RU2010143549A - Емкостный датчик, содержащий блоки периодических и абсолютных электродов - Google Patents

Емкостный датчик, содержащий блоки периодических и абсолютных электродов Download PDF

Info

Publication number
RU2010143549A
RU2010143549A RU2010143549/28A RU2010143549A RU2010143549A RU 2010143549 A RU2010143549 A RU 2010143549A RU 2010143549/28 A RU2010143549/28 A RU 2010143549/28A RU 2010143549 A RU2010143549 A RU 2010143549A RU 2010143549 A RU2010143549 A RU 2010143549A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrodes
axis
capacitance
variable capacitor
supporting surface
Prior art date
Application number
RU2010143549/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2469336C2 (ru
Inventor
Питер Джордж ХАРТУЭЛЛ (US)
Питер Джордж ХАРТУЭЛЛ
Роберт Г. УОМЗЛИ (US)
Роберт Г. УОМЗЛИ
Original Assignee
Хьюлетт-Паккард Дивелопмент Компани, Л.П. (Us)
Хьюлетт-Паккард Дивелопмент Компани, Л.П.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Хьюлетт-Паккард Дивелопмент Компани, Л.П. (Us), Хьюлетт-Паккард Дивелопмент Компани, Л.П. filed Critical Хьюлетт-Паккард Дивелопмент Компани, Л.П. (Us)
Publication of RU2010143549A publication Critical patent/RU2010143549A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2469336C2 publication Critical patent/RU2469336C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/483—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable capacitance detectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2412—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
    • G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
    • G01P2015/082—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for two degrees of freedom of movement of a single mass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

1. Датчик, содержащий ! первый и второй блоки электродов переменного конденсатора, расположенные соответствующим образом на плоской опорной поверхности, и контрольную массу, эластично смещаемую вдоль первой оси, по существу параллельно плоской опорной поверхности; причем ! первый блок электродов, формирующий абсолютное изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль первой оси, ! второй блок электродов, формирующий периодическое изменение емкости в диапазоне смещения вдоль первой оси. ! 2. Датчик по п.1, в котором второй блок электродов содержит по меньшей мере две пары удлиненных электродов, ориентированных перпендикулярно первой оси и имеющих шаг электродов, причем диапазон смещения больше, чем этот шаг. !3. Датчик по п.1, в котором первый блок электродов содержит одну пару электродов, включающих в себя неподвижный электрод и электрод контрольной массы, причем электрод контрольной массы ориентирован таким образом, чтобы всегда частично перекрывать неподвижный электрод во всем диапазоне смещения. ! 4. Датчик по п.1, дополнительно содержащий третий блок электродов переменного конденсатора, расположенный на опорной поверхности и на контрольной массе соответственно, который формирует периодическое изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль первой оси. ! 5. Датчик по п.4, в котором второй и третий блоки электродов переменного конденсатора имеют электроды, которые смещены относительно друг друга. ! 6. Датчик по п.5, в котором второй и третий блоки электродов переменного конденсатора имеют электроды, которые расположены таким образом, чтобы обеспечивать выходные сигналы, смещ�

Claims (20)

