RU2012946C1 - Plasma cathode-compensator - Google Patents
Plasma cathode-compensator Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012946C1 RU2012946C1 SU904843045A SU4843045A RU2012946C1 RU 2012946 C1 RU2012946 C1 RU 2012946C1 SU 904843045 A SU904843045 A SU 904843045A SU 4843045 A SU4843045 A SU 4843045A RU 2012946 C1 RU2012946 C1 RU 2012946C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- holder
- cathode
- thermal emitter
- heater
- cavity
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/025—Electron guns using a discharge in a gas or a vapour as electron source
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к плазменным катодам-компенсаторам на газообразных рабочих телах и может быть использовано в электроракетных двигателях для нейтрализации ионного пучка, а также в технологических источниках, например, в ускорителях с замкнутым дрейфом электронов и протяженной зоной ускорения (УЗДП), ускорителях с анодным слоем и узкой зоной ускорения (УАС), плазменно-ионных ускорителях (ПИУ) и т. д. The invention relates to plasma cathode-compensators on gaseous working fluids and can be used in electric rocket engines to neutralize the ion beam, as well as in technological sources, for example, accelerators with a closed electron drift and an extended acceleration zone (SPL), accelerators with an anode layer and narrow acceleration zone (UAS), plasma-ion accelerators (PIE), etc.
Известен накальный полный катод [1] , содержащий корпус, на внутренней поверхности которого закреплена полая цилиндрическая вставка, являющаяся термоэмиттером, нагреватель, закрепленный на наружной поверхности корпуса, и закрепленную на торцевой поверхности корпуса диафрагму с отверстием, являющимся выходным отверстием катода. Known glow full cathode [1], comprising a housing, on the inner surface of which a hollow cylindrical insert is fixed, which is a thermal emitter, a heater mounted on the outer surface of the housing, and a diaphragm fixed on the end surface of the housing with an opening being an outlet of the cathode.
Однако при таком конструктивном выполнении катода требуется большая мощность нагревателя для разогрева термоэмиттера до температур, обеспечивающих термоэлектронную эмиссию, достаточную для поддержания стабильного разряда. However, with such a constructive implementation of the cathode, a large heater power is required to heat the emitter to temperatures that provide thermionic emission sufficient to maintain a stable discharge.
Известен плазменный катод-компенсатор [2] , содержащий корпус с выходным отверстием в одной из его стенок, размещенный в корпусе соосно его выходному отверстию трубчатый держатель, в полость которого плотно вставлен термоэмиттер с центральным сквозным каналом. Катод-компенсатор содержит также нагреватель, охватывающий трубчатый держатель, и размещенные между ними и стенками корпуса тепловые экраны. С трубчатым держателем соединена закрепленная в корпусе через электрический изолятор трубка подвода газа во внутреннюю полость корпуса и канал термоэмиттера через его входной участок. Known plasma cathode-compensator [2], comprising a housing with an outlet in one of its walls, a tubular holder placed in the housing coaxially with its outlet, into the cavity of which a thermally emitter with a central through channel is tightly inserted. The cathode-compensator also contains a heater, covering the tubular holder, and heat shields placed between them and the walls of the housing. A tube for supplying gas into the internal cavity of the housing and a channel of the thermoemitter through its inlet section is connected to the tubular holder through the electrical insulator.
Во время работы катода-компенсатора газ через трубчатый держатель поступает в канал термоэмиттера. Разогретый до высокой температуры термоэмиттер обеспечивает эмиссию электронов, достаточную для поддержания стабильного электрического разряда между внутренней поверхностью термоэмиттера и анодом источника плазмы. После выхода на стационарный режим нагреватель отключается и катод-компенсатор работает в авторежиме, при котором необходимый уровень температуры обеспечивается за счет энергии, выделяющейся в прикатодном слое и примерно равной произведению ионного тока, поступающего из разряда, на прикатодное падение потенциала. During operation of the cathode-compensator, gas through a tubular holder enters the channel of the thermal emitter. Preheated to a high temperature, the thermal emitter provides electron emission sufficient to maintain a stable electric discharge between the inner surface of the thermal emitter and the anode of the plasma source. After reaching the stationary mode, the heater is turned off and the cathode-compensator operates in auto mode, at which the necessary temperature level is ensured by the energy released in the cathode layer and approximately equal to the product of the ion current coming from the discharge and the cathode potential drop.
