RU2008141365A

RU2008141365A - Способ и устройство для измерения качества поверхности подложки

Info

Publication number: RU2008141365A
Application number: RU2008141365/28A
Authority: RU
Inventors: Рой Роналд РОЗЕНБЕРГЕР (US); Рой Роналд РОЗЕНБЕРГЕР
Original assignee: Верити Иа, Ллк (Us); Верити Иа, Ллк
Priority date: 2006-03-21
Filing date: 2006-11-17
Publication date: 2010-04-27
Also published as: EP2016367A2; CA2646683A1; AU2006352693A1; WO2008087463A2; BRPI0621434A2; US20100231708A1; JP2009536316A; WO2008087463A3; CN101460809A

Abstract

1. Способ измерения качества поверхности подложки, включающий следующие этапы: ! получение цифрового изображения участка поверхности подложки используя устройство получения изображения; и ! измерение одной или более физических характеристик полученного цифрового изображения, чтобы дать указание качества поверхности подложки. ! 2. Способ по п.1, включающий этап освещения под углом к основной плоскости подложки части поверхности подложки до получения цифрового изображения. ! 3. Способ по пп.1 или 2, где полученное цифровое изображение включает ряд пикселей, и способ включает измерение для измеряемой области пикселей в полученном цифровом изображении, физической характеристики каждого пикселя и сравнение измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой соседнего пикселя. ! 4. Способ по п.1, где физическая характеристика измеряется как яркость каждого пикселя. ! 5. Способ по п.1, включающий этап сравнения измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой двух или более соседних пикселей. ! 6. Способ по п.1, где тестируемая область пикселей в полученном цифровом изображении включает ряд пикселей в рядах и столбцах, и способ включает сравнение измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой первого соседнего пикселя, расположенного в том же ряду и с измеренной физической характеристикой второго соседнего пикселя, расположенного в том же столбце. ! 7. Способ по п.6. включающий сравнение измеренной физической хара�

Claims

1. Способ измерения качества поверхности подложки, включающий следующие этапы:

получение цифрового изображения участка поверхности подложки используя устройство получения изображения; и

измерение одной или более физических характеристик полученного цифрового изображения, чтобы дать указание качества поверхности подложки.

2. Способ по п.1, включающий этап освещения под углом к основной плоскости подложки части поверхности подложки до получения цифрового изображения.

3. Способ по пп.1 или 2, где полученное цифровое изображение включает ряд пикселей, и способ включает измерение для измеряемой области пикселей в полученном цифровом изображении, физической характеристики каждого пикселя и сравнение измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой соседнего пикселя.

4. Способ по п.1, где физическая характеристика измеряется как яркость каждого пикселя.

5. Способ по п.1, включающий этап сравнения измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой двух или более соседних пикселей.

6. Способ по п.1, где тестируемая область пикселей в полученном цифровом изображении включает ряд пикселей в рядах и столбцах, и способ включает сравнение измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой первого соседнего пикселя, расположенного в том же ряду и с измеренной физической характеристикой второго соседнего пикселя, расположенного в том же столбце.

7. Способ по п.6. включающий сравнение измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой соседнего пикселя, находящегося в соседнем ряду или столбце.

8. Способ по п.1, включающий измерение, по меньшей мере, тестируемой области пикселей в полученном цифровом изображении, физической характеристики группы соседних пикселей и сравнение измеренной физической характеристики этой группы пикселей с измеренной физической характеристикой соседней группы пикселей.

9. Способ по п.8, где измеренная физическая характеристика это средняя яркость каждой группы соседних пикселей.

10. Способ по п.1, где полученное цифровое изображение это цветное цифровое изображение, причем способ включает этап преобразования цветнового цифрового изображения в полутоновое цифровое изображение до измерения физической характеристики каждого пикселя цифрового изображения.

11. Способ по п.10, включающий этап измерения на тестируемой области цифрового изображения среднего значения яркости пикселей и стандартного отклонения значений яркости для всех пикселей в тестируемой области.

12. Способ по п.1, в котором полученное цифровое изображение это цветное цифровое изображение, причем способ включает этап разделения цветного цифрового изображения на каждый его компонент для получения трех отдельных полутоновых цифровых изображений.

13. Способ по п.12, включающий этап измерения в тестируемой области каждого компонента полутоновых цифровых изображений среднего значения яркости пикселей и стандартного отклонения значений яркости для всех пикселей на тестируемой области.

14. Способ по п.13, включающий последующий этап выбора дальнейшего анализа компонента полутонового цифрового изображения с самым большим стандартным отклонением яркости пикселей.

15. Способ по п.12, где компонент синего света полутонового цифрового изображения не используется для дальнейшего анализа, если подложка содержит проясняющий агент.

16. Способ по п.10, включающий этап улучшения полутонового цифрового изображения.

17. Способ по п.16, где значение яркости для каждого пикселя в тестируемой области полутонового цифрового изображения регулируется, если значение яркости этого пикселя отличается от среднего значения яркости для всех пикселей в тестируемой области полутонового цифрового изображения.

18. Способ по п.17, где улучшение включает регулировку значения яркости каждого пикселя в тестируемой области посредством коэффициента усиления.

19. Способ по п.18, где коэффициент усиления определяется посредством арифметического расстояния значения яркости каждого пикселя от среднего значения яркости пикселя всех пикселей в тестируемой области.

20. Способ по п.16, включающий этап регулировки значения яркости для каждого пикселя в тестируемой области, чтобы распространить значения яркости пикселей всех пикселей в тестируемой области в принципе равномерно по всему видимому диапазону.

21. Способ по п.16, включающий этап создания просматриваемого выхода цифрового дисплея улучшенного полутонового цифрового изображения.

22. Способ по п.1, включающий этап создания просматриваемого выхода, указывающего качество печатного изображения.

23. Устройство получения изображения, содержащее:

устройство получения цифрового изображения части поверхности подложки;

запоминающее устройство для хранения информации, относящейся к полученному цифровому изображению; и

устройство для измерения одного или более физических характеристик полученного цифрового изображения, чтобы предоставить информацию, показывающую качество подложки, где устройство также включает источник света для освещения части поверхности подложки, чтобы бросать тени на поверхность подложки у областей, близких к поверхности подложки, которые не являются равными.

24. Устройство по п.23 для использования в способе по любому из пп.1-22.

25. Способ в принципе как он описан выше со ссылкой на сопроводительные чертежи.

26. Устройство получения изображения в принципе как он описан выше со ссылкой на сопроводительные чертежи.