RU2007109513A - Крепежное устройство для распылительного источника - Google Patents
Крепежное устройство для распылительного источника Download PDFInfo
- Publication number
- RU2007109513A RU2007109513A RU2007109513/02A RU2007109513A RU2007109513A RU 2007109513 A RU2007109513 A RU 2007109513A RU 2007109513/02 A RU2007109513/02 A RU 2007109513/02A RU 2007109513 A RU2007109513 A RU 2007109513A RU 2007109513 A RU2007109513 A RU 2007109513A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- current
- adhesive
- transmitting means
- source
- spray
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3488—Constructional details of particle beam apparatus not otherwise provided for, e.g. arrangement, mounting, housing, environment; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/3497—Temperature of target
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Claims (10)
1. Крепежное устройство для распылительного источника в распылительной камере, содержащее токопередающее средство (2, 10, 13, 15, 16, 17, 18) из электро- и теплопроводящего материала для подвода тока к распылительному источнику и экранирующее средство (1, 4, 5, 6, 12) для экранирования токопередающего средства от распылительной камеры, так что токопередающее средство выполнено с возможностью электрического изолирования от распылительной камеры, отличающееся тем, что предусмотрены температуростойкие средства (1, 5), обеспечивающие температурную стойкость крепежного устройства, в частности, до 1150°С.
2. Устройство по п.1, у которого температуростойкие средства содержат заполняемое полое тело (1).
3. Устройство по п.1, у которого температуростойкие средства содержат, по меньшей мере, один электроизолирующий слой (5).
4. Устройство по п.3, у которого изолирующий слой (5) расположен внутри заполняемого полого тела (1), за счет чего токопередающее средство (2, 10, 13, 15, 16, 17, 18) выполнено с возможностью, по меньшей мере, частичного окружения.
5. Устройство по п.4, у которого изолирующий слой (5) содержит доли керамического порошка и клеящее средство, причем керамический порошок содержит, в частности стеатит, а клеящее средство содержит клей на основе эпоксидной смолы, в частности двухкомпонентный клей, и/или доли керамического порошка и клеящего средства составляют, в частности, по 50 мас.%.
6. Устройство по п.1, у которого потребление тока распылительным источником составляет, в частности, до 150 А.
7. Устройство по п.1, у которого удельная мощность составляет, в частности, до 220 Вт/см2.
8. Устройство по любому из предыдущих пунктов, у которого токопередающее средство включает в себя контактную втулку (36) для присоединения кабельного жгута с целью подвода электрического тока к радиатору (23) источника покрытия, причем контактная втулка размещена на присоединении (31) для хладагента, которое находится в прямом электрическом контакте с радиатором (23) источника покрытия.
9. Установка для нанесения покрытий с крепежным устройством по любому из предыдущих пунктов.
10. Применение крепежного устройства в установке для нанесения покрытий методом реактивного и/или металлического распыления в газовом потоке.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP06405118.8 | 2006-03-16 | ||
| EP06405118A EP1835524A1 (de) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | Befestigungsvorrichtung für eine Sputterquelle |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007109513A true RU2007109513A (ru) | 2008-09-20 |
Family
ID=36569129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007109513/02A RU2007109513A (ru) | 2006-03-16 | 2007-03-15 | Крепежное устройство для распылительного источника |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20090120783A1 (ru) |
| EP (2) | EP1835524A1 (ru) |
| JP (1) | JP2007247065A (ru) |
| CA (1) | CA2579934A1 (ru) |
