RU2521678C1 - Vacuum microgyroscope manufacturing method - Google Patents
Vacuum microgyroscope manufacturing method Download PDFInfo
- Publication number
- RU2521678C1 RU2521678C1 RU2012150514/28A RU2012150514A RU2521678C1 RU 2521678 C1 RU2521678 C1 RU 2521678C1 RU 2012150514/28 A RU2012150514/28 A RU 2012150514/28A RU 2012150514 A RU2012150514 A RU 2012150514A RU 2521678 C1 RU2521678 C1 RU 2521678C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- base
- microgyroscope
- degassing
- vacuum chamber
- welding
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности гироскопии, и может быть использовано в приборостроении, авиакосмической отрасли, в машиностроении.The invention relates to the field of measuring equipment, in particular gyroscopy, and can be used in instrumentation, aerospace, in mechanical engineering.
Известен способ изготовления гибридных интегральных схем - А.с. №1700640, кл. H01L 21/48, заявка №4713636/21 от 04.07.89. БИ 1991, №47, с.211 [1].A known method of manufacturing hybrid integrated circuits - A.S. No. 1700640, class H01L 21/48, application No. 4713636/21 of 04/04/89. BI 1991, No. 47, p.211 [1].
Известный способ заключается в изготовлении входящих элементов конструкции (деталей, узлов, сборочных единиц) и формировании на деталях, подлежащих герметизации, специального профиля по всему периметру герметизации, сборке входящих элементов с креплением микросхемы через изолятор (керамическую подложку) и обеспечением электрической связи через гермовыводы. Герметизацию корпуса интегральной схемы осуществляли сваркой, при этом плотно прижимали профиль и нагревали, пропуская по периметру импульс электрического тока.The known method consists in the manufacture of incoming structural elements (parts, assemblies, assembly units) and the formation on the parts to be sealed, of a special profile around the entire perimeter of the seal, the assembly of the incoming elements with the microcircuit fastening through an insulator (ceramic substrate) and providing electrical communication through the cable glands. The integrated circuit case was sealed by welding, while the profile was pressed tightly and heated, passing an electric current pulse along the perimeter.
Основной недостаток известного способа состоит в том, что для нагрева под сварку использовали импульс электрического тока, что недопустимо для целого ряда приборов, у которых многие элементы конструкции электрически связаны со свариваемыми деталями, т.к. при пропускании импульса электрического тока происходит разрушение электрических соединений и проводников. Кроме того, в известном способе отсутствует операция по обезгаживанию деталей и корпуса микросхемы.The main disadvantage of this method is that an electric current pulse was used for heating under welding, which is unacceptable for a number of devices in which many structural elements are electrically connected to the parts being welded, because when a pulse of electric current is passed, the destruction of electrical connections and conductors occurs. In addition, in the known method there is no operation to degass the parts and the housing of the microcircuit.
Известен способ изготовления герметичного контейнера для радиоактивных отходов - А.с. №1235389, заявка №3790728/24-25 от 132.09.84 г. G21F 5/00, БИ №20, 1990, с.276 [2], заключающийся в изготовлении входящих элементов конструкции (деталей, сборочных единиц, узлов), сборке под пайку, пайку крышки и контейнера с одновременным заполнением внутренней полости контейнера гелием и повторным нагревом и охлаждением, и проверке на герметичность с помощью гелиевого течеискателя.A known method of manufacturing a sealed container for radioactive waste - A. with. No. 1235389, application No. 3790728 / 24-25 of 132.09.84,
Основной недостаток известного способа состоит в том, что он не может быть использован при изготовлении прецизионных вакуумных приборов, т.к. во-первых, герметичные соединения элементов конструкции получают пайкой, а герметизация пайкой требует применения флюса, что недопустимо для внутренних полостей прецизионного прибора вследствие повышенного газовыделения, во-вторых, отсутствуют операции по обезгаживанию элементов конструкции и внутреннего объема контейнера перед окончательной герметизацией.The main disadvantage of this method is that it cannot be used in the manufacture of precision vacuum devices, because firstly, tight connections of structural elements are obtained by soldering, and sealing by soldering requires the use of flux, which is unacceptable for the internal cavities of a precision device due to increased gas evolution, secondly, there are no operations to degass the structural elements and the internal volume of the container before final sealing.
