RU2012150514A

RU2012150514A - METHOD FOR PRODUCING VACUUM MICROGYROSCOPE

Info

Publication number: RU2012150514A
Application number: RU2012150514/28A
Authority: RU
Inventors: Вячеслав Александрович Гребенников; Юрий Анатольевич Минаев; Константин Сергеевич Аксенов
Original assignee: Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority date: 2012-11-26
Filing date: 2012-11-26
Publication date: 2014-06-10
Also published as: RU2521678C1

Abstract

Способ изготовления вакуумного микрогироскопа, включающий изготовление деталей и сборочных единиц, сборку на основании и сварку магнитной системы и кремниевого резонатора, балансировку, обезгаживание, вакуумирование и герметизацию лазерной сваркой, отличающийся тем, что обезгаживание, вакуумирование и герметизацию выполняют в одном операционном цикле в герметичной вакуумной камере с остаточным давлением не более чем 5·10мм рт.ст, при этом для обезгаживания основание с магнитной системой и кремниевым резонатором и крышку размещают в герметичной вакуумной камере, не соприкасая друг с другом, и обезгаживают одновременно при температуре не менее 150°С в течение не менее 4 ч, а вакуумирование и герметизацию выполняют после обезгаживания, для чего основание накрывают крышкой до касания кромок основания отбортовкой крышки по всему периметру свариваемого стыка, выполняют позиционирование свариваемого стыка относительно фокальной плоскости лазерного луча и герметизируют, одновременно обеспечивая вакуумирование микрогироскопа, для чего при герметизации поддерживают внутри герметичной вакуумной камеры остаточное давление не более чем 5·10мм рт.ст.A method of manufacturing a vacuum microgyroscope, including the manufacture of parts and assembly units, assembly on the base and welding of a magnetic system and a silicon resonator, balancing, degassing, evacuating and sealing by laser welding, characterized in that the degassing, evacuation and sealing is performed in one operation cycle in a sealed vacuum a chamber with a residual pressure of not more than 5 · 10 mm Hg, while for degassing the base with a magnetic system and a silicon resonator and a cover are placed in g tight vacuum chamber, not in contact with each other, and degassed simultaneously at a temperature of at least 150 ° C for at least 4 hours, and evacuation and sealing is performed after degassing, for which the base is covered with a lid until the edges of the base touch the flanging of the lid around the entire perimeter of the welded of the joint, perform the positioning of the welded joint relative to the focal plane of the laser beam and seal, while simultaneously providing evacuation of the microgyroscope, for which, during sealing, the internal a sealed vacuum chamber residual pressure of not more than 5 × 10 mm Hg

Claims

A method of manufacturing a vacuum microgyroscope, including the manufacture of parts and assembly units, assembly on the base and welding of a magnetic system and a silicon resonator, balancing, degassing, evacuating and sealing by laser welding, characterized in that the degassing, evacuation and sealing is performed in one operation cycle in a sealed vacuum a chamber with a residual pressure of not more than 5 · 10 ^-5 mm RT.article, while for degassing the base with a magnetic system and a silicon resonator and a cover are placed in sealed vacuum chamber, not in contact with each other, and degassed simultaneously at a temperature of at least 150 ° C for at least 4 hours, and evacuation and sealing is performed after degassing, for which the base is covered with a lid until the edges of the base touch the flanging of the lid around the entire perimeter of the welded of the joint, perform positioning of the welded joint relative to the focal plane of the laser beam and seal, while simultaneously providing evacuation of the microgyroscope, for which, during sealing, support the inside When the sealed vacuum chamber residual pressure of not more than 5 × 10 ^-5 Torr