RU2008142755A - Цепь емкостного датчика - Google Patents
Цепь емкостного датчика Download PDFInfo
- Publication number
- RU2008142755A RU2008142755A RU2008142755/28A RU2008142755A RU2008142755A RU 2008142755 A RU2008142755 A RU 2008142755A RU 2008142755/28 A RU2008142755/28 A RU 2008142755/28A RU 2008142755 A RU2008142755 A RU 2008142755A RU 2008142755 A RU2008142755 A RU 2008142755A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- detector
- frequency band
- detection circuit
- modulating signals
- process parameter
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Networks Using Active Elements (AREA)
- Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
- Filters And Equalizers (AREA)
Abstract
1. Цепь обнаружения технологического параметра, содержащая: ! делитель напряжения, который включает в себя первый и второй конденсаторы, по меньшей мере, один из которых имеет емкость, которую изменяют посредством технологического параметра в диапазоне полосы частот модулирующих сигналов; при этом делитель имеет концы делителя, которые принимают модулированные потенциалы, которые имеют модуляцию в диапазоне несущей частоты, и которые имеют огибающую полосы частот модулирующих сигналов; причем делитель имеет соединение в виде центрального отвода, которое обеспечивает входной сигнал детектора; ! детектор с выходным сигналом детектора, характерным для компонентов диапазона несущей частоты входного сигнала детектора; и ! схему управления, которая управляет огибающей полосы частот модулирующих сигналов модулированных потенциалов, в виде функции выходного сигнала детектора, причем схема управления обеспечивает выходной сигнал технологического параметра в диапазоне полосы частот модулирующих сигналов. ! 2. Цепь по п.1, в которой цепь управления управляет, по меньшей мере, одним из модулированных потенциалов в виде нелинейной функции выходного сигнала детектора, компенсирующим выходной сигнал технологического параметра с точки зрения его нелинейности относительно технологического параметра. ! 3. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой огибающие модулированных потенциалов имеют колебания на частотах, принадлежащих полосе частот модулирующих сигналов, сочетающиеся с колебанием емкости на частотах, принадлежащих полосе частот модулирующих сигналов, генерируя входной сигнал детек�
Claims (19)
1. Цепь обнаружения технологического параметра, содержащая:
делитель напряжения, который включает в себя первый и второй конденсаторы, по меньшей мере, один из которых имеет емкость, которую изменяют посредством технологического параметра в диапазоне полосы частот модулирующих сигналов; при этом делитель имеет концы делителя, которые принимают модулированные потенциалы, которые имеют модуляцию в диапазоне несущей частоты, и которые имеют огибающую полосы частот модулирующих сигналов; причем делитель имеет соединение в виде центрального отвода, которое обеспечивает входной сигнал детектора;
детектор с выходным сигналом детектора, характерным для компонентов диапазона несущей частоты входного сигнала детектора; и
схему управления, которая управляет огибающей полосы частот модулирующих сигналов модулированных потенциалов, в виде функции выходного сигнала детектора, причем схема управления обеспечивает выходной сигнал технологического параметра в диапазоне полосы частот модулирующих сигналов.
2. Цепь по п.1, в которой цепь управления управляет, по меньшей мере, одним из модулированных потенциалов в виде нелинейной функции выходного сигнала детектора, компенсирующим выходной сигнал технологического параметра с точки зрения его нелинейности относительно технологического параметра.
3. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой огибающие модулированных потенциалов имеют колебания на частотах, принадлежащих полосе частот модулирующих сигналов, сочетающиеся с колебанием емкости на частотах, принадлежащих полосе частот модулирующих сигналов, генерируя входной сигнал детектора таким образом, что он стремится восстановить равновесное состояние, когда технологический параметр стабилен в полосе частот модулирующих сигналов.
4. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой входной сигнал детектора включает в себя шум полосы частот модулирующих сигналов, и детектор отфильтровывает шум полосы частот модулирующих сигналов.
5. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой детектор содержит:
фильтр, имеющий выходной сигнал фильтра и имеющий полосу пропускания, которая включает в себя несущую частоту; и
синхронный демодулятор, принимающий выходной сигнал фильтра и демодулирующий выходной сигнал фильтра с обеспечением выходного сигнала детектора.