Известен способ изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС-изделия) - кварцевого микрогироскопа - Бритков О.М. Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении. Автореферат на соискание ученой степени к.т.н., М., МИЭМ, 2009 г. с.25-26, 34 с. [3], согласно которого выполняли изготовление деталей и сборочных единиц, включающее механические и физико-химические методы, затем выполняли сборку кремниевого резонатора (гироскопической системы) с помощью сварки (например, анодного сращивания) с прокладкой (из стекла или кремния), сборку магнитной системы и склеивание магнитопроводов, посадку (чипа) в корпус и разварку выводов, сборку корпуса и крышки и заварку лазером, вакуумирование и обезгаживание через отверстие в крышке, герметизацию (лазерной сваркой) и проверку на герметичность. Данный способ является наиболее близким по своей сущности к заявляемому способу.A known method of manufacturing microelectromechanical systems (MEMS products) - quartz microgyroscope - Britkov OM Development of designs and manufacturing techniques for microelectromechanical devices in a sealed design. Abstract for the degree of candidate of technical sciences, M., MIEM, 2009, pp. 25-26, 34 pp. [3], according to which the manufacture of parts and assembly units, including mechanical and physicochemical methods, was performed, then the silicon resonator (gyro system) was assembled by welding (for example, anode splicing) with a gasket (glass or silicon), magnetic assembly systems and bonding of magnetic cores, insertion (of a chip) into the casing and welding out the leads, assembly of the casing and cover and laser welding, evacuation and degassing through the hole in the cover, sealing (by laser welding) and leak testing. This method is the closest in essence to the claimed method.
Недостаток известного способа заключается в том, что для вакуумных приборов обезгаживание и вакуумирование через отверстие в крышке (после заварки корпуса лазером) не только требует больших затрат по времени процесса, но также не обеспечивает в полной мере качественного удаления адсорбированных на поверхностях гироскопических деталей летучих соединений органических веществ и окружающих газов, что ухудшает эксплуатационные характеристики и снижает ресурс работы микрогироскопа вследствие последующего (в процессе эксплуатации) внутреннего газовыделения с поверхностей находящихся в корпусе деталей и сборочных единиц.The disadvantage of this method is that for vacuum devices, degassing and evacuation through the hole in the lid (after welding the case with a laser) not only requires a large investment in process time, but also does not fully ensure the quality removal of volatile organic compounds adsorbed on the surfaces of gyroscopic parts substances and surrounding gases, which degrades performance and reduces the life of the microgyroscope due to the subsequent (during operation) internal nnego outgassing from the surfaces of parts and assembly units are in the housing.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является снижение трудоемкости изготовления, повышение качества и обеспечение высоких технологических и эксплуатационных свойств вакуумного микрогироскопа.The technical result of the invention is to reduce the complexity of manufacturing, improving quality and ensuring high technological and operational properties of a vacuum microgyroscope.