Известному катоду присущи следующие недостатки: в процессе работы может происходить перемещение разряда из канала термоэмиттера во внутреннюю полость трубчатого держателя, что приводит к испарению материала держателя и загрязнению канала термоэмиттера материалом держателя вплоть до полной его закупорки. В результате необратимая деградация термоэмиссионных поверхностей и падение тока термоэмиссии, что ограничивает срок службы катода-компенсатора несколькими десятками часов. Кроме того, непосредственное соединение держателя термоэмиттера с трубкой подвода газа приводит к интенсивному отводу тепла от эмиттера к внешним частям конструкции и, как следствие, к повышению прикатодного падения потенциала для обеспечения требуемой для поддержания авторежима энергии. Повышение прикатодного падения потенциала приводит также к сокращению срока службы термоэмиттера вследствие его усиленной бомбардировки ионами. Кроме того, при плотном контакте термоэмиссионных материалов с держателем при высоких рабочих температурах между ними идет активное химическое взаимодействие, например, проникновение бора с образованием боридов металла, что вызывает охрупчивание и растрескивание материала держателя и термоэмиттера, необратимое изменение формы держателя. Наиболее сильно этот эффект проявляется на пусковых режимах, при которых достигается максимальный уровень температур, что ограничивает срок службы и число включений катода-компенсатора. Кроме того, нагреватель, выполненный в виде спирали, охватывающей трубчатый держатель, характеризуется недостаточной жесткостью, в результате чего происходит провисание и деформация ее витков, приводящее к касанию держателя или тепловых экранов, а следовательно, к закорачиванию нагревателя. Это приводит к ограничению числа включений катода-компенсатора и срока его службы. Кроме того, в рабочем газе в незначительном количестве, например десятые или сотые доли процента, содержатся примеси кислорода, воды и так далее, которые активно взаимодействуют при рабочих температурах с материалом термоэмиттера, ухудшая термоэмиссионные характеристики материала. При работе в течение десятков и сотен часов этот эффект становится значительным и ограничивает срок службы катода-компенсатора. The known cathode has the following disadvantages: during operation, the discharge can move from the channel of the thermoemitter to the internal cavity of the tubular holder, which leads to evaporation of the material of the holder and contamination of the channel of the thermal emitter with the material of the holder until it is completely clogged. As a result, irreversible degradation of thermionic surfaces and a decrease in thermionic current, which limits the service life of the cathode-compensator several tens of hours. In addition, the direct connection of the holder of the thermal emitter to the gas supply tube leads to intensive heat removal from the emitter to the external parts of the structure and, as a result, to an increase in the near-cathode potential drop to provide the energy required to maintain auto mode. An increase in the near-cathode potential drop also leads to a decrease in the life of the thermoemitter due to its enhanced ion bombardment. In addition, when thermionic materials are in close contact with the holder at high operating temperatures, an active chemical interaction takes place between them, for example, penetration of boron with the formation of metal borides, which causes embrittlement and cracking of the material of the holder and the thermal emitter, irreversible change in the shape of the holder. This effect manifests itself most strongly in starting conditions at which the maximum temperature level is reached, which limits the service life and the number of starts of the compensator cathode. In addition, the heater, made in the form of a spiral, covering the tubular holder, is characterized by insufficient rigidity, resulting in sagging and deformation of its turns, leading to the touch of the holder or heat shields, and, consequently, to shorting the heater. This leads to a limitation of the number of inclusions of the cathode-compensator and its service life. In addition, in a small amount of gas, for example, tenths or hundredths of a percent, contains impurities of oxygen, water and so on, which actively interact at working temperatures with the material of the thermal emitter, impairing the thermal emission characteristics of the material. When operating for tens and hundreds of hours, this effect becomes significant and limits the life of the cathode-compensator.
