RU2005124203A - Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности - Google Patents
Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005124203A RU2005124203A RU2005124203/28A RU2005124203A RU2005124203A RU 2005124203 A RU2005124203 A RU 2005124203A RU 2005124203/28 A RU2005124203/28 A RU 2005124203/28A RU 2005124203 A RU2005124203 A RU 2005124203A RU 2005124203 A RU2005124203 A RU 2005124203A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- carbon
- carbide film
- substrate
- silicon carbide
- producing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Claims (4)
1. Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности, включающий синтез пленки карбида кремния на поверхности подложки при совместном нагреве подложки и углеродсодержащего материала при температуре ниже 1405°С, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют твердый материал, который располагают на расстоянии не менее 10 мкм от поверхности подложки.
2. Способ изготовления изделия по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют материал с содержанием углерода более 90 мас.%.
3. Способ изготовления изделия по п.1, отличающийся тем, что расстояние между поверхностью кремниевой подложки и углеродсодержащего материала составляет 0,2-10 мм.
4. Способ изготовления изделия по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют, материал из группы: искусственный графит, стеклоуглерод, пирографит, углеситалл, графитовая фольга.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005124203/28A RU2005124203A (ru) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005124203/28A RU2005124203A (ru) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005124203A true RU2005124203A (ru) | 2007-01-27 |
Family
ID=37773327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005124203/28A RU2005124203A (ru) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2005124203A (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2520480C1 (ru) * | 2013-02-12 | 2014-06-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) | Способ получения слоев карбида кремния |
| RU2540668C1 (ru) * | 2013-12-11 | 2015-02-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Инситут физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) | Способ получения пластин на основе карбида кремния |
-
2005
- 2005-07-20 RU RU2005124203/28A patent/RU2005124203A/ru not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2520480C1 (ru) * | 2013-02-12 | 2014-06-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) | Способ получения слоев карбида кремния |
| RU2540668C1 (ru) * | 2013-12-11 | 2015-02-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Инситут физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) | Способ получения пластин на основе карбида кремния |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2008133660A3 (en) | Nanocrystals including a group iiia element and a group va element, method, composition, device and other prodcucts | |
| CN106757321A (zh) | 一种用于碳化硅单晶生长的籽晶处理方法 | |
| BRPI0410375A (pt) | processo para produção de um material baseado em carbono, poroso | |
| NZ589547A (en) | Dried rasagiline base having a water content less than 0.5 % by weight | |
| ATE350769T1 (de) | Feldeffekttransistoren und materialien und verfahren zu ihrer herstellung | |
| TW200732251A (en) | Thermally exfoliated graphite oxide | |
| EP1858078A4 (en) | ELEMENT FOR A SEMICONDUCTOR COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR | |
| FR2857982B1 (fr) | Procede de fabrication d'une couche epitaxiee | |
| RU2007125475A (ru) | Углеродсодержащая композиция для нагревательного элемента курительного изделия несжигаемого типа | |
| ATE477594T1 (de) | Verbesserte halbleiteranordnungen auf kohlenstoff-nanoröhrenbasis und verfahren zu ihrer herstellung | |
| EP2570385A3 (en) | Carbon composite materials and methods of manufacturing same | |
| ATE528786T1 (de) | Substrat zur massenspektrometrie und herstellungsverfahren für das substrat zur massenspektrometrie | |
| ATE516247T1 (de) | Synthese von zeolithkristallen und bildung von kohlenstoffnanostrukturen in gemusterten strukturen | |
| TW200724597A (en) | Composition for thermal interface materials | |
| TW200641994A (en) | Precursor composition for porous membrane and process for preparation thereof, porous membrane and process for production thereof, and semiconductor device | |
| EP1266751A3 (en) | Printing plate precursor, image forming method employing the same, and printing method | |
| RU2005124203A (ru) | Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности | |
| TWI503274B (zh) | Compositions, powder materials and methods for preparing artificial graphite components | |
| WO2009069684A1 (ja) | 放熱構造、該放熱構造の製造方法及び該放熱構造を用いた放熱装置、ダイヤモンドヒートシンク、該ダイヤモンドヒートシンクの製造方法及び該ダイヤモンドヒートシンクを用いた放熱装置、並びに放熱方法 | |
| PT1548159E (pt) | Processo para produzir um po monocristalino cu (ln, ga) se2 e membranas monoparticulas utilizadas em celulas solares contendo este po | |
| WO2011038206A3 (en) | Surface-etched etched alumina/sic mini-whisker composite material and uses thereof | |
| RU2005103321A (ru) | Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности | |
| CN204281325U (zh) | 一种适于石墨烯生长的成型平台 | |
| Bechelany et al. | CNT-encapsulated β-SiC nanocrystals: enhanced migration by confinement in carbon channels | |
| TW200736261A (en) | Method of purifying episesamin |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080721 |
|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080721 |