Указанный технический результат достигается тем, что в способе изготовления вакуумного микрогироскопа, включающем изготовление деталей и сборочных единиц, сборку на основании и сварку магнитной системы и кремниевого резонатора, балансировку, обезгаживание, вакуумирование и герметизацию лазерной сваркой, обезгаживание, вакуумирование и герметизацию выполняют в одном операционном цикле в герметичной вакуумной камере с остаточным давлением не более чем 5·10-5 мм рт.ст., при этом для обезгаживания основание с магнитной системой и кремниевым резонатором и крышку размещают в герметичной вакуумной камере, не соприкасаясь друг с другом, и обезгаживают одновременно при температуре не менее 150°С в течение не менее 4-х часов, а вакуумирование и герметизацию выполняют после обезгаживания, для чего основание накрывают крышкой до касания кромок основания отбортовкой крышки по всему периметру свариваемого стыка, выполняют позиционирование свариваемого стыка относительно фокальной плоскости лазерного луча и герметизируют, одновременно обеспечивая вакуумирование микрогироскопа, для чего в процессе герметизации поддерживают внутри герметичной вакуумной камеры остаточное давление не более чем 5·10-5 мм рт.ст.The specified technical result is achieved by the fact that in the method of manufacturing a vacuum microgyroscope, including the manufacture of parts and assembly units, assembly on the base and welding of a magnetic system and a silicon resonator, balancing, degassing, evacuation and sealing by laser welding, degassing, evacuation and sealing are performed in one operational cycle in a sealed vacuum chamber with a residual pressure of not more than 5 · 10 -5 mm Hg, while for degassing the base with a magnetic system and silicon the resonator and the cover are placed in a sealed vacuum chamber without contacting each other, and degassed simultaneously at a temperature of at least 150 ° C for at least 4 hours, and evacuation and sealing is performed after degassing, for which the base is covered with a lid until it touches the edges of the base by flanging the lid around the entire perimeter of the welded joint, perform positioning of the welded joint relative to the focal plane of the laser beam and seal, while simultaneously providing evacuation of the microgyroscope, why, during the sealing process, a residual pressure of not more than 5 · 10 -5 mm Hg is maintained inside the sealed vacuum chamber.
На фиг.1 показан вакуумный микрогироскоп. Он содержит основание 1 с металлостеклянными гермовыводами 2 и кромкой под сварку 3, крышку 4 с отбортовкой под сварку 5, кремниевый резонатор 6, опору кремниевого резонатора 7, немагнитную подложку 8, магнит 9, нижний 10 и верхний 11 магнитопроводы, центрирующее кольцо 12. Коммутация выполнена соединительными проводниками 13.1 shows a vacuum microgyroscope. It contains a base 1 with metal-glass sealing leads 2 and an edge for
Способ осуществляют следующим образом.The method is as follows.
Микрогироскоп - сложная конструкция, содержащая высокоточные детали и сборочные единицы, подвергающиеся воздействию загрязняющих веществ, при изготовлении в процессе механической и физико-химической обработки.A microgyroscope is a complex structure containing high-precision parts and assembly units exposed to pollutants during manufacture during mechanical and physico-chemical processing.
Поэтому предварительно проводят очистку деталей и сборочных единиц, составляющих конструкцию микрогироскопа. Промытые и высушенные детали и сборочные единицы необходимо в определенной последовательности собрать, сварить в блоки и системы (конкретный способ соединения блоков и систем в данной заявке не оговаривается, возможно применение диффузионной или анодной сварки, эвтектической пайки или склеивания, в зависимости от предъявляемых конструктивных требований), установить блоки и системы на основание (или в корпус) и сварить с основанием, провести обезгаживание, вакуумирование и загерметизировать, а затем проверить герметичность. Для герметизации применена лазерная сварка, позволяющая получить герметичные швы, а герметичность проверяется методом обдува на гелиевом течеискателе.Therefore, pre-cleaning parts and assembly units that make up the design of the microgyroscope. Washed and dried parts and assembly units must be assembled, welded into blocks and systems in a certain sequence (a specific method for connecting blocks and systems is not specified in this application, diffusion or anode welding, eutectic soldering or gluing may be used, depending on the design requirements) , install the blocks and systems on the base (or in the housing) and weld with the base, carry out degassing, evacuate and seal, and then check for leaks. For sealing, laser welding was used, which allows to obtain tight seams, and the tightness is checked by blowing on a helium leak detector.
Последовательность операций по сборке и сварке деталей и сборочных единиц, составляющих микрогироскоп, выглядит следующим образом.The sequence of operations for the assembly and welding of parts and assembly units constituting a microgyroscope is as follows.
