RU2001127566A - Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов - Google Patents
Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электроновInfo
- Publication number
- RU2001127566A RU2001127566A RU2001127566/06A RU2001127566A RU2001127566A RU 2001127566 A RU2001127566 A RU 2001127566A RU 2001127566/06 A RU2001127566/06 A RU 2001127566/06A RU 2001127566 A RU2001127566 A RU 2001127566A RU 2001127566 A RU2001127566 A RU 2001127566A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- discharge chamber
- working gas
- holes
- gas
- accelerator
- Prior art date
Links
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 title claims 2
- 230000001154 acute Effects 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Claims (3)
1. Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов, содержащий разрядную камеру с наружной и внутренней кольцеобразными стенками, образующими ускорительный канал, магнитную систему с источником магнитодвижущей силы, магнитопроводом, наружным и внутренним магнитными полюсами, образующими рабочий межполюсный зазор в области выходных кромок разрядной камеры, полый газораспределитель с каналами подвода рабочего газа в разрядную камеру, анод, расположенный в полости разрядной камеры, и катод-компенсатор, отличающийся тем, что каналы подвода рабочего газа в разрядную камеру выполнены в азимутальном направлении под острым углом относительно поперечного сечения ускорительного канала.
2. Ускоритель по п.1, отличающийся тем, что каналы подвода рабочего газа в разрядную камеру выполнены в виде щелей, которые образованы между корпусом газораспределителя и лепестками дополнительно установленного на газораспределитель металлического кольца, отогнутыми под углом с заданной азимутальной составляющей.
3. Ускоритель по п.1, отличающийся тем, что во внутренней полости газораспределителя поперек движения рабочего газа размещены по меньшей мере три пластины, чередующиеся с кольцевыми проставками, образующими между соседними пластинами распределительные полости, при этом в каждой пластине выполнены отверстия для прохода рабочего газа, размещенные таким образом, что отверстия в последующей пластине равноудалены относительно отверстий предыдущей пластины, а число отверстий в каждой последующей пластине в направлении движения рабочего газа удвоено.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2001127566A RU2209532C2 (ru) | 2001-10-10 | 2001-10-10 | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2001127566A RU2209532C2 (ru) | 2001-10-10 | 2001-10-10 | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2001127566A true RU2001127566A (ru) | 2003-06-20 |
RU2209532C2 RU2209532C2 (ru) | 2003-07-27 |
Family
ID=29210605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2001127566A RU2209532C2 (ru) | 2001-10-10 | 2001-10-10 | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2209532C2 (ru) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE212007000107U1 (de) * | 2007-10-19 | 2010-09-02 | MKS Instruments, Inc., Wilmington | Ringförmige Plasmakammer für Prozesse mit hohen Gasdurchflussraten |
FR2950115B1 (fr) * | 2009-09-17 | 2012-11-16 | Snecma | Propulseur plasmique a effet hall |
RU2474984C1 (ru) * | 2011-10-24 | 2013-02-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)" | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов |
CN106640569B (zh) * | 2016-11-21 | 2019-10-22 | 北京控制工程研究所 | 一种易装配的双层孔板式气体分配器 |
RU2668588C2 (ru) * | 2017-03-28 | 2018-10-02 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Плазменный двигатель с замкнутым дрейфом электронов |
RU2667822C1 (ru) * | 2017-04-18 | 2018-09-24 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов |
RU2659009C1 (ru) * | 2017-07-11 | 2018-06-26 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Опытное конструкторское бюро "Факел" ФГУП "ОКБ "Факел" | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов |
JP7301075B2 (ja) | 2018-06-14 | 2023-06-30 | エムケーエス インストゥルメンツ,インコーポレイテッド | リモートプラズマ源用のラジカル出力モニタ及びその使用方法 |
CN109404240B (zh) * | 2018-11-02 | 2020-08-14 | 北京航空航天大学 | 一种电推进发动机进气结构 |
CN110469472B (zh) * | 2019-07-19 | 2020-05-12 | 北京航空航天大学 | 一种电推力器气体分配器 |
CN115681059B (zh) * | 2023-01-03 | 2023-06-06 | 国科大杭州高等研究院 | 反向进气的电推力器、空间设备及其推进方法 |
-
2001
- 2001-10-10 RU RU2001127566A patent/RU2209532C2/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2001127566A (ru) | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов | |
UA32449C2 (ru) | Ускоритель плазмы с замкнутым дрейфом электронов | |
JP4437351B2 (ja) | プラズマエッチング装置 | |
US5359258A (en) | Plasma accelerator with closed electron drift | |
WO2004027825A3 (en) | Beam plasma source | |
RU95105253A (ru) | Плазменный двигатель с замкнутой траекторией дрейфа электронов | |
WO2007124032A3 (en) | Dual plasma beam sources and method | |
DE69816369D1 (de) | Plasmabeschleuniger mit geschlossener Elektronenlaufbahn und leitenden eingesetzten Stücken | |
US20030222742A1 (en) | Magnetic field generator for magnetron plasma | |
RU2209532C2 (ru) | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов | |
HK1096490A1 (en) | Electron cyclotron resonance(ecr) plasma source having a linear plasma discharge opening | |
JPH0925573A (ja) | スパッタリング装置 | |
EP1538333B1 (en) | Multichannel hall effect thruster | |
RU93013390A (ru) | Ускоритель плазмы с замкнутым дрейфом электронов | |
EP3390688A1 (en) | Hollow cathode ion source and method of extracting and accelerating ions | |
RU2001127564A (ru) | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов (его варианты) | |
RU2017110454A (ru) | Плазменный двигатель с замкнутым дрейфом электронов | |
GB654585A (en) | Improvements in and relating to ultra high frequency electric discharge devices of the magnetron type | |
KR100604649B1 (ko) | 영구자석 시스템을 갖춘 캐소드를 구비한 스퍼터링 장치 | |
RU95112210A (ru) | Ускоритель плазмы с замкнутым дрейфом электронов | |
RU2000124780A (ru) | Плазменный двигатель с замкнутым дрейфом электронов | |
RU2338294C1 (ru) | Широкоапертурный источник газовых ионов | |
RU92011218A (ru) | Ускоритель с замкнутым дрейфом электронов | |
RU2191487C2 (ru) | Плазменный двигатель с замкнутым дрейфом электронов | |
JPS62281236A (ja) | イオン源 |