RU2013149452A - Пьезоэлектрический датчик - Google Patents

Пьезоэлектрический датчик Download PDF

Info

Publication number
RU2013149452A
RU2013149452A RU2013149452/28A RU2013149452A RU2013149452A RU 2013149452 A RU2013149452 A RU 2013149452A RU 2013149452/28 A RU2013149452/28 A RU 2013149452/28A RU 2013149452 A RU2013149452 A RU 2013149452A RU 2013149452 A RU2013149452 A RU 2013149452A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrodes
piezoelectric
sensor element
sensor
smart material
Prior art date
Application number
RU2013149452/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Александрович Гурин
Ильяс Рашитович Вергазов
Александр Евгеньевич Мишанин
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" filed Critical Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений"
Priority to RU2013149452/28A priority Critical patent/RU2013149452A/ru
Publication of RU2013149452A publication Critical patent/RU2013149452A/ru

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

1. Пьезоэлектрический датчик, содержащий чувствительный элемент из тонкопленочного пьезоэлектрического материала с электродами на противоположных поверхностях, вектор поляризации которого перпендикулярен электродам, токовыводы, электрически соединенные с электродами, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде микроконтилеверной балки из непроводящего материала с высокими механическими/трибологическими характеристиками с нанесенной на ее поверхность инерционной массой в виде емкостной гетероструктуры на основе смарт-материала, заключенного между электродами.2. Пьезоэлектрический датчик по п.1, отличающийся тем, что в роли смарт-материала выступает пьезоэлектрик с высоким значением точки Кюри.

Claims (2)

1. Пьезоэлектрический датчик, содержащий чувствительный элемент из тонкопленочного пьезоэлектрического материала с электродами на противоположных поверхностях, вектор поляризации которого перпендикулярен электродам, токовыводы, электрически соединенные с электродами, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде микроконтилеверной балки из непроводящего материала с высокими механическими/трибологическими характеристиками с нанесенной на ее поверхность инерционной массой в виде емкостной гетероструктуры на основе смарт-материала, заключенного между электродами.
2. Пьезоэлектрический датчик по п.1, отличающийся тем, что в роли смарт-материала выступает пьезоэлектрик с высоким значением точки Кюри.
RU2013149452/28A 2013-11-06 2013-11-06 Пьезоэлектрический датчик RU2013149452A (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013149452/28A RU2013149452A (ru) 2013-11-06 2013-11-06 Пьезоэлектрический датчик

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013149452/28A RU2013149452A (ru) 2013-11-06 2013-11-06 Пьезоэлектрический датчик

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2013149452A true RU2013149452A (ru) 2015-05-20

Family

ID=53283591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013149452/28A RU2013149452A (ru) 2013-11-06 2013-11-06 Пьезоэлектрический датчик

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2013149452A (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016195857A5 (ru)
MX337132B (es) Sistema de comunicacion con activacon remota.
MX337131B (es) Sistema de comunicacion con fuente de energia parcial mejorada y metodo para fabricar el mismo.
IN2014CN00506A (ru)
WO2013009777A3 (en) Communication system with multiple sources of power
EA201390962A1 (ru) Нагревательный элемент из восстановленной керамики
MX2017000263A (es) Metodo para fabricar un elemento de freno sensorizado, particularmente una pastilla de freno y una pastilla de freno sensorizada obtenidas de esta manera.
MX2013006977A (es) Metodo y sistema de evaluacion de aseguramiento de flujo predictivo.
JP2013065550A5 (ru)
TW201613501A (en) Welded shoe assembly
WO2011132212A3 (en) Non-linear generator of electricity
MX2020012937A (es) Dispositivos y sensores de recolección de energía y métodos de fabricación y uso de estos.
MY185125A (en) Surface acoustic wave sensor
RU2013149452A (ru) Пьезоэлектрический датчик
JP2014224693A5 (ja) 圧電性の結晶体の極性及び/又は表裏を判定できるようにする装置及び方法
JP2017054691A5 (ru)
PH12016000122B1 (en) Multilayer ceramic capacitor
MX2016017347A (es) Metodo y dispositivo para moldeo por inyeccion o estampado/prensado.
TW201613036A (en) Package structure and method of manufacture
WO2015140710A3 (en) Triboelectric composite for mechanical energy harvesting and sensing
LT2013107A (lt) Pjezoelektrinių variklių kontaktinės zonos diagnozavimo įrenginys
RU2013130175A (ru) Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов
JP6282414B2 (ja) 振動センサ
MY182869A (en) Gypsum board manufacturing method and manufacturing device
TWM490054U (en) Piezoelectric touch panel