Собирают основание 1 и немагнитную подложку 8 и сваривают, например, диффузионной сваркой.The base 1 and the
Выполняют сборку и сварку кремниевого резонатора 6 и опоры резонатора 7.Assembly and welding of the silicon resonator 6 and the support of the
Собирают магнитную систему, для чего в приспособлении последовательно устанавливают нижний магнитопровод 10, магнит 9, центрирующее кольцо 12 и верхний магнитопровод 11 и сваривают блок.The magnetic system is assembled, for which purpose the lower
Магнитную систему устанавливают на немагнитную подложку 8 на основании 1 и сваривают. После чего на немагнитную подложку 8 устанавливают блок кремниевого резонатора 6 с опорой 7 и сваривают.The magnetic system is mounted on a
Для обеспечения электрических связей выполняют разварку коммутирующих проводников 13 ультразвуковой или термокомпрессионной сваркой.To ensure electrical connections, the welding of the
Для проверки электрических параметров блок основания 1 в составе магнитной системы, кремниевого резонатора 6 и опоры 7 устанавливают в вакуумную камеру контрольно-проверочного стенда, откачивают из камеры воздух до остаточного давления 5·10-5 мм рт.ст. и проверяют электрические параметры (например, добротность и разночастотность). Проводят балансировку кремниевого резонатора 6 и повторно проверяют электрические параметры на соответствие требованиям конструкторской документации.To check the electrical parameters, the base unit 1 as part of the magnetic system, silicon resonator 6 and
Обезгаживание, вакуумирование и герметизацию выполняют по следующей схеме.Degassing, evacuation and sealing are performed according to the following scheme.
Блок основания 1 с установленными магнитной системой и отбалансированным кремниевым резонатором 6 и крышку 4 вставляют в отдельные гнезда специального приспособления и размещают на стойках манипулятора в герметичной вакуумной камере лазерной сварочной установки. Герметичная вакуумная камера подсоединена к откачному посту. Откачивают воздух до остаточного давления 5·10-5 мм рт.ст., включают нагрев и проводят обезгаживание при температуре 150°С в течение 4-х часов. Величина остаточного давления при обезгаживании зависит от требований по вакуумированию микрогироскопа, которые, в свою очередь, определяются заданной величиной добротности микрогироскопа. Температура нагрева и продолжительность обезгаживания подбирались опытным путем, в первую очередь, исходя из условия обеспечения прогрева деталей гироскопа и удаления из зазоров и микропор на поверхности деталей веществ, входящих в состав смазочно-охлаждающих и промывочных жидкостей и применявшихся при механической обработке (например, эмульсолы на основе мылоподобных поверхностно-активных веществ, вода и водяные пары, спирто-бензиновые растворы и др.), а также окружающих газов, адсорбированных на поверхностях деталей. По основным компонентам названных веществ температуры разложения и испарения укладываются в диапазон (90-135)°С. При меньших температурах наблюдается неполное удаление летучих компонентов и качество обезгаживания снижается. Увеличение продолжительности нагрева более 4-х часов нецелесообразно по экономическим соображениям - возрастает трудоемкость, а уменьшение продолжительности менее 4-х часов приводит к неполному обезгаживанию. После выдержки в течение 4-х часов нагрев отключают и с помощью рычагов манипулятора накрывают основание 1 крышкой 4 до касания отбортовкой 5 кромок 3 по всему периметру стыка, фиксируют в этом положении рычаги манипулятора и попеременным включением линейного привода, перемещают подлежащее сварке основание 1 микрогироскопа, ориентируя свариваемые кромки 3 относительно фокальной плоскости лазерного луча, введенного внутрь камеры через прозрачное окно. Включают лазерную установку и сваривают по периметру основание 1 микрогироскопа, перемещая и поворачивая приспособление с размещенным в нем основанием 1 микрогироскопа, одновременно поддерживая внутри герметичной вакуумной камеры вакуум с остаточным давлением не более чем 5·10-5 мм рт.ст., тем самым одновременно обеспечивается вакуумирование микрогироскопа. В рассматриваемом способе величина остаточного давления при обезгаживании и герметизации совпадает. В общем случае, условия обезгаживания и вакуумирования могут различаться, но при этом остаточное давление при обезгаживании должно быть равным или меньше остаточного давления при вакуумировании. После сварки герметичную вакуумную камеру заполняют воздухом, вынимают приспособление с микрогироскопом, разбирают и вынимают микрогироскоп.The base unit 1 with the installed magnetic system and balanced silicon resonator 6 and the
Далее проводили проверку на герметичность, она включала опрессовку микрогироскопа в гелиевой камере в течение 30-40 минут и проверку герметичности в вакуумной камере с помощью течеискателя (например, ПТИ-10, 14) при токе эмиссии Iэ≈5 мА и чувствительности uч≈0,3 мВ. Возможна проверка на герметичность по электрическим параметрам.Next, a leak test was carried out, it included pressure testing of a microgyroscope in a helium chamber for 30-40 minutes and a leak test in a vacuum chamber with a leak detector (for example, PTI-10, 14) at an emission current of I e ≈5 mA and sensitivity u h ≈ 0.3 mV. It is possible to check for leaks by electrical parameters.
