RU2013130658A - Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы - Google Patents
Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013130658A RU2013130658A RU2013130658/07A RU2013130658A RU2013130658A RU 2013130658 A RU2013130658 A RU 2013130658A RU 2013130658/07 A RU2013130658/07 A RU 2013130658/07A RU 2013130658 A RU2013130658 A RU 2013130658A RU 2013130658 A RU2013130658 A RU 2013130658A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- deflecting
- anode
- magnetic field
- electromagnetic coil
- coil
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/48—Generating plasma using an arc
- H05H1/50—Generating plasma using an arc and using applied magnetic fields, e.g. for focusing or rotating the arc
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32055—Arc discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3266—Magnetic control means
- H01J37/32669—Particular magnets or magnet arrangements for controlling the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
- H01J27/14—Other arc discharge ion sources using an applied magnetic field
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
1. Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы, содержащий охваченный фокусирующей электромагнитной катушкой анод, выполненный в виде отрезка трубы, внутри которого коаксиально ему размещена в электропроводном кожухе отклоняющая электромагнитная катушка, с направлением магнитного поля навстречу магнитному полю фокусирующей электромагнитной катушки, внутри отклоняющей катушки на ее оси вблизи ее торца, обращенного к входному отверстию анода, расположен постоянный отклоняющий магнит, магнитное поле которого сонаправлено магнитному полю отклоняющей электромагнитной катушки, отличающийся тем, что он включает, расположенный внутри электромагнитной отклоняющей катушки на ее оси вблизи ее торца, обращенного в сторону противоположную входному отверстию анода, дополнительный постоянный магнит, магнитное поле которого направлено встречно магнитному полю постоянного отклоняющего магнита, при этом положительный полюс источника питания дуги электрически соединен как с анодом через обмотку фокусирующей электромагнитной катушки, так и с кожухом отклоняющей катушки через ее обмотку.2. Анодный узел по п.1, отличающийся тем, что обмотка отклоняющей электромагнитной катушки, выполнена из электропроводящей трубки, охлаждаемой водой, при этом виток этой обмотки вблизи ее торца, обращенного к входному отверстию анода, имеет тепловой контакт с кожухом.
Claims (2)
1. Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы, содержащий охваченный фокусирующей электромагнитной катушкой анод, выполненный в виде отрезка трубы, внутри которого коаксиально ему размещена в электропроводном кожухе отклоняющая электромагнитная катушка, с направлением магнитного поля навстречу магнитному полю фокусирующей электромагнитной катушки, внутри отклоняющей катушки на ее оси вблизи ее торца, обращенного к входному отверстию анода, расположен постоянный отклоняющий магнит, магнитное поле которого сонаправлено магнитному полю отклоняющей электромагнитной катушки, отличающийся тем, что он включает, расположенный внутри электромагнитной отклоняющей катушки на ее оси вблизи ее торца, обращенного в сторону противоположную входному отверстию анода, дополнительный постоянный магнит, магнитное поле которого направлено встречно магнитному полю постоянного отклоняющего магнита, при этом положительный полюс источника питания дуги электрически соединен как с анодом через обмотку фокусирующей электромагнитной катушки, так и с кожухом отклоняющей катушки через ее обмотку.
2. Анодный узел по п.1, отличающийся тем, что обмотка отклоняющей электромагнитной катушки, выполнена из электропроводящей трубки, охлаждаемой водой, при этом виток этой обмотки вблизи ее торца, обращенного к входному отверстию анода, имеет тепловой контакт с кожухом.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA201114090A UA101443C2 (ru) | 2011-11-29 | 2011-11-29 | Анодный УЗЕЛ вакуумно-дугового ИСТОЧНИКа катодной ПЛАЗМЫ |
| UAA201114090 | 2011-11-29 | ||
| PCT/UA2012/000042 WO2013081569A1 (ru) | 2011-11-29 | 2012-04-11 | Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013130658A true RU2013130658A (ru) | 2015-01-10 |
| RU2539881C1 RU2539881C1 (ru) | 2015-01-27 |
Family
ID=48535873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013130658/07A RU2539881C1 (ru) | 2011-11-29 | 2012-04-11 | Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20140291149A1 (ru) |
| EP (1) | EP2787795A4 (ru) |
| RU (1) | RU2539881C1 (ru) |
