RU2007132535A - Электронное детектирующее устройство и детектор, содержащий такое устройство - Google Patents
Электронное детектирующее устройство и детектор, содержащий такое устройство Download PDFInfo
- Publication number
- RU2007132535A RU2007132535A RU2007132535/28A RU2007132535A RU2007132535A RU 2007132535 A RU2007132535 A RU 2007132535A RU 2007132535/28 A RU2007132535/28 A RU 2007132535/28A RU 2007132535 A RU2007132535 A RU 2007132535A RU 2007132535 A RU2007132535 A RU 2007132535A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- detecting device
- microstructure
- electronic detecting
- membrane
- specified
- Prior art date
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000003351 stiffener Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0225—Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
- G01J5/023—Particular leg structure or construction or shape; Nanotubes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0225—Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
- G01J5/024—Special manufacturing steps or sacrificial layers or layer structures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Electrophonic Musical Instruments (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Push-Button Switches (AREA)
- Burglar Alarm Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
Claims (10)
1. Электронное детектирующее устройство, содержащее подложку (1; 301; 401) и по меньшей мере одну микроструктуру, указанная микроструктура содержит мембрану (9; 309; 409) и по меньшей мере один удлиненный удерживающий элемент (21, 22), указанная мембрана расположена, по существу, напротив указанной подложки (1; 301; 401) и на расстоянии от нее и механически прикреплена и электрически соединена с указанным удлиненным удерживающим элементом, который механически и электрически соединен с подложкой (1; 301; 401) посредством по меньшей мере одной опоры (5; 305; 405), отличающееся тем, что микроструктура также содержит по меньшей мере один элемент (10-13; 310; 313; 413; 413'; 420), имеющий полое сечение и проходящий по меньшей мере по одной из основных поверхностей указанной микроструктуры.
2. Электронное детектирующее устройство по п.1, отличающееся тем, что элемент жесткости идет в направлении, поперечном основной поверхности микроструктуры.
3. Электронное детектирующее устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что удлиненный удерживающий элемент (21, 22) содержит удлиненный элемент (10; 11; 310; 410) жесткости, проходящий по всей его длине.
4. Электронное детектирующее устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что мембрана (9; 309) содержит по меньшей мере один элемент (12) жесткости, идущий в направлении одного из основных измерений и по всей длине указанной мембраны (9; 309).
5. Электронное детектирующее устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что элемент (10-13; 310; 313) имеет сечение в форме трапеции, основание которой соединено с указанной микроструктурой.
6. Электронное детектирующее устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что элемент (410, 420) жесткости имеет вид трубки, образованной элементами жесткости, проходящей по обоим основным поверхностям микроструктуры.
7. Электронное детектирующее устройство по п.6, отличающееся тем, что плоскость мембраны (409) расширяется, по существу, вдоль экваториальной плоскости указанных трубок (420).
8. Электронное детектирующее устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что содержит множество элементов (10-13; 310; 313; 410; 413; 413'; 420) жесткости, идущих в направлении одного и (или) другого основного(ых) измерения(ий) указанной мембраны (9; 309; 409).
9. Электронное детектирующее устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что содержит несколько удлиненных элементов (10-13; 310; 313; 410; 413; 413'; 420) жесткости, параллельных друг другу.
10. Матричный детектор электромагнитного излучения, такого как инфракрасное излучение, содержащий множество элементарных чувствительный элементов детектируемого излучения, отличающийся тем, что каждый указанный элементарный чувствительный элемент состоит из электронного устройства по любому из предыдущих пунктов, причем каждая из указанных мембран содержит материал, чувствительный к этому излучению.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0653798A FR2906029B1 (fr) | 2006-09-18 | 2006-09-18 | Dispositif electronique de detection et detecteur comprenant un tel dispositif |
| FR0653798 | 2006-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007132535A true RU2007132535A (ru) | 2009-03-10 |
Family
ID=37877069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007132535/28A RU2007132535A (ru) | 2006-09-18 | 2007-08-28 | Электронное детектирующее устройство и детектор, содержащий такое устройство |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7423270B2 (ru) |
| EP (1) | EP1901047B1 (ru) |
| JP (1) | JP2008111825A (ru) |
| CN (1) | CN101148242B (ru) |
| AT (1) | ATE484736T1 (ru) |
| CA (1) | CA2598596C (ru) |
| DE (1) | DE602007009770D1 (ru) |
| FR (1) | FR2906029B1 (ru) |
| RU (1) | RU2007132535A (ru) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009222489A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Oki Semiconductor Co Ltd | 赤外線検出素子およびその製造方法 |
| FR2936868B1 (fr) * | 2008-10-07 | 2011-02-18 | Ulis | Detecteur thermique a micro-encapsulation. |