Проверенный на герметичность микрогироскоп отправляется на контроль функциональных параметров, маркировку и консервацию.A micro-gyroscope checked for leaks is sent to control functional parameters, mark and preserve.
Пример выполнения способа.An example of the method.
Из пластины кремния КЭФ-4,5 физико-химическими методами изготавливали резонатор 6, опору резонатора 7 и немагнитную подложку 8 изготавливали из стекла ЛК-107, из прутка никелевого сплава 50Н вытачивали магнитопроводы 10 и 11, из сплава КСГЭ эрозионной обработкой и шлифовкой изготавливали магнит 9. Основание 1 и крышка 4 - покупные изделия. Детали и сборочные единицы подвергали очистке и промывке (в спирто-бензиновой смеси, кипятили в изопропиловом спирте с ультразвуком).The resonator 6 was made from the KEF-4,5 silicon wafer by physicochemical methods, the
Собирали основание 1 и немагнитную подложку 8 и сваривали диффузионной сваркой.The base 1 and
Выполняли сборку и сварку кремниевого резонатора 6 и опоры резонатора 7.The silicon resonator 6 and the
Собирали блок магнитной системы, для чего последовательно в приспособлении устанавливали нижний магнитопровод 10, магнит 9 и верхний магнитопровод 11 и сваривали.The magnetic system unit was assembled, for which the lower
Далее магнитную систему устанавливали на немагнитную подложку 8 на основании 1 и сваривали. После чего на немагнитную подложку 8 устанавливали блок кремниевого резонатора 6 с опорой 7 и сваривали с немагнитной подложкой 8.Next, the magnetic system was mounted on a
Для обеспечения электрических связей выполняли разварку коммутирующих проводников 13 ультразвуковой (или термокомпрессионной) сваркой.To ensure electrical connections, welding of the switching
Устанавливали собранный и сваренный на основании 1 блок в составе магнитной системы и кремниевого резонатора 6, опоры 7, немагнитной подложки 8 в вакуумную камеру контрольно-проверочного стенда, откачивали из вакуумной камеры воздух до остаточного давления 5-10-5 мм рт.ст. и проверяли электрические параметры (добротность и разночастотность). Проводили балансировку кремниевого резонатора 6 и повторно проверяли электрические параметры на соответствие требованиям конструкторской документации.The unit assembled and welded on the basis of 1 was installed as part of the magnetic system and silicon resonator 6,
После балансировки основание 1 с магнитной системой и отбалансированным кремниевым резонатором 6 и крышку 4 вставляли в отдельные гнезда специального приспособления и размещали на стойках манипулятора в герметичной вакуумной камере лазерной сварочной установки. Герметичную вакуумную камеру подсоединяли к откачному посту. Откачивали воздух до остаточного давления 5·10-5 мм рт.ст., включали нагрев и проводили обезгаживание при 150°С в течение 4-х часов. После выдержки в течение 4-х часов нагрев отключали и с помощью рычагов манипулятора накрывали основание 1 крышкой 4 до касания отбортовкой 5 кромок 3 по всему периметру стыка, фиксировали в этом положении рычаги манипулятора и попеременным включением линейного привода, перемещали подлежащее сварке основание 1 микрогироскопа, ориентируя свариваемые кромки 3 относительно фокальной плоскости лазерного луча, введенного внутрь камеры через прозрачное окно. Включали лазерную установку и сваривали по периметру основание 1 микрогироскопа, перемещая и поворачивая приспособление с размещенным в нем основанием 1 микрогироскопа, одновременно поддерживая внутри герметичной вакуумной камеры вакуум с остаточным давлением не более чем 5·10-5 мм рт.ст. После сварки герметичную вакуумную камеру заполняли воздухом, вынимали приспособление с микрогироскопом, разбирали и вынимали микрогироскоп.After balancing, the base 1 with a magnetic system and a balanced silicon resonator 6 and a
