JP2963903B2 - Plasma compensated cathode - Google Patents

Plasma compensated cathode

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JP2963903B2
JP2963903B2 JP3180134A JP18013491A JP2963903B2 JP 2963903 B2 JP2963903 B2 JP 2963903B2 JP 3180134 A JP3180134 A JP 3180134A JP 18013491 A JP18013491 A JP 18013491A JP 2963903 B2 JP2963903 B2 JP 2963903B2
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ユーリー ミトロフアノヴィッチ ゴルバチョフ
ヴィクトール アレクセーヴィッチ イワノフ
コンスタンチン ニコラエヴィッチ コズブスキー
ゲオルギー アレクセーヴィッチ コマロフ
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J3/00Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J3/02Electron guns
    • H01J3/025Electron guns using a discharge in a gas or a vapour as electron source

Abstract

A plasma compensation cathode comprises a casing (1) accommodating coaxially with its outlet hole (2) a hollow holder (3) and a thermal emitter (4) with a central passage (5), a layer (10) of material chemically inert at high temperatures to the materials of the holder and emitter being interposed therebetween. The central passage (5) is blind at the side of admission of gas, and is communicated with the interior of the holder (3) by way of a through passage (8) made in the wall of the thermal emitter (4) so that its axis intersects the axis of passage (5), and longitudinal grooves (9) made in the side surface of the thermal emitter (4) at the location of the inlet holes of the through passage (8). The holder (3) is embraced by heater (6) having a support ring (7) positioned in its midportion and secured in an insulation sleeve (18) separating the heater (6) from the coaxial heat screens (11) interconnected successively to define a sealed cavity (14) wherethrough the interior of the holder (3) communicates with the gas feeding pipe (13) secured in the casing (1) through the support insulator (17). Interposed between mechanical filters (16) and between holder (3) and pipe (13) is a getter (15). <IMAGE>

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、一般にグローイング補
償カソードに係り、特に、プラズマ補償カソードに関す
る。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates generally to glowing compensating cathodes, and more particularly to plasma compensating cathodes.

【0002】[0002]

【従来の技術】ケーシングと、そのケーシングの内面に
固定され、かつ熱エミッタとして働く円筒形挿入物と、
そのケーシングの外側に固定されたヒータと、そのケー
シングの端面に固定され、かつカソードの出口開口とし
て働くオリフィスとから構成されたグローイングカソー
ドが知られている(例えば、1985年のAJAA論文
誌のSchats M.F.「不活性ガスイオンスラス
タ中空カソードのヒータレスイングニッション」)。こ
の構成のカソードは、熱エミッタを、安定放電を維持す
るために充分な熱イオン放出を保証する温度にまで加熱
するのに、大電力のヒータを必要とする。
2. Description of the Related Art A casing, a cylindrical insert fixed to the inner surface of the casing and serving as a heat emitter,
Glowing cathodes are known which consist of a heater fixed to the outside of the casing and an orifice fixed to the end face of the casing and serving as an outlet opening for the cathode (see, for example, Schats, 1985 AJAA Transactions). MF "Heaterless Nission of Inert Gas Ion Thruster Hollow Cathode"). This configuration of the cathode requires a high power heater to heat the thermal emitter to a temperature that ensures sufficient thermionic emission to maintain a stable discharge.

