Claims (34)
1. Способ нанесения покрытия, включающий размещение деталей в вакуумной камере на приспособлении, приложение к приспособлению и деталям потенциала электрического смещения, ионную очистку поверхности деталей и нанесение на них покрытия электродуговым испарением материалов, по крайней мере, одного, вращающегося вокруг своей оси катода, выполненного в виде цилиндрической обечайки и снабженного перемещающимся в осевом направлении фиксатором катодного пятна, отличающийся тем, что используют составной катод, образованный из соединенных по торцам цилиндрических колец-обечаек, причем, контактирующие между собой кольца-обечайки выполнены из разнородных материалов.1. The method of coating, including placing parts in a vacuum chamber on the device, applying electric bias to the device and parts, ion cleaning the surface of the parts and coating them with electric arc evaporation of at least one cathode rotating around its axis, made in the form of a cylindrical shell and provided with an axially moving cathode spot retainer, characterized in that a composite cathode is used, formed from the ends of the cylindrical shell rings, moreover, the shell rings in contact with each other are made of dissimilar materials.
2. Способ нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что при нанесении покрытий изделия вращают вокруг собственной оси и перемещают относительно катодов.2. The method of coating according to claim 1, characterized in that when coating the products rotate around its own axis and move relative to the cathodes.
3. Способ нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что используют катоды, выполненные с возможностью возвратно-поступательного движения относительно покрываемых деталей в осевом направлении.3. The method of coating according to claim 1, characterized in that the use of cathodes made with the possibility of reciprocating motion relative to the coated parts in the axial direction.
4. Способ нанесения покрытия по п.2, отличающийся тем, что используют катоды, выполненные с возможностью возвратно-поступательного движения относительно покрываемых деталей в осевом направлении.4. The method of coating according to claim 2, characterized in that the use of cathodes made with the possibility of reciprocating motion relative to the coated parts in the axial direction.
5. Способ нанесения покрытия по п.4, отличающийся тем, что при нанесении покрытия производят перемещение катода в осевом направлении при одновременном перемещении фиксатора катодного пятна.5. The method of coating according to claim 4, characterized in that when coating is applied, the cathode is moved in the axial direction while the cathode spot retainer is moved.
6. Способ нанесения покрытия по п.4, отличающийся тем, что при нанесении покрытия производят возвратно-поступательное перемещение катода в осевом направлении при одновременном перемещении фиксатора катодного пятна.6. The method of coating according to claim 4, characterized in that during coating, the cathode is reciprocated in the axial direction while the cathode spot retainer is moved.
7. Способ нанесения покрытия по п.6, отличающийся тем, что используют катод, выполненный из набора чередующихся колец-обечаек, выполненных по крайней мере, из двух разнородных материалов.7. The coating method according to claim 6, characterized in that a cathode is used made of a set of alternating shell rings made of at least two dissimilar materials.
8. Способ нанесения покрытия по п.7, отличающийся тем, что используют кольца-обечайки с равной высотой hi.8. The method of coating according to claim 7, characterized in that they use ring rings with an equal height h i .
9. Способ нанесения покрытия по п.8, отличающийся тем, что величина амплитуды возвратно-поступательного движения катода кратна высоте hi.9. The method of coating according to claim 8, characterized in that the magnitude of the amplitude of the reciprocating motion of the cathode is a multiple of the height h i .
10. Способ нанесения покрытия по п.6, отличающийся тем, что при нанесении покрытия обеспечивают параллельность осей вращения катодов и деталей.10. The method of coating according to claim 6, characterized in that when coating is applied, the axes of rotation of the cathodes and parts are parallel.
11. Способ нанесения покрытия по любому из п.п.1-10, отличающийся тем, что используют катод, выполненный по меньшей мере из трех следующих металлов Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu и/или любого сплава на основе указанных металлов.11. The coating method according to any one of claims 1 to 10, characterized in that a cathode is used made of at least the following three metals Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu and / or any alloy on the basis of these metals.
12. Способ нанесения покрытия по любому из п.п.1-10, отличающийся тем, что используют катод, выполненный, по меньшей мере, из трех металлов Ni, Cr, Al, Y и/или любого сплава на основе указанных металлов.12. The coating method according to any one of claims 1 to 10, characterized in that a cathode is used made of at least three metals Ni, Cr, Al, Y and / or any alloy based on these metals.
13. Способ нанесения покрытия по п.7, отличающийся тем, что используют катод, выполненный, по меньшей мере, из трех следующих металлов Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu и/или любого сплава на основе указанных металлов.13. The coating method according to claim 7, characterized in that a cathode is used made of at least the following three metals Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu and / or any alloy based on these metals.
14. Способ нанесения покрытия по п.7, отличающийся тем, что используют катод, выполненный, по меньшей мере, из трех металлов Ni, Cr, Al, Y и/или любого сплава на основе указанных металлов.14. The coating method according to claim 7, characterized in that a cathode is used made of at least three metals Ni, Cr, Al, Y and / or any alloy based on these metals.
15. Способ нанесения покрытия по любому из п.п.1-10, 13, 14, отличающийся тем, что используют периферийное расположение катодов.15. The method of coating according to any one of claims 1 to 10, 13, 14, characterized in that the peripheral arrangement of the cathodes is used.
16. Способ нанесения покрытия по любому из п.п.1-10, 13, 14, отличающийся тем, что используют центральное расположение катодов.16. The method of coating according to any one of claims 1 to 10, 13, 14, characterized in that the central location of the cathodes is used.
17. Способ нанесения покрытия по любому из п.п.1-10, 13, 14, отличающийся тем, что используют центральное и периферийное расположение катодов.17. The method of coating according to any one of claims 1 to 10, 13, 14, characterized in that the central and peripheral locations of the cathodes are used.