Далее проводили проверку на герметичность, она включала опрессовку микрогироскопа в гелиевой камере в течение 30-40 минут и проверку герметичности в вакуумной камере с помощью течеискателя (ПТИ-10, 14) при токе эмиссии Iэ≈5 мА и чувствительности uч≈0,3 мВ.Next, a leak test was performed, it included pressure testing of a microgyroscope in a helium chamber for 30-40 minutes and a leak test in a vacuum chamber using a leak detector (PTI-10, 14) at an emission current of I e ≈5 mA and sensitivity u h ≈ 0, 3 mV.
Дополнительно проводили проверку на герметичность на специальном стенде по величине добротности резонатора 6.Additionally, a leak test was performed on a special stand by the value of the Q factor of the resonator 6.
Проверенный на герметичность микрогироскоп отправляли на контроль функциональных параметров, маркировку и консервацию.The microgyroscope checked for leaks was sent for monitoring of functional parameters, labeling and preservation.
Разработанный способ изготовления вакуумного микрогироскопа снижает трудоемкость изготовления микрогироскопа и обеспечивает необходимые качественные и эксплуатационные требования, предъявляемые к прецизионным гироскопическим приборам.The developed method for manufacturing a vacuum microgyroscope reduces the complexity of manufacturing a microgyroscope and provides the necessary quality and operational requirements for precision gyroscopic devices.
Источники информацииInformation sources
1. А.с. №1700640, H01L 21/48, заявка №4713636/21 от 04.07.89. БИ 1991, №47, с.211.1. A.S. No. 1700640, H01L 21/48, application No. 4713636/21 dated 04.07.89. BI 1991, No. 47, p. 211.
2. А.с. №1235389, заявка №3790728/24-25 от 13.09.84 г., G21F 5/00, БИ №20, 1990, с.276.2. A.S. No. 1235389, application No. 3790728 / 24-25 of 09/13/84,
3. Бритков О.М. Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении. Автореферат на соискание ученой степени к.т.н., М., МИЭМ, 2009 г. с.25-26, 34 с.3. Britkov O.M. Development of designs and manufacturing techniques for microelectromechanical devices in a sealed design. Abstract for the degree of candidate of technical sciences, M., MIEM, 2009, pp. 25-26, 34 pp.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012150514/28A RU2521678C1 (en) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | Vacuum microgyroscope manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012150514/28A RU2521678C1 (en) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | Vacuum microgyroscope manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012150514A RU2012150514A (en) | 2014-06-10 |
| RU2521678C1 true RU2521678C1 (en) | 2014-07-10 |
Family
ID=51213852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012150514/28A RU2521678C1 (en) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | Vacuum microgyroscope manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2521678C1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2638566C2 (en) * | 2016-02-16 | 2017-12-14 | Публичное Акционерное Общество "Тамбовский завод "Электроприбор" | Method of increasing reliability of ring laser gyroscopes |
| RU2712927C1 (en) * | 2019-06-25 | 2020-02-03 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Microgyroscope manufacturing method |
| RU2784820C1 (en) * | 2022-04-12 | 2022-11-29 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Method for manufacturing a microgyroscope |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1700640A1 (en) * | 1989-07-04 | 1991-12-23 | Предприятие П/Я М-5864 | Method of manufacture of packages of hybrid integrated circuits |
| RU2076391C1 (en) * | 1993-11-11 | 1997-03-27 | Станислав Степанович Волков | Method for manufacturing cases of hybrid integrated circuits |
