RU2009107217A - Узел катода магнетронного распылителя - Google Patents
Узел катода магнетронного распылителя Download PDFInfo
- Publication number
- RU2009107217A RU2009107217A RU2009107217/02A RU2009107217A RU2009107217A RU 2009107217 A RU2009107217 A RU 2009107217A RU 2009107217/02 A RU2009107217/02 A RU 2009107217/02A RU 2009107217 A RU2009107217 A RU 2009107217A RU 2009107217 A RU2009107217 A RU 2009107217A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- target
- base
- magnetic material
- cathode assembly
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
1. Узел катода магнетронного распылителя, содержащий катод мишень, центральный магнит, систему периферийных магнитов, систему охлаждения, основание из магнитного материала и металлический экран, отличающийся тем, что металлический экран установлен, ниже поверхности катода мишени на высоты узла катода, а катод мишень, основание из магнитного материала и кольцо с уплотнительными элементами соединены между собой верхним и нижним фланцами, выполненными в виде струбцины. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что между охлаждающей системой и основанием из магнитного материала установлена немагнитная вставка.
Claims (2)
1. Узел катода магнетронного распылителя, содержащий катод мишень, центральный магнит, систему периферийных магнитов, систему охлаждения, основание из магнитного материала и металлический экран, отличающийся тем, что металлический экран установлен, ниже поверхности катода мишени на 
высоты узла катода, а катод мишень, основание из магнитного материала и кольцо с уплотнительными элементами соединены между собой верхним и нижним фланцами, выполненными в виде струбцины.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что между охлаждающей системой и основанием из магнитного материала установлена немагнитная вставка.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009107217/02A RU2401882C1 (ru) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | Узел катода магнетронного распылителя |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009107217/02A RU2401882C1 (ru) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | Узел катода магнетронного распылителя |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009107217A true RU2009107217A (ru) | 2010-09-10 |
| RU2401882C1 RU2401882C1 (ru) | 2010-10-20 |
Family
ID=42800033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009107217/02A RU2401882C1 (ru) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | Узел катода магнетронного распылителя |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2401882C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU183113U1 (ru) * | 2017-12-06 | 2018-09-11 | Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-внедренческий центр Плазмаинструмент" | Узел катода магнетронного распылителя |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103938165B (zh) * | 2013-01-23 | 2016-08-31 | 上海北玻镀膜技术工业有限公司 | 一种新型阴极磁钢 |
| RU2555264C1 (ru) * | 2014-03-18 | 2015-07-10 | Борис Львович Горберг | Узел катода магнетронного распылителя |
| RU2634534C2 (ru) * | 2016-04-25 | 2017-10-31 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" | Устройство для нанесения покрытий в вакууме |
-
2009
- 2009-02-27 RU RU2009107217/02A patent/RU2401882C1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU183113U1 (ru) * | 2017-12-06 | 2018-09-11 | Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-внедренческий центр Плазмаинструмент" | Узел катода магнетронного распылителя |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2401882C1 (ru) | 2010-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2013154602A (ru) | Электромеханический-электроакустический преобразователь с малой толщиной и с большим диапазоном хода и относящийся к нему способ изготовления | |
| IN2014DN10811A (ru) | ||
| RU2009107217A (ru) | Узел катода магнетронного распылителя | |
| EP2833648A3 (en) | Electrodynamic loudspeaker with conducting elements | |
| RU2009148479A (ru) | Электромагнитный расходомер жидких металлов | |
| RU2010116562A (ru) | Магнитожидкостное уплотнение немагнитного вала | |
| RU2008142928A (ru) | Гистерезисная магнитная муфта, в частности, для наматывающих/разматывающих устройств | |
| RU101881U1 (ru) | Линейный электрический генератор | |
| RU129736U1 (ru) | Динамический громкоговоритель | |
| RU2015108566A (ru) | Способ напыления тонкопленочных покрытий на поверхность полупроводниковых гетероэпитаксиальных структур методом магнетронного распыления | |
| RU2009104184A (ru) | Магнитожидкостное уплотнение немагнитного вала | |
| RU2010105895A (ru) | Верхняя магнитная опора ротора газовой центрифуги | |
| RU2013141782A (ru) | Двигатель с замкнутым дрейфом электронов | |
| RU140240U1 (ru) | Динамический громкоговоритель | |
| RU175441U1 (ru) | Магнитная периодическая фокусирующая система | |
| RU2012147153A (ru) | Электромагнитный сепаратор | |
| RU2011100002A (ru) | Накопитель электрической материи | |
| RU109004U8 (ru) | Высокоградиентный магнитный фильтр | |
| RU153586U1 (ru) | Узел магнетронного распыления | |
| RU2008131202A (ru) | Кольцевой постоянный магнит | |
| RU129743U1 (ru) | Динамический громкоговоритель | |
| RU2011107322A (ru) | Электрический генератор с компенсацией сил магнитного удержания ротора | |
| RU2013138553A (ru) | Электромагнитный расходомер большого диаметра | |
| RU2013121618A (ru) | Верхняя магнитная опора ротора центрифуги | |
| RU2015156866A (ru) | Ионный источник |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130228 |