18. Способ нанесения покрытия по п.11, отличающийся тем, что используют периферийное расположение катодов.18. The method of coating according to claim 11, characterized in that the peripheral arrangement of the cathodes is used.
19. Способ нанесения покрытия по п.11, отличающийся тем, что используют центральное расположение катодов.19. The coating method according to claim 11, characterized in that the central location of the cathodes is used.
20. Способ нанесения покрытия по п.11, отличающийся тем, что используют центральное и периферийное расположение катодов.20. The method of coating according to claim 11, characterized in that use the Central and peripheral location of the cathodes.
21. Способ нанесения покрытия по п.12, отличающийся тем, что используют периферийное расположение катодов.21. The coating method according to p. 12, characterized in that the peripheral arrangement of the cathodes is used.
22. Способ нанесения покрытия по п.12, отличающийся тем, что используют центральное расположение катодов.22. The method of coating according to item 12, characterized in that use the Central location of the cathodes.
23. Способ нанесения покрытия по п.12, отличающийся тем, что используют центральное и периферийное расположение катодов.23. The method of coating according to item 12, characterized in that use the Central and peripheral location of the cathodes.
24. Способ нанесения покрытия по любому из п.п.1-10, 13, 14, 18-23 отличающийся тем, что в качестве детали используют лопатку турбомашины.24. The coating method according to any one of claims 1 to 10, 13, 14, 18-23, characterized in that a blade of a turbomachine is used as a part.
25. Способ нанесения покрытия по любому из п.п.1-10, 13, 14, 18-23 отличающийся тем, что нанесение покрытия производят в среде реакционного газа.25. The method of coating according to any one of claims 1 to 10, 13, 14, 18-23, characterized in that the coating is carried out in a reaction gas medium.
26. Способ нанесения покрытия по п.24, отличающийся тем, что нанесение покрытия производят в среде реакционного газа.26. The method of coating according to paragraph 24, wherein the coating is carried out in a reaction gas environment.
27. Способ нанесения покрытия по п.24, отличающийся тем, что в качестве реакционного газа используют азот и/или углерод при давлении 10-2-5·10-4 мм.27. The method of coating according to paragraph 24, characterized in that the reaction gas is nitrogen and / or carbon at a pressure of 10 -2 -5 · 10 -4 mm
28. Электродуговой испаритель, содержащий цилиндрический охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрической обечайки с возможностью вращения вокруг собственной оси, снабженный средствами подвода-отвода охлаждающей среды, средствами электрической связи катода с источником электропитания разряда, средствами фиксации положения катодного пятна на поверхности испарения катода отличающийся тем, что катод выполнен составным, состоящим из набора цилиндрических колец-обечаек, образующих при их соединении по торцам сплошную обечайку, причем, контактирующие друг с другом кольца-обечайки выполнены из разнородных материалов.28. An electric arc evaporator containing a cylindrical cooled cathode made of a vaporized material in the form of a cylindrical shell with the possibility of rotation around its own axis, equipped with means for supplying and discharging a cooling medium, electric means for connecting the cathode to a discharge power supply, and means for fixing the position of the cathode spot on the evaporation surface cathode characterized in that the cathode is made integral, consisting of a set of cylindrical shell rings, forming when they are connected at the end m continuous shell, moreover, contacting each other rings-shells are made of dissimilar materials.
29. Электродуговой испаритель по п.28, отличающийся тем, что кольца-обечайки составного катода соединены между собой сваркой.29. The electric arc evaporator according to claim 28, characterized in that the shell rings of the composite cathode are welded together.
30. Электродуговой испаритель по п.28, отличающийся тем, что катод состоит из соединенных между собой колец-обечаек, выполненных из материалов, выбранных из элементов IVb, Vb, VIb групп Периодической таблицы Менделеева и Аl, а также их сплавов.30. The electric arc evaporator according to claim 28, characterized in that the cathode consists of interconnected shell rings made of materials selected from elements IVb, Vb, VIb of the Periodic Table and Al groups, as well as their alloys.
31. Электродуговой испаритель по п.29, отличающийся тем, что катод состоит из соединенных между собой колец-обечаек, выполненных из материалов, выбранных из элементов IVb, Vb, VIb групп Периодической таблицы Менделеева и Аl, а также их сплавов.31. The electric arc evaporator according to clause 29, wherein the cathode consists of interconnected shell rings made of materials selected from elements IVb, Vb, VIb of the Periodic Table and Al groups, as well as their alloys.
32. Электродуговой испаритель по п.31, отличающийся тем, что соотношение площадей колец-обечаек, выполненных из различных наносимых материалов и образующих один катод, определяется соотношением толщин слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия.32. The electric arc evaporator according to claim 31, characterized in that the ratio of the area of the shell rings made of various deposited materials and forming one cathode is determined by the ratio of the thicknesses of the layers of these materials obtained by coating.
33. Электродуговой испаритель по п.31, отличающийся тем, что катод состоит, по крайней мере из трех колец-обечаек, выполненных соответственно из титана, алюминия и кремния.33. The electric arc evaporator according to p, characterized in that the cathode consists of at least three shell rings made of titanium, aluminum and silicon, respectively.
34. Электродуговой испаритель по п.33, отличающийся тем, что соотношение площадей испаряемых поверхностей цилиндрических обечаек из титана, алюминия и кремния определяется соотношением слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия.
34. An electric arc evaporator according to claim 33, characterized in that the ratio of the areas of the evaporated surfaces of the cylindrical shells of titanium, aluminum and silicon is determined by the ratio of the layers of these materials obtained by coating.