6. Цепь обнаружения технологического параметра по п.5, содержащая:
синхрогенератор, который генерирует синхронизированные выходные сигналы;
и синхронный демодулятор, демодулирующий в качестве функции, по меньшей мере, один из синхронизированных выходных сигналов.
7. Цепь обнаружения технологического параметра по п.6, содержащая
переключатели, управляемые, по меньшей мере, одним из синхронизированных выходных сигналов, которые модулируют модулированные потенциалы.
8. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой фильтр содержит многокаскадный усилитель.
9. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой первый конденсатор содержит первый электрод, осажденный на первую подложку, а второй конденсатор содержит второй электрод, осажденный на первую подложку.
10. Цепь обнаружения технологического параметра по п.9, в котором первый и второй конденсаторы включают в себя электродные соединения с входом детектора.
11. Цепь обнаружения технологического параметра по п.10, в которой в электродных соединениях с входом детектора отсутствуют соединения с переключателями.
12. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой первый конденсатор имеет емкость обнаружения технологического параметра, а второй конденсатор имеет емкость, которая практически невосприимчива к технологическому параметру.
13. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой несущая частота является фиксированной несущей частотой.
14. Цепь обнаружения технологического параметра по п.1, в которой частоты, принадлежащие полосе частот модулирующих сигналов, находятся в диапазоне частот менее чем 10 Гц, а несущая частота - более чем 1 кГц.
15. Цепь обнаружения технологического параметра по п.14, в которой емкость обнаружения технологического параметра отвечает колебаниям технологического параметра полосы частот модулирующих сигналов, по меньшей мере, до 400 Гц, а выходной сигнал технологического параметра отвечает колебаниям технологического параметра, по меньшей мере, до 400 Гц.
16. Способ обнаружения технологического параметра, включающий в себя:
модуляцию модулированных потенциалов при несущей частоте;
обеспечение модулированных потенциалов для первого и второго конденсаторов, которые соединены с входом детектора;
изменение емкости одного из первого и второго конденсаторов путем применения технологического параметра на частотах, принадлежащих полосе частот модулирующих сигналов;
обнаружение на несущей частоте распознанного отображения входного сигнала детектора и
управление огибающей полосы частот модулирующих сигналов модулированных потенциалов как функции распознанного отображения.
17. Способ обнаружения технологического параметра по п.16, включающий в себя
управление, по меньшей мере, одним из модулированных потенциалов как нелинейной функции распознанного отображения в целях компенсации распознанного отображения для коррекции нелинейности емкости как функции технологического параметра.
18. Способ обнаружения технологического параметра по п.16, включающий в себя
изменения амплитуд модулированных потенциалов при частотах, принадлежащих полосе частот модулирующих сигналов, для их сочетания с изменениями емкости на таких частотах, принадлежащих полосе частот модулирующих сигналов, на которых, когда технологический параметр стабилен в пределах полосы частот модулирующих сигналов, входной сигнал детектора стремится к равновесию.
19. Способ обнаружения технологического параметра по п.16, в котором входной сигнал детектора включает в себя шум полосы частот модулирующих сигналов и в котором при распознавании происходит отфильтровывание шума полосы частот модулирующих сигналов.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US78698406P | 2006-03-29 | 2006-03-29 | |
US60/786,984 | 2006-03-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2008142755A true RU2008142755A (ru) | 2010-05-10 |
RU2401987C2 RU2401987C2 (ru) | 2010-10-20 |
Family
ID=38655995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2008142755/28A RU2401987C2 (ru) | 2006-03-29 | 2007-03-26 | Цепь емкостного датчика |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7724001B2 (ru) |