1. Датчик, содержащий
первый и второй блоки электродов переменного конденсатора, расположенные соответствующим образом на плоской опорной поверхности, и контрольную массу, эластично смещаемую вдоль первой оси, по существу параллельно плоской опорной поверхности; причем
первый блок электродов, формирующий абсолютное изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль первой оси,
второй блок электродов, формирующий периодическое изменение емкости в диапазоне смещения вдоль первой оси.
2. Датчик по п.1, в котором второй блок электродов содержит по меньшей мере две пары удлиненных электродов, ориентированных перпендикулярно первой оси и имеющих шаг электродов, причем диапазон смещения больше, чем этот шаг.
3. Датчик по п.1, в котором первый блок электродов содержит одну пару электродов, включающих в себя неподвижный электрод и электрод контрольной массы, причем электрод контрольной массы ориентирован таким образом, чтобы всегда частично перекрывать неподвижный электрод во всем диапазоне смещения.
4. Датчик по п.1, дополнительно содержащий третий блок электродов переменного конденсатора, расположенный на опорной поверхности и на контрольной массе соответственно, который формирует периодическое изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль первой оси.
5. Датчик по п.4, в котором второй и третий блоки электродов переменного конденсатора имеют электроды, которые смещены относительно друг друга.
6. Датчик по п.5, в котором второй и третий блоки электродов переменного конденсатора имеют электроды, которые расположены таким образом, чтобы обеспечивать выходные сигналы, смещенные относительно друг друга примерно на 90°.
7. Датчик по п.1, в котором чувствительность второго блока электродов по существу больше, чем чувствительность первого блока электродов.
8. Датчик по п.1, дополнительно содержащий
третий и четвертый блоки электродов переменного конденсатора, расположенные на опорной поверхности и контрольной массе соответственно, причем контрольная масса является эластично смещаемой вдоль второй оси, которая по существу ортогональна первой оси и параллельна опорной поверхности; причем
третий блок электродов, формирующий переменное изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль второй оси;
четвертый блок электродов, формирующий абсолютное изменение емкости в диапазоне смещения вдоль второй оси.
9. Датчик по п.8, в котором каждый из блоков электродов включает в себя неподвижные электроды, закрепленные на опорной поверхности, имеющие ширины, выбранные таким образом, чтобы по существу не допускать изменение емкости из-за смещения внутри диапазона смещения вдоль оси, которая ортогональна соответствующей оси чувствительности.
10. Датчик по п.8, в котором второй и третий блоки электродов переменного конденсатора содержат вторичные блоки электродов, которые позиционно смещены друг от друга на расстояние, достаточное для создания емкостных сигналов, которые осесимметрично смещены относительно друг друга на 90°.
11. Датчик по п.1, в котором диапазон смещения составляет менее чем около 50 мкм.
12. Способ детектирования, содержащий этапы, на которых:
смещают контрольную массу вдоль первой оси, по существу параллельной плоской опорной поверхности;
получают первое переменное значение емкости от первого набора электродов переменного конденсатора, содержащего множество электродов конденсатора, расположенных на опорной поверхности и контрольной массе соответственно,
получают второе абсолютное значение емкости от второго переменного конденсатора, содержащего электрод конденсатора, расположенный на опорной поверхности и контрольной массе; и
определяют величину смещения на основе первого и второго значений емкости.
13. Способ по п.12, дополнительно содержащий этапы, на которых:
получают третье переменное значение емкости от третьего набора электродов переменного конденсатора, содержащего множество электродов конденсатора, расположенных на опорной поверхности и на контрольной массе соответственно, и
определяют величину смещения на основе первого, второго и третьего значений емкости.
14. Способ по п.12, в котором третье переменное значение емкости смещено на около 90° относительно первого переменного значения емкости.
15. Способ по п.12, дополнительно содержащий этапы, на которых:
смещают контрольную массу вдоль второй оси, по существу, ортогональной первый оси и, по существу, параллельной плоской опорной поверхности;
получают третье переменное значение емкости от третьего набора электродов переменного конденсатора, содержащего множество электродов конденсатора, расположенных на опорной поверхности и контрольной массе соответственно, и ориентированных, по существу, перпендикулярно первому набору переменного конденсатора;
получают четвертое абсолютное значение емкости от четвертого переменного конденсатора, содержащего электрод конденсатора, расположенный на опорной поверхности и контрольной массе и ориентированный по существу перпендикулярно второму набору переменного конденсатора;
определяют величину смещения вдоль первой и второй осей на основе первого, второго, третьего и четвертого значений емкости.
16. Способ изготовления датчика, содержащий этапы, на которых:
обеспечивают опорную поверхность;
обеспечивают контрольную массу, эластично смещаемую вдоль первой оси, по существу параллельной опорной поверхности;
обеспечивают первый набор электродов периодического переменного конденсатора на опорной поверхности и контрольной массе;
обеспечивают второй набор электродов периодического переменного конденсатора на опорной поверхности и контрольной массе, при этом второй набор электродов формирует абсолютное изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы.
17. Способ по п.16, дополнительно содержащий этап, на котором
обеспечивают третий набор электродов периодического переменного конденсатора на опорной поверхности и контрольной массе, при этом третий набор электродов формирует периодическое изменение емкости, которое смещено относительно периодического изменения, производимого первым набором.
18. Способ по п.17, в котором на этапе обеспечения третьего набора электродов периодического переменного конденсатора обеспечивают последовательности электродов, которые производят изменение емкости, которое смещено на около 90° относительно периодического изменения, производимого первым набором.
19. Способ по п.16, в котором на этапе обеспечения первого набора электродов периодического переменного конденсатора изготавливают на опорной поверхности и контрольной массе, по меньшей мере, две пары удлиненных электродов, ориентированных по существу перпендикулярно первой оси и имеющих зазор, который меньше, чем диапазон смещения, и
на этапе обеспечения второго набора электродов периодического переменного конденсатора изготавливают на опорной поверхности и контрольной массе одну пару электродов, ориентированную таким образом, чтобы всегда частично перекрываться в диапазоне смещения.
20. Способ по п.16, в котором контрольная масса является эластично смещаемой вдоль второй оси, которая ортогональна первой оси, и который дополнительно содержит этапы, на которых:
обеспечивают третий и четвертый блоки электродов переменного конденсатора на опорной поверхности и контрольной массе соответственно;
при этом третий блок электродов формирует переменное изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль второй оси; а
четвертый блок электродов формирует абсолютное изменение емкости в диапазоне смещения вдоль второй оси.
RU2010143549/28A 2008-03-26 2008-03-26 Емкостной датчик, содержащий блоки периодических и абсолютных электродов RU2469336C2 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/US2008/058263 WO2009120193A1 (en) 2008-03-26 2008-03-26 Capacitive sensor having cyclic and absolute electrode sets