【0003】また、プラズマ補償カソードも知られてい
る(例えば、L.A.Artsimovich 他「R
azrabotka stationarnogo p
lazmennogo dvigatelya i e
go ispytaniena iskusstven
nom sputnike Zemli Metee
r」Kosmicheskie issledovan
is,1974,tomxll,vyp,3,455頁
から456頁)。この補償カソードは、その1つの壁に
出口開口を持つケーシングを有する。このケーシング
は、中央通し通路を持つ熱エミッタを受け入れる管状ホ
ルダを取り巻いているヒータ、及びホルダとケーシング
壁との間に置かれた熱スクリーンを含んでいる。ケーシ
ングの内部に、及び入口部分を介して熱エミッタの通路
にガスを供給するための管が、その管状ホルダに接続さ
れている。この管は、絶縁体を介してケーシングに固定
されている。
[0003] Plasma-compensated cathodes are also known (for example, LA Artsimovich et al.
azrabotka stationarnogo p
razmennogo dvigatelaya IE
go ispytaniena iskusstven
nom sputnik Zemli Meetee
r "Kosmicheskie isledvan
is, 1974, tomxll, vyp, 3, 455-456). The compensating cathode has a casing with an outlet opening in one of its walls. The casing includes a heater surrounding a tubular holder for receiving a heat emitter having a central through passage, and a thermal screen located between the holder and the casing wall. A tube for supplying gas to the interior of the casing and to the passage of the heat emitter via the inlet part is connected to the tubular holder. This tube is fixed to the casing via an insulator.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】補償カソードの動作
中、管状ホルダを介して熱エミッタの通路に、ガスが供
給される。高温に加熱された熱エミッタは、熱エミッタ
の内面とプラズマ源のアノードとの間に安定な電気放電
を維持するために充分な電子放出を確保する。装置を定
常動作状態に持って行った後、ヒータが消勢される。補
償カソードは自動的に動作し続け、それによって、好適
な温度レベルが、カソードにおける電位降下によって放
電から生ずるイオン電流に近いカソード液層において解
放されるエネルギーによって確保される。しかし、動作
中、放電が、熱エミッタの通路から管状ホルダ内部に移
動し、ホルダ材を蒸発させ、しかもそのホルダ材で通路
を殆ど完全に塞いでしまう。その結果、熱放出面が低下
し、熱放出電流が減少し、それによって補償カソードの
使用寿命がほんの10時間に減少する。さらに、熱エミ
ッタのホルダをガス供給管に直接接続によって、エミッ
タから外部構造部への熱移送が活発になる。従って、顕
著なカソード液電位降下に動き、自動動作状態を維持す
るために必要なエネルギーを保証する。一層顕著な電位
降下は、また、強烈なイオン衝撃のため、熱エミッタの
使用寿命を減ずる。さらに、高作動温度での熱放射材料
とホルダとの密着は、例えば、ボロンの貫通、そして金
属ホウ化物の形成などの活発な化学相互作用を伴なう。
そして、それは、ホルダ材料や熱エミッタをもろくした
り割れを引き起こし、やがてホルダの非可逆的な変形を
起こさせる。この不利益効果は、特に、使用寿命を制限
し、補償カソードの係合総数を低減させる。また、管状
ホルダを取り巻いているらせん状ヒータは、低剛性であ
って、ホルダまたは熱スクリーン及びヒータの短絡回路
とコイルの可能な接触を引き起すコイルのたるみや変形
を引き起す。これは、次に、補償カソードの係り合いを
殆どなくし、使用寿命を減少させる。さらに、作動ガス
は、無視しうる程度の酸素、水のような混入物を含有
し、高作動温度で、熱エミッタの材料と反応し、その材
料の熱放射特性に影響を与える。何十あるいは何百時間
という長時間動作によって、この不利益効果は一層顕著
になり、補償カソードの使用寿命が短くなる。
During operation of the compensating cathode, gas is supplied through the tubular holder to the passage of the heat emitter. The hot emitter heated to a high temperature ensures sufficient electron emission to maintain a stable electrical discharge between the inner surface of the heat emitter and the anode of the plasma source. After the device has been brought to a steady state of operation, the heater is de-energized. The compensating cathode continues to operate automatically, whereby a suitable temperature level is ensured by the energy released in the catholyte layer close to the ionic current resulting from the discharge due to the potential drop at the cathode. However, during operation, the discharge travels from the passage of the heat emitter into the interior of the tubular holder, evaporating the holder material and almost completely blocking the passage with the holder material. As a result, the heat release surface is reduced and the heat release current is reduced, thereby reducing the service life of the compensating cathode to only 10 hours. Furthermore, the direct connection of the holder of the heat emitter to the gas supply tube enhances the heat transfer from the emitter to the external structure. Thus, a noticeable catholyte potential drop occurs, guaranteeing the energy required to maintain the automatic operating state. The more pronounced potential drop also reduces the useful life of the thermal emitter due to intense ion bombardment. In addition, intimate contact between the heat radiating material and the holder at high operating temperatures involves active chemical interactions, such as, for example, boron penetration and the formation of metal borides.
And it causes brittleness or cracking of the holder material and the heat emitter, eventually causing irreversible deformation of the holder. This disadvantageous effect, in particular, limits the service life and reduces the total number of engagements of the compensating cathode. Also, the helical heater surrounding the tubular holder is of low rigidity, causing sagging or deformation of the coil causing possible contact of the coil with the short circuit of the holder or thermal screen and heater. This, in turn, results in little compensating cathode involvement and reduces service life. In addition, the working gas contains negligible contaminants such as oxygen and water and, at high operating temperatures, reacts with the material of the heat emitter, affecting the heat radiation properties of the material. With prolonged operation, tens or hundreds of hours, this disadvantage is more pronounced and the service life of the compensating cathode is reduced.