EP (1) | EP2002213B1 (ru) |
JP (1) | JP4906006B2 (ru) |
CN (1) | CN101449131B (ru) |
RU (1) | RU2401987C2 (ru) |
WO (1) | WO2007126731A2 (ru) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI357501B (en) * | 2008-03-25 | 2012-02-01 | Raydium Semiconductor Corp | Evaluation circuit for capacitance and method ther |
US8487639B1 (en) | 2008-11-21 | 2013-07-16 | Cypress Semiconductor Corporation | Receive demodulator for capacitive sensing |
US8866500B2 (en) * | 2009-03-26 | 2014-10-21 | Cypress Semiconductor Corporation | Multi-functional capacitance sensing circuit with a current conveyor |
CN101833121B (zh) * | 2010-04-09 | 2011-08-10 | 深圳市汇顶科技有限公司 | 一种双耦合型检测电路、雨量传感器及雨量识别方法 |
US8688393B2 (en) * | 2010-07-29 | 2014-04-01 | Medtronic, Inc. | Techniques for approximating a difference between two capacitances |
US9268441B2 (en) | 2011-04-05 | 2016-02-23 | Parade Technologies, Ltd. | Active integrator for a capacitive sense array |
US8933712B2 (en) | 2012-01-31 | 2015-01-13 | Medtronic, Inc. | Servo techniques for approximation of differential capacitance of a sensor |
US8836349B2 (en) * | 2012-08-15 | 2014-09-16 | Robert Bosch Gmbh | Capacitive sensor |
EP2929359B1 (en) | 2012-12-05 | 2021-02-03 | Schneider Electric USA, Inc. | Isolated and self-calibrating voltage measurement sensor |
US9218095B2 (en) | 2013-05-21 | 2015-12-22 | Synaptics Incorporated | Non-linear feedback capacitance sensing |
US9570222B2 (en) * | 2013-05-28 | 2017-02-14 | Tdk Corporation | Vector inductor having multiple mutually coupled metalization layers providing high quality factor |
KR101987408B1 (ko) * | 2014-01-21 | 2019-06-11 | 삼성전자주식회사 | 생체 임피던스 측정 장치 및 방법 |
JP6355387B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-07-11 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム |
US10382002B2 (en) | 2015-03-27 | 2019-08-13 | Tdk Corporation | Apparatus and methods for tunable phase networks |
US10042376B2 (en) | 2015-03-30 | 2018-08-07 | Tdk Corporation | MOS capacitors for variable capacitor arrays and methods of forming the same |
US10073482B2 (en) | 2015-03-30 | 2018-09-11 | Tdk Corporation | Apparatus and methods for MOS capacitor structures for variable capacitor arrays |
US9973155B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-05-15 | Tdk Corporation | Apparatus and methods for tunable power amplifiers |
DE102018105234B4 (de) | 2018-03-07 | 2020-08-20 | Ifm Electronic Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines kapazitiven Druckmessgeräts |
WO2020027026A1 (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 日本電産株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
DE102019129264B4 (de) * | 2019-10-30 | 2021-07-15 | Ifm Electronic Gmbh | Verfahren zur Funktionsüberwachung einer kapazitiven Druckmesszelle |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3646434A (en) * | 1969-11-12 | 1972-02-29 | Industrial Nucleonics Corp | Standardization of dielectric materials gauges having capacitive probes with remotely controlled balancing circuits using varactors |
US3816811A (en) * | 1973-01-12 | 1974-06-11 | R Cmelik | Fluid mixture analyzer using a capacitive probe and voltage divider |
US3975719A (en) | 1975-01-20 | 1976-08-17 | Rosemount Inc. | Transducer for converting a varying reactance signal to a DC current signal |
US4381677A (en) | 1981-01-23 | 1983-05-03 | Rosemount Inc. | Reactance measurement circuit |
US4519253A (en) | 1983-04-29 | 1985-05-28 | Rosemount Inc. | Reactance measurement circuit with enhanced linearity |
US5083091A (en) | 1986-04-23 | 1992-01-21 | Rosemount, Inc. | Charged balanced feedback measurement circuit |
US4791352A (en) | 1986-07-17 | 1988-12-13 | Rosemount Inc. | Transmitter with vernier measurement |
US4878012A (en) | 1988-06-10 | 1989-10-31 | Rosemount Inc. | Charge balanced feedback transmitter |
US5119033A (en) | 1989-09-29 | 1992-06-02 | Rosemount Inc. | Vernier voltage-to-digital converter with a storage capacitance selectable in magnitude |
US5329818A (en) | 1992-05-28 | 1994-07-19 | Rosemount Inc. | Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition |
FR2700614B1 (fr) * | 1993-01-19 | 1995-04-14 | Sextant Avionique | Accéléromètre capacitif à circuit de correction de l'effet perturbateur de capacités parasites. |
EP0711976B1 (de) * | 1994-11-11 | 2001-07-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Anordnung zur Linearisierung und Temperaturkompensation von Sensorsignalen |
JP3125675B2 (ja) * | 1996-03-29 | 2001-01-22 | 三菱電機株式会社 | 容量型センサインターフェース回路 |
JPH1047993A (ja) * | 1996-08-02 | 1998-02-20 | Fuji Koki:Kk | 可変容量型センサシステム |
US6445294B1 (en) * | 1999-07-15 | 2002-09-03 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Proximity sensor |
US6516672B2 (en) | 2001-05-21 | 2003-02-11 | Rosemount Inc. | Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter |
US7259573B2 (en) * | 2001-05-22 | 2007-08-21 | Atrua Technologies, Inc. | Surface capacitance sensor system using buried stimulus electrode |
US20040004488A1 (en) * | 2002-07-02 | 2004-01-08 | Baxter Larry K. | Capacitive sensor circuit with good noise rejection |
US6828802B2 (en) | 2002-08-16 | 2004-12-07 | Rosemount Inc. | Pressure measurement device including a capacitive sensor in an amplifier feedback path |
US6873277B1 (en) | 2003-09-19 | 2005-03-29 | Rosemount, Inc. | Multi-phase measurement system with synchronized sigma delta converters |
-
2007
- 2007-03-26 US US11/728,354 patent/US7724001B2/en active Active
- 2007-03-26 JP JP2009502910A patent/JP4906006B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-26 EP EP07753978A patent/EP2002213B1/en active Active
- 2007-03-26 CN CN2007800183227A patent/CN101449131B/zh active Active
- 2007-03-26 RU RU2008142755/28A patent/RU2401987C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2007-03-26 WO PCT/US2007/007395 patent/WO2007126731A2/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7724001B2 (en) | 2010-05-25 |
WO2007126731A3 (en) | 2008-01-17 |
EP2002213A2 (en) | 2008-12-17 |
CN101449131A (zh) | 2009-06-03 |
RU2401987C2 (ru) | 2010-10-20 |
JP4906006B2 (ja) | 2012-03-28 |
EP2002213B1 (en) | 2012-07-11 |
CN101449131B (zh) | 2010-12-01 |
JP2009531713A (ja) | 2009-09-03 |
US20070227253A1 (en) | 2007-10-04 |
WO2007126731A2 (en) | 2007-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2008142755A (ru) | Цепь емкостного датчика | |
JP2009531713A5 (ru) | ||
USRE48086E1 (en) | Fully differential demodulator with variable gain, and method for demodulating a signal | |
EP1432140A2 (en) | Transceiver capable of causing series resonance with parasitic capacitance | |
KR970031450A (ko) | 주파수 변환기 및 이를 이용한 무선 수신기(Frequency Converter and Radio Receiver Using the Same) | |
WO2003061117A1 (en) | Class d electroacoustic amplifier and method for compensation of power supply voltage influence on output audio signal in class d electroacoustic amplifier | |
US20070242775A1 (en) | Harmonic-rejection modulation device | |
CN101884004B (zh) | 外部调制器的控制设备和方法 | |
JPH02504210A (ja) | 発振器位相雑音の減少に関する改良 | |
RU2212091C2 (ru) | Кварцевый генератор стабилизированный по амплитуде | |
EP3882571B1 (en) | Gyroscope with locked secondary oscillation frequency | |
CN111510501B (zh) | 一种可调频物联网终端 | |
SU1100711A1 (ru) | Умножитель частоты | |
JPH10271171A (ja) | 変調器 | |
RU18032U1 (ru) | Цифровой синтезатор частот с частотной модуляцией | |
US4620314A (en) | Method of generating an approximately sinusoidal signal and circuit arrangement for implementing this method, particularly in a stereo demodulator | |
CN116430325A (zh) | 一种占空比可调的啁啾雷达信号生成系统及方法 | |
UA126344C2 (uk) | Генератор низьких та інфранизьких частот | |
SU1497756A1 (ru) | Демодул тор сигналов частотной телеграфии | |
SU1580522A1 (ru) | Формирователь частотно-модулированных сигналов | |
SU1270865A1 (ru) | Формирователь амплитудно-модулированных сигналов | |
SU1135510A1 (ru) | Фильтр низших частот дл подавлени резонанса контура регулировани параметра прокатки | |
SU1385240A1 (ru) | Кварцевый частотный модул тор | |
SU486486A1 (ru) | Синхронный приемник фазоманипулированного сигнала | |
KR100281699B1 (ko) | 송신변조회로 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20210327 |