RU2013134491A

RU2013134491A - Способ изготовления безгистерезисного актюатора с линейной пьезоэлектрической характеристикой

Info

Publication number: RU2013134491A
Application number: RU2013134491/28A
Authority: RU
Inventors: Владимир Яковлевич Шур; Иван Сергеевич Батурин; Евгений Альбертович Мингалиев; Михаил Владимирович Конев; Дмитрий Владимирович Зорихин; Артур Рудольфович Удалов; Евгений Дмитриевич Грешняков
Priority date: 2013-07-24
Filing date: 2013-07-24
Publication date: 2015-01-27
Also published as: RU2539104C1

Abstract

1. Способ изготовления безгистерезисных пьезоэлектрических актюаторов с линейной характеристикой, при котором соединяют плоскостями по меньшей мере две монодоменные монокристаллические пластины сегнетоэлектрика таким образом, чтобы направления спонтанной поляризации в пластинах были противоположны друг другу, причем ориентацию пластин по отношению к кристаллографическим осям выбирают так, чтобы получить максимальное абсолютное значение эффективного пьезоэлектрического коэффициента, отличающийся тем, что предварительно отполированные соединяемые плоскости пластин ниобата лития или танталата лития очищают таким образом, чтобы обеспечить их гидрофильность, затем пластины соединяют плоскостями, сжимают пластины до исчезновения интерференционных колец, после чего отжигают не менее, чем 3 часа при температуре в диапазоне 300-500°C для формирования бидоменной пластины, причем скорость нагрева охлаждения выбирают не более 5°C/мин, после чего на противоположные плоскости бидоменной пластины наносят электроды из материала, устойчивого к высоким температурам, причем геометрические размеры исходных пластин выбирают, исходя из значений эффективного пьезоэлектрического коэффициента и требуемых значений коэффициента электромеханической передачи актюатора.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что бидоменную пластину с нанесенными электродами разделяют на отдельные плоские актюаторы, причем размеры актюаторов выбирают исходя из значений эффективного пьезоэлектрического коэффициента и требуемых значений коэффициента электромеханической связи.

Claims

1. Способ изготовления безгистерезисных пьезоэлектрических актюаторов с линейной характеристикой, при котором соединяют плоскостями по меньшей мере две монодоменные монокристаллические пластины сегнетоэлектрика таким образом, чтобы направления спонтанной поляризации в пластинах были противоположны друг другу, причем ориентацию пластин по отношению к кристаллографическим осям выбирают так, чтобы получить максимальное абсолютное значение эффективного пьезоэлектрического коэффициента, отличающийся тем, что предварительно отполированные соединяемые плоскости пластин ниобата лития или танталата лития очищают таким образом, чтобы обеспечить их гидрофильность, затем пластины соединяют плоскостями, сжимают пластины до исчезновения интерференционных колец, после чего отжигают не менее, чем 3 часа при температуре в диапазоне 300-500°C для формирования бидоменной пластины, причем скорость нагрева охлаждения выбирают не более 5°C/мин, после чего на противоположные плоскости бидоменной пластины наносят электроды из материала, устойчивого к высоким температурам, причем геометрические размеры исходных пластин выбирают, исходя из значений эффективного пьезоэлектрического коэффициента и требуемых значений коэффициента электромеханической передачи актюатора.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что бидоменную пластину с нанесенными электродами разделяют на отдельные плоские актюаторы, причем размеры актюаторов выбирают исходя из значений эффективного пьезоэлектрического коэффициента и требуемых значений коэффициента электромеханической связи.