RU2003102904A - Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости - Google Patents

Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости

Info

Publication number
RU2003102904A
RU2003102904A RU2003102904/28A RU2003102904A RU2003102904A RU 2003102904 A RU2003102904 A RU 2003102904A RU 2003102904/28 A RU2003102904/28 A RU 2003102904/28A RU 2003102904 A RU2003102904 A RU 2003102904A RU 2003102904 A RU2003102904 A RU 2003102904A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
component
speed sensor
angular speed
vibrodrive
sensitive element
Prior art date
Application number
RU2003102904/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Тамара Георгиевна Нестеренко
Игорь Александрович Плотников
Инна Васильевна Плотникова
Original Assignee
Томский политехнический университет
Filing date
Publication date
Application filed by Томский политехнический университет filed Critical Томский политехнический университет
Publication of RU2003102904A publication Critical patent/RU2003102904A/ru

Links

Claims (1)

  1. Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости, содержащий вибропривод, инерционную массу, установленную в корпусе на упругих опорах при помощи двухосного карданового подвеса, отличающийся тем, что чувствительный элемент установлен непосредственно на виброприводе, емкостные датчики расположены на осях подвеса чувствительного элемента, а вибропривод сообщает чувствительному элементу поступательное колебательное движение вдоль оси, перпендикулярной осям подвеса инерционной массы.
RU2003102904/28A 2003-01-31 Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости RU2003102904A (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2003102904A true RU2003102904A (ru) 2004-08-10

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1416250A3 (en) Z-axis vibration gyroscope
KR970702474A (ko) 진동식 자이로 마이크로머신의 진동자(A micromachine oscillator for oscillogyrometer)
DE69629676D1 (de) Mikrogefertigter beschleunigungs-und koriolissensor
BR9006797A (pt) Medidor de fluxo de massa coriolis de melhor estabilidade
TW200515605A (en) Z-axis angular rate micro electro-mechanical systems (MEMS) sensor
NO20073688L (no) Oscillerende mikromekanisk vinkelhastighetssensor
WO2001022094A3 (en) Microfabricated tuning fork gyroscope and associated three-axis inertial measurement system to sense out-of-plane rotation
EP0836073A3 (en) A rate sensor
DE59408354D1 (de) Coriolis-massedurchflussaufnehmer
FR2834055B1 (fr) Capteur inertiel micro-usine pour la mesure de mouvements de rotation
DE60103363D1 (de) Drehgeschwindigkeitssensor
RU2003102904A (ru) Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости
IT206728Z2 (it) Dispositivo sensore di accelerazione o di vibrazioni
SE8404319L (sv) Vinkelhastighetssensor, som anvender parallellt vibrerande accelerometrar
RU93013919A (ru) Вибрационный гироскоп
RU2003102912A (ru) Вибрационный компас
RU95122711A (ru) Тремометр
RU2005135518A (ru) Бесплатформенная инерциальная навигационная система
RU2002104334A (ru) Микромеханический датчик угловой скорости
Doronin et al. Operation principle and basic errors of vibratory gyroscopes as rotation angle measuring device
KR970075917A (ko) 각속도 검출장치
RU2001129196A (ru) Роторный вибрационный гироскоп
RU2005118041A (ru) Бесплатформенная инерциальная система
KR910012254U (ko) 압전소자를 이용한 다축형 진동감지기
KR910017181U (ko) 압전소자를 이용한 다축형 진동감지기