Целью изобретения является устранение указанных недостатков и увеличение за счет этого срока службы и числа включений катода-компенсатора, повышение его надежности и экономичности. The aim of the invention is to eliminate these disadvantages and increase due to this service life and the number of inclusions of the cathode-compensator, increasing its reliability and efficiency.
Поставленная задача решается тем, что в плазменном катоде-компенсаторе, содержащем размещенные в корпусе соосно его выходному отверстию коаксиально установленные полый держатель и термоэмиттер и центральным каналом, сообщенным с полостью держателя, нагреватель, охватывающий держатель, тепловые экраны, размещенные между нагревателем и стенками корпуса, и трубку подвода газа в полость держателя, закрепленную в опорном изоляторе, согласно изобретению, центральный канал термоэмиттера со стороны подвода газа выполнен глухим и сообщен с полостью держателя посредством сквозного канала, выполненного в стенке термоэмиттера так, что его ось пересекает ось центрального канала и продольных пазов, выполненных на боковой поверхности термоэмиттера в месте расположения водных отверстий сквозного канала, а полость держателя сообщена с трубкой подвода газа через герметичную полость, образованную зазорами между коаксиально установленными тепловыми экранами, последовательно соединенными проставочными кольцами и закрепленными на трубке подвода газа, и в этой полости под держателем установлен геттер, расположенный между механическими фильтрами, при этом между внутренней поверхностью держателя и боковой поверхностью термоэмиттера расположен слой материала, химически пассивного при высоких температурах по отношению к материалам держателя и термоэмиттера, а нагреватель снабжен опорным кольцом, размещенным в его средней части и установленным в изоляционной втулке, отделяющей нагреватель от тепловых экранов. The problem is solved in that in the plasma cathode-compensator containing coaxially mounted hollow holder and thermoemitter placed in the housing coaxially with its output hole and a central channel in communication with the holder cavity, a heater covering the holder, thermal shields placed between the heater and the walls of the housing, and a gas supply tube to the holder cavity fixed in the support insulator according to the invention, the central channel of the thermoemitter from the gas supply side is made blind and communicated with the holder’s cavity by means of a through channel made in the wall of the thermal emitter so that its axis intersects the axis of the central channel and longitudinal grooves made on the lateral surface of the thermal emitter at the location of the water holes of the through channel, and the holder’s cavity is in communication with the gas supply pipe through the airtight cavity formed by the gaps between coaxially mounted heat shields, sequentially connected by spacer rings and fixed to the gas supply tube, and in this cavity under the holder m getter is installed, located between the mechanical filters, while between the inner surface of the holder and the side surface of the emitter is a layer of material chemically passive at high temperatures with respect to the materials of the holder and the emitter, and the heater is equipped with a support ring located in its middle part and installed in an insulating sleeve that separates the heater from the heat shields.
На фиг. 1 изображен общий вид предлагаемого плазменного катода-компенсатора; на фиг. 2 - вид по стрелке А на фиг. 1. In FIG. 1 shows a General view of the proposed plasma cathode-compensator; in FIG. 2 is a view along arrow A in FIG. 1.