| CN101927976B (zh) * | 2009-09-30 | 2013-09-25 | 浙江大立科技股份有限公司 | 微桥结构红外探测器以及制造方法 |
| JP5644121B2 (ja) * | 2010-01-26 | 2014-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 熱型光検出器、熱型光検出装置、電子機器および熱型光検出器の製造方法 |
| KR101892581B1 (ko) * | 2011-10-19 | 2018-08-29 | 삼성전자주식회사 | 온도 감지 장치 및 방법 |
| US9297700B2 (en) * | 2012-12-03 | 2016-03-29 | Analog Devices, Inc. | Photonic sensor and a method of manufacturing such a sensor |
| WO2015141496A1 (ja) * | 2014-03-19 | 2015-09-24 | 住友精密工業株式会社 | 赤外線センサ及びその製造方法 |
| FR3048125B1 (fr) * | 2016-02-24 | 2020-06-05 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Dispositif de detection de rayonnement electromagnetique a plot de connexion electrique sureleve |
| CN112577612B (zh) * | 2020-12-09 | 2022-04-08 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 黑硅等离激元辅助吸收的热电堆芯片及其制作方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5288649A (en) * | 1991-09-30 | 1994-02-22 | Texas Instruments Incorporated | Method for forming uncooled infrared detector |
| US5399897A (en) * | 1993-11-29 | 1995-03-21 | Raytheon Company | Microstructure and method of making such structure |
| FR2736654B1 (fr) * | 1995-07-13 | 1997-08-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'elements de microstructures flottants rigides et dispositif equipe de tels elements |
| US6198098B1 (en) * | 1998-05-26 | 2001-03-06 | Philips Laou | Microstructure for infrared detector and method of making same |
| FR2861172B1 (fr) * | 2003-10-15 | 2006-06-02 | Ulis | Detecteur bolometrique, dispositif de detection infrarouge mettant en oeuvre un tel detecteur bolometrique et procede de fabrication de ce detecteur |
| FR2883417B1 (fr) * | 2005-03-16 | 2007-05-11 | Ulis Soc Par Actions Simplifie | Detecteur bolometrique, dispositif de detection infrarouge mettant en oeuvre un tel detecteur et procede de fabrication de ce detecteur |
-
2006
- 2006-09-18 FR FR0653798A patent/FR2906029B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-21 US US11/842,435 patent/US7423270B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-08-22 EP EP07301316A patent/EP1901047B1/fr not_active Not-in-force
- 2007-08-22 CA CA2598596A patent/CA2598596C/fr not_active Expired - Fee Related
- 2007-08-22 DE DE602007009770T patent/DE602007009770D1/de active Active
- 2007-08-22 AT AT07301316T patent/ATE484736T1/de not_active IP Right Cessation
- 2007-08-28 RU RU2007132535/28A patent/RU2007132535A/ru not_active Application Discontinuation
- 2007-08-29 JP JP2007222826A patent/JP2008111825A/ja active Pending
- 2007-08-30 CN CN200710149409XA patent/CN101148242B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7423270B2 (en) | 2008-09-09 |
| CA2598596C (fr) | 2015-06-23 |
| US20080067389A1 (en) | 2008-03-20 |
| DE602007009770D1 (de) | 2010-11-25 |
| CN101148242B (zh) | 2011-08-17 |
| FR2906029B1 (fr) | 2010-09-24 |
| FR2906029A1 (fr) | 2008-03-21 |
| CA2598596A1 (fr) | 2008-03-18 |
| JP2008111825A (ja) | 2008-05-15 |
| EP1901047B1 (fr) | 2010-10-13 |
| ATE484736T1 (de) | 2010-10-15 |
| CN101148242A (zh) | 2008-03-26 |
| EP1901047A1 (fr) | 2008-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2007132535A (ru) | Электронное детектирующее устройство и детектор, содержащий такое устройство | |
| ATE527543T1 (de) | Testvorrichtung zur schnelldiagnose | |
| DE602005013860D1 (de) | Omnidirektionaler Crashsensor | |
| EA201170517A1 (ru) | Устройство анализа поверхности подложки | |
| CY1123496T1 (el) | Μεθοδοι για την ανιχνευση συμμετρικης διμεθυλαργινινης | |
| ATE549611T1 (de) | Kraftmessvorrichtung und dehnungsmesselement | |
| DK1697752T3 (da) | Assaychip og anvendelser af assaychippen til bestemmelse af molekyl- strukturer og -funktioner | |
| EA200801617A1 (ru) | Способ и устройство для измерения перемещения поверхности | |
| ATE541156T1 (de) | Montagesystem für eine anzeigevorrichtung | |
| DE602004014006D1 (de) | Doppel-polarisierte antennengruppe und herstellungsverfahren dafür | |
| BR0214039A (pt) | Sistema de extensão de amplitude e filtro espacial para otimizar imagens de hartmann - shack e métodos associados | |
| JP2011069813A5 (ru) | ||
| ATE525245T1 (de) | Optisches system mit einer einrichtung zur kompensation thermischer einflüsse | |
| DK1368488T3 (da) | Sensorindretning, indretning og fremgangsmåde til aomperometrisk og/eller potentiometrisk, farmakologisk testning af aktive steder og/eller aktive stoffer | |
| NO158316B (no) | Ringlasergyroskop. | |
| WO2006103612A3 (en) | Optical system with diffractive optical elements for mapping signal light onto a detector | |
| FR2888226B1 (fr) | Dispositif de va-et-vient a bras oscillant | |
| BR112018009793A8 (pt) | dispositivos e métodos para detectar analitos com o uso de ondas térmicas | |
| FR2894037B1 (fr) | Instrument optique comprenant une cavite d'entree dans laquelle est place un miroir | |
| US9176012B2 (en) | Methods and systems for improved membrane based calorimeters | |
| ATE513213T1 (de) | Mehrschichtiges analyseelement | |
| JP2004329888A5 (ru) | ||
| ES2634214T3 (es) | Dispositivo tensor para un dispositivo para medir un cuerpo para un sistema de medición de posición / distancia | |
| RU2009115732A (ru) | Светодиодный оптический блок | |
| ES2313500T3 (es) | Unidad de exploracion de un dispositivo de medicion de la posicion y dispositivo optico de medicion de la posicion. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20100829 |