| UA (1) | UA101443C2 (ru) |
| WO (1) | WO2013081569A1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH715878A1 (de) | 2019-02-26 | 2020-08-31 | Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon | Magnetanordnung für eine Plasmaquelle zur Durchführung von Plasmabehandlungen. |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH657242A5 (de) * | 1982-03-22 | 1986-08-15 | Axenov Ivan I | Lichtbogen-plasmaquelle und lichtbogenanlage mit einer solchen lichtbogen-plasmaquelle zur plasmabehandlung der oberflaeche von werkstuecken. |
| US5518597A (en) * | 1995-03-28 | 1996-05-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Cathodic arc coating apparatus and method |
| US7014738B2 (en) * | 1997-10-24 | 2006-03-21 | Filplas Vacuum Technology Pte Ltd. | Enhanced macroparticle filter and cathode arc source |
| US6929727B2 (en) * | 1999-04-12 | 2005-08-16 | G & H Technologies, Llc | Rectangular cathodic arc source and method of steering an arc spot |
| RU2156555C1 (ru) * | 1999-05-18 | 2000-09-20 | Государственное унитарное предприятие "Всероссийский электротехнический институт им. В.И. Ленина" | Способ получения и ускорения плазмы и ускоритель плазмы с замкнутым дрейфом электронов для его осуществления |
| US6706157B2 (en) * | 2001-09-12 | 2004-03-16 | Transarc Ltd. | Vacuum arc plasma gun deposition system |
| US6756596B2 (en) * | 2002-04-10 | 2004-06-29 | Paul E. Sathrum | Filtered ion source |
| RU2306366C1 (ru) * | 2006-04-24 | 2007-09-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Белгородский государственный университет" | Вакуумное электродуговое устройство |
| JP5063143B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2012-10-31 | 株式会社リケン | アーク式蒸発源 |
| WO2008125397A1 (de) * | 2007-04-17 | 2008-10-23 | Sulzer Metaplas Gmbh | Vakuum lichtbogenverdampfungsquelle, sowie eine lichtbogenverdampfungskammer mit einer vakuum lichtbogenverdampfungsquelle |
| CN101851747B (zh) * | 2009-03-30 | 2012-08-29 | 核工业西南物理研究院 | 强流金属离子源 |
-
2011
- 2011-11-29 UA UAA201114090A patent/UA101443C2/ru unknown
-
2012
- 2012-04-11 WO PCT/UA2012/000042 patent/WO2013081569A1/ru active Application Filing
- 2012-04-11 EP EP12852663.9A patent/EP2787795A4/en not_active Withdrawn
- 2012-04-11 RU RU2013130658/07A patent/RU2539881C1/ru not_active IP Right Cessation
- 2012-04-11 US US14/232,944 patent/US20140291149A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| UA101443C2 (ru) | 2013-03-25 |
| WO2013081569A1 (ru) | 2013-06-06 |
| US20140291149A1 (en) | 2014-10-02 |
| RU2539881C1 (ru) | 2015-01-27 |
| EP2787795A1 (en) | 2014-10-08 |
| EP2787795A4 (en) | 2015-07-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2503678A3 (en) | Power storage device of vibration type power generation equipped with inner columnar and outer annular magnetic motion block | |
| WO2014204558A3 (en) | Heating plasma for fusion power using magnetic field oscillation | |
| WO2010085044A3 (ko) | 발전 효율과 회전력 향상이 이루어진 발전장치 | |
| UA112145C2 (uk) | Джерело плазми | |
| RU2013118725A (ru) | Вакуумный выключатель для устройства автоматической защиты | |
| EP2503677A3 (en) | Reciprocal vibration type power generator equipped with inner columnar and outer annular magnetic motion block | |
| RU2013132013A (ru) | Радиальный магнитный подшипник для магнитной опоры ротора | |
| RU2013130658A (ru) | Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы | |
| RU2008142928A (ru) | Гистерезисная магнитная муфта, в частности, для наматывающих/разматывающих устройств | |
| EA201500899A1 (ru) | Магнитный котел | |
| RU2017137471A (ru) | Способ обработки жидкостей электрическими полями | |
| RU2654080C2 (ru) | Линейный электрический генератор | |
| JP2014506712A5 (ru) | ||
| RU2654079C2 (ru) | Линейный электрический генератор | |
| JP2013085430A (ja) | 発電機のコイルの配置 | |
| GB414851A (en) | Improvements in or relating to electric generators | |
| WO2018164597A2 (ru) | Вакуумно-плазменный реактор | |
| RU2012137588A (ru) | Устройство для генерирования тепловой и электрической энергии | |
| RU2011143819A (ru) | Генератор постоянного тока | |
| RU2012117743A (ru) | Устройство инициирования процессов в атмосфере | |
| RU2011130580A (ru) | Клапан с электромагнитным двухпозиционным приводом | |
| RU2012108250A (ru) | Тахогенератор постоянного тока | |
| RU2012142744A (ru) | Электронно-лучевая пушка | |
| RU2010148575A (ru) | Вакуумная камера с электрическим разъемом | |
| RU2011149025A (ru) | Обратимая электрическая машина возвратно-поступательного движения |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190412 |