Плазменный катод-компенсатор содержит корпус 1 (фиг. 1) с выходным отверстием 2, коаксиально установленные полый держатель 3 и термоэмиттер 4 с центральным каналом 5. Деpжатель 3 размещен в корпусе 1 соосно выходному отверстию 2 и охвачен нагревателем 6, выполненным в виде спирали, один конец которой закреплен на корпусе 1, а другой - на держателе 3. Нагреватель 6 снабжен опорным кольцом 7, размещенным в его средней части и являющимся дополнительной точкой опоры. The plasma cathode-compensator contains a housing 1 (Fig. 1) with an outlet 2, a coaxially mounted
Центральный канал 5 термоэмиттера 4 со стороны подвода газа выполнен глухим и сообщен с полостью держателя 3 посредством сквозного канала 8 (фиг. 2), который выполнен в стенке термоэмиттера 4 и ось которого перпендикулярна оси центрального канала 5 и продольных пазов 9, выполненных на боковой поверхности термоэмиттера 4 в месте расположения входных отверстий сквозного канала 8. Между внутренней поверхностью держателя 3 и боковой поверхностью термоэмиттера 4 расположен слой 10 (фиг. 1) материала, химически пассивного при высоких температурах по отношению к материалам держателя 3 и термоэмиттера 4. Между нагревателем 6 и стенками корпуса 1 размещена система коаксиально установленных тепловых экранов 11, соединенных последовательно через проставочные кольца 12 и закрепленных на трубке 13 подвода газа с образованием герметичной полости 14, через которую полость держателя 3 сообщена с трубкой 13 подвода газа. Между держателем 3 и трубкой 13 установлен геттер 15, размещенный между механическими фильтрами 16, а трубка 13 закреплена в опорном изоляторе 17. Нагреватель 6 отделен от системы тепловых экранов 11 изоляционной втулкой 18, в которой закреплено опорное кольцо 7. The
Катод-компенсатор работает следующим образом. The cathode-compensator operates as follows.
Газ по трубке 13 поступает через геттер 15 и механические фильтры 16 в полость держателя 3 и затем через пазы 9 и канал 8 в центральный канал 5 термоэмиттера 4. С помощью нагревателя 6 термоэмиттер 4 разогревается до температуры, обеспечивающей необходимую эмиссию электронов, достаточную для поддержания стабильного электрического разряда между внутренней поверхностью термоэмиттера 4 и анодом (не показан) источника плазмы. После выхода на стационарный режим нагреватель 6 отключается и катод-компенсатор работает в авторежиме, при котором необходимый уровень температуры термоэмиттера 4 обеспечивается за счет энергии, поступающей от разряда. Gas through the tube 13 enters through the getter 15 and mechanical filters 16 into the cavity of the
При выполнении центрального канала 5 со стороны подачи газа глухим подбором давления а газа и размеров канала 5 стабилизируют электрический разряд в канале 5. При этом исключается возможность "привязки" разряда к стенкам держателя 3, загрязнения и закупорки канала 5 термоэмиттера 4, что сохраняет первоначальную термоэмиссию с внутренней поверхности термоэмиттера 4 и существенно увеличивает срок службы катода-компенсатора. Помещение между внутренней поверхностью держателя 3 и боковой поверхностью термоэмиттера 4 слоя 10 материала, химически пассивного в широком диапазоне температур по отношению к материалам держателя 3 и термоэмиттера 4, исключает возможность химического взаимодействия и взаимной диффузии данных материалов, в результате чего исключаются и необратимые изменения формы держателя 3 и растрескивание держателя 3 и термоэмиттера 4. При этом значительно увеличивается количество включений и срок службы катода-компенсатора. When the
С помощью системы коаксиальных тепловых экранов 11, которые вместе с трубкой 13 подвода газа и держателем 3 образуют герметичную полость 14, удается значительно уменьшить тепловой поток от держателя 3 до термоэмиттера 4 к внешним частям конструкции и, как следствие, понизить величину прикатодного падения потенциала до уровня потенциала ионизации газа и значительно увеличить срок службы катода-компенсатора. Using a system of coaxial heat shields 11, which together with the gas supply pipe 13 and holder 3 form an airtight cavity 14, it is possible to significantly reduce the heat flux from
