RU2013114707A - Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах - Google Patents
Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013114707A RU2013114707A RU2013114707/08A RU2013114707A RU2013114707A RU 2013114707 A RU2013114707 A RU 2013114707A RU 2013114707/08 A RU2013114707/08 A RU 2013114707/08A RU 2013114707 A RU2013114707 A RU 2013114707A RU 2013114707 A RU2013114707 A RU 2013114707A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sound duct
- resonator according
- crystal diamond
- piezoelectric
- acoustic waves
- Prior art date
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
1. Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах, состоящий из звукопровода и источника акустических колебаний, включающего в себя пьезоэлектрик, верхний и нижний металлические электроды и размещенного на одной из поверхностей звукопровода, отличающийся тем, что звукопровод выполнен из ориентированного монокристалла алмаза.2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что звукопровод выполнен из искусственно выращенного монокристалла алмаза.3. Резонатор по пп.1 и 2, отличающийся тем, что в качестве материала звукопровода используют монокристаллы алмаза срезов (100), или (110), или (111), соответствующих направлениям распространения чистых продольных мод.4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что в качестве пьезоэлектрика используют нитрид алюминия AlN.5. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что нижний электрод выполняют из молибдена толщиной 100-200 нм.
Claims (5)
1. Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах, состоящий из звукопровода и источника акустических колебаний, включающего в себя пьезоэлектрик, верхний и нижний металлические электроды и размещенного на одной из поверхностей звукопровода, отличающийся тем, что звукопровод выполнен из ориентированного монокристалла алмаза.
2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что звукопровод выполнен из искусственно выращенного монокристалла алмаза.
3. Резонатор по пп.1 и 2, отличающийся тем, что в качестве материала звукопровода используют монокристаллы алмаза срезов (100), или (110), или (111), соответствующих направлениям распространения чистых продольных мод.
4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что в качестве пьезоэлектрика используют нитрид алюминия AlN.
5. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что нижний электрод выполняют из молибдена толщиной 100-200 нм.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013114707/08A RU2541927C2 (ru) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013114707/08A RU2541927C2 (ru) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013114707A true RU2013114707A (ru) | 2014-10-10 |
| RU2541927C2 RU2541927C2 (ru) | 2015-02-20 |
Family
ID=53289143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013114707/08A RU2541927C2 (ru) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2541927C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2723956C1 (ru) * | 2019-09-12 | 2020-06-18 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов" (ФГБНУ ТИСНУМ) | СВЧ акустический масс-сенсор |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6437484B1 (en) * | 1998-12-24 | 2002-08-20 | Kyocera Corporation | Piezoelectric resonator |
| US7275292B2 (en) * | 2003-03-07 | 2007-10-02 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Method for fabricating an acoustical resonator on a substrate |
| FR2889375B1 (fr) * | 2005-07-29 | 2008-02-15 | Temex Sas Soc Par Actions Simp | Structure resonnante hybride |
-
2013
- 2013-04-02 RU RU2013114707/08A patent/RU2541927C2/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2541927C2 (ru) | 2015-02-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EA201490218A1 (ru) | Морской сейсмический вибратор и способ сейсморазведки | |
| GB2573052A8 (en) | Acoustic wave filter including two types of acoustic wave resonators | |
| SG10201810091WA (en) | Mems loudspeaker having an actuator structure and a diaphragm spaced apart therefrom | |
| WO2013185737A3 (zh) | 一种温度补偿能力可调节的压电声波谐振器 | |
| ATE546957T1 (de) | Lautsprecher in schallwandebene | |
| ATE515830T1 (de) | Volumenwellenresonator | |
| WO2015100289A3 (en) | Ultrasonic bone cutting instrument | |
| MX2016013523A (es) | Transductor de barra curva con al menos tres modos de resonancia. | |
| FR3056812B1 (fr) | Structure de support de barriere acoustique | |
| MX365076B (es) | Aplicaciones de resonador para langasita y sus isomorfos. | |
| MX2018005792A (es) | Pintura acustica. | |
| AR092652A1 (es) | Un densitometro vibratorio con un miembro vibratorio mejorado | |
| AR115453A1 (es) | Cristal con propiedades acústicas mejoradas | |
| GB2592810A8 (en) | Acoustic wave devices | |
| MX361180B (es) | Transductor asimétrico de barra dobladora. | |
| RU2013114707A (ru) | Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах | |
| CY1116501T1 (el) | Μεγαφωνο | |
| CN205242284U (zh) | 一种基于亥姆霍兹共振器的方形吸声砖 | |
| JP2016183083A5 (ru) | ||
| RU2013106268A (ru) | Способ сварки давлением | |
| IN2014DN07854A (ru) | ||
| TW200733555A (en) | Film bulk acoustic resonator | |
| 何敏 et al. | Properties of a lens-focused transducer based on piezoelectric composites | |
| PL416746A1 (pl) | Rezonator synchroniczny z akustyczną falą powierzchniową | |
| RU2013145156A (ru) | Способ исследования образцов горных пород |