RU2013117720A - Способ тестирования лазерного устройства - Google Patents

Способ тестирования лазерного устройства Download PDF

Info

Publication number
RU2013117720A
RU2013117720A RU2013117720/28A RU2013117720A RU2013117720A RU 2013117720 A RU2013117720 A RU 2013117720A RU 2013117720/28 A RU2013117720/28 A RU 2013117720/28A RU 2013117720 A RU2013117720 A RU 2013117720A RU 2013117720 A RU2013117720 A RU 2013117720A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
test object
bleached
laser radiation
radiation
test
Prior art date
Application number
RU2013117720/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2554603C2 (ru
Inventor
Клаудиа ГОРШБОТ
Матиас ВЁЛЬФЕЛЬ
Рихард ХАЙМИШ
Кристоф ДОНИЦКИ
Олаф КИТТЕЛЬМАНН
Томас ДАЙЗИНГЕР
Герхард РОБЛЬ
Клаус ФОГЛЕР
Мартин ШТАРИГК
Original Assignee
Уэйвлайт Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Уэйвлайт Гмбх filed Critical Уэйвлайт Гмбх
Publication of RU2013117720A publication Critical patent/RU2013117720A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2554603C2 publication Critical patent/RU2554603C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00—Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007—Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008—Methods or devices for eye surgery using laser
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00—Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007—Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008—Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F9/00825—Methods or devices for eye surgery using laser for photodisruption
    • A61F9/0084—Laser features or special beam parameters therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B23K26/705—Beam measuring device
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00—Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007—Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008—Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00855—Calibration of the laser system
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/30—Organic material
    • B23K2103/32—Material from living organisms, e.g. skins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Vascular Medicine (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)

Abstract

1. Способ тестирования лазерного устройства (10), предназначенного для испускания сфокусированного пучка импульсного лазерного излучения, причем положение фокуса (18) указанного пучка регулируют в направлении распространения лазерного излучения и перпендикулярно ему, а лазерное устройство снабжено контактным элементом (30), который прозрачен для лазерного излучения и имеет сопрягаемую поверхность (34) для приведения ее в плотный контакт с объектом, подлежащим обработке, при этом способ включает следующие операции:наложение на сопрягаемую поверхность тест-объекта (36), прозрачного для лазерного излучения по меньшей мере в области, соответствующей области обработки указанного объекта, ивведение лазерного излучения в тест-объект, упирающийся в сопрягаемую поверхность, при одновременном изменении положения фокуса в соответствии с заданным тестовым паттерном с целью формирования в тест-объекте долговременных структур (44, 46, 50, 52).2. Способ по п.1, в котором формируемые структуры (44, 46, 50, 52) включают одну или более обесцвеченных зон, создающих оптический контраст с окружающими их областями материала тест-объекта (36).3. Способ по п.1, в котором формируемые структуры включают по меньшей мере одну первую обесцвеченную структуру (44, 52), которая создает оптический контраст с окружающими областями материала тест-объекта (36), имеет протяженность внутри тест-объекта вдоль направления, пересекающего, в частности под острым углом, направление распространения лазерного излучения, и доходит до наружной поверхности (48) тест-объекта, обращенной к сопрягаемой поверхности (34).4. Способ по п.3, в котором первая обесцвеченная структура (44) о�

Claims (20)