【0005】本発明の目的は、熱エミッタの通路内の放
電領域を固定し、熱エミッタがホルダ材料と化学的に相
互作用するのを防止して、その熱システムが最小カソー
ド電位降下で熱エミッタの好適温度を自動的に維持する
ようにし、さらに、ヒータの剛性を増すとともに、不純
物からガスを余分にクリーニングすることを容易にする
ように構成されたプラズマ補償カソードを提供すること
にある。
It is an object of the present invention to fix the discharge area in the passage of the heat emitter, prevent the heat emitter from chemically interacting with the holder material, so that the heat system has a minimum cathode potential drop and The present invention is to provide a plasma-compensated cathode configured to automatically maintain the preferred temperature of the heater, and to increase the rigidity of the heater and to facilitate extra cleaning of gas from impurities.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、次の構
成を採用することによって達成される。すなわち、出口
開口、中空ホルダ及び該ホルダの内部と連通している中
央通路を持つ熱エミッタを同軸に収容しているケーシン
グと、ホルダを取り巻いているヒータと、該ヒータ及び
上記ケーシングの壁の間に配設された熱スクリーンと、
支持絶縁体に固定されたホルダの内部にガスを供給する
ための管とから構成されたプラズマ補償カソードにおい
て、上記熱エミッタの中央通路が、ガス入口側で閉ざさ
れており、かつ通し通路の軸が中央通路の軸、及びその
通し通路の入口開口の位置で熱エミッタの側面に作られ
た長手方向溝を横切るように、熱エミッタの壁に作られ
た通し通路を介してホルダの内部と連通しており、一
方、ホルダの内部は、スペーサリングによって連続的に
接続されかつガス供給管に固定された同軸熱スクリーン
間のクリアランスによって形成された密封空洞、ホルダ
の内面とホルダ材に対して高温において化学的に不活性
な材料の層を収容している熱エミッタの側面との間の空
間、及び熱エミッタを介して、ガス供給管と連通してお
り、上記ヒータは、その中央部においてヒータを熱スク
リーンから分離している絶縁スリーブに固定された支持
リングを備え、上記空洞は、機械式フィルタ間に配置さ
れたゲッタを収容しているプラズマ補償カソードの構成
を採用している。
The object of the present invention is achieved by employing the following configuration. That is, a casing coaxially housing a heat emitter having an outlet opening, a hollow holder and a central passage communicating with the interior of the holder, a heater surrounding the holder, and a wall between the heater and the casing wall. Heat screen arranged in the
A central passage of the heat emitter is closed on the gas inlet side, and a shaft of the through passage is provided in the plasma compensation cathode, which comprises a tube for supplying a gas to the inside of the holder fixed to the supporting insulator. Communicates with the interior of the holder via a through passage made in the wall of the heat emitter such that it crosses the axis of the central passage and the longitudinal groove made in the side of the heat emitter at the entrance opening of the passage. The interior of the holder, on the other hand, has a sealed cavity formed by the clearance between the coaxial thermal screens that are continuously connected by spacer rings and fixed to the gas supply pipes, and the inner surface of the holder and the holder material are hot. The space between the side of the heat emitter containing the layer of chemically inert material and the heat emitter, and in communication with the gas supply pipe, the heater comprises: A support ring fixed to an insulating sleeve separating the heater from the thermal screen at the center of the cavity, wherein the cavity employs a plasma-compensated cathode configuration containing a getter disposed between the mechanical filters. ing.