Введение в катод-компенсатор опорного кольца 7, закрепленного в изоляционной втулке 18, значительно увеличивает жесткость спирали нагревателя 6, исключает закорачивание спирали нагревателя 6 (касание держателя 3 или экранов 11) даже при некоторой деформации витков спирали, которое может произойти при большом количестве термоциклов включения. Это позволяет значительно увеличить число включений и срок службы катода-компенсатора. The introduction into the cathode-compensator of the support ring 7, mounted in the insulating sleeve 18, significantly increases the stiffness of the heater 6 spiral, eliminates the shorting of the heater 6 spiral (touching the
Введение в катод-компенсатор геттера 15, расположенного между механическими фильтрами 16 и установленного непосредственно в месте подвода газа в полость держателя 3, позволяет произвести тонкую дополнительную химическую очистку газа от пpимесей кислорода, воды и так далее и обеспечивает более стабильные термоэмиссионные характеристики термоэмиттера 4, за счет чего удается значительно увеличить срок службы катода-компенсатора. The introduction into the cathode-compensator getter 15, located between the mechanical filters 16 and installed directly in the place of gas supply to the cavity of the
Таким образом, применение в плазменном катоде-компенсаторе термоэмиттера со специальным каналом для газа, слоя химически пассивного материала, системы коаксиально установленных тепловых экранов, опорного кольца, изоляционной втулки, геттера и механических фильтров, согласно изобретению, позволяет значительно увеличить срок службы и количество включений катода-компенсатора. Thus, the use of a thermal emitter in a plasma cathode-compensator with a special channel for gas, a layer of chemically passive material, a system of coaxially mounted heat shields, a support ring, an insulating sleeve, a getter and mechanical filters, according to the invention, can significantly increase the service life and number of cathode inclusions -compensator.
Claims (4)
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904843045A RU2012946C1 (en) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Plasma cathode-compensator |
EP91109114A EP0464383B1 (en) | 1990-06-26 | 1991-06-04 | Plasma neutralisation cathode |
DE69104142T DE69104142T2 (en) | 1990-06-26 | 1991-06-04 | Plasma neutralization cathode. |
AT91109114T ATE112096T1 (en) | 1990-06-26 | 1991-06-04 | PLASMA NEUTRALIZATION CATHODE. |
JP3180134A JP2963903B2 (en) | 1990-06-26 | 1991-06-25 | Plasma compensated cathode |
US08/017,577 US5359254A (en) | 1990-06-26 | 1993-02-16 | Plasma compensation cathode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904843045A RU2012946C1 (en) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Plasma cathode-compensator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012946C1 true RU2012946C1 (en) | 1994-05-15 |
Family
ID=21523026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904843045A RU2012946C1 (en) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Plasma cathode-compensator |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0464383B1 (en) |
JP (1) | JP2963903B2 (en) |
AT (1) | ATE112096T1 (en) |
DE (1) | DE69104142T2 (en) |
RU (1) | RU2012946C1 (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2502238C2 (en) * | 2012-02-07 | 2013-12-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" | Plasma cathode |
RU2662795C1 (en) * | 2017-04-18 | 2018-07-31 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Hollow cathode |
RU2667155C1 (en) * | 2017-03-28 | 2018-09-17 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Hollow cathode |
RU2684309C1 (en) * | 2018-03-14 | 2019-04-08 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Plasma hollow cathode |
RU2684633C2 (en) * | 2017-05-10 | 2019-04-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" (ФГУП "ОКБ "Факел") | Cathode-compensator |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19813589C2 (en) * | 1998-03-27 | 2002-06-20 | Karlsruhe Forschzent | Method for generating a pulsed electron beam and electron beam source for carrying out the method |