1. Способ тестирования лазерного устройства (10), предназначенного для испускания сфокусированного пучка импульсного лазерного излучения, причем положение фокуса (18) указанного пучка регулируют в направлении распространения лазерного излучения и перпендикулярно ему, а лазерное устройство снабжено контактным элементом (30), который прозрачен для лазерного излучения и имеет сопрягаемую поверхность (34) для приведения ее в плотный контакт с объектом, подлежащим обработке, при этом способ включает следующие операции:
наложение на сопрягаемую поверхность тест-объекта (36), прозрачного для лазерного излучения по меньшей мере в области, соответствующей области обработки указанного объекта, и
введение лазерного излучения в тест-объект, упирающийся в сопрягаемую поверхность, при одновременном изменении положения фокуса в соответствии с заданным тестовым паттерном с целью формирования в тест-объекте долговременных структур (44, 46, 50, 52).
2. Способ по п.1, в котором формируемые структуры (44, 46, 50, 52) включают одну или более обесцвеченных зон, создающих оптический контраст с окружающими их областями материала тест-объекта (36).
3. Способ по п.1, в котором формируемые структуры включают по меньшей мере одну первую обесцвеченную структуру (44, 52), которая создает оптический контраст с окружающими областями материала тест-объекта (36), имеет протяженность внутри тест-объекта вдоль направления, пересекающего, в частности под острым углом, направление распространения лазерного излучения, и доходит до наружной поверхности (48) тест-объекта, обращенной к сопрягаемой поверхности (34).
4. Способ по п.3, в котором первая обесцвеченная структура (44) образована полосчатым паттерном, состоящим из обесцвеченных полосок, следующих одна за другой вдоль направления протяженности указанной структуры.
5. Способ по п.4, в котором обесцвеченные полоски (44) и плоскости, в которых они расположены, ориентированы ортогонально направлению распространения излучения.
6. Способ по п.5, в котором расстояние между смежными полосками (44) в направлении распространения излучения не превышает 10 мкм, предпочтительно 8 мкм, более предпочтительно 6 мкм и составляет, например, 5 мкм.
7. Способ по п.4, в котором проекции смежных полосок (44) на плоскость, ортогональную направлению распространения излучения, пространственно разделены.
8. Способ по п.3, в котором первая обесцвеченная структура (52) образована плоской обесцвеченной поверхностью, расположенной наклонно по отношению к направлению распространения лазерного излучения и доходящей до наружной поверхности тест-объекта.
9. Способ по п.3, в котором формируемые структуры включают вторую обесцвеченную структуру, создающую оптический контраст с окружающими областями материала тест-объекта (36) и образующую одну или более опорных меток (46) для области прорезания первой обесцвеченной структурой наружной поверхности (48) тест-объекта.
10. Способ по п.9, в котором опорные метки (46) маркируют заданную область (47) прорезания первой обесцвеченной структурой (44, 52) наружной поверхности (48) тест-объекта (36).
11. Способ по п.10, в котором опорные метки (46) образуют пару взаимно параллельных и пространственно разделенных маркирующих линий, предназначенных для маркирования заданной области (47) прорезания.
12. Способ по п.1, в котором тестовый паттерн обеспечивает возможность формирования третьей обесцвеченной структуры (50), создающей оптический контраст с окружающими областями материала тест-объекта (36) и расположенной вдоль наружной границы заданного пространства, доступного для позиционирования фокуса, ортогонально к направлению распространения излучения.
13. Способ п.1, в котором формируемые структуры включают одну или более поверхностей, которые образованы посредством разрезов и по которым тест-объект разделяется по меньшей мере на два частичных объекта (36а, 36b), отделяемых друг от друга.
14. Способ по п.13, в котором образованные посредством разрезов поверхности выделяют из наружной поверхности (48) тест-объекта, упирающейся в сопрягаемую поверхность, частичный объект (36b), который имеет постоянную толщину или содержит взаимно смещенные участки различной толщины, образующие ступенчатый контур.
15. Способ по п.1, в котором тест-объект (36) изготавливают, по меньшей мере в зоне, подвергаемой действию излучения, из материала, прозрачного в видимом диапазоне длин волн.
16. Способ по п.1, в котором тест-объект имеет, по меньшей мере в зоне, подвергаемой действию излучения, многослойную конструкцию, причем различные слои тест-объекта характеризуются различными реакциями взаимодействия с используемым лазерным излучением.
17. Способ по п.1, в котором тест-объект (36) удерживают на контактном элемента (30) посредством силы присасывания.
18. Способ по п.1, дополнительно включающий архивирование прошедших обработку тест-объектов (36) с ассоциированными с ними данными, относящимися к дате и/или времени.
19. Способ по любому из предыдущих пунктов, дополнительно включающий:
приведение лазерного устройства (10) в готовность к воздействию лазером на человеческий глаз в случае признания результатов тестирования лазерного устройства успешными, или
выдачу запрета на использование лазерного устройства для воздействия лазером на человеческий глаз в случае признания результатов тестирования неуспешными.
20. Способ по п.19, включающий признание результатов тестирования успешными или неуспешными на основании входного сигнала, вводимого пользователем через средство (26) ввода в составе лазерного устройства.
RU2013117720/28A 2010-09-30 2010-09-30 Способ тестирования лазерного устройства RU2554603C2 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2010/005971 WO2012041346A1 (de) 2010-09-30 2010-09-30 Verfahren zum prüfen einer lasereinrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013117720A true RU2013117720A (ru) 2014-11-10
RU2554603C2 RU2554603C2 (ru) 2015-06-27