【0007】[0007]

【作用】ガスを供給するための特別の通路、化学的に不
活性な材料層、同軸熱スクリーンの系統、支持リング、
絶縁スリーブ、ゲッタ及び機械式フィルタを備えた本発
明の熱エミッタのプラズマ補償カソードを用いることに
よって、使用寿命の実質的延長が可能となり、カソード
の活動総数を増加させられる。
Function: special passage for supplying gas, chemically inert material layer, coaxial heat screen system, support ring,
By using the plasma-compensated cathode of the thermal emitter of the present invention with an insulating sleeve, getter and mechanical filter, the service life can be substantially extended and the total activity of the cathode can be increased.

【0008】[0008]

【実施例】プラズマ補償カソードは、出口開口2を有す
るケーシング1(図1)から構成される。ケーシング
は、中空ホルダ3及び中央通路5を備えた熱エミッタ4
を同軸上に収容している。ホルダ3は、出口開口2を同
軸にケーシング1の内側に配置されており、一端ケーシ
ングに固定され、他端がホルダ3に固定されたらせん状
に作られたヒータ6によって包囲されている。ヒータ6
は、その中央部分に配設され、かつ付加支持点として働
く支持リング7を備えている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The plasma-compensating cathode comprises a casing 1 having an outlet opening 2 (FIG. 1). The casing comprises a heat emitter 4 with a hollow holder 3 and a central passage 5.
Are housed coaxially. The holder 3 is disposed coaxially with the outlet opening 2 inside the casing 1, and is surrounded by a helically shaped heater 6 having one end fixed to the casing and the other end fixed to the holder 3. Heater 6
Has a support ring 7 arranged in its central part and serving as an additional support point.

【0009】熱エミッタ4の中央通路5は、ガス流入側
で閉じられ、熱エミッタ4の壁に作られた通り通路8
(図2)を介して、ホルダ3の内部と連通している。こ
の通路の軸は、中央通路5の軸、及び通し通路8の入口
開口の位置において熱エミッタ4の側面に設けられた、
長手方向溝9に垂直に延びている。高温でホルダ3及び
熱エミッタ4の材料と化学的に不活性な層10(図1)
が、ホルダ3の内面と熱エミッタ4の側面との間の空間
を占有している。密封空洞14を形成するためガス供給
管13に固定され、かつスペーサリング12を介して連
続的に接続された同軸熱スクリーン11のシステムが、
ヒータ6とケーシング1の壁との間に置かれている。そ
の空洞を介して、ホルダ3の内部がガス供給管13と連
通している。ホルダ3と管13との間の空間には、機械
式フィルタ16間におかれたゲッタ15が組み込まれて
いる。一方、管13は支持絶縁体17に固定されてい
る。ヒータ6は、支持リング7が固定された絶縁スリー
ブ18によって熱スクリーン11の系統から分離されて
いる。
The central passage 5 of the heat emitter 4 is closed on the gas inlet side and has a passage 8 formed in the wall of the heat emitter 4.
Through FIG. 2, it communicates with the inside of the holder 3. The axis of this passage is provided on the side of the heat emitter 4 at the position of the axis of the central passage 5 and at the entrance opening of the through passage 8,
It extends perpendicular to the longitudinal groove 9. Layer 10 which is chemically inert with the material of holder 3 and heat emitter 4 at high temperature (FIG. 1)
Occupy the space between the inner surface of the holder 3 and the side surface of the heat emitter 4. A system of coaxial thermal screens 11 fixed to the gas supply pipe 13 to form a sealed cavity 14 and continuously connected via spacer rings 12 comprises:
It is located between the heater 6 and the wall of the casing 1. The interior of the holder 3 communicates with the gas supply pipe 13 through the cavity. In the space between the holder 3 and the tube 13, a getter 15 placed between mechanical filters 16 is incorporated. On the other hand, the tube 13 is fixed to the supporting insulator 17. The heater 6 is separated from the system of the thermal screen 11 by an insulating sleeve 18 to which the support ring 7 is fixed.

