RU2003102904A - Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости
- Google Patents
Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости
Info
Publication number
RU2003102904A
RU2003102904ARU2003102904/28ARU2003102904ARU2003102904ARU 2003102904 ARU2003102904 ARU 2003102904ARU 2003102904/28 ARU2003102904/28 ARU 2003102904/28ARU 2003102904 ARU2003102904 ARU 2003102904ARU 2003102904 ARU2003102904 ARU 2003102904A
Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости, содержащий вибропривод, инерционную массу, установленную в корпусе на упругих опорах при помощи двухосного карданового подвеса, отличающийся тем, что чувствительный элемент установлен непосредственно на виброприводе, емкостные датчики расположены на осях подвеса чувствительного элемента, а вибропривод сообщает чувствительному элементу поступательное колебательное движение вдоль оси, перпендикулярной осям подвеса инерционной массы.
RU2003102904/28A2003-01-31Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости
RU2003102904A
(ru)