FR2897747B1 (en) * | 2006-02-23 | 2008-09-19 | Commissariat Energie Atomique | ARC PLASMA TORCH TRANSFER |
CN102355791A (en) * | 2011-09-28 | 2012-02-15 | 南京创能电力科技开发有限公司 | Device for insulation connecting between cathode and anode of plasma generator |
CN105626410B (en) * | 2015-12-25 | 2018-08-03 | 上海空间推进研究所 | A kind of space electric thruster plume averager |
CN111720281B (en) * | 2020-06-24 | 2021-07-23 | 遨天科技(北京)有限公司 | Array coaxial type vacuum arc thruster device |
CN113371233B (en) * | 2021-07-29 | 2022-08-30 | 哈尔滨工业大学 | Anode structure and cusp field thruster |
CN114320801B (en) * | 2021-12-28 | 2022-07-01 | 哈尔滨工业大学 | Cold cathode capable of being started quickly |
CN114458564B (en) * | 2022-04-12 | 2022-07-12 | 国科大杭州高等研究院 | Hall thruster ring type partial pressure gas path insulation structure |
CN115681054B (en) * | 2023-01-03 | 2023-05-09 | 国科大杭州高等研究院 | Self-maintaining Hall thruster |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5853460B2 (en) * | 1981-12-14 | 1983-11-29 | 株式会社東芝 | Hollow cathode discharge device |
JPS58169752A (en) * | 1982-03-30 | 1983-10-06 | Toshiba Corp | Hollow-cathode discharge device |
-
1990
- 1990-06-26 RU SU904843045A patent/RU2012946C1/en active
-
1991
- 1991-06-04 DE DE69104142T patent/DE69104142T2/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-04 AT AT91109114T patent/ATE112096T1/en active
- 1991-06-04 EP EP91109114A patent/EP0464383B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-06-25 JP JP3180134A patent/JP2963903B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2502238C2 (en) * | 2012-02-07 | 2013-12-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" | Plasma cathode |
RU2667155C1 (en) * | 2017-03-28 | 2018-09-17 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Hollow cathode |
RU2662795C1 (en) * | 2017-04-18 | 2018-07-31 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Hollow cathode |
RU2684633C2 (en) * | 2017-05-10 | 2019-04-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" (ФГУП "ОКБ "Факел") | Cathode-compensator |
RU2684309C1 (en) * | 2018-03-14 | 2019-04-08 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Plasma hollow cathode |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2963903B2 (en) | 1999-10-18 |
DE69104142T2 (en) | 1995-01-19 |
EP0464383B1 (en) | 1994-09-21 |
DE69104142D1 (en) | 1994-10-27 |
EP0464383A3 (en) | 1992-07-15 |
JPH04299000A (en) | 1992-10-22 |
ATE112096T1 (en) | 1994-10-15 |
EP0464383A2 (en) | 1992-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2012946C1 (en) | Plasma cathode-compensator | |
US5523652A (en) | Microwave energized ion source for ion implantation | |
US4659899A (en) | Vacuum-compatible air-cooled plasma device | |
US5541464A (en) | Thermionic generator | |
JPH05198386A (en) | Device with non-heating type hollow cathode to dynamic generation of plasma | |
US5359254A (en) | Plasma compensation cathode | |
US4297615A (en) | High current density cathode structure | |
US3486064A (en) | Hollow cathode,nonthermionic electron beam source with replaceable liner | |
EP0095311B1 (en) | Ion source apparatus | |
US4994706A (en) | Field free, directly heated lanthanum boride cathode | |
EP0402842B1 (en) | Substance vaporizing apparatus | |
KR20030081060A (en) | High-frequency electron source, in particular a neutralizer | |
US4199703A (en) | Low inductance, high intensity, gas discharge VUV light source | |
RU2314593C2 (en) | Electron-beam gun for heating materials in vacuum | |
US3449628A (en) | Plasma arc electrodes with anode heat shield | |
US2667593A (en) | Electron tube | |
JPS5853460B2 (en) | Hollow cathode discharge device | |
RU2710455C1 (en) | Multicavity cathode for plasma engine | |
US7550909B2 (en) | Electron gun providing improved thermal isolation | |
RU2139590C1 (en) | Cathode unit | |
RU2401521C1 (en) | Plasma accelerator with closed hall current (versions) | |
US3275866A (en) | Magnetron cathode structures | |
RU993762C (en) | Duoplasmatron | |
RU2084985C1 (en) | Plasma beam s h f device | |
SU965289A1 (en) | Ion gas laser |