【0010】次に、本発明のプラズマ補償カソードの動
作について説明する。ガスは、管13に沿って、ゲッタ
15及び機械式フィルタ16を通してホルダ3の内部に
流れ、その後、溝9及び8を介して熱エミッタ4の中央
通路5に流れる。ヒータ6は、熱エミッタ4を、熱エミ
ッタ4の内面とプラズマ源のアノード(図示せず)との
間に安定な電気放電を保持するに充分な電子放出を確保
する温度まで加熱するように作用する。装置を定常動作
状態にまで持って行った後、ヒータ6が消勢され、補償
カソードが自動的に動作する。それによって、熱エミッ
タ4の必要な温度レベルが、放電から生ずるエネルギー
によって保証される。
Next, the operation of the plasma compensation cathode of the present invention will be described. The gas flows along the tube 13 through the getter 15 and the mechanical filter 16 into the interior of the holder 3 and then through the grooves 9 and 8 into the central passage 5 of the heat emitter 4. The heater 6 acts to heat the thermal emitter 4 to a temperature that ensures sufficient electron emission to maintain a stable electrical discharge between the inner surface of the thermal emitter 4 and the anode (not shown) of the plasma source. I do. After the device has been brought to a steady state of operation, the heater 6 is de-energized and the compensating cathode operates automatically. Thereby, the required temperature level of the thermal emitter 4 is guaranteed by the energy resulting from the discharge.

【0011】ガス流入側の中央通路5が閉ざされると、
ガス圧力及び通路5の形状を変えることによって、通路
5の電気放電が安定化され得る。これは、熱エミッタ4
の通路5の破損や塞がりをもたらすホルダ3の壁での放
電固定を防止し、熱エミッタ4の内面からの初期熱放出
を維持することを容易にするとともに、補償カソードの
使用寿命を実質的に増大させる。
When the central passage 5 on the gas inflow side is closed,
By changing the gas pressure and the shape of the passage 5, the electric discharge in the passage 5 can be stabilized. This is the heat emitter 4
To prevent the discharge fixation at the wall of the holder 3 which may cause the passage 5 of the holder 3 to be damaged or blocked, to easily maintain the initial heat release from the inner surface of the heat emitter 4, and to substantially extend the service life of the compensation cathode Increase.

【0012】ホルダ3の内面と熱エミッタ4の側面との
間に、ホルダ及び熱エミッタ4の材料に対して化学的に
不活性な材料の層10を置くことによって、材料の化学
的相互作用及び拡散を取り除き、それによって、ホルダ
3の不可逆性変形やホルダ3及び熱エミッタ4の割れが
生じないようになる。その結果として、駆動数が実質的
に増加され、カソードの使用寿命が延ばされる。ガス供
給管13及びホルダ3とともに、密封空洞14を形成し
ている同軸の熱スクリーン11の系統は、熱エミッタ4
のホルダ3からカソード構造の外側部品への熱流れを減
少させ、結果として、カソードの電位降下をガスイオン
化電位レベルまで低減させ、補償カソードの使用寿命を
実質的に延長させる。
By placing a layer 10 of a material which is chemically inert to the material of the holder and the heat emitter 4 between the inner surface of the holder 3 and the side of the heat emitter 4, the chemical interaction of the materials and The diffusion is eliminated, so that no irreversible deformation of the holder 3 or cracking of the holder 3 and the thermal emitter 4 occurs. As a result, the number of drives is substantially increased and the service life of the cathode is extended. The system of the coaxial thermal screen 11 forming the sealed cavity 14 together with the gas supply pipe 13 and the holder 3 comprises a heat emitter 4
From the holder 3 to the outer parts of the cathode structure, thereby reducing the cathode potential drop to the gas ionization potential level and substantially extending the service life of the compensating cathode.

