RU2013117115A

RU2013117115A - Улучшенный способ совместного распыления сплавов и соединений с использованием двойной с-mag конструкции катода и соответствующая установка

Info

Publication number: RU2013117115A
Application number: RU2013117115/02A
Authority: RU
Inventors: Антон ДИТРИХ; Кевин О`КОННОР; Ричард БЛЭКЕР
Original assignee: Сантр Люксамбуржуа Де Решерш Пур Ле Верр Э Ля Серамик С.А. (С.Р.В.С.); Гардиан Индастриз Корп.
Priority date: 2010-09-17
Filing date: 2011-06-01
Publication date: 2014-10-27
Also published as: RU2578336C2; US20120067717A1; PL2616566T3; TR201809669T4; ES2673272T3; EP2616566B1; WO2012036718A1; MX2013002898A; BR112013006338A2; EP2616566A1; MX351707B

Abstract

1. Способ изготовления покрытого изделия, содержащего поддерживаемую подложкой пленку, включающий в себя:обеспечение наличия первой и второй вращающихся цилиндрических распыляемых мишеней, причем первая распыляемая мишень содержит первый распыляемый материал, а вторая распыляемая мишень содержит второй распыляемый материал,распыление первой и второй распыляемых мишеней, и при этом по меньшей мере один магнитный стержень второй распыляемой мишени ориентирован так, чтобы во время распыления второй мишени второй распыляемый материал из второй мишени распылялся на первую мишень, а во время распыления первой мишени первый распыляемый материал первой мишени и второй распыляемый материал, который был распылен на первую мишень из второй мишени, напылялся на подложку с образованием пленки.2. Способ по п. 1, включающий в себя распыление первой и второй распыляемых мишеней, когда первая и вторая распыляемые мишени расположены в распылительной камере рядом друг с другом так, что никаких других распыляемых мишеней не находится между первой и второй распыляемыми мишенями.3. Способ по п. 1, включающий в себя распыление второй мишени так, чтобы значительная часть второго распыляемого материала, который распыляется из второй мишени, распылялась на первую мишень.4. Способ по п. 1, включающий в себя распыление из второй мишени так, чтобы по меньшей мере примерно 30% второго распыляемого материала, который распыляется из второй мишени, распылялось на первую мишень.5. Способ по п. 1, включающий в себя распыление второй мишени так, чтобы по меньшей мере примерно 40% второго распыляемого материала, который распыляется из второй мише�

Claims

1. Способ изготовления покрытого изделия, содержащего поддерживаемую подложкой пленку, включающий в себя:

обеспечение наличия первой и второй вращающихся цилиндрических распыляемых мишеней, причем первая распыляемая мишень содержит первый распыляемый материал, а вторая распыляемая мишень содержит второй распыляемый материал,

распыление первой и второй распыляемых мишеней, и при этом по меньшей мере один магнитный стержень второй распыляемой мишени ориентирован так, чтобы во время распыления второй мишени второй распыляемый материал из второй мишени распылялся на первую мишень, а во время распыления первой мишени первый распыляемый материал первой мишени и второй распыляемый материал, который был распылен на первую мишень из второй мишени, напылялся на подложку с образованием пленки.

2. Способ по п. 1, включающий в себя распыление первой и второй распыляемых мишеней, когда первая и вторая распыляемые мишени расположены в распылительной камере рядом друг с другом так, что никаких других распыляемых мишеней не находится между первой и второй распыляемыми мишенями.

3. Способ по п. 1, включающий в себя распыление второй мишени так, чтобы значительная часть второго распыляемого материала, который распыляется из второй мишени, распылялась на первую мишень.

4. Способ по п. 1, включающий в себя распыление из второй мишени так, чтобы по меньшей мере примерно 30% второго распыляемого материала, который распыляется из второй мишени, распылялось на первую мишень.

5. Способ по п. 1, включающий в себя распыление второй мишени так, чтобы по меньшей мере примерно 40% второго распыляемого материала, который распыляется из второй мишени, распылялось на первую мишень.

6. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя ориентирование магнитов первой и второй мишеней так, чтобы зона плазменной эрозии первой мишени была в основном ориентирована обращенной в первом направлении, которое направлено практически к подложке, а зона плазменной эрозии второй мишени была в основном ориентирована обращенной во втором направлении, которое находится под углом от примерно 70-170° относительно первого направления.

7. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя ориентирование магнитов первой и второй мишеней так, чтобы зона плазменной эрозии первой мишени была в основном ориентирована обращенной в первом направлении, которое направлено практически к подложке, а зона плазменной эрозии второй мишени была в основном ориентирована обращенной во втором направлении, которое находится под углом от примерно 90-150° относительно первого направления.

8. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя ориентирование узла магнитных стержней первой мишени и узла магнитных стержней второй мишени так, чтобы они были практически перпендикулярны друг другу.

9. Способ по п. 1, при этом зона плазменной эрозии второй мишени обращена к первой мишени, а зона плазменной эрозии первой мишени обращена к подложке.

10. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя подачу реакционно-способного газа, содержащего кислород, главным образом из верхнего газового впуска распылительной камеры, в которой расположены мишени, и при этом распыление второго распыляемого материала из второй мишени на первую мишень образует на первой мишени керамический слой, содержащий второй распыляемый материал.

11. Способ по п. 1, при этом для первой мишени предусмотрена первая напряженность магнитного поля, а для второй мишени предусмотрена вторая напряженность магнитного поля, и при этом первая и вторая напряженности магнитного поля являются разными.

12. Способ по п. 11, при этом вторая напряженность магнитного поля более сильная, чем первая напряженность магнитного поля.

13. Способ по п. 1, при этом пленка содержит практически равные количества материалов первой и второй мишеней.

14. Способ по п. 1, при этом тонкая пленка содержит больше материала первой мишени, чем материала второй мишени.

15. Способ по п. 1, при этом материалы первой и второй мишеней представляют собой металлы или металлические сплавы.

16. Способ изготовления покрытого изделия, содержащего поддерживаемую стеклянной подложкой пленку, включающий в себя:

распыление первой и второй распыляемых мишеней, при этом по меньшей мере один магнит второй распыляемой мишени ориентирован так, чтобы во время распыления второй мишени второй распыляемый материал из второй мишени распылялся к первой мишени, а во время распыления первой мишени первый распыляемый материал первой мишени и второй распыляемый материал, который был распылен на первую мишень из второй мишени, напылялся на стеклянную подложку с образованием пленки, которая является практически прозрачной; и

ориентирование зоны плазменной эрозии первой мишени в основном обращенной в первом направлении, которое направлено практически к подложке, и ориентирование зоны плазменной эрозии второй мишени в основном обращенной во втором направлении, которое направлено практически к первой мишени и находится под углом от примерно 70-170° относительно первого направления.

17. Способ по п. 16, включающий в себя распыление первой и второй распыляемых мишеней, когда первая и вторая распыляемые мишени расположены в распылительной камере смежными друг другу так, что никаких других распыляемых мишеней не находится между первой и второй распыляемыми мишенями.

18. Способ по п. 16, включающий в себя распыление второй мишени так, чтобы значительная часть второго распыляемого материала, который распыляется из второй мишени, распылялась на первую мишень.

19. Способ по п. 16, включающий в себя распыление второй мишени так, чтобы по меньшей мере примерно 30% второго распыляемого материала, который распыляется из второй мишени, распылялось на первую мишень.

20. Способ по п. 16, дополнительно включающий в себя ориентирование узла магнитных стержней первой мишени и узла магнитных стержней второй мишени так, чтобы они были практически перпендикулярны друг другу.

21. Распылительная установка для напыления пленки на подложку, включающая в себя:

первую и вторую смежные распыляемые мишени без других распыляемых мишеней между первой и второй распыляемыми мишенями, при этом по меньшей мере один магнит второй распыляемой мишени ориентирован так, чтобы во время распыления второй мишени второй распыляемый материал из второй мишени распылялся к первой мишени, а во время распыления первой мишени первый распыляемый материал первой мишени и второй распыляемый материал, который был распылен на первую мишень из второй мишени, распылялся к подложке с образованием пленки;

при этом зона плазменной эрозии первой мишени ориентирована в основном обращенной в первой направлении, которое направлено практически нормально к подложке, а зона плазменной эрозии второй мишени ориентирована в основном обращенной во втором направлении, которое направлено практически к первой мишени и находится под углом от примерно 70-170° относительно первого направления.

22. Установка по п. 21, при этом узел магнитных стержней первой мишени и узел магнитных стержней второй мишени перпендикулярны друг другу плюс/минус примерно 20 °.