| RU (1) | RU2007109513A (ru) |
| SG (1) | SG136066A1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI359872B (en) * | 2007-11-15 | 2012-03-11 | Wintek Corp | Magnetron sputter cathode mechanism |
| US20160201356A1 (en) * | 2013-08-26 | 2016-07-14 | David L. George | Tamper resistant padlocks |
| TR202006755A2 (tr) * | 2020-04-30 | 2021-11-22 | Izmir Yueksek Teknoloji Enstituesue Rektoerluegue | Bataryalar i̇çi̇n bağlanti (tab) noktasindan taşinim temelli̇ soğutma yöntemleri̇ |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE758321A (fr) * | 1969-11-03 | 1971-04-01 | Rca Corp | Procede de metallisation de dispositifs a semi-conducteurs |
| JPS62223056A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-10-01 | 日東電工株式会社 | セラミツクスグリ−ンシ−ト |
| JPS63192866A (ja) * | 1987-02-05 | 1988-08-10 | Fujitsu Ltd | 真空装置 |
| US5333726A (en) * | 1993-01-15 | 1994-08-02 | Regents Of The University Of California | Magnetron sputtering source |
| US5441614A (en) * | 1994-11-30 | 1995-08-15 | At&T Corp. | Method and apparatus for planar magnetron sputtering |
| DE10126985A1 (de) * | 2001-06-05 | 2002-12-12 | Gabriel Herbert M | Anordnung zur Stromzuführung für eine Kathode einer Lichtbogen-Verdampfungsvorrichtung |
| US6736948B2 (en) * | 2002-01-18 | 2004-05-18 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Cylindrical AC/DC magnetron with compliant drive system and improved electrical and thermal isolation |
-
2006
- 2006-03-16 EP EP06405118A patent/EP1835524A1/de not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-02-16 EP EP07102546A patent/EP1835526A1/de not_active Withdrawn
- 2007-02-28 CA CA002579934A patent/CA2579934A1/en not_active Abandoned
- 2007-03-09 SG SG200701782-5A patent/SG136066A1/en unknown
- 2007-03-13 US US11/724,048 patent/US20090120783A1/en not_active Abandoned
- 2007-03-15 RU RU2007109513/02A patent/RU2007109513A/ru not_active Application Discontinuation
- 2007-03-15 JP JP2007066007A patent/JP2007247065A/ja not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SG136066A1 (en) | 2007-10-29 |
| JP2007247065A (ja) | 2007-09-27 |
| CA2579934A1 (en) | 2007-09-16 |
| EP1835524A1 (de) | 2007-09-19 |
| US20090120783A1 (en) | 2009-05-14 |
| EP1835526A1 (de) | 2007-09-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7934845B2 (en) | Candle like lighting device | |
| WO2008036786A3 (en) | Attachment of an electrical element to an electronic device using a conductive material | |
| ATE553505T1 (de) | Elektro-optische hochleistungs-led-anordnung | |
| WO2006002010A3 (en) | Surface coating of insulation tape | |
| TW200613480A (en) | Termination coating | |
| PL366608A1 (en) | Grain oriented electric sheet of metal with an electrically insulating coating | |
| MX2009007437A (es) | Vidrio transparente con recubrimiento calentador. | |
| RU2009109007A (ru) | Электрические силовые инструменты | |
| JP2011510139A5 (ru) | ||
| US20130229794A1 (en) | Illuminating light source and illuminating device | |
| RU2007109513A (ru) | Крепежное устройство для распылительного источника | |
| EP2851608A1 (en) | Led lamp | |
| FR2894024B1 (fr) | Canne de mesure de temperature | |
| WO2013023670A1 (en) | Porcelain enamel on led lighting device housing | |
| JP5846503B2 (ja) | Ｌｅｄ照明装置 | |
| JP5342471B2 (ja) | 静電霧化装置 | |
| CN102116422A (zh) | 多功能的冷阴极管灯具装置 | |
| GB201111725D0 (en) | Lighting assembly | |
| FR2866106B1 (fr) | Initiateur electro-pyrotechnique a dissipation de chaleur | |
| CN209562894U (zh) | 大尺寸排版铝基电路板 | |
| CN103836505B (zh) | 表面含有二氧化钛涂层的玻璃热管led灯具 | |
| CN204062933U (zh) | 表面含有二氧化钛涂层的玻璃热管led灯具 | |
| KR200379817Y1 (ko) | 엘이디 광원판 | |
| JP2012094440A (ja) | 誘導加熱装置に用いる加熱コイル用の電線及びそれを用いた誘導加熱装置に用いる加熱コイル | |
| EA201070723A1 (ru) | Электрическое нагревательное устройство |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20110729 |