Family

ID=44146782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013117720/28A RU2554603C2 (ru) 2010-09-30 2010-09-30 Способ тестирования лазерного устройства

Country Status (10)

Country Link
EP (1) EP2621661B1 (ru)
JP (1) JP5815714B2 (ru)
KR (1) KR101502852B1 (ru)
CN (1) CN103249517B (ru)
AU (1) AU2010361360B2 (ru)
CA (1) CA2812819C (ru)
ES (1) ES2942536T3 (ru)
MX (1) MX2013003529A (ru)
RU (1) RU2554603C2 (ru)
WO (1) WO2012041346A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015005820B4 (de) * 2015-05-06 2022-04-28 Alcon Inc. Verfahren zur Energiekalibrierung eines gepulsten Schneidlasers für die Augenchirurgie
EP3374173B1 (en) * 2015-11-11 2020-08-19 Bobst Mex Sa Laser induced structural modification of paperboards
DE102015015095A1 (de) * 2015-11-20 2017-05-24 Novartis Ag Verfahren zum Testen einer Lasereinrichtung
CN105651489A (zh) * 2016-03-01 2016-06-08 工业和信息化部电子第五研究所 激光器寿命测试系统
US11733187B2 (en) 2021-02-12 2023-08-22 Arcam Ab Verification plates with automated evaluation of melt performance
CN115436016B (zh) * 2022-07-29 2024-04-12 中国人民解放军32181部队 激光销毁设备变焦与穿透能力的一体化测试评估方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3670021D1 (de) * 1985-08-23 1990-05-10 Ciba Geigy Ag Verfahren und vorrichtung zur feinjustierung eines laserstrahls.
DE19857694C2 (de) * 1998-12-14 2001-07-19 Precitec Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Einstellen der Fokuslage eines auf ein Werkstück gerichteten Laserstrahls
US6344040B1 (en) * 1999-03-11 2002-02-05 Intralase Corporation Device and method for removing gas and debris during the photodisruption of stromal tissue
US6992765B2 (en) * 2002-10-11 2006-01-31 Intralase Corp. Method and system for determining the alignment of a surface of a material in relation to a laser beam
US7846152B2 (en) * 2004-03-24 2010-12-07 Amo Manufacturing Usa, Llc. Calibrating laser beam position and shape using an image capture device
DE10353264B4 (de) * 2003-11-14 2022-07-07 Carl Zeiss Meditec Ag Adapter zum Koppeln einer Laserbearbeitungsvorrichtung mit einem Objekt
WO2006017013A2 (en) * 2004-07-09 2006-02-16 Visx, Incorporated Laser pulse position monitor for scanned laser eye surgery systems
US20070173796A1 (en) * 2006-01-25 2007-07-26 Ralf Kessler Device and method for calibrating a laser system
US7888621B2 (en) * 2006-09-29 2011-02-15 International Paper Co. Systems and methods for automatically adjusting the operational parameters of a laser cutter in a package processing environment
DE102006046370A1 (de) * 2006-09-29 2008-04-03 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung und Verfahren zur Materialverarbeitung unter Verwendung eines transparenten Kontaktelements
US20080221559A1 (en) * 2007-03-06 2008-09-11 Phuoc Khanh Nguyen Calibration and Quality Assurance System For Use With Ophthalmic Surgical Devices and Associated Methods
US20090137991A1 (en) * 2007-09-18 2009-05-28 Kurtz Ronald M Methods and Apparatus for Laser Treatment of the Crystalline Lens
JP2011502585A (ja) * 2007-11-02 2011-01-27 アルコン レンゼックス， インコーポレーテッド 術後の眼の光学的性能を改善するための方法および装置
DE102007056554A1 (de) * 2007-11-23 2009-05-28 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Einstellen und/oder Kontrollieren des prozessoptimalen Arbeitsabstands eines Lasers