| RU2138140C1 (en) * | 1998-11-30 | 1999-09-20 | Самарцев Николай Борисович | Method for manufacturing hybrid integrated circuits and printed-circuit boards on polymeric substrate |
| RU2266521C1 (en) * | 2004-06-07 | 2005-12-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) | Integrating micromechanical gyro |
-
2012
- 2012-11-26 RU RU2012150514/28A patent/RU2521678C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1700640A1 (en) * | 1989-07-04 | 1991-12-23 | Предприятие П/Я М-5864 | Method of manufacture of packages of hybrid integrated circuits |
| RU2076391C1 (en) * | 1993-11-11 | 1997-03-27 | Станислав Степанович Волков | Method for manufacturing cases of hybrid integrated circuits |
| RU2138140C1 (en) * | 1998-11-30 | 1999-09-20 | Самарцев Николай Борисович | Method for manufacturing hybrid integrated circuits and printed-circuit boards on polymeric substrate |
| RU2266521C1 (en) * | 2004-06-07 | 2005-12-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) | Integrating micromechanical gyro |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| БРИТКОВ О.М. Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении. Автореф. дис.. канд. техн. наук, М., МИЭМ, 2009г. с.25-26. * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2638566C2 (en) * | 2016-02-16 | 2017-12-14 | Публичное Акционерное Общество "Тамбовский завод "Электроприбор" | Method of increasing reliability of ring laser gyroscopes |
| RU2712927C1 (en) * | 2019-06-25 | 2020-02-03 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Microgyroscope manufacturing method |
| RU2784820C1 (en) * | 2022-04-12 | 2022-11-29 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Method for manufacturing a microgyroscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2012150514A (en) | 2014-06-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8546748B2 (en) | Helium barrier atom chamber | |
| BRPI0905197A2 (en) | method of introducing a reactive material into a vacuum chamber | |
| EP1733414B1 (en) | Cold atom system with atom chip wall | |
| TW201351517A (en) | Plating method and plating device | |
| RU2521678C1 (en) | Vacuum microgyroscope manufacturing method | |
| CN106370365B (en) | The leak hunting method of liquid packaging device | |
| JP6337293B2 (en) | Gas permeability measuring device | |
| US20160217971A1 (en) | Charged Particle Beam Device and Sample Holder for Charged Particle Beam Device | |
| TW201518704A (en) | Airtight detection device | |
| JP5479321B2 (en) | Transport pod interface and analyzer | |
| Jin et al. | MEMS vacuum packaging technology and applications | |
| Nizamani et al. | Versatile ultra high vacuum system for ion trap experiments: Design and implementation | |
| KR102150637B1 (en) | Atomic vapor cell manufacturing by optical contact and method therof | |
| KR100532174B1 (en) | A Method for Testing an Electronic Component Using Hydrofluoroethers as Test Liquid | |
| JP3870939B2 (en) | Airtight test method and apparatus | |
| RU2712927C1 (en) | Microgyroscope manufacturing method | |
| CN103676619A (en) | Hermetic sealing of atomic sensor using sol-gel technique | |
| Greenberg | Vacuum and optical designs for an open-access trapped ion quantum processor | |
| RU2599409C1 (en) | Method of controlling tightness of article housing elements | |
| US3767283A (en) | Improvements in or relating to electron discharge devices | |
| JP4002148B2 (en) | Heat pipe leak inspection method and inspection apparatus therefor | |
| RU2638566C2 (en) | Method of increasing reliability of ring laser gyroscopes | |
| JPH08330286A (en) | Plasma treatment device | |
| RU2709096C1 (en) | Method of micropack sealing | |
| US3143594A (en) | Demountable multiple stage ultra-high vacuum system |