RU2013130175A - Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов - Google Patents
Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013130175A RU2013130175A RU2013130175/28A RU2013130175A RU2013130175A RU 2013130175 A RU2013130175 A RU 2013130175A RU 2013130175/28 A RU2013130175/28 A RU 2013130175/28A RU 2013130175 A RU2013130175 A RU 2013130175A RU 2013130175 A RU2013130175 A RU 2013130175A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- elements
- profilometers
- scanning probe
- plate
- calibration standard
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов, состоящий из пластины, выполненной из поляризованного пьезоэлектрического материала, к двум противоположным сторонам которой прикреплено по электроду, соединенному с источником электрического напряжения постоянной амплитуды и полярности, отличающийся тем, что к каждой стороне пластины с расположенным на ней электродом прикреплено по элементу, причем пластина и геометрические размеры элементов подобраны так, что обеспечивают перемещение одного из элементов при приложении к электродам электрического напряжения, каждый из элементов имеет, по крайней мере, по одной плоской поверхности, которые параллельны между собой и параллельны направлению перемещения одного из элементов при приложении к электродам электрического напряжения.
Claims (1)
- Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов, состоящий из пластины, выполненной из поляризованного пьезоэлектрического материала, к двум противоположным сторонам которой прикреплено по электроду, соединенному с источником электрического напряжения постоянной амплитуды и полярности, отличающийся тем, что к каждой стороне пластины с расположенным на ней электродом прикреплено по элементу, причем пластина и геометрические размеры элементов подобраны так, что обеспечивают перемещение одного из элементов при приложении к электродам электрического напряжения, каждый из элементов имеет, по крайней мере, по одной плоской поверхности, которые параллельны между собой и параллельны направлению перемещения одного из элементов при приложении к электродам электрического напряжения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013130175/28A RU2538029C1 (ru) | 2013-07-03 | 2013-07-03 | Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013130175/28A RU2538029C1 (ru) | 2013-07-03 | 2013-07-03 | Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2538029C1 RU2538029C1 (ru) | 2015-01-10 |
| RU2013130175A true RU2013130175A (ru) | 2015-01-10 |
Family
ID=53278950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013130175/28A RU2538029C1 (ru) | 2013-07-03 | 2013-07-03 | Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2538029C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111983260A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-24 | 国家纳米科学中心 | 一种原子力显微镜探针振幅的校准方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0758164B2 (ja) * | 1988-04-22 | 1995-06-21 | 三菱電機株式会社 | 走査型トンネル顕微鏡の微動機構 |
| US6869480B1 (en) * | 2002-07-17 | 2005-03-22 | The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration | Method for the production of nanometer scale step height reference specimens |
| RU2386989C2 (ru) * | 2007-03-28 | 2010-04-20 | ООО "Старт инноваций" | Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов |
| RU2449294C2 (ru) * | 2010-06-03 | 2012-04-27 | Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН | Способ определения формы и размеров острия иглы зондового микроскопа |
-
2013
- 2013-07-03 RU RU2013130175/28A patent/RU2538029C1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111983260A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-24 | 国家纳米科学中心 | 一种原子力显微镜探针振幅的校准方法 |
| CN111983260B (zh) * | 2020-08-19 | 2023-04-07 | 国家纳米科学中心 | 一种原子力显微镜探针振幅的校准方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2538029C1 (ru) | 2015-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3070833A3 (en) | Electric generating element and electric generator | |
| PH12016501783A1 (en) | Electroactive optical device | |
| EP2881994A3 (en) | Solar cell measuring apparatus | |
| EP2682195A3 (en) | Capacitive transducer | |
| EP2837433A3 (en) | Capacitive transducer drive device and object information acquiring device | |
| EP2267806A3 (en) | Piezoelectric assembly | |
| GB2537792A (en) | Measurement device and method | |
| BR112017006543A2 (pt) | gerador elétrico | |
| RU2013130175A (ru) | Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов | |
| JP2014224693A5 (ja) | 圧電性の結晶体の極性及び／又は表裏を判定できるようにする装置及び方法 | |
| RU2013130176A (ru) | Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов | |
| RU2007111324A (ru) | Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов | |
| JP2017054691A5 (ru) | ||
| LT2013107A (lt) | Pjezoelektrinių variklių kontaktinės zonos diagnozavimo įrenginys | |
| JP2015103645A5 (ru) | ||
| TW201612020A (en) | Piezoelectric element, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus | |
| RU2013149452A (ru) | Пьезоэлектрический датчик | |
| UA131913U (uk) | Електропровідний полімерний композит на основі полі-3-метилтіофену для сенсорних вимірювань | |
| RU2012157578A (ru) | Емкостный датчик перемещений | |
| RU2014124489A (ru) | Зондовый датчик силового взаимодействия | |
| EP2634640A3 (en) | Discharge device | |
| RU2010119085A (ru) | Электрический контакт | |
| RU2014140519A (ru) | Электрофильтр | |
| EA201600254A2 (ru) | Способ получения электроэнергии за счет свободнодисперсных систем как электроактивных сред | |
| UA79411U (ru) | Электростатическое крепежное устройство |