Also Published As

Publication number Publication date
CA2812819A1 (en) 2012-04-05
JP2013540054A (ja) 2013-10-31
EP2621661A1 (de) 2013-08-07
AU2010361360B2 (en) 2014-07-03
JP5815714B2 (ja) 2015-11-17
WO2012041346A1 (de) 2012-04-05
MX2013003529A (es) 2013-09-13
RU2554603C2 (ru) 2015-06-27
KR20130100321A (ko) 2013-09-10
ES2942536T3 (es) 2023-06-02
CN103249517A (zh) 2013-08-14
KR101502852B1 (ko) 2015-03-16
CA2812819C (en) 2015-11-17
EP2621661B1 (de) 2023-03-01
AU2010361360A1 (en) 2013-03-28
CN103249517B (zh) 2016-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013117720A (ru) Способ тестирования лазерного устройства
JP7182362B2 (ja) 複合材の分断方法
TW201816877A (zh) 用於使用非軸對稱光束點對通透工件進行雷射加工的設備與方法
JP4865088B2 (ja) 光学結像方法
JP6109879B2 (ja) 光制御パネルの製造方法
DE602004008003D1 (de) Optischer Wellenleiter mit Spiegelfläche geformt durch Laserstrahlbearbeitung
US20170197868A1 (en) Laser Processing of Electronic Device Structures
US20130068736A1 (en) Systems and processes that singulate materials
KR101425492B1 (ko) 레이저 가공 장치 및 방법
CN104025251A (zh) 切割材料的系统和过程
DE502004010239D1 (de) Vorrichtung zum ausbilden gekrümmter schnittflächen in einem transparenten material
KR20160067782A (ko) 웨이퍼의 생성 방법
JP2012131216A (ja) 脆性材料基板のブレイク方法
KR20150135381A (ko) 레이저 방사선을 이용하여 레이저 방사선에 대해 투과성인 취성 경질 재료의 제거 방법 및 그 장치
CN105102171B (zh) 光学部件贴合体的制造装置
KR101419482B1 (ko) 프랙셔널 레이저 빔을 이용하는 의료용 시스템
TWI655048B (zh) 穿透雷射光束的檢測方法
KR20150130835A (ko) 금속층이 형성된 반도체 웨이퍼를 절단하는 레이저 가공 방법 및 레이저 가공 장치
JP2010189201A (ja) 光学素子の製造方法
TW201804528A (zh) 雷射加工裝置
KR20220148197A (ko) 복합재의 분단 방법
CN206169491U (zh) 一种激光划片的系统
TW201501849A (zh) 形成用於電容觸控感測器之電極結構之方法
JP3522671B2 (ja) マーキング方法、装置及びマーキングされた光学部材
EP3264069B1 (en) Total internal reflection sample illuminating device

Legal Events

Date Code Title Description
HE9A Changing address for correspondence with an applicant
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201001