; EP2710620A1; WO2012156510A1

Abstract

1. Способ для разбиения изображения для использования в устройстве для многопучковой литографии, способ содержит этапы, при которых:- предоставляют входное изображение, подлежащее экспонированию на целевую поверхность посредством множества составляющих пучков устройства для многопучковой литографии;- идентифицируют первые области в пределах входного изображения, при этом каждая первая область является областью, которая является экспонируемой исключительно одиночным составляющим пучком из множества составляющих пучков;- идентифицируют вторые области в пределах входного изображения, каждая вторая область является областью, которая является экспонируемой посредством более чем одного составляющего пучка из множества составляющих пучков; и- определяют, какой участок изображения должен экспонироваться каждым составляющим пучком, на основе оценки первой и второй областей,при этом оценка первой и второй областей заключается в том, что:- идентифицируют признаки входного изображения, подлежащего экспонированию;- определяют, для каждого признака, расположен ли признак в пределах одной или более первых областей, или вторых областей, либо обеих, и- при определении, что участок признака расположен в одной из вторых областей, и участки признака расположены в более чем одной из первых областей, назначают, для каждого такого признака, экспонирование участков признака в первых областях, соответствующим одиночным составляющим пучкам соответствующих первых областей, и назначают экспонирование участка признака во второй области одному или более составляющим пучкам, выполненным с возможностью экспонирования вто�

Claims

1. Способ для разбиения изображения для использования в устройстве для многопучковой литографии, способ содержит этапы, при которых:

- предоставляют входное изображение, подлежащее экспонированию на целевую поверхность посредством множества составляющих пучков устройства для многопучковой литографии;

- идентифицируют первые области в пределах входного изображения, при этом каждая первая область является областью, которая является экспонируемой исключительно одиночным составляющим пучком из множества составляющих пучков;

- идентифицируют вторые области в пределах входного изображения, каждая вторая область является областью, которая является экспонируемой посредством более чем одного составляющего пучка из множества составляющих пучков; и

- определяют, какой участок изображения должен экспонироваться каждым составляющим пучком, на основе оценки первой и второй областей,

при этом оценка первой и второй областей заключается в том, что:

- идентифицируют признаки входного изображения, подлежащего экспонированию;

- определяют, для каждого признака, расположен ли признак в пределах одной или более первых областей, или вторых областей, либо обеих, и

- при определении, что участок признака расположен в одной из вторых областей, и участки признака расположены в более чем одной из первых областей, назначают, для каждого такого признака, экспонирование участков признака в первых областях, соответствующим одиночным составляющим пучкам соответствующих первых областей, и назначают экспонирование участка признака во второй области одному или более составляющим пучкам, выполненным с возможностью экспонирования второго участка, на основании площади участков признака в первых областях.

2. Способ по п.1, в котором экспонирование участка признака во второй области, во всей своей полноте, назначается одному из составляющих пучков, выполненному с возможностью экспонирования упомянутой второй области.

3. Способ по п.1, в котором экспонирование участка признака во второй области назначается частично одному из составляющих пучков, выполненному с возможностью экспонирования упомянутой второй области, а частично другому одному из составляющих пучков, выполненному с возможностью экспонирования упомянутой второй области.

4. Способ по п.1, в котором назначение части признака во второй области является таким, что участок признака, назначенный упомянутому одному из составляющих пучков, является по существу таким же по размеру, как участок признака, назначенный другому одному из составляющих пучков.

5. Способ по любому одному из пп.1-4, при этом способ выполняется циклически в отношении двух смежных областей изображения, подлежащего экспонированию двумя разными составляющими пучками, и способ, после выполнения в отношении изображения, экспонируемого первыми двумя рассматриваемыми составляющими пучками, применяется к изображению, подлежащего экспонированию первым составляющим пучком, уже рассмотренным в более раннем цикле способа, и вторым пучком, выполненным с возможностью экспонирования участка изображения, прилегающего к участку, подлежащего экспонированию первым составляющим пучком.

6. Способ по п.5, при этом способ завершается после рассмотрения всех составляющих пучков.

7. Способ по любому одному из пп.1-4, дополнительно состоящий в том, что устанавливают минимальный размер признака, который должен экспонироваться одиночным составляющим пучком, в предопределенное значение.

8. Машинно-считываемый носитель, содержащий компьютерную программу, выполненную с возможностью для выполнения, когда приводится в исполнение процессором, способа для разбиения изображения по любому одному из предыдущих пунктов.

9. Устройство для литографии, содержащее:

- генератор составляющих пучков для формирования множества составляющих пучков;

- модулятор составляющих пучков для формирования изображения составляющих пучков, чтобы придавать форму модулированным составляющим пучкам;

- блок управления для выдачи входного сигнала для формирования изображения в модулятор составляющих пучков; и

- проектор составляющих пучков для проецирования модулированных составляющих пучков на поверхность целевого объекта;

при этом блок управления выполнен с возможностью приводить в исполнение способ для разбиения изображения по любому одному из пп.1-7.

10. Устройство для литографии по п.9, в котором блок управления выполнен с возможностью принимать машинно-считываемый файл данных, и способ для разбиения изображения применяется к данным в файле данных.

11. Устройство для литографии по п.10, в котором файл данных изображения снабжен меткой, указывающей, должен или нет применяться способ, и при этом блок управления выполнен с возможностью обнаруживать метку и принимать решение, должен или нет применяться способ для разбиения изображения, на основе значения метки.