RU2005113962A - Измерительный элемент микроэлектронного датчика - Google Patents
Измерительный элемент микроэлектронного датчика Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005113962A RU2005113962A RU2005113962/28A RU2005113962A RU2005113962A RU 2005113962 A RU2005113962 A RU 2005113962A RU 2005113962/28 A RU2005113962/28 A RU 2005113962/28A RU 2005113962 A RU2005113962 A RU 2005113962A RU 2005113962 A RU2005113962 A RU 2005113962A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- measuring element
- substrate
- microelectronic sensor
- sensor measuring
- dielectric membrane
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/128—Microapparatus
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Claims (3)
1. Измерительный элемент микроэлектронного датчика, состоящий из подложки с отверстием, диэлектрической мембраны, технологических и функциональных слоев, отличающийся тем, что подложка выполнена из керамики с содержанием оксида алюминия не менее 90%, а диэлектрическая мембрана представляет собой пленку из оксида алюминия, плотно закрепленную на подложке, с заранее выполненным сквозным отверстием, с помощью высокотемпературного клея.
2. Измерительный элемент по п.1, отличающийся тем, что в качестве высокотемпературного клея использовано стекло с коэффициентом термического расширения, отличающимся от коэффициента термического расширения оксида алюминия не более чем на 10%.
3. Измерительный элемент по п.1, отличающийся тем, что диэлектрическая мембрана представляет собой свободную поликристаллическую керамическую пленку толщиной 10-100 мкм, полученную электролитно-искровым оксидированием алюминия.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005113962/28A RU2005113962A (ru) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | Измерительный элемент микроэлектронного датчика |
| PCT/RU2006/000186 WO2006121367A1 (fr) | 2005-05-12 | 2006-04-13 | Element de mesure d'un capteur micro-electronique |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005113962/28A RU2005113962A (ru) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | Измерительный элемент микроэлектронного датчика |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005113962A true RU2005113962A (ru) | 2006-11-20 |
Family
ID=37396793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005113962/28A RU2005113962A (ru) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | Измерительный элемент микроэлектронного датчика |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2005113962A (ru) |
| WO (1) | WO2006121367A1 (ru) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5189777A (en) * | 1990-12-07 | 1993-03-02 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method of producing micromachined differential pressure transducers |
| RU2137117C1 (ru) * | 1996-10-10 | 1999-09-10 | Самсунг Электроникс Ко., Лтд. | Гибридная интегральная схема газового сенсора |
| DE59803948D1 (de) * | 1997-12-23 | 2002-05-29 | Unaxis Balzers Ag | Kapazitive vakuummesszelle |
| RU2143678C1 (ru) * | 1998-04-29 | 1999-12-27 | Открытое Акционерное Общество Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш" | Полупроводниковый газовый сенсор и способ его изготовления |
| RU2002128660A (ru) * | 2002-10-28 | 2004-04-27 | Алексей Андреевич Васильев | Микроэлектронное измерительное устройство (датчик) и способ его изготовления |
-
2005
- 2005-05-12 RU RU2005113962/28A patent/RU2005113962A/ru unknown
-
2006
- 2006-04-13 WO PCT/RU2006/000186 patent/WO2006121367A1/ru active Application Filing
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2006121367A1 (fr) | 2006-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101308110B (zh) | 有加热功能低功耗双模块集成湿度敏感芯片及其制作方法 | |
| CN101532975B (zh) | 一种恒温测量式微型湿度传感器和制作方法 | |
| JP2005336049A5 (ru) | ||
| EA201491363A1 (ru) | Дистанционная рамка для изоляционных стеклопакетов | |
| CN105136351B (zh) | 一种电容式压力传感器及其制备方法 | |
| JP2009517940A5 (ru) | ||
| JP2007127607A (ja) | センサブロック | |
| ITTO20100616A1 (it) | Sensore e metodo di fabbricazione | |
| US8739623B2 (en) | Moisture sensors on conductive substrates | |
| EP2415081A4 (en) | SOLAR CELL DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR CELL DEVICE | |
| DE602005027781D1 (de) | Aluminium/Keramik-Verbundsubstrat | |
| CN208765877U (zh) | 一种电容式柔性压力传感器 | |
| JP2019028430A5 (ru) | ||
| FR2894336B1 (fr) | Element de detection d'etat de liquide et capteur de detection d'etat de liquide | |
| JP2011228462A5 (ru) | ||
| EP1327617B1 (en) | Method for joining | |
| Li et al. | Design and fabrication of a CMOS-compatible MHP gas sensor | |
| RU2005113962A (ru) | Измерительный элемент микроэлектронного датчика | |
| CN201203591Y (zh) | 有热净化功能的低功耗热隔离双模块集成湿度传感器芯片 | |
| Vasiliev et al. | Gas sensors based on MEMS structures made of ceramic ZrO2/Y2O3 material | |
| ATE387014T1 (de) | Piezoelektrisches keramikelement and bauteile daraus | |
| WO2009051194A1 (ja) | メンブレン構造素子及びその製造方法 | |
| JP2004205520A (ja) | 流動センサー素子およびその使用 | |
| JP2005179167A5 (ja) | 半導体素子 | |
| RU2009100628A (ru) | Корпус полупроводникового прибора |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA91 | Application withdrawn (on applicant's request) |
Effective date: 20061108 |