【0013】絶縁スリーブ18に固定された支持リング
7を設けることで、らせん状ヒータ6の剛性を増し、多
くの熱サイクルによってらせん状コイルが実質的に変形
しても、そのらせん状ヒータ6の短絡回路、すなわち、
ホルダ3またはスクリーン11とらせん状コイルとの係
合を防止し得る。これもまた、駆動数を増し、補償カソ
ードの使用寿命を延すことになる。
The provision of the support ring 7 fixed to the insulating sleeve 18 increases the rigidity of the helical heater 6 so that even if the helical coil is substantially deformed by many thermal cycles, the helical heater 6 is Short circuit, ie
The engagement between the helical coil and the holder 3 or the screen 11 can be prevented. This also increases the number of drives and extends the useful life of the compensating cathode.

【0014】ガスがホルダ3の内部に流入する位置のす
ぐそばにある機械式フィルタ16間に配置されたゲッタ
が、酸素、水、及びその類似物から成る混合物から特に
精細に化学クリーニングされ、また、補償カソードの延
長された使用寿命をもたらす熱エミッタ4の一層安定な
熱放出特性が確保される。
A getter located between the mechanical filters 16 immediately adjacent to the location where the gas enters the interior of the holder 3 is particularly finely chemically cleaned from a mixture of oxygen, water and the like, and A more stable heat emission characteristic of the heat emitter 4, which results in an extended service life of the compensation cathode, is ensured.

【0015】本発明は、閉電子ドリフト及び長い加速領
域を持つ加速器、アノード層及び狭い加速領域を持つ加
速器、プラズマイオン加速器内のイオンビームを中性化
するために使用され得、また、空間及び面放電を補償す
るためにも使用され得る。
The present invention may be used to neutralize an ion beam in an accelerator having a closed electron drift and a long acceleration region, an accelerator having an anode layer and a narrow acceleration region, a plasma ion accelerator, and It can also be used to compensate for surface discharge.

【0016】[0016]

【発明の効果】熱エミッタの通路内の放電領域を固定
し、熱エミッタがホルダ材料と化学的に相互作用するの
を防止して、その熱システムが最小カソード電位降下で
熱エミッタの好適温度を自動的に維持するようにし、さ
らに、ヒータの剛性を増すとともに、不純物からガスを
クリーニングすることを容易にできる。
The present invention fixes the discharge area in the passage of the heat emitter and prevents the heat emitter from chemically interacting with the holder material, so that the heat system reduces the preferred temperature of the heat emitter with minimum cathode potential drop. It is possible to maintain the temperature automatically, further increase the rigidity of the heater, and easily clean the gas from impurities.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプラズマ補償カソードの全体図であ
る。
FIG. 1 is an overall view of a plasma compensation cathode of the present invention.

【図2】図1の線I−Iに沿って切り取った断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view taken along line II of FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ケーシング 2 出口開口 3 ホルダ 4 熱エミッタ 5 中央通路 8 通し通路 9 長手方向溝 13 ガス供給管 14 密封空洞 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 2 Outlet opening 3 Holder 4 Heat emitter 5 Central passage 8 Through passage 9 Longitudinal groove 13 Gas supply pipe 14 Sealed cavity