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010143549A true RU2010143549A (ru) 2012-05-10
RU2469336C2 RU2469336C2 (ru) 2012-12-10

Family

ID=41114213

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010143549/28A RU2469336C2 (ru) 2008-03-26 2008-03-26 Емкостной датчик, содержащий блоки периодических и абсолютных электродов

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20110018561A1 (ru)
EP (1) EP2257821B1 (ru)
CN (1) CN102047126B (ru)
BR (1) BRPI0822112B1 (ru)
RU (1) RU2469336C2 (ru)
WO (1) WO2009120193A1 (ru)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2325613A1 (en) * 2009-11-16 2011-05-25 Farsens, S.L. Microelectromechanical sensing device
US9658053B2 (en) 2010-03-09 2017-05-23 Si-Ware Systems Self calibration for mirror positioning in optical MEMS interferometers
US8971012B2 (en) 2010-04-20 2015-03-03 Zhejiang University Variable-area capacitor structure, comb grid capacitor accelerometer and comb grid capacitor gyroscope
EP2649201A4 (en) * 2010-12-10 2014-10-01 Univ Brandeis COMPOSITIONS AND METHODS FOR DETECTION AND ANALYSIS OF AFRICAN PORCINE FEVER VIRUS
DE102011078328A1 (de) * 2011-06-29 2013-01-03 Siemens Aktiengesellschaft Kapazitives Sensorelement zur Detektion einer Verschiebung
US9702897B2 (en) 2012-10-08 2017-07-11 Northrop Grumman Systems Corporation Dynamic self-calibration of an accelerometer system
CN105103030B (zh) * 2013-01-28 2018-07-06 斯维尔系统 自校准的微机电系统设备
RU2556284C1 (ru) * 2014-04-01 2015-07-10 Открытое акционерное общество "Авангард" Чувствительный элемент акселерометра на поверхностных акустических волнах
US10571484B2 (en) * 2014-04-16 2020-02-25 Cirrus Logic, Inc. Systems and methods for determining acceleration based on phase demodulation of an electrical signal
GB2529277B (en) * 2014-04-16 2018-09-19 Cirrus Logic Inc Systems and methods for determining acceleration based on phase demodulation of an electrical signal
GB201409182D0 (en) 2014-05-23 2014-07-09 Pragmatic Printing Ltd Capacitive detection system
FI127229B (en) 2015-03-09 2018-02-15 Murata Manufacturing Co Microelectromechanical structure and device
CN106403922A (zh) * 2015-07-31 2017-02-15 立锜科技股份有限公司 具有电性补偿的微机电元件及其读取电路
CN110275047B (zh) * 2018-03-14 2021-01-22 京东方科技集团股份有限公司 加速度传感器、电容检测电路、加速度处理电路及方法
FR3115112B1 (fr) * 2020-10-12 2023-06-16 Commissariat Energie Atomique dispositif de condensateur à surface variable, accéléromètre et gyromètre micromécaniques comprenant un tel dispositif
RU203772U1 (ru) * 2021-01-27 2021-04-21 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" Чувствительный элемент микромеханического датчика
CN113203939B (zh) * 2021-04-26 2022-03-18 中国科学院地质与地球物理研究所 一种mems加速度传感器芯片的检测方法及装置
CN113523836A (zh) * 2021-06-10 2021-10-22 上海铂世光半导体科技有限公司 一种耐磨导电金刚石定位器
CN114392146B (zh) * 2021-12-07 2023-11-28 奥佳华智能健康科技集团股份有限公司 一种按摩椅4d按摩机芯和按摩椅
DE102022211858A1 (de) 2022-11-09 2024-05-16 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verbesserte Sensoranordnung mit kompensierenden Elektroden