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ゴルバチョフ ユーリー ミトロフアノ ヴィッチ ソビエト社会主義共和国連邦,カリニン グラード−オービーエル.,ケイブイ. 7,ディー.58ビー,ユーエル.コミュ ニスティチェスカヤ (番地なし) (72)発明者 イワノフ ヴィクトール アレクセーヴ ィッチ ソビエト社会主義共和国連邦,カリニン グラード−オービーエル.,ケイブイ. 16,ディー.75,ユーエル.フルンツェ (番地なし) (72)発明者 コズブスキー コンスタンチン ニコラ エヴィッチ ソビエト社会主義共和国連邦,カリニン グラード−オービーエル.,ケイブイ. 24,ディー.34,ユーエル.フルンツェ (番地なし) (72)発明者 コマロフ ゲオルギー アレクセーヴィ ッチ ソビエト社会主義共和国連邦,カリニン グラード−オービーエル.,ケイブイ. 25,ディー.27,ユーエル.チャーダエ ワ (番地なし) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05H 1/24 H05H 1/54 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Gorbachev Yuri Mitrovanovich Koliningrad-Obier, Soviet Union. 7, D.7. 58 Be, Euel. Communisticeskaya (no address) (72) Inventor Ivanov Victor Alexevich Soviet Union of the Socialist Republic of the Soviet Union, Kaliningrad-Obier. 16, D. 75, Euel. Furunze (no address) (72) Inventor Kozbskiy Konstantin Nikola Evi ッ チ Kaliningrad-Obier, Commonwealth of the Soviet Socialist Republic. 24, Dee. 34, Euel. Frunze (no address) (72) Inventor Komalov Georgi Alexevich Soviet Union of Socialist Republics, Kaliningrad-Obier. 25. Dee. 27, Euel. Chardaeva (No address) (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H05H 1/24 H05H 1/54

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 出口開口、中空ホルダ及び該ホルダの内
部と連通している中央通路を持つ熱エミッタを同軸に収
容しているケーシングと、ホルダを包囲しているヒータ
と、該ヒータ及び上記ケーシングの壁の間に配設された
熱スクリーンと、支持絶縁体に固定されたホルダの内部
にガスを供給するための管とから構成されたプラズマ補
償カソードにおいて、上記熱エミッタの中央通路が、ガ
ス流入口側で閉ざされており、かつ通し通路の軸が中央
通路の軸、及びその通し通路の入口開口の位置で熱エミ
ッタの側面に作られた長手方向溝を横切るように、熱エ
ミッタの壁に作られた通し通路を介してホルダの内部と
連通しており、一方、ホルダの内部は、スペーサリング
によって連続的に接続されかつガス供給管に固定された
同軸熱スクリーンの間のクリアランスによって形成され
た密封空洞、ホルダの内面とホルダ材に対して高温にお
いて化学的に不活性な材料の層を収容している熱エミッ
タの側面との間の空間、及び熱エミッタを介して、ガス
供給管と連通しており、上記ヒータは、その中央部にお
いてヒータを熱スクリーンから分離している絶縁スリー
ブに固定された支持リングを備え、上記空洞は、機械式
フィルタの間に配置されたゲッタを収容していることを
特徴とするプラズマ補償カソード。
1. A casing coaxially containing a heat emitter having an outlet opening, a hollow holder and a central passage communicating with the interior of the holder, a heater surrounding the holder, the heater and the casing. In a plasma-compensating cathode composed of a heat screen arranged between the walls of the plasma emitter and a tube for supplying gas to the inside of the holder fixed to the supporting insulator, the central passage of the heat emitter is The wall of the heat emitter is closed on the inlet side and the axis of the through passage crosses the axis of the central passage and the longitudinal groove made on the side of the heat emitter at the entrance opening of the passage. The interior of the holder communicates with the interior of the holder via a through passage made in, while the interior of the holder is connected to a coaxial thermal screen that is continuously connected by spacer rings and fixed to the gas supply pipe. A space between the inner surface of the holder and the side of the heat emitter containing the layer of material that is chemically inert at high temperature to the holder material, and through the heat emitter. In communication with a gas supply pipe, the heater comprising a support ring fixed at its center to an insulating sleeve separating the heater from the thermal screen, the cavity being located between the mechanical filters. A plasma-compensated cathode containing a getter obtained.
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