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1226014A1 (ru) * 1984-04-11 1986-04-23 Куйбышевский Ордена Трудового Красного Знамени Авиационный Институт Им.Акад.С.П.Королева Индуктивно-емкостный преобразователь перемещени
JPS62235504A (ja) * 1986-04-04 1987-10-15 Mitsutoyo Corp 容量型位置測定トランスデユ−サ
US4945773A (en) * 1989-03-06 1990-08-07 Ford Motor Company Force transducer etched from silicon
CH685214A5 (fr) * 1991-10-15 1995-04-28 Hans Ulrich Meyer Capteur capacitif de position.
EP0618450A1 (de) * 1993-03-30 1994-10-05 Siemens Aktiengesellschaft Beschleunigungssensor
CH689190A5 (fr) * 1993-10-19 1998-11-30 Hans Ulrich Meyer Instrument de mesure de longueurs ou d'angles.
US5834646A (en) * 1995-04-12 1998-11-10 Sensonor Asa Force sensor device
DE69621334T2 (de) * 1996-10-11 2003-01-09 Tesa Brown & Sharpe Sa Kapazitive Dimensionsmesseinrichtung
JPH1194873A (ja) * 1997-09-18 1999-04-09 Mitsubishi Electric Corp 加速度センサ及びその製造方法
US6293150B1 (en) * 1999-12-02 2001-09-25 Precision Control Design Motion sensor and method of making same
KR100541009B1 (ko) * 2000-11-30 2006-01-10 니타 가부시키가이샤 정전용량식 센서
US6504385B2 (en) * 2001-05-31 2003-01-07 Hewlett-Pakcard Company Three-axis motion sensor
US6930368B2 (en) * 2003-07-31 2005-08-16 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEMS having a three-wafer structure
US7484411B2 (en) * 2007-01-30 2009-02-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Three phase capacitance-based sensing and actuation
US7570066B2 (en) * 2007-11-01 2009-08-04 Seagate Technology Llc Simultaneous detection of in-plane and out-of-plane position displacement with capacitive sensors

Also Published As

Publication number Publication date
BRPI0822112A2 (pt) 2015-06-23
BRPI0822112A8 (pt) 2018-09-25
BRPI0822112B1 (pt) 2018-12-04
CN102047126A (zh) 2011-05-04
EP2257821B1 (en) 2012-10-24
RU2469336C2 (ru) 2012-12-10
EP2257821A4 (en) 2012-01-11
EP2257821A1 (en) 2010-12-08
CN102047126B (zh) 2013-01-16
US20110018561A1 (en) 2011-01-27
WO2009120193A1 (en) 2009-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010143549A (ru) Емкостный датчик, содержащий блоки периодических и абсолютных электродов
WO2007050973A3 (en) Temperature compensation for the differential expansion of an autostereoscopic lenticular array and display screen
CN1947036A (zh) 可控光学透镜
EP2546731A3 (en) Position detecting sensor and position detector
CN102759440B (zh) 解像力测试装置及其方法
TW200606471A (en) Optical compensation film, polarizing plate, displaying apparatus, method for producing optical compensation film and method for producing polarizing plate
TW200716587A (en) Ophthalmic devices comprising photochromic materials with reactive substituents
PE20080967A1 (es) Metodo de propiedades sintonizadoras de un gradiometro de gravedad
DE60127246D1 (de) Ultraempfindlicher photodetektor mit integriertem pinhole für konfokale mikroskope und verfahren zur detektion optisches signal
CN103278845A (zh) 基于组合式悬臂梁结构的光纤光栅地震加速度检波器
CN1836168A (zh) 由于改进的电极形状而具有减小的附加振动的加速度计
CN107478597B (zh) 基于双透射峰的金属矩形狭缝阵列结构等离子光纤传感器
CN102235884A (zh) 基于光纤弯曲形变的螺旋型光纤传感装置
CN100476365C (zh) 位移检测光电式编码器
CN103791928B (zh) 电容编码器的读出电路及方法
US9798418B2 (en) In-cell touch panel and display device
CN104406525B (zh) 光栅组微位移传感器及其测量位移的方法
CN1888948A (zh) 基于共轭成像的组合式波前校正器
WO2003063017A3 (en) Self-organizing feature map with improved performance by non-monotonic variation of the learning rate
CN107462142B (zh) 电容式接触型位移测量传感器及传感系统
BRPI1002047A8 (pt) Módulos eletrônicos submarinos
TWI257038B (en) Varactor system and method of operating varactor
FR2939887B1 (fr) Dispositif de spectroscopie optique comportant une pluralite de sources d'emission
CN202171440U (zh) 差分电容式长度传感器
CN202793305U (zh) 多环并联式电容位移传感器

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200327